JPH04310013A - 高電圧パルス発生装置 - Google Patents
高電圧パルス発生装置Info
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- JPH04310013A JPH04310013A JP16199391A JP16199391A JPH04310013A JP H04310013 A JPH04310013 A JP H04310013A JP 16199391 A JP16199391 A JP 16199391A JP 16199391 A JP16199391 A JP 16199391A JP H04310013 A JPH04310013 A JP H04310013A
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- JP
- Japan
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- capacitor circuit
- capacitor
- conductor
- circuit
- voltage conductor
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- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims abstract description 52
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 31
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 claims description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000003985 ceramic capacitor Substances 0.000 description 2
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Manipulation Of Pulses (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はパルス成形ネットワーク
を使用した高電圧パルス発生装置に関する。
を使用した高電圧パルス発生装置に関する。
【0002】
【従来の技術】高電圧パルスを発生するのにパルス成形
ネットワークを使用したものは、既によく知られている
。すなわち図5に示すように、複数のコンデンサCを充
電電源(直流電源またはパルス巾の広いパルスを発生す
るパルス電源)Vに対して、インダクタLを介して多段
に接続して構成される。そして充電スイッチS1をオン
にして各コンデンサCを充電し、その充電後、出力スイ
ッチS2をオンとすることによって、負荷Zに高電圧パ
ルスを供給する。
ネットワークを使用したものは、既によく知られている
。すなわち図5に示すように、複数のコンデンサCを充
電電源(直流電源またはパルス巾の広いパルスを発生す
るパルス電源)Vに対して、インダクタLを介して多段
に接続して構成される。そして充電スイッチS1をオン
にして各コンデンサCを充電し、その充電後、出力スイ
ッチS2をオンとすることによって、負荷Zに高電圧パ
ルスを供給する。
【0003】このような高電圧パルス発生装置において
、数10〜数100nsの短い巾の出力パルスを得るた
めのパルス成形ネットワークでは、コンデンサとして低
インダクタンスコンデンサ、たとえばセラミックコンデ
ンサを使用し、またインダクタとしてコンデンサ間を接
続する導体を使用することが考えられている。
、数10〜数100nsの短い巾の出力パルスを得るた
めのパルス成形ネットワークでは、コンデンサとして低
インダクタンスコンデンサ、たとえばセラミックコンデ
ンサを使用し、またインダクタとしてコンデンサ間を接
続する導体を使用することが考えられている。
【0004】このような構成を示したのが図4である。
図において1はセラミックコンデンサのようなコンデン
サで、このコンデンサ1によってコンデンサ回路2を構
成する。図1ではコンデンサ1をその電極端子が互いに
接触し合うように多段に積み重ねるようにして直列に接
続して構成してある。各コンデンサ回路2は充電電源V
に対して多段に接続されてある。図の例は各段のコンデ
ンサ回路2は、2回路のコンデンサの直列回路によって
構成されてある。
サで、このコンデンサ1によってコンデンサ回路2を構
成する。図1ではコンデンサ1をその電極端子が互いに
接触し合うように多段に積み重ねるようにして直列に接
続して構成してある。各コンデンサ回路2は充電電源V
に対して多段に接続されてある。図の例は各段のコンデ
ンサ回路2は、2回路のコンデンサの直列回路によって
構成されてある。
【0005】そして各コンデンサ回路2の高圧側の端部
は、高圧導体3にスタッド4に固定されるようにして接
続されてある。またその低圧側の端部は低圧導体5にボ
ルト6によって接続されてある。各段のコンデンサ回路
2間に必要なインダクタンスは、高圧導体3のインダク
タンスが利用されている。
は、高圧導体3にスタッド4に固定されるようにして接
続されてある。またその低圧側の端部は低圧導体5にボ
ルト6によって接続されてある。各段のコンデンサ回路
2間に必要なインダクタンスは、高圧導体3のインダク
タンスが利用されている。
【0006】ところでこのようなパルス成形ネットワー
