JPH0430956A - 超音波振動研磨装置 - Google Patents
超音波振動研磨装置Info
- Publication number
- JPH0430956A JPH0430956A JP13601890A JP13601890A JPH0430956A JP H0430956 A JPH0430956 A JP H0430956A JP 13601890 A JP13601890 A JP 13601890A JP 13601890 A JP13601890 A JP 13601890A JP H0430956 A JPH0430956 A JP H0430956A
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- Japan
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- vibration
- polishing
- amplifying
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- mean
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Links
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- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 13
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
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- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、超音波振動によって被研磨部材の研磨を行
う超音波振動研磨装置に関するものである。
う超音波振動研磨装置に関するものである。
種々の形状を有する被加工物に対し、所定の切削・研磨
を行うことができろ装置や工具等が各41F開発され使
用されている。
を行うことができろ装置や工具等が各41F開発され使
用されている。
例えば、小径で奥の深い穴の内面を加工させるた約の手
段として、第5図に示すような超音波振動研磨装置が知
られている。即ち、この超音波振動研磨装置は、圧電素
子等を用い超音波振動を発生ずる起振手段100と、こ
の起振手段+00による超音波振動が伝達されて長平方
向に振動する棒体101と、この棒体101の先端部に
固着した砥石等の研磨体102とを備えており、基端部
側の把持体103を手で把持し、研磨体102を振動さ
せながら被加工物の内面を研磨させるようになっている
。
段として、第5図に示すような超音波振動研磨装置が知
られている。即ち、この超音波振動研磨装置は、圧電素
子等を用い超音波振動を発生ずる起振手段100と、こ
の起振手段+00による超音波振動が伝達されて長平方
向に振動する棒体101と、この棒体101の先端部に
固着した砥石等の研磨体102とを備えており、基端部
側の把持体103を手で把持し、研磨体102を振動さ
せながら被加工物の内面を研磨させるようになっている
。
ところで、このような構成の超音波振動研磨装置にあっ
ては、棒体の長手方向に沿って研磨体を振動させ穴内面
等に対しその中心線方向に研磨させているので、例えば
角穴でなく丸穴の場合、その内周面全体を研磨するのは
面倒である。つまり、これは、毎回特定中心角度に相当
する部分を何回かに分けて研磨する等の作業が必要よな
るからである。また、このように穴の中心線方向への研
磨を行う構成のものは、角穴の内面のような平面に対し
ては比較的精度の良い研磨が行えるが、丸穴の内周面の
精密研摩等には、極めて不適当である。
ては、棒体の長手方向に沿って研磨体を振動させ穴内面
等に対しその中心線方向に研磨させているので、例えば
角穴でなく丸穴の場合、その内周面全体を研磨するのは
面倒である。つまり、これは、毎回特定中心角度に相当
する部分を何回かに分けて研磨する等の作業が必要よな
るからである。また、このように穴の中心線方向への研
磨を行う構成のものは、角穴の内面のような平面に対し
ては比較的精度の良い研磨が行えるが、丸穴の内周面の
精密研摩等には、極めて不適当である。
そこで、この発明は、上記した従来の欠点に鑑み、丸穴
内周面の研磨、特に小径で奥の深い内周面の精密研磨加
工に好適な超音波振動研磨装置を提供することを目的と
するものである。
内周面の研磨、特に小径で奥の深い内周面の精密研磨加
工に好適な超音波振動研磨装置を提供することを目的と
するものである。
即ち、この発明は、超音波振動によって被研磨部材の研
磨を行う超音波振動研磨装置であって、所定周波数の交
番電流を通電することにより、円周方向に超音波振動を
おこず起振手段と、一端が起振手段に固着されていると
共に、他端が先端側に向けて窄まる形状を有し、前記起
振手段からの超音波振動を増幅する増幅体と、この増幅
体の振動節部分を固着すると共に、内方に前記起振手段
を収容したフランジと、前記増幅体の先端部に固着した
棒体の振動腹の部位に設けた研磨手段とを備えたもので
ある。
磨を行う超音波振動研磨装置であって、所定周波数の交
番電流を通電することにより、円周方向に超音波振動を
おこず起振手段と、一端が起振手段に固着されていると
共に、他端が先端側に向けて窄まる形状を有し、前記起
振手段からの超音波振動を増幅する増幅体と、この増幅
