JPH04308123A - キャリヤボックスの操作方法及び操作装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造等に際して
ウエハを搬送するときに使用されるキャリヤボックスの
操作方法及びその操作装置に関し、さらに詳細にはウエ
ハ等の内容物をキャリヤボックスへ収容し或いはそこか
ら取り出すための操作方法及び装置に関するものである
。

【０００２】

【従来の技術】周知の通り、半導体製造に際してはウエ
ハへ塵が付着することを防止しなければならない。その
ため従来のキャリヤボックスにおいては、内部にクリー
ンエア又は不活性ガスを封入していた。

【０００３】これに対して、近年、内部を真空状態にす
る（所謂「真空引き」をする）ことが出来るキャリヤボ
ックスが開発された。このタイプの新しいキャリヤボッ
クスによれば、ウエハをキャリヤボックスへ収容して搬
送する場合に所謂「真空引き」が行われ、内部が真空状
態になるのである。

【０００４】一方、クリーンルーム等においてウエハを
キャリヤボックスから取り出す際には、キャリヤボック
ス内部が真空状態であれば内外圧の差によりキャリヤボ
ックスが閉鎖したままとなってしまうので、キャリヤボ
ックス内部を大気圧と連通させる必要がある。換言すれ
ば、所謂「真空破壊」をする必要がある。

【０００５】そのため、従来のキャリヤボックスには内
部を真空源及び／又は大気と連通するためのバルブが取
り付けられていた。

【０００６】しかし、従来のキャリヤボックスにおいて
はバルブを必要不可欠としていたが、バルブは重量があ
るためキャリヤボックス自体が重くなってしまう、とい
う問題がある。

【０００７】また、キャリヤボックスに内容物（ウエハ
）を収容する際には前記バルブを真空源に接続し、搬送
する際には該バルブを真空源から切り離す必要がある。 そのため、実際の使用にあたってバルブの接続、切り離
し作業を行わなければならず、非常に煩雑である。

【０００８】そこで、本出願人は、キャリヤボックス本
体にバルブを有する必要が無く且つキャリヤボックス内
の真空引き及び真空破壊を行える様なキャリヤボックス
内容物の収容取出方法及び装置を、特願平２−３１２８
２５号で提案した。

【０００９】上記装置は、図２に示されているように構
成され、また図３にブロックで示すような制御装置を備
えている。この装置の作用について、図４、５を参照し
て説明する。

【００１０】先ず、図示しないエアカーテンを貫通して
、キャリヤボックス１２を収容取出装置１０の受入口部
１４に嵌装する（ステップＳ１）。この嵌装が完了した
か否かは、図３に示す嵌装検出センサ７２により検出さ
れる。

【００１１】嵌装が正確に行われたならば（ステップＳ
１がＹｅｓ）、モータ６２を駆動してアーム３４を第１
の扉２０に接触せしめ、ＤＣ電源５０から電磁石４８、
４８へ電流を流して第１の扉２０をアーム３４に吸着せ
しめる（ステップＳ２）。そして、バルブ切換手段７６
によりバルブ４４を真空源側へ接続し（ステップＳ３）
、接続室４０が所定の真空圧となるまで所謂真空引きを
行う（ステップＳ４）。ステップＳ４において、接続室
４０が所定の真空圧となったか否かは、接続室圧力セン
サ７４（図３）により計測すれば良い。

【００１２】なお、ステップＳ２をステップＳ４の後に
実施することも可能である。

【００１３】接続室４０が所定の真空圧となれば（ステ
ップＳ４がＹｅｓ）、キャリヤボックス１２の内部と接
続室４０との間には圧力差が無くなり、第１の扉２０は
開放可能となる。その状態で再びモータ６２を駆動して
、アーム３４を矢印Ｍ１方向に移動或いは後退し、そし
て矢印Ｄ方向へ移動或いは下降せしめ（ステップＳ５）
、下部室３６内に収容する。ここで第１の扉２０はアー
ム３４と吸着しているので、第１の扉２０も下部室３６
内に収容されることになる。

