JPH04312953A - 半導体ウエハ移替え装置 - Google Patents
半導体ウエハ移替え装置Info
- Publication number
- JPH04312953A JPH04312953A JP3051963A JP5196391A JPH04312953A JP H04312953 A JPH04312953 A JP H04312953A JP 3051963 A JP3051963 A JP 3051963A JP 5196391 A JP5196391 A JP 5196391A JP H04312953 A JPH04312953 A JP H04312953A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- positioning
- section
- transfer
- groove
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体製造工程で用
いられる半導体ウエハ移替え装置に関するものである。
いられる半導体ウエハ移替え装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造工程において、半導体ウエハ
の移替えを自動的に行う移替え装置が従来から知られて
いる。この移替え装置は、通常、半導体ウエハをカセッ
トの溝中心に位置決めするウエハ位置決め部と、このウ
エハ位置決め部の上方に設けられ複数枚の半導体ウエハ
を挾持する爪を備えたウエハ移替え部とを備えており、
上記ウエハ移替え部の爪によって半導体ウエハを挾持し
、ウエハ位置決め部の上方まで移動した後上記爪を開く
ことで、半導体ウエハをウエハ位置決め部へ移替える。
の移替えを自動的に行う移替え装置が従来から知られて
いる。この移替え装置は、通常、半導体ウエハをカセッ
トの溝中心に位置決めするウエハ位置決め部と、このウ
エハ位置決め部の上方に設けられ複数枚の半導体ウエハ
を挾持する爪を備えたウエハ移替え部とを備えており、
上記ウエハ移替え部の爪によって半導体ウエハを挾持し
、ウエハ位置決め部の上方まで移動した後上記爪を開く
ことで、半導体ウエハをウエハ位置決め部へ移替える。
【０００３】ところで、上記のような半導体ウエハ移替
え装置においては、従来、例えば実開昭６０−１０１７
４６号公報や実開昭６３−１６２５３６号公報に記載さ
れているように、移替え時にセンサによって半導体ウエ
ハの位置検出が行われ、それにより、半導体ウエハがウ
エハ位置決め部の溝に確実に入れられたかどうかが確認
される。
え装置においては、従来、例えば実開昭６０−１０１７
４６号公報や実開昭６３−１６２５３６号公報に記載さ
れているように、移替え時にセンサによって半導体ウエ
ハの位置検出が行われ、それにより、半導体ウエハがウ
エハ位置決め部の溝に確実に入れられたかどうかが確認
される。
【０００４】図３は上記従来の移替え装置を示すもので
ある。図において、（１）はウエハ、（２）はこのウエ
ハ（１）を収納するためのカセットをそれぞれ示してお
り、ウエハ（１）は、ウエハ位置決め部（３）に載置さ
れてカセット（２）の溝中心に位置決めされる。上記ウ
エハ位置決め部（３）の上方所定位置には、移替え時に
ウエハ（１）の有無を検出するウエハ有無検出センサ（
４）が設けられている。また、ウエハ位置決め部（３）
の上方には、ウエハ（１）の移替えを行うため、水平方
向および上下方向に移動可能なウエハ移替え部（５）が
配置されている。このウエハ移替え部（５）は、複数枚
のウエハ（１）を挾持するよう支軸の周りに回動可能な
第１の爪（６）および第２の爪（７）を備えている。ま
た、上記ウエハ位置決め部（３）の上方であって、該位
置決め部（３）上にウエハ（１）が正しく載置された状
態でのウエハ（１）の両肩部のやや上方位置には、ウエ
ハ（１）がウエハ位置決め部（３）に確実に移替えられ
たかどうかを確認するための位置ずれ検出センサ（８）
が設けられている。
ある。図において、（１）はウエハ、（２）はこのウエ
ハ（１）を収納するためのカセットをそれぞれ示してお
り、ウエハ（１）は、ウエハ位置決め部（３）に載置さ
れてカセット（２）の溝中心に位置決めされる。上記ウ
エハ位置決め部（３）の上方所定位置には、移替え時に
ウエハ（１）の有無を検出するウエハ有無検出センサ（
４）が設けられている。また、ウエハ位置決め部（３）
の上方には、ウエハ（１）の移替えを行うため、水平方
向および上下方向に移動可能なウエハ移替え部（５）が
配置されている。このウエハ移替え部（５）は、複数枚
のウエハ（１）を挾持するよう支軸の周りに回動可能な
第１の爪（６）および第２の爪（７）を備えている。ま
た、上記ウエハ位置決め部（３）の上方であって、該位
置決め部（３）上にウエハ（１）が正しく載置された状
態でのウエハ（１）の両肩部のやや上方位置には、ウエ
ハ（１）がウエハ位置決め部（３）に確実に移替えられ
たかどうかを確認するための位置ずれ検出センサ（８）
が設けられている。
【０００５】このように構成された半導体ウエハ移替え
装置においては、ウエハ移替え部（５）が、その第１の
爪（６）および第２の爪（７）によって図示しないボー
