JPH04305877A - 浮上型磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
浮上型磁気ヘッドの製造方法Info
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- JPH04305877A JPH04305877A JP3070907A JP7090791A JPH04305877A JP H04305877 A JPH04305877 A JP H04305877A JP 3070907 A JP3070907 A JP 3070907A JP 7090791 A JP7090791 A JP 7090791A JP H04305877 A JPH04305877 A JP H04305877A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic head
- floating magnetic
- floating
- gimbal
- adhesive
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- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
- Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は電子計算機等のデータの
記録・再生に用いられる浮上型磁気ヘッドに関するもの
である。
記録・再生に用いられる浮上型磁気ヘッドに関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】近年、固定磁気ディスク装置の小型・薄
型化に伴いクラウン付の浮上型磁気ヘッドが開発されて
いる。
型化に伴いクラウン付の浮上型磁気ヘッドが開発されて
いる。
【０００３】浮上型磁気ヘッドを０．１〜０．２（μｍ
）程度の微小な隙間で磁気記録媒体上に浮上させる為に
は、磁気記録媒体の表面を完全な鏡面状態に仕上げるこ
とが必要である。しかし、浮上型磁気ヘッドをコンタク
ト・スタート・ストップ方式で用いる場合、鏡面状態の
磁気記録媒体面と浮上型磁気ヘッドのスライダ面が長時
間にわたり密着状態で放置されると、磁気記録媒体面に
スライダ面が吸着されてしまうという現象が起こる。 このように吸着された状態でコンタクト・スタートを開
始すると磁気記録媒体面に傷をつけ、記録情報を破壊す
るばかりか、浮上型磁気ヘッドの支持系をも破壊するこ
とになるので、磁気記録媒体を停止している時には浮上
型磁気ヘッドのスライダ面を磁気記録媒体面から引き離
しておくか、あるいは吸着力を著しく小さくするため接
触面積が少ないクラウンを形成したスライダ面を有する
浮上型磁気ヘッドを用いることが望ましい。しかしなが
ら、浮上型磁気ヘッドのスライダ面を磁気記録媒体面か
ら引き離す方法は、それなりの機構を必要とし、構造が
複雑になるほか磁気記録媒体面、及び浮上型磁気ヘッド
のスライダ面に損傷を与えずに浮上型磁気ヘッドのスラ
イダを磁気記録媒体面上に着地させる制御が困難であり
未だ満足のいく解決がなされていない。
）程度の微小な隙間で磁気記録媒体上に浮上させる為に
は、磁気記録媒体の表面を完全な鏡面状態に仕上げるこ
とが必要である。しかし、浮上型磁気ヘッドをコンタク
ト・スタート・ストップ方式で用いる場合、鏡面状態の
磁気記録媒体面と浮上型磁気ヘッドのスライダ面が長時
間にわたり密着状態で放置されると、磁気記録媒体面に
スライダ面が吸着されてしまうという現象が起こる。 このように吸着された状態でコンタクト・スタートを開
始すると磁気記録媒体面に傷をつけ、記録情報を破壊す
るばかりか、浮上型磁気ヘッドの支持系をも破壊するこ
とになるので、磁気記録媒体を停止している時には浮上
型磁気ヘッドのスライダ面を磁気記録媒体面から引き離
しておくか、あるいは吸着力を著しく小さくするため接
触面積が少ないクラウンを形成したスライダ面を有する
浮上型磁気ヘッドを用いることが望ましい。しかしなが
ら、浮上型磁気ヘッドのスライダ面を磁気記録媒体面か
ら引き離す方法は、それなりの機構を必要とし、構造が