【００１４】この段階では、接続室４０及びキャリヤボ
ックス１２の内部が共に真空状態となっており、第２の
扉３８の外側（クリーンルームＣ内）との間に圧力差が
存在している。そのため、第２の扉３８の開放が困難で
ある。従って、該圧力差を無くするため、バルブ切換手
段７６（図３）によりバルブ４４をクリーンな大気圧側
へ接続し（ステップＳ６）、接続室４０が所定の圧力（
大気圧）となるまで真空破壊を行う（ステップＳ７）。 ステップＳ７において、接続室４０が所定の圧力となっ
たか否かも、接続室圧力センサ７４（図３）により計測
する。

【００１５】圧力差が無くなったならば、第２の扉開閉
手段７８により第２の扉３８を開放し（ステップＳ８）
、その開口を介して図示しない手段によりウエハの取出
し或いは収容を行う（ステップＳ９）。

【００１６】キャリヤボックス１２を収容取出装置１０
の受入口部１４から嵌装解除する態様については、図２
及び図５のフローチャートを参照して、説明する。

【００１７】ウエハの取出し或いは収容が完了したなら
ば（ステップＳ１０がＹｅｓ）、第２の扉開閉手段７８
（図３）により第２の扉３８を閉鎖する（ステップＳ１
１）。ここで、ウエハの取出し或いは収容が完了したキ
ャリヤボックス１２内に汚染物質が混入することを防止
するため、該キャリヤボックスを真空引きする必要があ
る。従って、バルブ切換手段７６（図３）によりバルブ
４４を真空源側へ接続し（ステップＳ１２）、接続室４
０及びキャリヤボックス１２の内部が所定の真空圧とな
るまで真空引きを行う（ステップＳ１３）。ステップＳ
１３において、所定の真空圧となったか否かは接続室圧
力センサ７４により計測する。

【００１８】次にモータ６２を駆動して、下部室３６内
に収容されている第１の扉２０及びアーム３４を矢印Ｕ
方向に移動或いは上昇する。そして第１の扉２０がキャ
リヤボックス１２の本体部１８の縁部２２に接触するま
で、第１の扉２０及びアーム３４を矢印Ｍ２方向へ移動
或いは前進せしめる（ステップＳ１４）。

【００１９】この段階でシール２６により接続室４０と
キャリヤボックス１２内部とは気密状態で隔離されてい
る。そしてバルブ４４を大気側へ切り換え（ステップＳ
１５）、接続室４０を大気圧にすれば（ステップＳ１６
がＹｅｓの状態）、差圧により第１の扉２０は閉鎖状態
となる。

【００２０】次にＤＣ電源から電磁石４８、４８への電
流供給を停止して、第１の扉２０とアーム３４とを離隔
せしめ、モータ６２を駆動してアーム３４を矢印Ｍ１方
向へ後退せしめる（ステップＳ１７）。この状態で、キ
ャリヤボックス１２と収容取出装置１０の受入口部１４
との間には機構的な接続関係は存在しないので、キャリ
ヤボックス１２の嵌装状態を解除する（ステップＳ１８
）。

【００２１】キャリヤボックス１２内を真空引きせずに
、Ｎ２　等の不活性ガスで充填する場合には、上記のス
テップＳ１２、Ｓ１３、Ｓ１５、Ｓ１６が不必要である
。その代わりに、図示しない止具により、第１の扉２０
をキャリヤボックス１２の縁部２２に当接した状態で保
持しておく必要がある。

【００２２】本出願人によって提案されたキャリヤボッ
クス内容物の収容取出方法は、キャリヤボックス自体に
バルブを設ける必要がないので、キャリヤボックスの軽
量化が達成され、真空引き操作が容易であり、ウエハ等
の内容物の収容、取出し作業の労力が軽減される、等の
効果が得られる。

【００２３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の方法或
いは装置にも改良すべき点が見出される。すなわちキャ
リヤボックス１２は筒状になった部分に嵌装部Ｓとなっ
て接続室４０に装着されるが、嵌装部或いは装着部のゴ
ミ等のパーティクルは、真空引きによる除去が困難であ
る。