ド上からウエハ（１）を挾持し、ウエハ位置決め部（３
）の上方まで移動した後下降して爪（６），（７）を開
くことで、ウエハ（１）がウエハ位置決め部（３）に移
替えられる。そして、ウエハ位置決め部（３）上に移替
えられたウエハ（１）は、ウエハ位置決め部（３）が下
降することによりカセット（２）の溝と接触することな
く該カセット（２）内に収納される。ここで、移替え時
におけるウエハ（１）の有無はウエハ有無検出センサ（
４）により検出され、また、その位置ずれは位置ずれ検
出センサ（８）により検出される。
装置においては、ウエハ移替え部（５）が、その第１の
爪（６）および第２の爪（７）によって図示しないボー
ド上からウエハ（１）を挾持し、ウエハ位置決め部（３
）の上方まで移動した後下降して爪（６），（７）を開
くことで、ウエハ（１）がウエハ位置決め部（３）に移
替えられる。そして、ウエハ位置決め部（３）上に移替
えられたウエハ（１）は、ウエハ位置決め部（３）が下
降することによりカセット（２）の溝と接触することな
く該カセット（２）内に収納される。ここで、移替え時
におけるウエハ（１）の有無はウエハ有無検出センサ（
４）により検出され、また、その位置ずれは位置ずれ検
出センサ（８）により検出される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記のように、従来の
ウエハ移替え装置では、ウエハの位置ずれ検出は、ウエ
ハがウエハ位置決め部の溝に入れられたかどうかの検出
のみにより行っているため、位置決めミスによりウエハ
にたおれが生じ、隣接するウエハ同士が接触した場合の
検出が行えないという問題があった。
ウエハ移替え装置では、ウエハの位置ずれ検出は、ウエ
ハがウエハ位置決め部の溝に入れられたかどうかの検出
のみにより行っているため、位置決めミスによりウエハ
にたおれが生じ、隣接するウエハ同士が接触した場合の
検出が行えないという問題があった。
【０００７】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたものであって、ウエハがウエハ位置決め
部の溝に入れられたかどうかだけでなく、位置決めミス
によりウエハにたおれが生じた場合のウエハ同士の接触
をも検出することができ、それにより移替え時のウエハ
の破損を確実に防止することのできる半導体ウエハ移替
え装置を得ることを目的とする。
ためになされたものであって、ウエハがウエハ位置決め
部の溝に入れられたかどうかだけでなく、位置決めミス
によりウエハにたおれが生じた場合のウエハ同士の接触
をも検出することができ、それにより移替え時のウエハ
の破損を確実に防止することのできる半導体ウエハ移替
え装置を得ることを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この発明に係る半導体ウ
エハ移替え装置は、ウエハ移替え部に、半導体ウエハを
ウエハ位置決め部に位置決めする際の該半導体ウエハの
たおれを検出する位置ずれ検出センサを設けたものであ
る。
エハ移替え装置は、ウエハ移替え部に、半導体ウエハを
ウエハ位置決め部に位置決めする際の該半導体ウエハの
たおれを検出する位置ずれ検出センサを設けたものであ
る。
【０００９】
【作用】この発明においては、ウエハ移替え部に半導体
ウエハのたおれを検出する位置ずれ検出センサが設けら
れていることによって、ウエハ位置決め部の溝に入りき
れなかったウエハは勿論のこと、傾いたウエハも検出さ
れ、それにより、移替え時におけるウエハの破損が確実
に防がれる。
ウエハのたおれを検出する位置ずれ検出センサが設けら
れていることによって、ウエハ位置決め部の溝に入りき
れなかったウエハは勿論のこと、傾いたウエハも検出さ
れ、それにより、移替え時におけるウエハの破損が確実
に防がれる。
【００１０】
【実施例】以下、この発明の実施例を図面に基づいて説
明する。
明する。
【００１１】図１はこの発明による半導体ウエハ移替え
装置の一実施例を示す正面図、図２は同装置の斜視図で
ある。この実施例において、ウエハ位置決め部（３），
ウエハ移替え部（５）等からなる装置の構成は図３に示
す従来装置と基本的に異なるところがない。したがって
、図３の装置と共通する構成および動作については図に
同一符号を付すに留めて説明を省略し、以下、この実施
例に特有な点を中心に説明する。
装置の一実施例を示す正面図、図２は同装置の斜視図で
ある。この実施例において、ウエハ位置決め部（３），
ウエハ移替え部（５）等からなる装置の構成は図３に示
す従来装置と基本的に異なるところがない。したがって
、図３の装置と共通する構成および動作については図に
同一符号を付すに留めて説明を省略し、以下、この実施
例に特有な点を中心に説明する。
【００１２】この実施例においては、位置ずれ検出セン
サ（９）が、ウエハ位置決め部（３）上にウエハ（１）
が正しく載置された状態で、各ウエハ（１）間をウエハ
（１）と平行に、かつウエハ（１）の直径方向に斜めに
横切る複数本の光軸（１０）を有するものとされ、それ
により、ウエハ位置決め部（３）上に移替えられた各ウ
エハ（１）のたおれを検出するようにしている。
