JPH04310911A - リング照明装置 - Google Patents

リング照明装置

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JPH04310911A
JPH04310911A JP3077489A JP7748991A JPH04310911A JP H04310911 A JPH04310911 A JP H04310911A JP 3077489 A JP3077489 A JP 3077489A JP 7748991 A JP7748991 A JP 7748991A JP H04310911 A JPH04310911 A JP H04310911A
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JP
Japan
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ring
lens
ring illumination
light source
filter
Prior art date
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Pending
Application number
JP3077489A
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English (en)
Inventor
Hidehiko Furuhashi
古橋 英彦
Takeshi Fujino
健 藤野
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Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Publication date
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Publication of JPH04310911A publication Critical patent/JPH04310911A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、暗視野観察,位相差観
察に用いられる顕微鏡のリング照明装置に関する。
【0002】
【従来技術】顕微鏡の照明装置として以前からケーラー
照明法を用いた照明装置(以下、ケーラー照明装置と称
す)が広く一般的に用いられている。このケーラー照明
装置は、図7に示すように、集光レンズ2によって集光
された光源1からの光束は結像レンズ3によって結像さ
れ、コンデンサレンズ4の前側焦点面(反射照明は対物
レンズの後側焦点面)に配置された開口絞り5bの位置
に光源像6aが形成され、この結像した光束はコンデン
サレンズ4(反射照明は対物レンズ)によって平行な光
束にされて標本を照明するように構成されている。ここ
で、開口絞り5bは、不図示の対物レンズに応じて、対
物レンズの開口数を十分満たす直径の開口部を有してい
る。このようなケーラー照明装置において対物レンズの
開口数に応じた開口角で標本を照明するには、開口絞り
5bの位置で形成される光源像6aが開口絞り5bの開
口部を覆うだけの大きさが必要である。このため、集光
レンズ2と結像レンズ3とにより光源1の光源像を拡大
したり、あるいは、前記集光レンズ2と結像レンズ3と
の間に拡散板8aなどのフィルタを設けて光源像を無数
に分割,偏向したりして、開口絞り5dの開口部位置で
光源からの光束を結像させて、拡大光源像6bを形成し
ている。
【0003】このケーラー照明装置は暗視野観察や位相
差観察を行う時のリング照明にも用いられており、この
ようなリング照明装置としては、図8に示すように、前
記したケーラー照明装置(図7)のコンデンサレンズ4
の前側焦点面(反射照明は対物レンズの後側焦点面また
はそれと等価な位置)に、図2に示すような輪帯状の開
口部5aを有する輪帯開口絞り5を設けて構成され、輪
帯開口絞り5を通過した光束がコンデンサレンズ4で集
光されて標本9を照明する。尚、この輪帯開口絞り5の
輪帯開口部5aは、不図示の対物レンズの必要な開口数
に応じて予め設定された内径,外径を有している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上記のように照明され
るリング照明装置は、光束の大部分が輪帯開口絞り5に
よって遮られるため、光量のロスが激しく、標本が暗く
なることが避けられなかった。本発明は、上記のごとき
問題に鑑みてなされたものであり、光量をロスすること
なくリング照明することができるリング照明フィルタを
