JPH04315761A - 重水素放電ランプ - Google Patents
重水素放電ランプInfo
- Publication number
- JPH04315761A JPH04315761A JP3082225A JP8222591A JPH04315761A JP H04315761 A JPH04315761 A JP H04315761A JP 3082225 A JP3082225 A JP 3082225A JP 8222591 A JP8222591 A JP 8222591A JP H04315761 A JPH04315761 A JP H04315761A
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- JP
- Japan
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- cathode
- deuterium
- discharge
- discharge lamp
- lamp
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、分光光度計や液体クロ
マトグラフなどの科学計測機等で紫外線光源として用い
られる重水素放電ランプに関する。
マトグラフなどの科学計測機等で紫外線光源として用い
られる重水素放電ランプに関する。
【0002】
【従来の技術】従来、重水素放電ランプは、特公昭62
−9977号に記載のようになっていた。すなわち図5
(a)は、従来の重水素放電ランプの正面から見た一部
切欠き図である。図5(b)は(a)のA−A′断面図
である。紫外線透過窓5を有する放電容器6内に陰極5
1,陽極2および電極囲い4が設けられており、重水素
ガスが数Torr封入されている。電極囲い4は、陰極
51と陽極2をそれぞれ取り巻くような構造をしており
、陽極2の前面には放電を狭窄するため直径が約1mm
の小孔3が設けられている。小孔3と紫外線透過窓5と
の間の電極囲い4の一部分は光を取り出すことができる
ように開放されている。陰極51を囲んでいる隔壁にも
スリット7が設けられている。
−9977号に記載のようになっていた。すなわち図5
(a)は、従来の重水素放電ランプの正面から見た一部
切欠き図である。図5(b)は(a)のA−A′断面図
である。紫外線透過窓5を有する放電容器6内に陰極5
1,陽極2および電極囲い4が設けられており、重水素
ガスが数Torr封入されている。電極囲い4は、陰極
51と陽極2をそれぞれ取り巻くような構造をしており
、陽極2の前面には放電を狭窄するため直径が約1mm
の小孔3が設けられている。小孔3と紫外線透過窓5と
の間の電極囲い4の一部分は光を取り出すことができる
ように開放されている。陰極51を囲んでいる隔壁にも
スリット7が設けられている。
【0003】上記した各電極への電源の接続は、陽極2
はリード線10を通じて、陰極51はリード線11とリ
ード線12を通じて接続する。異常放電を防ぐためラン
プ内の陽極2へのリード線部分は絶縁性のスリーブ8に
よって覆われている。リード線14は電極囲い4を支持
するとともに、必要な場合には電気的に接続して電極囲
い4に電位を印加することもできるようになっている。 始動時、陰極51に(リード線11とリード線12との
間に)約10V印加して加熱し、陽極2に(リード線1
1とリード線10との間に)放電開始に必要な高電圧を
印加して始動させる。点灯時は陰極51の電圧を約4V
に落とし、放電電流は約300mAとする。この時、放
電は陰極51からスリット7,小孔3を経て、陽極2の
間で発生する。小孔3による狭窄放電によって発生した
紫外線は、紫外線透過窓5から取り出される。さて上記
陰極51はコイル状のフィラメントの上にBaO,Sr
O,CaO等の電子放射物質が塗布されている。
はリード線10を通じて、陰極51はリード線11とリ
ード線12を通じて接続する。異常放電を防ぐためラン
プ内の陽極2へのリード線部分は絶縁性のスリーブ8に
よって覆われている。リード線14は電極囲い4を支持
するとともに、必要な場合には電気的に接続して電極囲
い4に電位を印加することもできるようになっている。 始動時、陰極51に(リード線11とリード線12との
間に)約10V印加して加熱し、陽極2に(リード線1