体の振動節部分を固着すると共に、内方に前記起振手段
を収容したフランジと、前記増幅体の先端部に固着した
棒体の振動腹の部位に設けた研磨手段とを備えたもので
ある。
この発明の超音波振動研磨装置は、起振手段によって円
周方向に超音波振動を発生させ、この超音波振動を増幅
体で増幅させたのち棒体先端部の研磨手段に伝達させて
その研磨手段を振動させ、これによって穴内周面の特に
奥部等でも簡単に、かつ高精度に研磨加工を行うことが
できる。
周方向に超音波振動を発生させ、この超音波振動を増幅
体で増幅させたのち棒体先端部の研磨手段に伝達させて
その研磨手段を振動させ、これによって穴内周面の特に
奥部等でも簡単に、かつ高精度に研磨加工を行うことが
できる。
しかも、この発明の超音波振動研磨装置は、研磨手段が
丁度棒体の振動腹に対応する最大変位(振幅)部分に設
けられており、効率的に研磨加工を行うことができる。
丁度棒体の振動腹に対応する最大変位(振幅)部分に設
けられており、効率的に研磨加工を行うことができる。
以下この発明の一実施例について添付図面を参照しなが
ら説明する。
ら説明する。
第1図はこの発明に係る超音波振動研磨装置を示すもの
であり、この超音波振動研磨装置は、フランジlと、起
振手段2と、増幅体3と、棒体4と、研磨手段5とから
構成されている。
であり、この超音波振動研磨装置は、フランジlと、起
振手段2と、増幅体3と、棒体4と、研磨手段5とから
構成されている。
フランジ1は、−刃側端面が開口した円筒状のものから
構成されており、操作時に作業者が把持するための把持
部を構成している。
構成されており、操作時に作業者が把持するための把持
部を構成している。
起振手段2は、高精度の研磨加工を行わせると共に、作
業時に作業者等周囲の者が騒音で煩わされることがない
ようにするため、超音波と同等の領域の振動数(n)で
起振するものであり、この実施例では電磁気力により超
音波振動を行うようになっている。即ち、この実施例の
起振手段2は、第2図に示すように、略円筒形状を有す
るフェライト等の磁性体に銅線等を巻装して形成したコ
イルから構成されており、このコイルに超音波域と同等
の周波数f (−n)の高周波交番電流を流すように
ブニっている。
業時に作業者等周囲の者が騒音で煩わされることがない
ようにするため、超音波と同等の領域の振動数(n)で
起振するものであり、この実施例では電磁気力により超
音波振動を行うようになっている。即ち、この実施例の
起振手段2は、第2図に示すように、略円筒形状を有す
るフェライト等の磁性体に銅線等を巻装して形成したコ
イルから構成されており、このコイルに超音波域と同等
の周波数f (−n)の高周波交番電流を流すように
ブニっている。
増幅体3は、起振手段2で発生した高周波振動(n)を
増幅させて棒体4の先端部に伝達させるものであり、先
端面に向けて窄まった形状を有しており、基端面が起振
手段2に固着されている。
増幅させて棒体4の先端部に伝達させるものであり、先
端面に向けて窄まった形状を有しており、基端面が起振
手段2に固着されている。
また、この増幅体3は、振動節部分Δでフランジ1に固
着されており、この増幅体3を介してフランジ1内方に
起振手段2が収納されるようになっている。
着されており、この増幅体3を介してフランジ1内方に
起振手段2が収納されるようになっている。
棒体4は、所定長さ寸法を有する振動を伝達しやすい材
質のもので形成されており、より詳細には先端部分Bが
振動腹となるように増幅体3の振動節Aから所定長βの
寸法に形成されている。即ち、この実施例の棒体4は、
第3図に示すようにA−Bまでの長さ!が1/4波長(
λ)に相当するものであり、その長さβは、次式によっ
て決定される。
質のもので形成されており、より詳細には先端部分Bが
振動腹となるように増幅体3の振動節Aから所定長βの
寸法に形成されている。即ち、この実施例の棒体4は、
第3図に示すようにA−Bまでの長さ!が1/4波長(
λ)に相当するものであり、その長さβは、次式によっ
て決定される。
f=v/(4n)
「但し、■は超音波の移動速度 ]
−nは起振手段2の振動数」
研磨手段5は、研磨性の大きな砥石等のような材料のも
のを用いて、第4図に示すように被加工物6の穴7内周
面7aに対して高精度の研磨加工を行うことができるよ
うに一面側に所定曲率の曲面5aを形成した略円柱状の
ものが使用されておリ、棒体4先端部の振動腹の部位B
に固着されている。
のを用いて、第4図に示すように被加工物6の穴7内周
面7aに対して高精度の研磨加工を行うことができるよ
うに一面側に所定曲率の曲面5aを形成した略円柱状の
ものが使用されておリ、棒体4先端部の振動腹の部位B
に固着されている。
以上説明してきたように、この発明に係る超音波振動研
磨装置によれば、起振手段によって円周方向に超音波振
動を発生させ、この振動を増幅体で増幅させたのち棒体
先端部に設けた研磨手段を円周方向に高周波振動させる
ようになっているので、特に小径内奥部の内周面の研磨
加工が簡単に、かつ高精度に行える等の効果が得られる
。
磨装置によれば、起振手段によって円周方向に超音波振
動を発生させ、この振動を増幅体で増幅させたのち棒体
先端部に設けた研磨手段を円周方向に高周波振動させる
ようになっているので、特に小径内奥部の内周面の研磨
加工が簡単に、かつ高精度に行える等の効果が得られる
。
しかも、この発明に係る超音波振動研磨装置によれば、
研磨手段が棒状先端部の最大変位(振幅)部分に設けら
れており、極狛て効率的に研磨加工を行うことができる
。
研磨手段が棒状先端部の最大変位(振幅)部分に設けら