サ（９）が、ウエハ位置決め部（３）上にウエハ（１）
が正しく載置された状態で、各ウエハ（１）間をウエハ
（１）と平行に、かつウエハ（１）の直径方向に斜めに
横切る複数本の光軸（１０）を有するものとされ、それ
により、ウエハ位置決め部（３）上に移替えられた各ウ
エハ（１）のたおれを検出するようにしている。
【００１３】この実施例によれば、ウエハ移替え部（５
）の第１の爪（６）および第２の爪（７）に挾持されて
ウエハ位置決め部（３）に移替えられたウエハ（１）が
、該ウエハ移替え部（３）の溝に確実に入りきれなかっ
た場合や、あるいは、溝に入ったとしても傾いてしまっ
た場合に、その異常ウエハが位置ずれ検出センサ（９）
の光軸（１０）を遮り、それにより、移替え異常および
位置決め異常が検出されることとなる。そして、このよ
うな異常時には移替え動作の続行を中止することで、ウ
エハの移替えを常に安全確実に行うことができる。
）の第１の爪（６）および第２の爪（７）に挾持されて
ウエハ位置決め部（３）に移替えられたウエハ（１）が
、該ウエハ移替え部（３）の溝に確実に入りきれなかっ
た場合や、あるいは、溝に入ったとしても傾いてしまっ
た場合に、その異常ウエハが位置ずれ検出センサ（９）
の光軸（１０）を遮り、それにより、移替え異常および
位置決め異常が検出されることとなる。そして、このよ
うな異常時には移替え動作の続行を中止することで、ウ
エハの移替えを常に安全確実に行うことができる。
【００１４】
【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、ウエハ
移替え部に半導体ウエハのたおれを検出する位置ずれ検
出センサを設けるよう構成したので、位置決めミスによ
ってウエハ位置決め部の溝に入りきれなかったウエハは
勿論のこと、傾いたウエハも検出することができ、それ
によって、移替え時におけるトラブルが防止でき、ウエ
ハ保護と装置稼働率の向上が実現できる。
移替え部に半導体ウエハのたおれを検出する位置ずれ検
出センサを設けるよう構成したので、位置決めミスによ
ってウエハ位置決め部の溝に入りきれなかったウエハは
勿論のこと、傾いたウエハも検出することができ、それ
によって、移替え時におけるトラブルが防止でき、ウエ
ハ保護と装置稼働率の向上が実現できる。
【図１】この発明による半導体ウエハ移替え装置の一実
施例を示す正面図
施例を示す正面図
【図２】同装置の斜視図
【図３】従来の半導体ウエハ移替え装置を示す正面図
１ ウエハ
２ カセット
３ ウエハ位置決め部
５ ウエハ移替え部
９ 位置ずれ検出センサ
Claims (1)
- 【請求項１】 半導体ウエハを載置してカセットの溝
中心に位置決めするウエハ位置決め部と、前記ウエハ位
置決め部の上方に設けられ前記半導体ウエハを該ウエハ
位置決め部上の所定位置に移替えるウエハ移替え部を備
えた半導体ウエハ移替え装置において、前記ウエハ移替
え部に、前記半導体ウエハを前記ウエハ位置決め部に位
置決めする際の該半導体ウエハのたおれを検出する位置
ずれ検出センサを設けたことを特徴とする半導体ウエハ
移替え装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3051963A JPH04312953A (ja) | 1991-03-18 | 1991-03-18 | 半導体ウエハ移替え装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3051963A JPH04312953A (ja) | 1991-03-18 | 1991-03-18 | 半導体ウエハ移替え装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04312953A true JPH04312953A (ja) | 1992-11-04 |
Family
ID=12901522
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3051963A Pending JPH04312953A (ja) | 1991-03-18 | 1991-03-18 | 半導体ウエハ移替え装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04312953A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100265757B1 (ko) * | 1997-05-09 | 2000-09-15 | 윤종용 | 반도체 제조장비의 웨이퍼 오탑재 방지센서 |
-
1991
- 1991-03-18 JP JP3051963A patent/JPH04312953A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100265757B1 (ko) * | 1997-05-09 | 2000-09-15 | 윤종용 | 반도체 제조장비의 웨이퍼 오탑재 방지센서 |
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