【００２４】例えば図２に示されているように、接続管
４２を真空源に接続して接続室４０内の空気を排気する
と、接続室４０内の汚染粒子は略々除去される。しかし
、嵌装部Ｓ近傍の汚染粒子Ｍは、その質量による慣性力
で鎖線で示すように飛行して接続管４２に吸引されるこ
となく、落下することがある。しかもこの様な汚染物質
は嵌装部Ｓの隙間に堆積する傾向があり、除去が一層困
難になっている。

【００２５】これに対して隙間寸法を小さくすれば汚染
物質の堆積は減少するが、キャリヤボックス１２を接続
室４０へ嵌装するのが難しくなってしまう。また、嵌装
或いはその解除に際して、摩擦摺動により汚染物質が多
量に生じてしまうという問題も存在する。

【００２６】本発明は上記した従来技術の問題点に鑑み
て提案されたものであり、前述したようなキャリヤボッ
クスを接続室に嵌装する部分に存在する汚染粒子を確実
に除去して、接続室は勿論のこと嵌装部も完全にクリー
ンにすることのできるキャリヤボックスの操作方法及び
操作装置を提供することを目的としている。

【００２７】

【課題を解決するための手段】本発明のキャリヤボック
スの操作方法は、開閉自在な第１の扉を有するキャリヤ
ボックスを、同様に開閉自在な第２の扉を有する接続室
の嵌装部に気密的に嵌装し、これらの扉を開閉してウエ
ハ等の内容物をキャリヤボックスから前記接続室を介し
てクリーンルームへ出し入れするキャリヤボックスの操
作方法において、前記キャリヤボックスを接続室に嵌装
する工程と、前記キャリヤボックスの接続室に位置する
部分に付着している汚染粒子を除去すると共に前記キャ
リヤボックスの内圧と同圧にするために前記接続室に真
空引きする工程とを含み、前記真空引きする工程に際し
て接続室内の空気を主として前記嵌装部近傍から排気し
ている。

【００２８】ここで、本発明のキャリヤボックスの操作
方法では、前記真空引きする工程に際して、接続室内の
空気を主として前記嵌装部近傍から排気すると共に、前
記嵌装部からも排気しても良い。

【００２９】また、本発明のキャリヤボックスの操作方
法では、前記真空引きする工程に際して、前記接続室内
に不活性ガスを供給し汚染粒子を流動させて排気するこ
とも出来る。

【００３０】本発明のキャリヤボックスの操作装置は、
内容物を出し入れするための開閉自在な第１の扉を有し
且つ該第１の扉が設けられている部分が嵌装部となって
いるキャリヤボックスと、開閉自在な第２の扉を介して
クリーンルームと連通し且つ前記キャリヤボックスの嵌
装部が外部から着脱自在に装着される様に構成された接
続室とを含み、前記接続室には、前記キャリヤボックス
の接続室に位置する部分に付着している汚染粒子を除去
し且つその内圧を前記キャリヤボックスの内圧と同圧に
するための真空吸引口が設けられ、該吸引口は前記キャ
リヤボックスの嵌装部近傍に配置されている。

【００３１】ここで、本発明のキャリヤボックスの操作
装置においては、前記接続室には、前記キャリヤボック
スの接続室に位置する部分に付着している汚染粒子を除
去し且つその内圧を前記キャリヤボックスの内圧と同圧
にするための第１の真空吸引口が設けられ、該吸引口は
前記キャリヤボックスの嵌装部近傍に配置されていると
共に、前記嵌装部には第２の真空吸引口が設けても良い
。

【００３２】また、本発明のキャリヤボックスの操作装
置においては、前記接続室には、前記キャリヤボックス
の接続室に位置する部分に付着している汚染粒子を除去
し且つその内圧を前記キャリヤボックスの内圧と同圧に
するための第１の真空吸引口が設けられ、該吸引口は前
記キャリヤボックスの嵌装部近傍に配置されていると共
に、前記嵌装部には第２の真空吸引口が設けられており
、前記接続室には不活性ガス供給口を設けても良い。