1とリード線10との間に)放電開始に必要な高電圧を
印加して始動させる。点灯時は陰極51の電圧を約4V
に落とし、放電電流は約300mAとする。この時、放
電は陰極51からスリット7,小孔3を経て、陽極2の
間で発生する。小孔3による狭窄放電によって発生した
紫外線は、紫外線透過窓5から取り出される。さて上記
陰極51はコイル状のフィラメントの上にBaO,Sr
O,CaO等の電子放射物質が塗布されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の重水素放電
ランプの陰極においては、点灯によって陰極輝点が生じ
て、この部分で局所的に温度が高くなっていて、熱電子
放出がさかんに起こっている。従ってほとんどの放電電
流がこの部分に集中している。陰極輝点では温度が高い
ためBaO等の電子放射物質が直接またはBa等に還元
された後蒸発したり、電流が集中しているためスパッタ
リングによって飛散したりしている。このため陰極輝点
付近の電子放射特性が劣化して、陰極輝点が隣接部に移
動していく現象がある。この場合重水素放電ランプの光
出力にドリフトが生じる。これは従来の重水素放電ラン
プの様にコイル状の陰極を用いている限り避けられない
欠点であった。またBaO等の電子放射物質の塗布して
ある表面積は陰極輝点の部分の表面積と比較して十分大
きく陰極輝点がランダムに移動したり、陰極輝点部分と
隣接部とで温度勾配が大きいためBaO等の電子放射物
質に亀裂が生じて、陰極輝点が突然移動することがある
。
ランプの陰極においては、点灯によって陰極輝点が生じ
て、この部分で局所的に温度が高くなっていて、熱電子
放出がさかんに起こっている。従ってほとんどの放電電
流がこの部分に集中している。陰極輝点では温度が高い
ためBaO等の電子放射物質が直接またはBa等に還元
された後蒸発したり、電流が集中しているためスパッタ
リングによって飛散したりしている。このため陰極輝点
付近の電子放射特性が劣化して、陰極輝点が隣接部に移
動していく現象がある。この場合重水素放電ランプの光
出力にドリフトが生じる。これは従来の重水素放電ラン
プの様にコイル状の陰極を用いている限り避けられない
欠点であった。またBaO等の電子放射物質の塗布して
ある表面積は陰極輝点の部分の表面積と比較して十分大
きく陰極輝点がランダムに移動したり、陰極輝点部分と
隣接部とで温度勾配が大きいためBaO等の電子放射物
質に亀裂が生じて、陰極輝点が突然移動することがある
。
【0005】この様に陰極輝点が移動すると重水素放電
ランプの光出力にランダムな、またはステップ階段的な
ゆらぎが発生する。計測器、特に物質の吸収量を測定す
る計測器の光源として用いる場合にはランプのゆらぎが
計測器の検出限界を決めており、ゆらぎが小さいほど検
出限界は向上する。この様なランプのゆらぎはとくに点
灯時間とともに大きくなって計測器の光源として用いる
ことが出来なくなり、ランプの寿命となる。このように
重水素放電ランプの信頼性は陰極の劣化により決まって
いた。
ランプの光出力にランダムな、またはステップ階段的な
ゆらぎが発生する。計測器、特に物質の吸収量を測定す
る計測器の光源として用いる場合にはランプのゆらぎが
計測器の検出限界を決めており、ゆらぎが小さいほど検
出限界は向上する。この様なランプのゆらぎはとくに点
灯時間とともに大きくなって計測器の光源として用いる
ことが出来なくなり、ランプの寿命となる。このように
重水素放電ランプの信頼性は陰極の劣化により決まって
いた。
【0006】また、前述したように従来の重水素放電ラ
ンプにおいては、陰極51と陽極2との間の陽光柱部分
で放電路を小孔3で狭窄し、この部分からの紫外線発光
を用いていた。陰極近傍に生じる負グローからも紫外線
が発光しているが、陰極輝点の移動と共に発光点も移動
するため用いることが出来ず無駄になっていた。このた
め、ランプの紫外線利用効率が悪かった。
ンプにおいては、陰極51と陽極2との間の陽光柱部分
で放電路を小孔3で狭窄し、この部分からの紫外線発光
を用いていた。陰極近傍に生じる負グローからも紫外線
が発光しているが、陰極輝点の移動と共に発光点も移動
するため用いることが出来ず無駄になっていた。このた
め、ランプの紫外線利用効率が悪かった。
【0007】本発明の目的は、信頼性が高く、長寿命で