複雑になるほか磁気記録媒体面、及び浮上型磁気ヘッド
のスライダ面に損傷を与えずに浮上型磁気ヘッドのスラ
イダを磁気記録媒体面上に着地させる制御が困難であり
未だ満足のいく解決がなされていない。
【０００４】以下に従来の浮上型磁気ヘッドについて説
明する。図６は従来の浮上型磁気ヘッドの斜視図であり
、図７はその側面図である。
明する。図６は従来の浮上型磁気ヘッドの斜視図であり
、図７はその側面図である。
【０００５】１は磁気回路構成部、２は浮上型磁気ヘッ
ド、３は浮上型磁気ヘッド２の上面に機械加工により表
面粗さＲａが２〜３μｍに仕上げられたジンバル取付面
、４はリードライト用コイル線、５は浮上型磁気ヘッド
２の上面に接着剤で固定され浮上型磁気ヘッド２の浮上
姿勢を保持するジンバル、６は固定ディスクの回転によ
って発生する空気流によりジンバル５を介して浮上力を
浮上型磁気ヘッドに与えるロードアーム、７はロードア
ーム６上に固定された絶縁チューブ、８はロードアーム
６上の先端部を加工して形成した絶縁チューブ７の固定
用の爪、９は浮上型磁気ヘッド２の下面のクラウン形成
部である。
ド、３は浮上型磁気ヘッド２の上面に機械加工により表
面粗さＲａが２〜３μｍに仕上げられたジンバル取付面
、４はリードライト用コイル線、５は浮上型磁気ヘッド
２の上面に接着剤で固定され浮上型磁気ヘッド２の浮上
姿勢を保持するジンバル、６は固定ディスクの回転によ
って発生する空気流によりジンバル５を介して浮上力を
浮上型磁気ヘッドに与えるロードアーム、７はロードア
ーム６上に固定された絶縁チューブ、８はロードアーム
６上の先端部を加工して形成した絶縁チューブ７の固定
用の爪、９は浮上型磁気ヘッド２の下面のクラウン形成
部である。
【０００６】図７において、１０は磁気記録媒体と対向
するスライダ面の最小隙間位置に配設されたギャップ部
、１１はジンバル５と磁気ヘッド２を接着する熱硬化型
エポキシ樹脂からなる接着剤である。
するスライダ面の最小隙間位置に配設されたギャップ部
、１１はジンバル５と磁気ヘッド２を接着する熱硬化型
エポキシ樹脂からなる接着剤である。
【０００７】以上のように構成された従来の浮上型磁気
ヘッドについて、以下その製造方法について図８を用い
て説明する。
ヘッドについて、以下その製造方法について図８を用い
て説明する。
【０００８】浮上型磁気ヘッド２のスライダの鏡面仕上
げ時に、クラウン形成部３にクラウン量ｔに見合った曲
率半径Ｒをもったラップ盤１２を使用しクラウンを研摩
加工して浮上型磁気ヘッド２を製造していた。
げ時に、クラウン形成部３にクラウン量ｔに見合った曲
率半径Ｒをもったラップ盤１２を使用しクラウンを研摩
加工して浮上型磁気ヘッド２を製造していた。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の構成では、クラウン量ｔに見合った曲率半径Ｒをもっ
たラップ盤の作製が非常に困難であり、かつ、ラップ盤
を数回使用すると、摩耗により曲率半径Ｒが変わり、使
用不能になりその都度高価なラップ盤を準備しなければ
ならないという問題点があった。又、クラウン量ｔの異
なったものを製造する際、そのクラウン量ｔに見合う曲
率半径Ｒをもった高価なラップ盤をクラウン量ｔの種類
毎に作製しなければならないという問題点がある。
の構成では、クラウン量ｔに見合った曲率半径Ｒをもっ
たラップ盤の作製が非常に困難であり、かつ、ラップ盤
を数回使用すると、摩耗により曲率半径Ｒが変わり、使
用不能になりその都度高価なラップ盤を準備しなければ
ならないという問題点があった。又、クラウン量ｔの異
なったものを製造する際、そのクラウン量ｔに見合う曲
率半径Ｒをもった高価なラップ盤をクラウン量ｔの種類
毎に作製しなければならないという問題点がある。
【００１０】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、高価なラップ盤を使用しないで所望のクラウン量ｔ
を簡単かつ正確に形成し、耐久性に優れた低原価で高生
産性を有する浮上型磁気ヘッドを提供することを目的と
する。
で、高価なラップ盤を使用しないで所望のクラウン量ｔ