【００３３】

【作用】上記した様な構成を有する本発明によれば、キ
ャリヤボックスを接続室の嵌装部に装着して、接続室内
の空気を汚染粒子と共に第１の真空吸引口から吸引する
に際して、該第１の真空吸引口は嵌装部近傍に設けられ
ているので、嵌装部近傍の粒子を略々完全に吸引除去す
ることが出来る。

【００３４】また、嵌装部に第２の真空吸引口を設けれ
ば、接続室を真空引きするに際しては該第２の真空吸引
口からも排気が行われ、嵌装部の汚染粒子を第２の真空
吸引口から直接吸引除去することが出来る。そして接続
室に大気を導入する際に第１の真空吸引口或いは第２の
真空吸引口のいずれかを使用すれば真空破壊が行われる
。これにより、キャリヤボックスを接続室から外すこと
が出来る。

【００３５】さらに、不活性ガス供給口を設ければ、接
続室を真空にする時、すなわち接続室内圧をキャリヤボ
ックス内圧と同圧にする時に、不活性ガスを供給するこ
とが出来る。これにより不活性ガスが接続室内で流動し
、汚染粒子が浮遊する。浮遊した汚染粒子は、第１の真
空吸引口或いは第２の真空吸引口から空気と共に外部へ
排出される。汚染粒子の除去が終了したら、残留した不
活性ガスを排出し、接続室とキャリヤボックスの圧力差
を第１の扉を開くことのできる差圧にする。その後、第
１の扉を開く。以下前述したような手順でキャリヤボッ
クスから内容物を取出し或いは収容する。

【００３６】

【実施例】以下、図１を参照して、本発明の実施例につ
いて説明する。図示の実施例によるキャリヤボックス１
２、接続室４０等の概略は、図２に示されている装置と
略同じである。

【００３７】図１において、全体を符号１０で示す収容
取出装置には、全体を符号１２で示すキャリヤボックス
が嵌装されており、この収容取出装置１０はクリーンル
ーム壁部ＣＷに設けられている。図示されていないが、
装置１０の受入口部１４（キャリヤボックス１２が嵌装
されている空間）はエアカーテンで覆われており、塵等
の汚染物質の侵入を遮断している。

【００３８】キャリヤボックス１２は、取手１６を有す
る本体部１８と、蓋として機能する扉（第１の扉）２０
とを含み、本体部１８の収容取出装置１０側は、接続室
４０に装着するための嵌装部１００となっている。すな
わち嵌装部は本体部６より縮径された部分で構成され、
段部２４が形成されている。そして、縁部２２及び段部
２４にはそれぞれシール部材２６、２８が設けられてい
る。なお、シール部材２６は第１の扉２０のキャリヤボ
ックス本体部１８側（図１中右側）の面に設けても良く
、シール部材２８は収容取出装置１０の縁部３０（段部
２４に対向する縁部）に設けても良い。

【００３９】収容取出装置１０は、装置本体３２と、ア
ーム３４と、第１図においてアーム３４の下方にある下
部室３６と、蓋として機能する扉（第２の扉）３８と、
装置本体３２の内部空間である接続室４０とから概略構
成されている。

【００４０】接続室４０内の空気を構成するための第１
の真空吸引管１０１は、嵌装部１００に近接して設けら
れ、その開口は上述の第１の真空吸引口を構成している
。嵌装部１００の先端或いは縁部２２近傍には、更に第
２の真空吸引管１０２が設けられ、該吸引管１０２の開
口は上述の第２の真空吸引口を構成している。そしてこ
れらの吸引管１０１、１０２は、それぞれバルブ１０３
、１０４を介して真空源或いはクリーンな大気圧側へ選
択的に接続されるようになっている。また接続室４０に
は、不活性ガス例えば窒素ガスの供給口１０５が開口し
ている。

【００４１】アーム３４にはシール部材４６が設けられ
ていると共に、電磁石４８、４８が埋設されている。そ
して、この電磁石４８、４８はＤＣ電源５０から電流を
供給されている。