、かつ高効率の重水素放電ランプを提供することである
。
、かつ高効率の重水素放電ランプを提供することである
。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記目的は、ホロー状の
陰極を具備することによって達成される。
陰極を具備することによって達成される。
【0009】
【作用】上記ホロー状の陰極を使用することによって、
陰極輝点がホローの中に固定されて移動しなくなり紫外
線出力にゆらぎがなくなる。また陰極輝点の移動がなく
なるので、陰極付近からの発光を用いることができる。
陰極輝点がホローの中に固定されて移動しなくなり紫外
線出力にゆらぎがなくなる。また陰極輝点の移動がなく
なるので、陰極付近からの発光を用いることができる。
【0010】
【実施例】図1(a)は、本発明の一実施例である重水
素放電ランプの側面から見た中心部の断面図である。紫
外線透過窓5を有する放電容器6内にホロー状陰極1,
陽極2および電極囲い4が設けられており、重水素ガス
が封入されている。電極囲い4は、陰極1と陽極2をそ
れぞれ取り巻くような構造をしており、陽極2と紫外線
透過窓5との間の隔壁には放電を狭窄するための小孔3
が設けられている。上記小孔3の直径は例えば1mmで
あり、重水素は数Torr封入してある。上記した各電
極への電源の接続は、陽極2はリード線10を通じて、
陰極1はリード線11とリード線12を通じて接続する
。異常放電を防ぐためランプ内の陽極2へのリード線部
分は絶縁性のスリーブ8によって覆われている。
素放電ランプの側面から見た中心部の断面図である。紫
外線透過窓5を有する放電容器6内にホロー状陰極1,
陽極2および電極囲い4が設けられており、重水素ガス
が封入されている。電極囲い4は、陰極1と陽極2をそ
れぞれ取り巻くような構造をしており、陽極2と紫外線
透過窓5との間の隔壁には放電を狭窄するための小孔3
が設けられている。上記小孔3の直径は例えば1mmで
あり、重水素は数Torr封入してある。上記した各電
極への電源の接続は、陽極2はリード線10を通じて、
陰極1はリード線11とリード線12を通じて接続する
。異常放電を防ぐためランプ内の陽極2へのリード線部
分は絶縁性のスリーブ8によって覆われている。
【0011】ホロー状陰極1の構造について図1(b)
を用いて詳しく説明する。図1(b)はホロー状陰極1
の断面図である。陰極1は片側が開放された筒状のアル
ミナなどで出来た絶縁体20の内面に沿ってフィラメン
ト21が巻かれ、フィラメント21と絶縁体20の間隙
にはBaOなどのオキサイド22が電子放射物質として
充填されている。筒状絶縁体20はリード線11と固定
バンド23によって固定されている。フィラメント21
はリード線11及び12を通じて電源に接続され、通電
加熱される。放電始動時には例えば10Vの電圧を印加
し、オキサイド22を十分加熱して熱電子の放出を容易
にし、放電始動を容易にする。定常時には放電による自
己加熱が生じるのでフィラメント電圧を約4Vに下げる
。放電電流は約300mAである。このようなホロー状
の構造をした陰極1では負グローが陰極1の内部に形成
される。この内径を例えば1〜5mm程度にすると負グ
ローは陰極1内の中心部に安定に形成される。放電は陰
極1から小孔3を経て、陽極2の間で発生する。小孔3
による狭窄放電によって発生した紫外線は、紫外線透過
窓5から取り出される。この紫外線は陰極点がホローの
中に固定されて揺らがず、したがって放電路が揺らがな
いため紫外線出力が非常に安定で、揺らぎが無い。この
ため信頼性が高く、長寿命の重水素放電ランプが実現で
きる。本実施例ではリード線10によって絶縁性スリー
ブ8を介して電極囲い4を支持する様に構成されている
が、必要な場合には他のリード線を設けて電気的に接続
し電極囲い4に電位を印加することもできる。
を用いて詳しく説明する。図1(b)はホロー状陰極1
の断面図である。陰極1は片側が開放された筒状のアル
ミナなどで出来た絶縁体20の内面に沿ってフィラメン
ト21が巻かれ、フィラメント21と絶縁体20の間隙
にはBaOなどのオキサイド22が電子放射物質として
充填されている。筒状絶縁体20はリード線11と固定
バンド23によって固定されている。フィラメント21
はリード線11及び12を通じて電源に接続され、通電
