JPH04306539A - らせん形遅波回路構体 - Google Patents
らせん形遅波回路構体Info
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
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- H01J23/16—Circuit elements, having distributed capacitance and inductance, structurally associated with the tube and interacting with the discharge
- H01J23/24—Slow-wave structures, e.g. delay systems
- H01J23/26—Helical slow-wave structures; Adjustment therefor
Landscapes
- Microwave Tubes (AREA)
Abstract
め要約のデータは記録されません。
Description
どに使用されるらせん形遅波回路構体に関する。
は、電子ビームの一部が近接して通過するため、電子ビ
ームの一部がらせん形遅波回路に衝突して生ずる発熱お
よびらせん形遅波回路を伝播する高周波電力の抵抗損失
による発熱などにより加熱される。このような発熱作用
により比較的熱容量の小さいらせん形遅波回路は、かな
り高い温度に達し、これは高周波損失の増大および遅波
回路からのガス放出の増加を招き、進行波管や後進波管
の出力低下やビーム透過率の悪化および雑音増加等の原
因になるばかりでなく、短寿命につながる要因を含んで
いる。近年、進行波管は、さらに高周波数、高出力化の
需要が増加しており、これらに使用されるらせん形遅波
回路は、らせんの耐熱性およびらせんからの熱放散手段
の他に誘電体支柱の誘電率および熱伝導率が重要な課題
となっている。
丸線またはテープを用いてらせんが形成され、その外周
囲に複数本の円柱状または角柱状の誘電体支柱が配設さ
れ、これらを金属円筒内に収納し適当な手段を用いてら
せんおよび誘電体支柱を締結固定していた。その一例を
図3(a),(b)により説明する。図3において遅波
回路を形成するらせん1は、電子ビームの衝突等によっ
ても軟化,変形しにくい比較的融点の高いタングステン
やモリブデンを線状またはテープ状に加工し、らせん状
に巻いたものである。らせん1の外周部には、120度
間隔で3本の角柱の誘電体支柱12,13,14が配設
され、さらにその外周に金属円筒5が設けられている。
導性の優れたベリリアセラミックが用いられていたが、
最近では窒化アルミニウムさらには誘電率が小さい異方
性の窒化ホウ素(以下P−BNと略称)が開発され用い
られている。この場合、P−BNは層状構造になってお
り、層と平行な方向をa方向、層と垂直な方向をc方向
と呼んでいる。一般にP−BNはa方向とc方向では物
理的,機械的特性が大きく異なり、a方向がc方向に比
較して優れている。このため、らせん1とP−BN製支
柱12,13,14との接触面に対して垂直方向にa方
向、平行方向にc方向がくるようにP−BNを用いてい
る。次に金属円筒5としては、この外側にらせん1の内
側を走行する電子ビームを集束するための磁界を与える
手段を配置することから、主としてステンレス鋼管が使
用される。
3本のP−BN製支柱12,13,14は適当な手段を
用いて金属円筒5に締結されるが、一般には金属円筒5
を3方向から外圧を加えて変形させておいて、らせん1
およびP−BN製支柱12,13,14を挿入し、その
後金属円筒状体5に加えていた外圧を除去することによ
り、金属円筒状体5の復元力でらせん1とP−BN製支
柱12,13,14を締結するいわゆるディストーショ
ンスクイズ法が用いられている。
た従来のらせん形遅波回路においては、誘電体支柱12
,13,14がベリリアセラミックおよび窒化アルミニ
ウムの場合、熱伝導率,機械的強度上は全く問題無いが
、誘電率が比較的高い(ε;6.5〜8)ことが、進行
波管の高効率化を妨げる要因となっている。
BNの場合、折曲げおよび圧縮強度がベリリアセラミッ
ク,窒化アルミニウムより弱いためスクイズ法によりら
せん1とP−BN製支柱12,13,14が締結する際
、P−BN製支柱12,13,14にせん断応力が加わ
り、クラックが多発するという不具合も発生した。この
クラックにより、進行波管の高周波特性に影響を及ぼす
とともに出力並びに利得低下にもつながるという欠点が
あった。さらに、締結時に入ったP−BN製支柱12,
13,14のクラックは、進行波管の動作時に熱履歴を
受けて進行した場合進行波管の動作不能につながるとい
う致命的な欠陥もあった。
路構体は、らせんと石英製支柱と金属円筒から構成され
、かつ石英製支柱の外表面には熱伝導性に優れた窒化ホ
ウ素または人工ダイヤモンドの被膜が設けられているこ
とを特徴としている。
g/mm2 と強く、誘電率も3.9と小さいが、熱伝
導率は1W/m・k(BeO:250W/m・k)と非
常に小さい。一方、被膜の中でも、窒化ホウ素および人
工ダイヤモンドは熱伝導率が60W/m・k程度、誘電
率は3〜6である。一般に窒化ホウ素および人工ダイヤ
モンド膜の形成技術としては、プラズマCVD(Che
mical VaporDeposition)が用
いられており5〜100μmの厚さが得られる。
る。図1(a)は本発明の第1の実施例を示す正面断面
図、図1(b)は本発明の第1の実施例を示す一部破断
斜視図である。まず、縦1mm,横2mm,長さ100
mmの石英製支柱2,3,4は、全面に窒化ホウ素被膜
6,7,8が形成される。この場合、窒化ホウ素被膜の
生成はプラズマCVD法で行い、その厚さは50μmで
ある。次に、らせん1はタングステンから成り、幅1.