を簡単かつ正確に形成し、耐久性に優れた低原価で高生
産性を有する浮上型磁気ヘッドを提供することを目的と
する。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の浮上型磁気ヘッドは、浮上型磁気ヘッドのジ
ンバル取付面に微小凹凸部を配列して形成した構成を有
している。
に本発明の浮上型磁気ヘッドは、浮上型磁気ヘッドのジ
ンバル取付面に微小凹凸部を配列して形成した構成を有
している。
【００１２】ここで、ジンバル取付面に形成される微小
凹凸部としては、浮上型磁気ヘッドのクラウン形成面に
おける空気流入方向に対し直交状に形成した断面角形，
Ｕ字形，Ｖ字形のスリット、又は、逆スパッタリング，
イオンミーリング法等で形成した凹凸部が好ましい。所
定のクラウン量ｔを得るには、スリットの深さ，幅、各
スリット毎の配列間隔，配列数、又、逆スパッタリング
やイオンミーリング等で形成した凹部の深さ、平均直径
、凹部間の間隔、凹部の一列毎の間隔、配列数等及びジ
ンバルと磁気ヘッドを接着する接着剤の熱収縮率を適宜
選択することにより容易に調整することができる。
凹凸部としては、浮上型磁気ヘッドのクラウン形成面に
おける空気流入方向に対し直交状に形成した断面角形，
Ｕ字形，Ｖ字形のスリット、又は、逆スパッタリング，
イオンミーリング法等で形成した凹凸部が好ましい。所
定のクラウン量ｔを得るには、スリットの深さ，幅、各
スリット毎の配列間隔，配列数、又、逆スパッタリング
やイオンミーリング等で形成した凹部の深さ、平均直径
、凹部間の間隔、凹部の一列毎の間隔、配列数等及びジ
ンバルと磁気ヘッドを接着する接着剤の熱収縮率を適宜
選択することにより容易に調整することができる。
【００１３】熱収縮性の接着剤としては無機系、有機系
のいずれでも使用できるが、比重が小さく、かつ、加熱
時流動性よく前記凹部に流入でき冷却時に収縮率が大き
く接着強度の強いものが好ましい。
のいずれでも使用できるが、比重が小さく、かつ、加熱
時流動性よく前記凹部に流入でき冷却時に収縮率が大き
く接着強度の強いものが好ましい。
【００１４】
【作用】この構成によって、ジンバル取付面に形成され
たスリットや微小凹部に、熱収縮性の接着剤を微小スリ
ットや微小凹部内に流れこませた状態で、浮上型磁気ヘ
ッドとジンバルを接着硬化させることにより、微小スリ
ットや微小凹部内の接着剤の収縮により浮上型磁気ヘッ
ドに曲げモーメントＭが発生し、浮上型磁気ヘッドスラ
イダ面に所定のクラウン量ｔを形成させることができる
。また、接着剤が各微小スリット、及び各微小凹部内に
流入して接着硬化したことにより接着面積を大きくする
ことができ、浮上型磁気ヘッドとジンバルの接着強度を
あげ耐久性を向上させることができる。
たスリットや微小凹部に、熱収縮性の接着剤を微小スリ
ットや微小凹部内に流れこませた状態で、浮上型磁気ヘ
ッドとジンバルを接着硬化させることにより、微小スリ
ットや微小凹部内の接着剤の収縮により浮上型磁気ヘッ
ドに曲げモーメントＭが発生し、浮上型磁気ヘッドスラ
イダ面に所定のクラウン量ｔを形成させることができる
。また、接着剤が各微小スリット、及び各微小凹部内に
流入して接着硬化したことにより接着面積を大きくする
ことができ、浮上型磁気ヘッドとジンバルの接着強度を
あげ耐久性を向上させることができる。
【００１５】
【実施例】以下本発明の一実施例について、図面を参照
しながら説明する。
しながら説明する。
【００１６】図１（ａ）は本発明の微小スリットを形成
したジンバル取付面の要部斜視図であり、図１（ｂ）は
図１（ａ）のＡ部の微小スリットの例を示す要部断面図
であり、図２は逆スパッタリング，イオンミーリング等
でジンバル取付面に微小凹部を略碁盤目状に形成したジ
ンバル取付面の要部斜視図であり、図３は本発明の浮上
型磁気ヘッドの斜視図であり、図４はその側面図であり
、図５は浮上型磁気ヘッドの駆動時の要部側面図である
。
したジンバル取付面の要部斜視図であり、図１（ｂ）は
図１（ａ）のＡ部の微小スリットの例を示す要部断面図
であり、図２は逆スパッタリング，イオンミーリング等
でジンバル取付面に微小凹部を略碁盤目状に形成したジ