加熱される。放電始動時には例えば10Vの電圧を印加
し、オキサイド22を十分加熱して熱電子の放出を容易
にし、放電始動を容易にする。定常時には放電による自
己加熱が生じるのでフィラメント電圧を約4Vに下げる
。放電電流は約300mAである。このようなホロー状
の構造をした陰極1では負グローが陰極1の内部に形成
される。この内径を例えば1〜5mm程度にすると負グ
ローは陰極1内の中心部に安定に形成される。放電は陰
極1から小孔3を経て、陽極2の間で発生する。小孔3
による狭窄放電によって発生した紫外線は、紫外線透過
窓5から取り出される。この紫外線は陰極点がホローの
中に固定されて揺らがず、したがって放電路が揺らがな
いため紫外線出力が非常に安定で、揺らぎが無い。この
ため信頼性が高く、長寿命の重水素放電ランプが実現で
きる。本実施例ではリード線10によって絶縁性スリー
ブ8を介して電極囲い4を支持する様に構成されている
が、必要な場合には他のリード線を設けて電気的に接続
し電極囲い4に電位を印加することもできる。
【0012】本発明のホロー状陰極1の他の実施例を図
2に示す。ホロー状陰極1はタングステン,モリブデン
,タンタルなどの高融点金属の肉厚の薄いパイプ24が
、片方が開放され、他の片方がリード線11にかしめて
固定されている。開放端側でリード線12に接続されて
いる。パイプ24の内側にはオキサイド22がコイル2
5と共に塗布されている。コイル25はオキサイド22
が脱落しにくくするために用いられている。リード線1
1とリード線12の間に電圧を印加するとパイプ24は
抵抗体として働いて発熱し、オキサイド22が加熱され
る。点灯方法および紫外線出力の揺らぎが少なくなるこ
とは図1の実施例とまったく同様である。図2の実施例
の方がより組み立てやすいという特徴が有る。
2に示す。ホロー状陰極1はタングステン,モリブデン
,タンタルなどの高融点金属の肉厚の薄いパイプ24が
、片方が開放され、他の片方がリード線11にかしめて
固定されている。開放端側でリード線12に接続されて
いる。パイプ24の内側にはオキサイド22がコイル2
5と共に塗布されている。コイル25はオキサイド22
が脱落しにくくするために用いられている。リード線1
1とリード線12の間に電圧を印加するとパイプ24は
抵抗体として働いて発熱し、オキサイド22が加熱され
る。点灯方法および紫外線出力の揺らぎが少なくなるこ
とは図1の実施例とまったく同様である。図2の実施例
の方がより組み立てやすいという特徴が有る。
【0013】上述したように、定常点灯時には通常陰極
に印加する電圧を下げて用いるが、電圧を印加しないで
放電による自己加熱だけでも良い。これは陰極に電位勾
配をつけなくても陰極点が移動しないし、ホロー状陰極
であるため負グローからの発光によっても光電子放出が
生じ、効率良く電子が放出されるためである。また紫外
線出力の揺らぎが少なくなると同時に、長時間この状態
が保たれるため長寿命の重水素放電ランプが実現される
。
に印加する電圧を下げて用いるが、電圧を印加しないで
放電による自己加熱だけでも良い。これは陰極に電位勾
配をつけなくても陰極点が移動しないし、ホロー状陰極
であるため負グローからの発光によっても光電子放出が
生じ、効率良く電子が放出されるためである。また紫外
線出力の揺らぎが少なくなると同時に、長時間この状態
が保たれるため長寿命の重水素放電ランプが実現される
。
【0014】次に図3を用いて本発明の他の一実施例を
説明する。図3はホロー状陰極を有し、陰極内部および
近傍からの発光を用いる重水素放電ランプである。紫外
線透過窓5を有する放電容器6内にホロー状陰極1,陽
極2が設けられており、重水素ガスが数Torr封入さ
れている。ホロー状陰極1は例えば図2に示したような
陰極が用いられる。陽極2はホロー状陰極1対向して置
かれ、リング状になっている。ホロー状陰極1はリード
線11とリード線12を通じて陰極加熱用電源に接続さ
れる。陽極2はリード線10を通じて主電源に接続され
る。異常放電を防ぐためリード線10は絶縁性スリーブ
8によって覆われている。陰極点はホローの中に固定さ
れ、負グローがホローの内部および近傍にできる。本実
施例では負グローからの発光を紫外線透過窓5を通して
外部に取り出す。このため従来のコイル状陰極では不可