【００４２】アーム３４下方の下部室３６は、例えばダ
イヤフラムの様な可撓性部材５２及び底板５４から構成
されている。ここで、可撓性部材５２は交換可能な態様
にて装置本体３２に固定されている。また、底板５４に
はアーム３４が溶接（符号５６）により固定されている
。

【００４３】底板５４は伝達部材５８、伝達ロッド６０
を介して、アーム駆動手段である駆動用モータ６２に接
続されている。伝達部材５８及び伝達ロッド６０は、駆
動用モータ６２の回転を変換しつつアーム３４へ伝達す
るためのものである。その構造は周知技術をそのまま転
用できるので、図示及び説明を省略する。

【００４４】装置本体３２と第２の扉３８との境界部分
にはシール部材６４が設けられており、さらに第２の扉
３８を開閉するための図示しない機構が設けられている
。

【００４５】前述の装置は、手動的でも操作できるが自
動運転も可能である。自動運転にするときは制御装置が
必要であるが、それは図３に示されているように構成す
ることができる。例えばキャリヤボックスが正しく嵌着
された否かを検出する嵌装検出センサと、接続室内の圧
力を検出するセンサの検出信号をＣＰＵに入力し、この
ＣＰＵからの信号に基づいて、扉２０、３８、アーム３
４、ＤＣ電源、各種のバルブ１０３、１０４を制御する
ように実施することができる。しかしこれらの制御法は
当業者には明らかであるので説明は省略する。

【００４６】次に上記実施例の作用を説明する。キャリ
ヤボックス１２を接続室４０に嵌装する。嵌装しても、
キャリヤボックスの第１の扉２０の外表面及び嵌装部１
００の表面は汚染されているし、またキャリヤボックス
１２の内圧は通常は真空に近いので第１の扉は直ちに開
くことはできない。そこで、バルブ１０３を開にし、図
示しない適当な真空源に接続する。そうすると接続室４
０内の空気は第１の真空吸引口１０１から排気される。 このとき汚染粒子も同時に排出される。

【００４７】ところで、本実施例によると第１の真空吸
引口１０１が嵌装部１００近傍に設けられているので、
一番汚染粒子が堆積しやすい嵌装部１００が効果的に洗
浄される。また嵌装部１００には第２の真空吸引口１０
２が設けられているので、バルブ１０４を開にして、こ
の吸引口１０２からも排気すると、嵌装部１００近傍に
存在する汚染粒子は更に除去されて、洗浄がより完全に
行われる。

【００４８】上述のようにして、第１の真空吸引口１０
１と第２の真空吸引口１０２から同様に或いはいずれか
一方から排気しても、接続室４０及びキャリヤボックス
の第１の扉の表面及び嵌装部１００をクリーンにすると
はできる。しかしながら汚染粒子を効率的に除去するた
めには、粒子を浮動させて吸引口１０１、１０２に送る
のか好適である。そのため、バルブ１０６を開いて不活
性ガスをガス供給口１０５から接続室４０の所要箇所へ
向けて噴射する。汚染粒子の除去が終ったらバルブ１０
６を閉め、接続室４０の内圧が所定圧になるまで排気す
る。

【００４９】接続室内はクリーンになり、また接続室の
内圧とキャリヤボックス１２の内圧は略等しくなってい
るので、キャリヤボックスの第１の扉２０を開くことが
できる。以下、図２〜５で説明した態様でウエハをキャ
リヤボックスから取り出し、或いはキャリアボックスへ
収容する。

【００５０】キャリヤボックス１２は次の手順によって
接続室４０から外す。まず、接続室４０の第２の扉３８
を閉めて、接続室とキャリヤボックス１２の圧部を真空
にする。このときは第１の真空吸引口１０１と第２の真
空吸引口１０２とから排気するようにすると、排気時間
を短縮できる。所定圧に減圧したら、第１の扉２０を前
述と逆の手順によって閉じ、キャリヤボックス１２内を
密閉する。接続室は減圧されているので、このままでは
キャリヤボックスは取出すことができない。そこで接続
室４０に大気或いはクリーンな空気、窒素ガス等を適宜
供給して、大気圧とする。そしてキャリヤボックスを外
す。

