JPH0430739U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0430739U JPH0430739U JP1990072319U JP7231990U JPH0430739U JP H0430739 U JPH0430739 U JP H0430739U JP 1990072319 U JP1990072319 U JP 1990072319U JP 7231990 U JP7231990 U JP 7231990U JP H0430739 U JPH0430739 U JP H0430739U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- right sides
- box
- slits
- movable member
- open end
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
第１図は本考案の実施例を示す斜視図、第２図
は本考案の動作を説明する斜視図、第３図は従来
のウエーハキヤリアの斜視図、第４図は従来の搬
送ボツクスの断面図である。 １……ウエーハ、２……ウエーハキヤリア、３
Ａ……ボツクス、１１……上面、１２……下面、
１３……前面、１４……後面、１５……左側面、
１６……右側面、１７……可動部材、１８……開
放端部、１９……蓋部、２０……収納部。
は本考案の動作を説明する斜視図、第３図は従来
のウエーハキヤリアの斜視図、第４図は従来の搬
送ボツクスの断面図である。 １……ウエーハ、２……ウエーハキヤリア、３
Ａ……ボツクス、１１……上面、１２……下面、
１３……前面、１４……後面、１５……左側面、
１６……右側面、１７……可動部材、１８……開
放端部、１９……蓋部、２０……収納部。
Claims (1)
- 半導体ウエーハを装填したウエーハキヤリアを
収納して搬送するボツクスであつて、このボツク
スは上下面、前後面、左右側面の６面からなる直
方体形状とされ、上面と後面とが接する稜線に沿
つて回動自在とされる可動部材が取付けられ、下
面と前面とが接する稜線は切断されて開放端部と
され、左右側面は可動部材と開放端部との対角線
上にスリツトが施されて上下に２分割とされ、上
面と前面と左右側面の上半分とで一体的に蓋部が
画成され、下面と後面と左右側面の下半分とで一
体的に収納部が画成されたことを特徴とする半導
体ウエーハ搬送ボツクス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990072319U JPH0430739U (ja) | 1990-07-09 | 1990-07-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990072319U JPH0430739U (ja) | 1990-07-09 | 1990-07-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0430739U true JPH0430739U (ja) | 1992-03-12 |
Family
ID=31610156
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990072319U Pending JPH0430739U (ja) | 1990-07-09 | 1990-07-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0430739U (ja) |
-
1990
- 1990-07-09 JP JP1990072319U patent/JPH0430739U/ja active Pending
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