ンバル取付面の要部斜視図であり、図３は本発明の浮上
型磁気ヘッドの斜視図であり、図４はその側面図であり
、図５は浮上型磁気ヘッドの駆動時の要部側面図である
。
【００１７】１は磁気回路構成部材、２は浮上型磁気ヘ
ッド、３はジンバル取付面、５はジンバル、６はロード
アーム、７は絶縁チューブ、８は絶縁チューブ固定要の
爪、１１は接着剤である。３１はジンバル取付面３上に
形成された微小スリットからなる凹凸部であり、微小ス
リットの形状としては、図１（ｂ）に例示するように断
面角形，Ｕ字形，Ｖ字形，逆台形等接着剤を充填等でき
る形状であればよい。３２はジンバル取付面３上に逆ス
パッタリングやイオンミーリング等で穿設された微小凹
部が所定の間隔で列設された微小凹部、１３は磁気記録
媒体である。
ッド、３はジンバル取付面、５はジンバル、６はロード
アーム、７は絶縁チューブ、８は絶縁チューブ固定要の
爪、１１は接着剤である。３１はジンバル取付面３上に
形成された微小スリットからなる凹凸部であり、微小ス
リットの形状としては、図１（ｂ）に例示するように断
面角形，Ｕ字形，Ｖ字形，逆台形等接着剤を充填等でき
る形状であればよい。３２はジンバル取付面３上に逆ス
パッタリングやイオンミーリング等で穿設された微小凹
部が所定の間隔で列設された微小凹部、１３は磁気記録
媒体である。
【００１８】以上のように構成された本実施例の浮上型
磁気ヘッドについて、以下その動作を図４，図５を用い
て説明する。
磁気ヘッドについて、以下その動作を図４，図５を用い
て説明する。
【００１９】各微小スリット３１内に熱硬化型エポキシ
樹脂からなる接着剤１１が流入して硬化しジンバル５と
浮上型磁気ヘッド２を接着している。各微小スリット３
１内の接着剤１１は冷却硬化するにつれ収縮し、浮上型
磁気ヘッド２に各々負荷ｆ１，ｆ２・・・ｆｎが作用し
、これが更にジンバル取付面３上の接着剤１１の収縮に
よる負荷Ｆと累計して、浮上型磁気ヘッドに曲げモーメ
ントＭを発生させ、この曲げモーメントＭにより浮上型
磁気ヘッドを反らせ、浮上型磁気ヘッドのスライダ面に
容易に所定量のクラウン量ｔを与える。微小凹凸部３２
でも同様に浮上型磁気ヘッドのスライダ面に容易に所定
量のクラウン量ｔを与えることができる。図５において
、目標クラウン量ｔを０．２μｍとし、機械加工により
スリットの深さｈが１０〜１００（μｍ）、幅ｗが０．
２〜０．６（ｍｍ） の範囲、各スリット毎の間隔Ｐが
０．２〜０．６（ｍｍ） の条件下で、熱硬化型エポキ
シ樹脂からなる接着剤１１を用いて浮上型磁気ヘッドを
製造したところ、クラウン量ｔが略０．２（μｍ）の浮
上型磁気ヘッドを実現できた。比較例として、図７に示
す従来例の浮上型磁気ヘッドを製造したが、クラウンを
形成することはできなかった。
樹脂からなる接着剤１１が流入して硬化しジンバル５と
浮上型磁気ヘッド２を接着している。各微小スリット３
１内の接着剤１１は冷却硬化するにつれ収縮し、浮上型
磁気ヘッド２に各々負荷ｆ１，ｆ２・・・ｆｎが作用し
、これが更にジンバル取付面３上の接着剤１１の収縮に
よる負荷Ｆと累計して、浮上型磁気ヘッドに曲げモーメ
ントＭを発生させ、この曲げモーメントＭにより浮上型
磁気ヘッドを反らせ、浮上型磁気ヘッドのスライダ面に
容易に所定量のクラウン量ｔを与える。微小凹凸部３２
でも同様に浮上型磁気ヘッドのスライダ面に容易に所定
量のクラウン量ｔを与えることができる。図５において
、目標クラウン量ｔを０．２μｍとし、機械加工により
スリットの深さｈが１０〜１００（μｍ）、幅ｗが０．
２〜０．６（ｍｍ） の範囲、各スリット毎の間隔Ｐが
０．２〜０．６（ｍｍ） の条件下で、熱硬化型エポキ
シ樹脂からなる接着剤１１を用いて浮上型磁気ヘッドを
製造したところ、クラウン量ｔが略０．２（μｍ）の浮
上型磁気ヘッドを実現できた。比較例として、図７に示
す従来例の浮上型磁気ヘッドを製造したが、クラウンを
形成することはできなかった。
【００２０】
【発明の効果】以上のように本発明は、高価なラップ盤
を使うことなく、ジンバル取付面に微小スリット等の微
小凹凸部を設け、熱収縮性の接着剤でジンバルと浮上型
磁気ヘッドを接着させたので個々の微小凹凸部内の接着