能であった負グローの発光点が長期にわたって固定され
、また紫外線強度のゆらぎも非常に少なくなる。さらに
本実施例では、従来の重水素放電ランプのような狭窄部
分が無いためランプ電圧が低くなり、低消費電力で高効
率な重水素放電ランプが実現できるという特徴を持って
いる。
説明する。図3はホロー状陰極を有し、陰極内部および
近傍からの発光を用いる重水素放電ランプである。紫外
線透過窓5を有する放電容器6内にホロー状陰極1,陽
極2が設けられており、重水素ガスが数Torr封入さ
れている。ホロー状陰極1は例えば図2に示したような
陰極が用いられる。陽極2はホロー状陰極1対向して置
かれ、リング状になっている。ホロー状陰極1はリード
線11とリード線12を通じて陰極加熱用電源に接続さ
れる。陽極2はリード線10を通じて主電源に接続され
る。異常放電を防ぐためリード線10は絶縁性スリーブ
8によって覆われている。陰極点はホローの中に固定さ
れ、負グローがホローの内部および近傍にできる。本実
施例では負グローからの発光を紫外線透過窓5を通して
外部に取り出す。このため従来のコイル状陰極では不可
能であった負グローの発光点が長期にわたって固定され
、また紫外線強度のゆらぎも非常に少なくなる。さらに
本実施例では、従来の重水素放電ランプのような狭窄部
分が無いためランプ電圧が低くなり、低消費電力で高効
率な重水素放電ランプが実現できるという特徴を持って
いる。
【0015】図4に本発明のさらに他の一実施例を示し
た。図4はホロー状陰極を有し、陰極内部および近傍か
らの発光とさらに放電路の狭窄部分からの発光とを合わ
せて用いる重水素放電ランプである。図3の実施例と同
じ符号を付したものは同じ機能を持つものであり、ここ
では説明を省略する。ホロー状陰極1の直前に放電路を
狭窄するための小孔3を有する隔壁板9が設置されてい
る。本実施例では図3の実施例と同様に陰極点が長期に
わたって固定され、さらに紫外線強度のゆらぎも非常に
少なくなる。また本実施例では負グローからの発光に加
えて狭窄部分からの発光を利用するので非常に強い紫外
線強度が得られるという優れた特徴を持っている。
た。図4はホロー状陰極を有し、陰極内部および近傍か
らの発光とさらに放電路の狭窄部分からの発光とを合わ
せて用いる重水素放電ランプである。図3の実施例と同
じ符号を付したものは同じ機能を持つものであり、ここ
では説明を省略する。ホロー状陰極1の直前に放電路を
狭窄するための小孔3を有する隔壁板9が設置されてい
る。本実施例では図3の実施例と同様に陰極点が長期に
わたって固定され、さらに紫外線強度のゆらぎも非常に
少なくなる。また本実施例では負グローからの発光に加
えて狭窄部分からの発光を利用するので非常に強い紫外
線強度が得られるという優れた特徴を持っている。
【0016】
【発明の効果】本発明によれば、紫外線出力の揺らぎが
少なく、寿命が長く、信頼性が高く、高効率の重水素放
電ランプが得られる。また本発明の重水素放電ランプを
用いて、高感度で高信頼性の分析装置を実現することが
出来るようになる。
少なく、寿命が長く、信頼性が高く、高効率の重水素放
電ランプが得られる。また本発明の重水素放電ランプを
用いて、高感度で高信頼性の分析装置を実現することが
出来るようになる。
【図1】ホロー状陰極を有する重水素放電ランプの一実
施例を示す図である。
施例を示す図である。
【図2】ホロー状陰極の他の一実施例の断面図である。
【図3】ホロー状陰極を有し、陰極内部および近傍から
の発光を用いる重水素放電ランプの一実施例を示す図で
ある。
の発光を用いる重水素放電ランプの一実施例を示す図で
ある。
【図4】ホロー状陰極を有し、陰極内部および近傍から
の発光を用いる重水素放電ランプの他の一実施例を示す
図である。
の発光を用いる重水素放電ランプの他の一実施例を示す
図である。
【図5】従来の重水素放電ランプを示す図である。
1…ホロー状陰極、2…陽極、3…小孔、4…電極囲い
、5…紫外線透過窓、21…フィラメント、22…オキ
サイド。
、5…紫外線透過窓、21…フィラメント、22…オキ
サイド。
Claims (2)
- 【請求項1】重水素または水素の放電を行なうランプで
あって、ホロー状の陰極を有し、かつ陽光柱の一部分を
狭窄する手段を有することを特徴とする重水素放電ラン
プ。 - 【請求項2】重水素または水素の放電を行なうランプで