【００５１】以上のように本実施例によると第１の真空
吸引口と、第２の真空吸引口と、更に不活性ガス供給口
とが設けられているので、これらを適宜組合せて使用し
、より短時間に、よりクリーンにしてキャリヤボックス
内にウエハを収容すること或いはキャリヤボックスから
取出すことができる。

【００５２】本発明は、図示の実施例に限らず種々の変
形態様で実施できる。例えば第１の真空吸引口はキャリ
ヤボックスの嵌装部近傍に１個設けるだけでも、所期の
目的を達成することができる。またその位置も任意で接
続室の下方に設けることもできる。接続室を真空にする
時間が長くなっても、格別に支障がないときは、キャリ
ヤボックスの嵌装部に第２の真空吸引口を設けるだけで
、目的は達成することもできる。このように実施すると
きは、排気速度が遅く汚染粒子が充分に流動しないこと
もあるので、不活性ガスを供給して流動することが望ま
しい。

【００５３】さらには、本発明は第１の真空吸引口、第
２の真空吸引口及び不活性ガス供給口を適宜組合せて実
施することもできる。しかしながら、図面の実施例では
、これらの吸引口或いは供給口全てが設けられた例のみ
が示されているなお、本明細書においては主として半導
体製造に際して使用された場合について説明されている
が、本発明はそれに限定されるものではなく、種々の分
野において適用可能である旨を付記する。

【００５４】

【発明の効果】本発明の効果を以下に列挙する。

【００５５】（１）　　キャリヤボックスを接続室に嵌
装して真空引きするとき、嵌装部近傍から排気するので
、汚染粒子が溜り易い嵌装部を清浄化できる。

【００５６】（２）　　接続室を真空にするとき嵌装部
第２の真空吸引口を設ければ、そこからも排気するので
、嵌装部近傍の汚染粒子はより完全に除去される。

【００５７】（３）　　接続室の汚染粒子を除去するに
当り不活性ガスを供給し、粒子を積極的に流動させて除
去することが可能である。その結果、沈着或いは沈降し
がちな粒子も完全に浮遊排出することができる。

【００５８】（４）　　汚染粒子がより効果的に除去さ
れるので、半導体製造設備における製品の歩留りが向上
する。

【００５９】（５）　　キャリヤボックスにはバルブな
どの付属品を必要としないので、キャリヤボックスの軽
量化が達成できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の１実施例を示す正面断面図。

【図２】本発明の先行技術の例を示す断面図。

【図３】図２に示す装置の制御ブロック図。

【図４】図２に示す装置の作動を示すフローチャート図
。

【図５】図２に示す装置の他の作動を示すフローチャー
ト図。

【符号の説明】

１２・・・キャリヤボックス ２０・・・第１の扉 ３８・・・第２の扉 ４０・・・接続室 １００・・・嵌装部 １０１・・・第１の真空吸引口 １０２・・・第２の真空吸引口 １０５・・・不活性ガス