クによる出力パルスの波形は、そのインダクタL、コン
デンサCにより決まる特性インピーダンス、伝搬時間及
び負荷インピーダンスにより決定される。しかし図4に
示すような構成では、インダクタとして高圧導体3を使
用しているので、インダクタンスは固定であるため、出
力パルスの波形を調整することができない欠点がある。
クによる出力パルスの波形は、そのインダクタL、コン
デンサCにより決まる特性インピーダンス、伝搬時間及
び負荷インピーダンスにより決定される。しかし図4に
示すような構成では、インダクタとして高圧導体3を使
用しているので、インダクタンスは固定であるため、出
力パルスの波形を調整することができない欠点がある。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、狭いパルス
巾の高電圧パルスを発生するにあたり、その出力パルス
の波形の調整、制御を可能にすることを目的とする。
巾の高電圧パルスを発生するにあたり、その出力パルス
の波形の調整、制御を可能にすることを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は、低インダクタ
ンスコンデンサからなるコンデンサ回路を多段に接続し
てパルス成形ネットワークを構成し、コンデンサ回路の
高圧側の端部に高圧導体を、またコンデンサ回路の低圧
側の端部に低圧導体を接続するとともに、コンデンサ回
路の高圧導体及び低圧導体との接続個所を、コンデンサ
回路の段方向に摺動自在に固定してなることを特徴とす
る。
ンスコンデンサからなるコンデンサ回路を多段に接続し
てパルス成形ネットワークを構成し、コンデンサ回路の
高圧側の端部に高圧導体を、またコンデンサ回路の低圧
側の端部に低圧導体を接続するとともに、コンデンサ回
路の高圧導体及び低圧導体との接続個所を、コンデンサ
回路の段方向に摺動自在に固定してなることを特徴とす
る。
【0009】
【作用】コンデンサ回路の高低圧導体に対する接続個所
を移動させると、コンデンサ回路の段間の距離が変更さ
れる。この距離が変更されるとコンデンサ回路の間のイ
ンダクタンスが変更されるようになり、したがって出力
パルスの波形を調整することができるようになる。
を移動させると、コンデンサ回路の段間の距離が変更さ
れる。この距離が変更されるとコンデンサ回路の間のイ
ンダクタンスが変更されるようになり、したがって出力
パルスの波形を調整することができるようになる。
【0010】具体的には、出力パルスの波形を尻上がり
波形に、あるいは尻下がり波形にするなどの調整、制御
ができるようになる。また負荷にインダクタンス成分が
あるとき、尻下がり波形になりがちとなるが、そのよう
な場合、負荷側に近いほど、コンデンサ回路の段間距離
を長くしてインダクタンスを大きくすれば、フラットな
波形とすることができる。
波形に、あるいは尻下がり波形にするなどの調整、制御
ができるようになる。また負荷にインダクタンス成分が
あるとき、尻下がり波形になりがちとなるが、そのよう
な場合、負荷側に近いほど、コンデンサ回路の段間距離
を長くしてインダクタンスを大きくすれば、フラットな
波形とすることができる。
【0011】
【実施例】本発明の実施例を図1によって説明する。本
発明にしたがいコンデンサ回路2の高圧導体3及び低圧
導体5との接続個所を、コンデンサ回路2の段方向に摺
動自在に構成する。
発明にしたがいコンデンサ回路2の高圧導体3及び低圧
導体5との接続個所を、コンデンサ回路2の段方向に摺
動自在に構成する。
【0012】その具体例を説明すると、高圧導体3に、
コンデンサ回路2の段方向に沿って摺動溝7を形成し、
この摺動溝7に摺動体8を挿入する。摺動体8はコンデ
ンサ回路2の高圧側の端子に固定されてある。また低圧
導体5に、コンデンサ回路2の段方向に沿って長孔9を
形成する。この長孔9には、コンデンサ回路2の低圧側
の端子に取り付けてあるボルト10が摺動自在に挿通さ
れてある。そしてその任意の摺動位置で、ナット11を
ボルト10に締め付けることによって、低圧導体5に固
定される。
コンデンサ回路2の段方向に沿って摺動溝7を形成し、
この摺動溝7に摺動体8を挿入する。摺動体8はコンデ
ンサ回路2の高圧側の端子に固定されてある。また低圧
導体5に、コンデンサ回路2の段方向に沿って長孔9を
形成する。この長孔9には、コンデンサ回路2の低圧側
の端子に取り付けてあるボルト10が摺動自在に挿通さ
れてある。そしてその任意の摺動位置で、ナット11を
ボルト10に締め付けることによって、低圧導体5に固
定される。
【0013】コンデンサ回路2間の距離を変更させるに
は、ナット11を緩めておいて、コンデンサ回路2をそ
の段方向に摺動させればよい。この移動にともなって、
摺動体8は摺動溝7内を、またボルト10は長孔9内を
摺動する。
は、ナット11を緩めておいて、コンデンサ回路2をそ
の段方向に摺動させればよい。この移動にともなって、
摺動体8は摺動溝7内を、またボルト10は長孔9内を
摺動する。
【0014】そしてその任意の摺動位置において、ナッ
ト11を締め付ければ、コンデンサ回路2は高圧導体3
に対して引き上げられ、摺動体8は摺動溝7に係合して
固定されるし、また低圧導体5に対しても、ボルト10
、ナット11により固定される。
ト11を締め付ければ、コンデンサ回路2は高圧導体3
に対して引き上げられ、摺動体8は摺動溝7に係合して
固定されるし、また低圧導体5に対しても、ボルト10
、ナット11により固定される。
【0015】なおコンデンサ回路2の摺動構成として、
図の構成に代えて、板バネのようなバネを利用して各導