あって、ホロー状の陰極を有し、陰極内部および近傍か
らの紫外光をランプ外へ取り出して紫外線光源としたこ
とを特徴とする重水素放電ランプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3082225A JPH04315761A (ja) | 1991-04-15 | 1991-04-15 | 重水素放電ランプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3082225A JPH04315761A (ja) | 1991-04-15 | 1991-04-15 | 重水素放電ランプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04315761A true JPH04315761A (ja) | 1992-11-06 |
Family
ID=13768469
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3082225A Pending JPH04315761A (ja) | 1991-04-15 | 1991-04-15 | 重水素放電ランプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04315761A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1056117A3 (de) * | 1999-05-04 | 2001-11-21 | Heraeus Noblelight GmbH | UV-Entladungslampe |
| WO2002049073A1 (fr) * | 2000-12-13 | 2002-06-20 | Hamamatsu Photonics K.K. | Tube a decharge gazeuse |
| WO2002049070A1 (en) * | 2000-12-13 | 2002-06-20 | Hamamatsu Photonics K.K. | Indirectly heated electrode for gas discharge tube, gas discharge tube with this, and its operating device |
| WO2002049072A1 (fr) * | 2000-12-13 | 2002-06-20 | Hamamatsu Photonics K.K. | Electrode a chauffage direct destinee a un tube a decharge gazeuse |
| WO2002049071A1 (en) * | 2000-12-13 | 2002-06-20 | Hamamatsu Photonics K.K. | Indirectly heated electrode for gas discharge tube |
| CN103646847A (zh) * | 2013-12-07 | 2014-03-19 | 四川天微电子有限责任公司 | 紫外线发射器 |
-
1991
- 1991-04-15 JP JP3082225A patent/JPH04315761A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1056117A3 (de) * | 1999-05-04 | 2001-11-21 | Heraeus Noblelight GmbH | UV-Entladungslampe |
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| WO2002049070A1 (en) * | 2000-12-13 | 2002-06-20 | Hamamatsu Photonics K.K. | Indirectly heated electrode for gas discharge tube, gas discharge tube with this, and its operating device |
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