用いたリング照明装置を得ることを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】課題を解決するために請
求項1記載の発明では、光源(1)と、前記光源からの
光束を集光する第1レンズ(2)と、前記第1レンズか
らの光束を結像させ、光軸を中心とした所定平面(5a
)上に光源像を形成する第2レンズ(3)と、前記所定
平面上に結像した第2レンズからの光束を観察試料面に
向けて集光する第3レンズ(4)とを有するリング照明
装置において、前記第1レンズと前記第2レンズとの間
の光路中に断面形状が左右対称な斜面からなる山形を前
記光軸を中心とした渦巻き状あるいは同心円状に連続的
に配列した表面を有するリング照明フィルタ(8)を設
けたことを特徴とするリング照明装置。請求項2記載の
発明では、山形が所定曲率で形成された左右対称な曲斜
面からなるリング照明フィルタ(8c)を用いたリング
照明装置とした。請求項3記載の発明では、山形が斜面
または曲斜面の傾角が異なる複数の山形からなるリング
照明フィルタ(8b)を用いたリング照明装置とした。
【0006】
【作用】本発明によれば、リング照明フィルタに入射す
る光束はそこで分割,偏向された後、第2レンズ(3)
によって所定平面上にリング状に集光された無数の光源
像が形成され、第2レンズからの光束を第3レンズ(4
)で集光して標本を照明する。つまり、照明装置の光路
中に設けたリング照明フィルタにより、第2レンズ(3
)によって所定平面内に結像する光源像が傾角に応じた
半径で光軸を中心としたリング状に形成される。また、
フィルタの山形の斜面を任意の曲率をもつ曲面を傾斜さ
せて配置した左右対称な曲斜面から構成した場合、形成
されるリング状光源像の幅を曲率に応じて変えることが
できる。また、傾角が異なる斜面からなる複数の山形を
順次配置したリング照明フィルタを用いる照明装置にす
ると、傾角に応じて径の異なる複数のリング光源像を形
成することができる。
【0007】
【実施例】添付の図面を参照して、本発明の実施例であ
る顕微鏡の暗視野照明用リング照明装置を説明する。こ
のリング照明装置は、図1の光路図に示すように、まず
、光源1から放射された光束は集光レンズ2によって集
光されて略平行光束になり、リング照明フィルタ8に入
射する。このフィルタ8に入射した光束は、そこで光軸
に向かう方向と光軸から離れる方向とからなる同心円上
の二方向に偏向された後、結像レンズ3によって、リン
グ状の無数の微小光源像の集合からなるリング光源像6
がコンデンサレンズ4の前側焦点面である輪帯開口絞り
5の輪帯開口5aの位置に形成され、前記輪帯開口絞り
5の輪帯開口5aを通過した光束がコンデンサレンズ4
によって集光され、標本9を必要な開口角で照明する。 このよなリング照明フィルタ8は、図3に示すようにそ
の断面形状が一定傾角の左右対称な斜面からなる山形8
0を同心円状に複数配置して形成された表面を有し、傾
角θは、リング光源像6の径が輪帯開口絞り5の輪帯開
口5aの径に一致するように設定されている。また、リ
ング照明フィルタ8は、山形80を同心円状に形成する
かわりに渦巻き状に形成してもよい。また、輪帯開口5
aの径にく一致するように形成される前記リング照明フ
ィルタ8の傾角θは、数1に示す式によって表すことが
できる。尚、θは図3の(C)に示す傾角θ,fは結像
レンズ3の焦点距離,rはリング輪帯絞り5の中心から
輪帯開口部5aの輪帯中心円までの半径とし、リング照
明フィルタの屈折率をnとする。
【0008】
【数1】
【0009】以上のようなリング照明装置は、顕微鏡の
透過照明用のものである。また、図4に示すように、前
記コンデンサレンズ4を暗視野照明用集光レンズ10a
を有する対物レンズ10とし、さらに、前記結像レンズ
3からの光束を前記暗視野照明用集光レンズの後側焦点
面で光源像を結像するように中央部に孔を有する全反射
鏡(あるいは半透過鏡)からなる反射ミラー10を設け
て形成すれば、落射照明用のリング照明装置となる。
【0010】つぎに、前記リング照明フィルタ8の変形
例を幾つか説明する。図5に示したリング照明フィルタ
8bは、斜面の傾角が異なる2種類の山形80a,80
bを交互に配置して同心円または渦巻き状に形成したも
のである。この傾角の異なる山形は2種類に限定する必
要はなく、3種類以上の異なる傾角をもつ山形としても
よい。このリング照明フィルタ8bを図1のリング照明
装置に用いると、結像される光源像は、2つのリング状
に形成される。さらに、3つ以上の傾角から構成された
リング照明フィルタを用いると、傾角に応じた数のリン
グ状に形成される。この場合、例えば倍率の異なる複数
の位相差対物レンズのための照明をする場合、使用する
対物レンズに適合した複数の輪帯開口絞りを準備し、そ
れぞれの対物レンズに合った輪帯開口絞り5を通過した
光束のみを用いて標本を照明する。このようにすると、
コンデンサレンズの輪帯開口の径が変化しても、リング
照明フィルタを交換する必要がなくなる。図6に示した
リング照明フィルタ8cは、複数の同心円または渦巻き
状の山形の斜面を所定の曲率を有する曲面によって形成
している。このようにフィルタの曲斜面を曲面にするこ
とによって設計上自由度が増し、曲率,傾角によって、
リングの幅を変えたり、リングの径を変えたりすること
が容易になる。
【0011】
【発明の効果】本発明のリング照明装置によれば、同心
円状または渦巻き状のリング照明フィルタを用いて、位
相差観察や暗視野観察で用いる照明装置のコンデンサレ
ンズまたは対物レンズの暗視野照明用集光レンズに合わ
せてリング光源像を結像させるため、光源からの光束を
有効に集光することが可能になる。したがって、極めて
明るいリング照明を行うことができる。また、異なる傾
角をもつ複数(n個)の山形を用いた場合、異なる径の
複数(n個)のリングに光束が集光される。これを用い
ると、前記フィルタよりはそれぞれのリングに集光され
る光量は1/nと少なくなるが、位相差観察において対
物レンズを交換した場合など、複数のリング半径でリン
グ照明を行う場合にフィルタを交換する必要がなくなる
。したがって、位相差顕微鏡観察のように、ターレット
コンデンサーによって頻繁に径の違う複数のリング絞り
を切り換える場合に便利である。さらに、斜面を曲線で
形成すると、その曲線の曲率に応じて集光,拡散が可能
となり、リングの位置、リングの幅を変化させることが
容易となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例の顕微鏡用リング照明装置の光
路図である。
【図2】輪帯開口絞りの一例を示す断面図である。
【図3】リング照明フィルタを示す断面,正面,拡大断
面図である。
【図4】反射照明用リング照明装置の光路図である。
【図5】リング照明フィルタの第1の変形例を示す断面
,拡大断面図である。
【図6】リング照明フィルタの第2の変形例を示す断面
,拡大断面図である。
【図7】従来のケーラー照明装置説明用の光路図である
【図8】従来の暗視野照明装置説明用の光路図である。
【符号の説明】
1…光源 2…集光レンズ 3…結像レンズ 4…コンデンサレンズ 5…輪帯開口絞り 5a…輪帯開口絞り5の輪帯開口部 6…リング状光源像 7…視野絞り 8…リング照明フィルタ 9…標本

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】光源と、前記光源からの光束を集光する第
    1レンズと、前記第1レンズからの光束を結像させ、光
    軸を中心とした所定平面上に光源像を形成する第2レン
    ズと、前記所定平面上に結像した第2レンズからの光束
    を観察試料面に向けて集光する第3レンズとを有するリ
    ング照明装置において、前記第1レンズと前記第2レン
    ズとの間の光路中に、断面形状が左右対称な斜面からな
    る山形を前記光軸を中心とした渦巻き状あるいは同心円
    状に連続的に配列した表面を有するリング照明フィルタ
    を設けたことを特徴とするリング照明装置。
  2. 【請求項2】前記リング照明フィルタの山形は、所定曲
    率で形成された左右対称な曲斜面からなることを特徴と
    する請求項1記載のリング照明装置。
  3. 【請求項3】前記リング照明フィルタの山形は、斜面ま
    たは曲斜面の傾角が異なる複数の山形からなることを特
    徴とする請求項1または2記載のリング照明装置。
JP3077489A 1991-04-10 1991-04-10 リング照明装置 Pending JPH04310911A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5966295A (en) * 1994-12-27 1999-10-12 Autonics Corporation Convertible flush or exposure type terminal board of control device
KR20010045975A (ko) * 1999-11-09 2001-06-05 조성환 현미경의 화상조건 변화장치
JP2009115469A (ja) * 2007-11-02 2009-05-28 Nikon Corp 基板検査装置、およびマスク用基板の製造方法
JP2009237486A (ja) * 2008-03-28 2009-10-15 Kawasaki Heavy Ind Ltd ズーム位相差観察装置および位相差観察用照明装置

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