体3,5に摺動自在に接触させるようにしてもよい。ま
た図のようにひとつのコンデンサ回路2を、複数のコン
デンサの回路の並列接続によって構成すると、コンデン
サ回路2は低インダクタンスとなって都合がよい。更に
図の例では、コンデンサの回路を積み上げて構成してい
るが、これを放射状に配列してコンデンサ回路2を構成
してもよい。
図の構成に代えて、板バネのようなバネを利用して各導
体3,5に摺動自在に接触させるようにしてもよい。ま
た図のようにひとつのコンデンサ回路2を、複数のコン
デンサの回路の並列接続によって構成すると、コンデン
サ回路2は低インダクタンスとなって都合がよい。更に
図の例では、コンデンサの回路を積み上げて構成してい
るが、これを放射状に配列してコンデンサ回路2を構成
してもよい。
【0016】
【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、パ
ルス成形ネットワークを構成するインダクタンスを可変
とすることができ、したがって出力パルスの波形の調整
、制御が可能となるといった効果を奏する。
ルス成形ネットワークを構成するインダクタンスを可変
とすることができ、したがって出力パルスの波形の調整
、制御が可能となるといった効果を奏する。
【図1】本発明の実施例を示す回路図である。
【図2】図1の一部の平面図である。
【図3】図1の側面図である。
【図4】従来例の回路図である。
【図5】パルス成形ネットワークの回路図である。
1 コンデンサ
2 コンデンサ回路
3 高圧導体
5 低圧導体
7 摺動溝
8 摺動体
9 長孔
10 ボルト
11 ナット
V 充電電源
Z 負荷
Claims (1)
- 【請求項1】 低インダクタンスコンデンサからなる
コンデンサ回路を多段に接続してパルス成形ネットワー
クを構成し、前記コンデンサ回路の高圧側の端部に高圧
導体を、また前記コンデンサ回路の低圧側の端部に低圧
導体を接続するとともに、前記コンデンサ回路の前記高
圧導体及び低圧導体との接続個所を、前記コンデンサ回
路の段方向に摺動自在に固定してなる高電圧パルス発生
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3161993A JP2819865B2 (ja) | 1991-04-08 | 1991-04-08 | 高電圧パルス発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3161993A JP2819865B2 (ja) | 1991-04-08 | 1991-04-08 | 高電圧パルス発生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04310013A true JPH04310013A (ja) | 1992-11-02 |
| JP2819865B2 JP2819865B2 (ja) | 1998-11-05 |
Family
ID=15745998
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3161993A Expired - Fee Related JP2819865B2 (ja) | 1991-04-08 | 1991-04-08 | 高電圧パルス発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2819865B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1867014A4 (en) * | 2005-03-31 | 2011-04-06 | Cymer Inc | PARAMETERS CONTROL OF THE GAS DISCHARGE LASER OUTPUT LIGHT BEAM |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62277782A (ja) * | 1986-05-26 | 1987-12-02 | Nec Corp | パルスガスレ−ザ装置 |
| JPH03185913A (ja) * | 1989-12-14 | 1991-08-13 | Toshiba Corp | パルス電源装置 |
-
1991
- 1991-04-08 JP JP3161993A patent/JP2819865B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62277782A (ja) * | 1986-05-26 | 1987-12-02 | Nec Corp | パルスガスレ−ザ装置 |
| JPH03185913A (ja) * | 1989-12-14 | 1991-08-13 | Toshiba Corp | パルス電源装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1867014A4 (en) * | 2005-03-31 | 2011-04-06 | Cymer Inc | PARAMETERS CONTROL OF THE GAS DISCHARGE LASER OUTPUT LIGHT BEAM |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2819865B2 (ja) | 1998-11-05 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |