JPH0431785A - ２カウンタ式ｅｘａｆｓ測定装置のｘ線検出器系の不感時間調整法と２カウンタ式ｅｘａｆｓ測定装置 - Google Patents
２カウンタ式ｅｘａｆｓ測定装置のｘ線検出器系の不感時間調整法と２カウンタ式ｅｘａｆｓ測定装置Info
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- JPH0431785A JPH0431785A JP2137398A JP13739890A JPH0431785A JP H0431785 A JPH0431785 A JP H0431785A JP 2137398 A JP2137398 A JP 2137398A JP 13739890 A JP13739890 A JP 13739890A JP H0431785 A JPH0431785 A JP H0431785A
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- JP
- Japan
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- pulse
- counter
- detector system
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、物質のＸ線吸収端近傍のＸ線吸収係数の微細
振動（Ｅｘｔｅｎｄｅｄ Ｘ−ｒａｙ Ａｂｓｏｒｐ
ｔｉ。
振動（Ｅｘｔｅｎｄｅｄ Ｘ−ｒａｙ Ａｂｓｏｒｐ
ｔｉ。
Ｆｉｎｅ ５ｔｒｕｃｔｕｒｅ （以下、ＥＸＡＦＳと
言う）〕を測定して、物質の局所的構造を解明するＸ線
構造解析装置に係わり、特に、非晶質、準結晶等の構造
解析に好適なＸ線検出器系の不感時間調整法及び波高弁
別器に関する。
言う）〕を測定して、物質の局所的構造を解明するＸ線
構造解析装置に係わり、特に、非晶質、準結晶等の構造
解析に好適なＸ線検出器系の不感時間調整法及び波高弁
別器に関する。
（従来技術）
一般に封入管や回転対陰極型のＸ線発生装置を用いた実
験室系装置でＥＸＡＦＳ測定を行う場合は、白色Ｘ線に
重畳する特性Ｘ線の影響を受け、吸収係数曲線にスパイ
ク状のノイズ（グリッチ）が現れる。このようなＸ線管
の対陰極に含まれる不純物によるある種の特性Ｘ線のエ
ネルギーは、ＥＸＡＦＳ測定の領域内に位置することが
あり、Ｘ線吸収原子回りの局所的な構造、特に、隣合う
原子間の距離や原子の配位数等の正確な情報を取得する
ためには大きな障害となっていた。この主な原因は特性
Ｘ線の高強度のために生ずるＸ線検出器系の計数損失（
有限の不感時間に起因する）によるものである。
験室系装置でＥＸＡＦＳ測定を行う場合は、白色Ｘ線に
重畳する特性Ｘ線の影響を受け、吸収係数曲線にスパイ
ク状のノイズ（グリッチ）が現れる。このようなＸ線管
の対陰極に含まれる不純物によるある種の特性Ｘ線のエ
ネルギーは、ＥＸＡＦＳ測定の領域内に位置することが
あり、Ｘ線吸収原子回りの局所的な構造、特に、隣合う
原子間の距離や原子の配位数等の正確な情報を取得する
ためには大きな障害となっていた。この主な原因は特性
Ｘ線の高強度のために生ずるＸ線検出器系の計数損失（
有限の不感時間に起因する）によるものである。
本発明者の一人は、実験室系ＥＸＡＦＳ測定装置におい
て、グリッチのないなめらかな吸収曲線を得ることを目
的として２力ウンタ式のＥＸＡＦＳ測定装置を開発し、
特開昭６０−１５１５７３号に提案した。第６図は、上
記２力ウンタ式ＥＸＡＦＳ測定装置の構成図である。こ
の装置は、特に、試料透過Ｘ線に対する検出領域（有効
長）を連続的に可変できるＩカウンタ（Ｃ２）の隔壁を
移動することによって、■、（Ｃ，）カウンタとＩカウ
ンタ（Ｃ２）の計数率のバランスをとり、２つのカウン
タの不惑時間による計数損失の効果を無くしてグリ・７
チを消去するものであった。しかし、上記２力ウンタ式
ＥＸＡＦＳ測定では、本来Ｉカウンタでの検出効率は１
００％であることが望ましいにもかかわらず、計数損失
特性の一致条件を満足させるためにＩカウンタでの検出
効率を強制的に１００％以下に落としてしまうという欠
点があった・ そこで、Ｘ線カウンタの線型増幅器（ＡＭＰ）の波形整
形時定数を連続的に可変にすることにより電気信号のパ
ルス幅、すなわち、Ｘ線検出器系の不感時間を連続可変
とし、半導体検出器等のカウンタを用いる場合、あるい
は、上記Ｉカウンタの長さをその最大長に固定してほぼ
１００％の検出効率で用いる場合にも、特性Ｘ線の影響
を受けないなめらかなＸ線吸収係数曲線が得られる波形
整形時定数連続可変型の線型増幅器を開発し、特開平１
−１１２６２７号に提案した。
て、グリッチのないなめらかな吸収曲線を得ることを目
的として２力ウンタ式のＥＸＡＦＳ測定装置を開発し、
特開昭６０−１５１５７３号に提案した。第６図は、上
記２力ウンタ式ＥＸＡＦＳ測定装置の構成図である。こ
の装置は、特に、試料透過Ｘ線に対する検出領域（有効
長）を連続的に可変できるＩカウンタ（Ｃ２）の隔壁を
移動することによって、■、（Ｃ，）カウンタとＩカウ
ンタ（Ｃ２）の計数率のバランスをとり、２つのカウン
タの不惑時間による計数損失の効果を無くしてグリ・７
チを消去するものであった。しかし、上記２力ウンタ式
ＥＸＡＦＳ測定では、本来Ｉカウンタでの検出効率は１
００％であることが望ましいにもかかわらず、計数損失
特性の一致条件を満足させるためにＩカウンタでの検出
効率を強制的に１００％以下に落としてしまうという欠
点があった・ そこで、Ｘ線カウンタの線型増幅器（ＡＭＰ）の波形整
形時定数を連続的に可変にすることにより電気信号のパ
ルス幅、すなわち、Ｘ線検出器系の不感時間を連続可変
とし、半導体検出器等のカウンタを用いる場合、あるい
は、上記Ｉカウンタの長さをその最大長に固定してほぼ
１００％の検出効率で用いる場合にも、特性Ｘ線の影響
を受けないなめらかなＸ線吸収係数曲線が得られる波形
整形時定数連続可変型の線型増幅器を開発し、特開平１
−１１２６２７号に提案した。
（発明が解決しようとする課題）
グリッチ解消法の原理は以下のとおりである。
ＥＸＡＦＳ測定装置（第６図）の検出器、前置増幅器（
以下、ＡＭＰと言う）、波高弁別器（以下、ＳＣＡと言
う）、スケラーから成るＸ線検出器系において、■。、
■カウンタ検出器系の不惑時間をそれぞれτ。、τとし
、またＲＬ＝ＩＯｔ／Ｉｔとすれば（ここで■。
ＩｔはそれぞれＩｏ、Ｉカウンタでの真（計数損失のな
い時）の計数率）、グリッチを解消するためには、 ＲＬ −τ／τ。 ・・・・ （１）を満足しなけれ
ばならない。ＲＬは試料物質によって決まる値である。
以下、ＡＭＰと言う）、波高弁別器（以下、ＳＣＡと言
う）、スケラーから成るＸ線検出器系において、■。、
■カウンタ検出器系の不惑時間をそれぞれτ。、τとし
、またＲＬ＝ＩＯｔ／Ｉｔとすれば（ここで■。
ＩｔはそれぞれＩｏ、Ｉカウンタでの真（計数損失のな
い時）の計数率）、グリッチを解消するためには、 ＲＬ −τ／τ。 ・・・・ （１）を満足しなけれ
ばならない。ＲＬは試料物質によって決まる値である。
上記ＸｖＡ検出器系において、その不感時間τは通常Ａ
ＭＰの波形整形時定数τ０．で決まるので、特開平１１
１２６２７号では、τ□、が連続可変できるＡＭＰを■
カウンタに用いてτを連続的に変化させ、＋１１式を満
足させるものであった。しかし、この方法ではτＡ□を
変えるのに数個の可変キャパシタや可変抵抗を同時に同
調させなければならず操作が煩雑であった。
ＭＰの波形整形時定数τ０．で決まるので、特開平１１
１２６２７号では、τ□、が連続可変できるＡＭＰを■
カウンタに用いてτを連続的に変化させ、＋１１式を満
足させるものであった。しかし、この方法ではτＡ□を
変えるのに数個の可変キャパシタや可変抵抗を同時に同
調させなければならず操作が煩雑であった。
（課題を解決するための手段）
上記の課題は、Ｘ線カウンタの波高弁別器において、そ
のＴＴＬレベルの出力パルス幅を決定している出力段Ｉ
Ｃの時定数（これは、抵抗とコンデンサの容量で決まり
、通常固定値をとる）を決めている、固定抵抗の代わり
に可変抵抗を用いることにより、出力パルス幅を連続的
に変化できるように構成した本発明によって達成するこ
とができる。
のＴＴＬレベルの出力パルス幅を決定している出力段Ｉ
Ｃの時定数（これは、抵抗とコンデンサの容量で決まり
、通常固定値をとる）を決めている、固定抵抗の代わり
に可変抵抗を用いることにより、出力パルス幅を連続的
に変化できるように構成した本発明によって達成するこ
とができる。
（作用）
以下に本発明を更に詳細に説明する。
第５図はＸ線検出器系の信号の流れ図である。
線型増幅器（ＡＭＰ）は前置増幅器（ＰＡ）からの信号
を受けて、内蔵する微分回路と積分回路によりガウス型
に波形整形される。ＳＣＡでは、前段ＡＭＰの信号をＬ
ＬＤ （Ｌｏｗｅｒ ＬｅｖｅｌＤ １ｓｃｒｉａ＋
１ｎａｔｏｒ）により波高弁別され、矩形のディジタル
パルスとして出力する。第４図（Ａ）（Ｂ）に、通常及
び本発明の線型増幅器（ＡＭＰ）と波高弁別器（Ｓ Ｃ
Ａ）におけるパルス信号の関係を模式図で示す。第４図
（Ａ）に示すように、通常のＸ線検出器系ではτＡＭＰ
＞τＳｅＡであり、このときはτ０．がτとなる。も
し、τＡＭＰ 〈τＳＣＡとなればτ３ＣＡがτを決め
る。そこでＡＭＰのτ８．を、同図（Ｂ）に示すように
τ０．〈τ、。えとなるように小さくし、次にＳＣＡの
τＳＣＡが連続可能となるように改造を施せば、不惑時
間τは１つの可変抵抗のみで調整できることになる。
を受けて、内蔵する微分回路と積分回路によりガウス型
に波形整形される。ＳＣＡでは、前段ＡＭＰの信号をＬ
ＬＤ （Ｌｏｗｅｒ ＬｅｖｅｌＤ １ｓｃｒｉａ＋
１ｎａｔｏｒ）により波高弁別され、矩形のディジタル
パルスとして出力する。第４図（Ａ）（Ｂ）に、通常及
び本発明の線型増幅器（ＡＭＰ）と波高弁別器（Ｓ Ｃ
Ａ）におけるパルス信号の関係を模式図で示す。第４図
（Ａ）に示すように、通常のＸ線検出器系ではτＡＭＰ