剤とジンバル取付面の接着剤の収縮による曲げモーメン
トにより、スライダ面に容易に所定のクラウン量ｔを形
成できる。又、接着面積を増大させたので、浮上型磁気
ヘッドとジンバルの接着強度を著しく向上させ機械的強
度に優れ耐久性を改善し低原価で量産性に優れた浮上型
磁気ヘッドを実現できるものである。
を使うことなく、ジンバル取付面に微小スリット等の微
小凹凸部を設け、熱収縮性の接着剤でジンバルと浮上型
磁気ヘッドを接着させたので個々の微小凹凸部内の接着
剤とジンバル取付面の接着剤の収縮による曲げモーメン
トにより、スライダ面に容易に所定のクラウン量ｔを形
成できる。又、接着面積を増大させたので、浮上型磁気
ヘッドとジンバルの接着強度を著しく向上させ機械的強
度に優れ耐久性を改善し低原価で量産性に優れた浮上型
磁気ヘッドを実現できるものである。
【図１】（ａ）本発明の微小スリットを形成したジンバ
ル取付面の要部斜視図 （ｂ）本発明の微小スリットの例を示す要部断面図
ル取付面の要部斜視図 （ｂ）本発明の微小スリットの例を示す要部断面図
【図
２】本発明の他の微小凹凸部を形成したジンバル取付面
の要部斜視図
２】本発明の他の微小凹凸部を形成したジンバル取付面
の要部斜視図
【図３】本発明の浮上型磁気ヘッドの斜視図
【図４】本
発明の浮上型磁気ヘッドの側面図
発明の浮上型磁気ヘッドの側面図
【図５】本発明の浮上
型磁気ヘッドの駆動時の要部側面図
型磁気ヘッドの駆動時の要部側面図
【図６】従来の浮上型磁気ヘッドの斜視図
【図７】従来
の浮上型磁気ヘッドの側面図
の浮上型磁気ヘッドの側面図
【図８】従来のクラウン形
成時の側面図
成時の側面図
１ 磁気回路構成部
２ 浮上型磁気ヘッド
３ ジンバル取付面
３１ 微小スリットからなる凹凸部
３２ 微小凹凸部
４ リードライト用コイル線
５ ジンバル
６ ロードアーム
７ 絶縁チューブ
８ 絶縁チューブ固定用の爪
９ クラウン形成部
１０ ギャップ部
１１ 接着剤
１２ ラップ盤
１３ 磁気記録媒体
Claims (1)
- 【請求項１】浮上型磁気ヘッドのジンバル取付面側の、
少なくともジンバル取付部に微小凹凸部が配列して形成
されていることを特徴とする浮上型磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3070907A JP3038962B2 (ja) | 1991-04-03 | 1991-04-03 | 浮上型磁気ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3070907A JP3038962B2 (ja) | 1991-04-03 | 1991-04-03 | 浮上型磁気ヘッドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04305877A true JPH04305877A (ja) | 1992-10-28 |
| JP3038962B2 JP3038962B2 (ja) | 2000-05-08 |
Family
ID=13445061
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3070907A Expired - Fee Related JP3038962B2 (ja) | 1991-04-03 | 1991-04-03 | 浮上型磁気ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3038962B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05334643A (ja) * | 1992-05-29 | 1993-12-17 | Tdk Corp | 磁気ヘッド及び加工方法 |
| US5687042A (en) * | 1994-11-03 | 1997-11-11 | International Business Machines Corporation | Slider having shifted crown peak for reduced fly height sensitivity |