5mm,厚さ1mmのテープ状のものを内径2mmに加
工している。らせん1と石英製支柱2,3,4は、らせ
ん1の外周囲120度間隔ごとに支柱2,3,4がくる
ように配設される。かかるらせん1と窒化ホウ素被膜6
,7,8が設けられた石英製支柱2,3,4との構体を
ステンレス鋼より成る金属円筒5に収納し、らせん形遅
波回路構体が構成されている。この場合、金属円筒5を
その外周囲の3方向から外圧を加えて変形させておいて
、らせん1および石英製支柱2,3,4を挿入し、その
後金属円筒5に加えていた外圧を除去することにより、
金属円筒5の復元力でらせん1および石英製支柱2,3
,4は締結される。
(a)図は正面断面図、(b)図は一部破断斜視図であ
る。この第2の実施例では、石英製支柱に人工ダイヤモ
ンド被膜をコーティングしたことを特徴としている。ま
ず、縦1mm,横2mm,長さ100mmの石英製支柱
2,3,4は全面に人工ダイヤモンド被膜9,10,1
1が形成される。この場合、人工ダイヤモンド被膜の形
成はプラズマCVD法で行い、厚さは5〜100μmで
ある。以下は、第1の実施例と同様に遅波回路構体が作
製される。
柱として石英ガラス製支柱を用い、石英製支柱の全面に
数10μmの窒化ホウ素または人工ダイヤモンド被膜を
設けることにより、らせんおよび誘電体支柱を金属円筒
に挿入し締結する際に、PBNを使用した場合のような
支柱のクラック,折れがなくなるとともに、誘電率が小
さい石英支柱と熱伝導率が大きい窒化ホウ素または人工
ダイヤモンドの組み合わせにより、誘電体支柱の総合性
能として低誘電率,高熱伝導率が得られ、高周波特性に
優れた、より高効率,高出力および高信頼性の進行波管
等の遅波回路構体が得られる。
正面断面図、(b)図は一部破断斜視図である。
正面断面図、(b)図は一部破断斜視図である。
)図は正面断面図、(b)図は一部破断斜視図である。
Claims (2)
- 【請求項1】 らせんと該らせんの外周囲に複数の支
柱が配置され、かつこれ等を金属円筒に挿入してなるら
せん形遅波回路構体において、前記支柱が石英から成る
基板と窒化ホウ素被膜層から成ることを特徴とするらせ
ん形遅波回路構体。 - 【請求項2】 らせんと該らせんの外周囲に複数の支
柱が配置され、かつこられ等を金属円筒に挿入してなる
らせん形遅波回路構体において、前記支柱が石英から成
る基板と人工ダイヤモンド被膜層から成ることを特徴と
するらせん形遅波回路構体。
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Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0189448U (ja) * | 1987-12-04 | 1989-06-13 | ||
| JPH0371535A (ja) * | 1989-08-08 | 1991-03-27 | Nec Corp | らせん形遅波回路構体 |
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|---|---|---|---|---|
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| US3466494A (en) * | 1968-05-01 | 1969-09-09 | Siemens Ag | Traveling wave tube with delay line supports having a lossy layer and an insulation layer |
| US4005329A (en) * | 1975-12-22 | 1977-01-25 | Hughes Aircraft Company | Slow-wave structure attenuation arrangement with reduced frequency sensitivity |
| US4278914A (en) * | 1979-10-18 | 1981-07-14 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Diamond supported helix assembly and method |
| FR2476908A1 (fr) * | 1980-02-22 | 1981-08-28 | Thomson Csf | Tube a ondes progressives pour tres hautes frequences et dispositif amplificateur utilisant un tel tube |
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