れており、極狛て効率的に研磨加工を行うことができる
。
第1図はこの発明に係る超音波振動研磨装置を示す構成
図、第2図はこの発明に係る起振手段等を示す要部斜視
図、第3図はこの発明に係る超音波振動研磨装置におけ
る各部の振動状態を示す説明図、第4図はこの発明に係
る超音波振動研磨装置の作用を示す概略断面図、第5図
は従来の振動研磨装置を示す平面図である。 6・・・被研磨部材、 2・・・起振手段、 3・・・増幅体、 1・・・フランジ、 4・・・棒体、 5・・・研磨手段。
図、第2図はこの発明に係る起振手段等を示す要部斜視
図、第3図はこの発明に係る超音波振動研磨装置におけ
る各部の振動状態を示す説明図、第4図はこの発明に係
る超音波振動研磨装置の作用を示す概略断面図、第5図
は従来の振動研磨装置を示す平面図である。 6・・・被研磨部材、 2・・・起振手段、 3・・・増幅体、 1・・・フランジ、 4・・・棒体、 5・・・研磨手段。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、超音波振動によって被研磨部材の研磨を行う超音波
振動研磨装置であって、 所定周波数の交番電流を通電することにより、円周方向
に超音波振動をおこす起振手段と、一端が起振手段に固
着されていると共に、他端が先端側に向けて窄まる形状
を有し、前記起振手段からの超音波振動を増幅する増幅
体と、 この増幅体の振動節部分を固着すると共に、内方に前記
起振手段を収容したフランジと、 前記増幅体の先端部に固着した棒体の振動腹の部位に設
けた研磨手段と を備えたことを特徴とする超音波振動研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13601890A JPH0430956A (ja) | 1990-05-25 | 1990-05-25 | 超音波振動研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13601890A JPH0430956A (ja) | 1990-05-25 | 1990-05-25 | 超音波振動研磨装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0430956A true JPH0430956A (ja) | 1992-02-03 |
Family
ID=15165263
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13601890A Pending JPH0430956A (ja) | 1990-05-25 | 1990-05-25 | 超音波振動研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0430956A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5456192B1 (ja) * | 2013-02-26 | 2014-03-26 | 三菱重工業株式会社 | タービン翼の加工方法、加工工具及びタービン翼 |
| US9833741B2 (en) | 2015-08-24 | 2017-12-05 | Doosan Heavy Industries & Constructions Co., Ltd. | Submerged membrane filtration system using reciprocating membrane |
-
1990
- 1990-05-25 JP JP13601890A patent/JPH0430956A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5456192B1 (ja) * | 2013-02-26 | 2014-03-26 | 三菱重工業株式会社 | タービン翼の加工方法、加工工具及びタービン翼 |
| WO2014132797A1 (ja) * | 2013-02-26 | 2014-09-04 | 三菱重工業株式会社 | タービン翼の加工方法、加工工具及びタービン翼 |
| CN104968916A (zh) * | 2013-02-26 | 2015-10-07 | 三菱日立电力系统株式会社 | 涡轮叶片的加工方法、加工工具以及涡轮叶片 |
| US9903208B2 (en) | 2013-02-26 | 2018-02-27 | Mitsubishi Hitachi Power Systems, Ltd. | Turbine blade machining method, machining tool, and turbine blade |
| US9833741B2 (en) | 2015-08-24 | 2017-12-05 | Doosan Heavy Industries & Constructions Co., Ltd. | Submerged membrane filtration system using reciprocating membrane |
| US10232316B2 (en) | 2015-08-24 | 2019-03-19 | DOOSAN Heavy Industries Construction Co., LTD | Submerged membrane filtration system using reciprocating membrane |
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