| US6940694B2 (en) | 1993-12-10 | 2005-09-06 | Fujitsu Limited | Magnetic head assembly having thin-film dummy patterns provided on surface of gimbal spring |
| US7474508B1 (en) | 2005-03-09 | 2009-01-06 | Western Digital (Fremont), Inc. | Head gimbal assembly with air bearing slider crown having reduced temperature sensitivity |
| US7742260B2 (en) | 2005-11-10 | 2010-06-22 | Tdk Corporation | Magnetic head assembly, magnetic head drive apparatus and manufacturing method of magnetic head assembly |
| US9368139B1 (en) * | 2015-03-20 | 2016-06-14 | Western Digital (Fremont), Llc | Slider back side etching to increase shear strength between suspension and slider |
-
1991
- 1991-04-03 JP JP3070907A patent/JP3038962B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05334643A (ja) * | 1992-05-29 | 1993-12-17 | Tdk Corp | 磁気ヘッド及び加工方法 |
| US6940694B2 (en) | 1993-12-10 | 2005-09-06 | Fujitsu Limited | Magnetic head assembly having thin-film dummy patterns provided on surface of gimbal spring |
| US5687042A (en) * | 1994-11-03 | 1997-11-11 | International Business Machines Corporation | Slider having shifted crown peak for reduced fly height sensitivity |
| US7474508B1 (en) | 2005-03-09 | 2009-01-06 | Western Digital (Fremont), Inc. | Head gimbal assembly with air bearing slider crown having reduced temperature sensitivity |
| US7742260B2 (en) | 2005-11-10 | 2010-06-22 | Tdk Corporation | Magnetic head assembly, magnetic head drive apparatus and manufacturing method of magnetic head assembly |
| US9368139B1 (en) * | 2015-03-20 | 2016-06-14 | Western Digital (Fremont), Llc | Slider back side etching to increase shear strength between suspension and slider |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3038962B2 (ja) | 2000-05-08 |
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