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　開閉自在な第１の扉を有するキャリヤ
   ボックスを、同様に開閉自在な第２の扉を有する接続室
   の嵌装部に気密的に嵌装し、これらの扉を開閉してウエ
   ハ等の内容物をキャリヤボックスから前記接続室を介し
   てクリーンルームへ出し入れするキャリヤボックスの操
   作方法において、前記キャリヤボックスを接続室に嵌装
   する工程と、前記キャリヤボックスの接続室に位置する
   部分に付着している汚染粒子を除去すると共に前記キャ
   リヤボックスの内圧と同圧にするために前記接続室に真
   空引きする工程とを含み、前記真空引きする工程に際し
   て接続室内の空気を主として前記嵌装部近傍から排気す
   ることを特徴とするキャリヤボックスの操作方法。
2. 【請求項２】　　開閉自在な第１の扉を有するキャリヤ
   ボックスを、同様に開閉自在な第２の扉を有する接続室
   の嵌装部に気密的に嵌装し、これらの扉を開閉してウエ
   ハ等の内容物をキャリヤボックスから前記接続室を介し
   てクリーンルームへ出し入れするキャリヤボックスの操
   作方法において、前記キャリヤボックスを接続室に嵌装
   する工程と、前記キャリヤボックスの接続室に位置する
   部分に付着している汚染粒子を除去すると共に前記キャ
   リヤボックスの内圧と同圧にするために前記接続室に真
   空引きする工程とを含み、前記真空引きする工程に際し
   て、接続室内の空気を主として前記嵌装部近傍から排気
   すると共に、前記嵌装部からも排気することを特徴とす
   るキャリヤボックスの操作方法。
3. 【請求項３】　　開閉自在な第１の扉を有するキャリヤ
   ボックスを、同様に開閉自在な第２の扉を有する接続室
   の嵌装部に気密的に嵌装し、これらの扉を開閉してウエ
   ハ等の内容物をキャリヤボックスから前記接続室を介し
   てクリーンルームへ出し入れするキャリヤボックスの操
   作方法において、前記キャリヤボックスを接続室に嵌装
   する工程と、前記キャリヤボックスの接続室に位置する
   部分に付着している汚染粒子を除去すると共に前記キャ
   リヤボックスの内圧と同圧にするために前記接続室に真
   空引きする工程とを含み、前記真空引きする工程に際し
   て、前記接続室内に不活性ガスを供給し汚染粒子を流動
   させて排気することを特徴とするキャリヤボックスの操
   作方法。
4. 【請求項４】　　内容物を出し入れするための開閉自在
   な第１の扉を有し且つ該第１の扉が設けられている部分
   が嵌装部となっているキャリヤボックスと、開閉自在な
   第２の扉を介してクリーンルームと連通し且つ前記キャ
   リヤボックスの嵌装部が外部から着脱自在に装着される
   様に構成された接続室とを含み、前記接続室には、前記
   キャリヤボックスの接続室に位置する部分に付着してい
   る汚染粒子を除去し且つその内圧を前記キャリヤボック
   スの内圧と同圧にするための真空吸引口が設けられ、該
   吸引口は前記キャリヤボックスの嵌装部近傍に配置され
   ていることを特徴とするキャリヤボックスの操作装置。
5. 【請求項５】　　内容物を出し入れするための開閉自在
   な第１の扉を有し且つ該第１の扉が設けられている部分
   が嵌装部となっているキャリヤボックスと、開閉自在な
   第２の扉を介してクリーンルームと連通し且つ前記キャ
   リヤボックスの嵌装部が外部から着脱自在に装着される
   様に構成された接続室とを含み、前記接続室には、前記
   キャリヤボックスの接続室に位置する部分に付着してい
   る汚染粒子を除去し且つその内圧を前記キャリヤボック
   スの内圧と同圧にするための第１の真空吸引口が設けら
   れ、該吸引口は前記キャリヤボックスの嵌装部近傍に配
   置されていると共に、前記嵌装部には第２の真空吸引口
   が設けられていることを特徴とするキャリヤボックスの
   操作装置。
6. 【請求項６】　　内容物を出し入れするための開閉自在
   な第１の扉を有し且つ該第１の扉が設けられている部分
   が嵌装部となっているキャリヤボックスと、開閉自在な
   第２の扉を介してクリーンルームと連通し且つ前記キャ
   リヤボックスの嵌装部が外部から着脱自在に装着される
   様に構成された接続室とを含み、前記接続室には、前記
   キャリヤボックスの接続室に位置する部分に付着してい
   る汚染粒子を除去し且つその内圧を前記キャリヤボック
   スの内圧と同圧にするための第１の真空吸引口が設けら
   れ、該吸引口は前記キャリヤボックスの嵌装部近傍に配
   置されていると共に、前記嵌装部には第２の真空吸引口
   が設けられており、前記接続室には不活性ガス供給口が
   設けられていることを特徴とするキャリヤボックスの操
   作装置。