＞τＳｅＡであり、このときはτ０．がτとなる。も
し、τＡＭＰ 〈τＳＣＡとなればτ３ＣＡがτを決め
る。そこでＡＭＰのτ８．を、同図（Ｂ）に示すように
τ０．〈τ、。えとなるように小さくし、次にＳＣＡの
τＳＣＡが連続可能となるように改造を施せば、不惑時
間τは１つの可変抵抗のみで調整できることになる。
このＡＭＰとＳＣＡをＩカウンタへ適用し、実際に検出
器系の不感時間τを単一薄膜法（Ｔ。
器系の不感時間τを単一薄膜法（Ｔ。
Ｆｕｋａｍａｃｈｉ ： Ｊｐｎ、 Ｊ、 Ａｐｐｌ、
Ｆｈｙｓ、 ８ （１９６９）８５１）により測定
した。その結果を第３図に示す。この実験ではτ５ｃＡ
−０，２〜２μｓｅｃの間で変化させ、各τＳＣＡに対
してτを得た。同図かられかるように、■ ０．２〈τ
ｓｃａ ＜０．８ μｓｅｃではτ、＝０．７μｓｅｃ
で一定であるが、■ τＳＣＡ〉０．８μｓｅｃではτ
＝ｒＳｅＡである。すなわち、τＳＣＡが連続可変のＳ
ＣＡを用いることにより、検出器系の不惑時間τをτ〉
０．７μｓｅｃで連続可変すれば良いことがわかる。
Ｆｈｙｓ、 ８ （１９６９）８５１）により測定
した。その結果を第３図に示す。この実験ではτ５ｃＡ
−０，２〜２μｓｅｃの間で変化させ、各τＳＣＡに対
してτを得た。同図かられかるように、■ ０．２〈τ
ｓｃａ ＜０．８ μｓｅｃではτ、＝０．７μｓｅｃ
で一定であるが、■ τＳＣＡ〉０．８μｓｅｃではτ
＝ｒＳｅＡである。すなわち、τＳＣＡが連続可変のＳ
ＣＡを用いることにより、検出器系の不惑時間τをτ〉
０．７μｓｅｃで連続可変すれば良いことがわかる。
（発明の効果）
本発明によれば、可変抵抗１つのみでＸ線検出器系の不
感時間を調整でき、不感時間はＴＴＬディジタルパルス
の長さとしてオシロスコープなどで簡単に知ることがで
きる。従って、試料物質から、原子間の距離、原子の配
位数等の正確な情報を取得することができるようになっ
た。また、高次高調波を完全に除去するため、エネルギ
ー分解能に優れた半導体検出器を用いる必要がある場合
にも有効である。
感時間を調整でき、不感時間はＴＴＬディジタルパルス
の長さとしてオシロスコープなどで簡単に知ることがで
きる。従って、試料物質から、原子間の距離、原子の配
位数等の正確な情報を取得することができるようになっ
た。また、高次高調波を完全に除去するため、エネルギ
ー分解能に優れた半導体検出器を用いる必要がある場合
にも有効である。
本発明は、非晶質、準結晶、液体溶液等の原子構造解析
に好適であるので各種セラミックスや非晶質合金等の新
材料開発への利用が期待できる。
に好適であるので各種セラミックスや非晶質合金等の新
材料開発への利用が期待できる。
（実施例）
以下に、本発明の詳細な説明する。
本発明は、第６図の２力ウンタ式ＥＸＡＦＳ測定装置に
おいて、本発明の出力パルス幅連続可変型波高弁別器を
Ｉカウンタ用の波高弁別器（ＳＣＡ’）として用い、通
常の出力パルス幅固定型波高弁別器（ＳＣＡ）をＩ０カ
ウンタ用に用いるものである。
おいて、本発明の出力パルス幅連続可変型波高弁別器を
Ｉカウンタ用の波高弁別器（ＳＣＡ’）として用い、通
常の出力パルス幅固定型波高弁別器（ＳＣＡ）をＩ０カ
ウンタ用に用いるものである。
本発明の波高弁別器の出力段の回路図を第１図に示す、
ＳＣＡは、前段ＡＭＰから人力したアナログ信号のノイ
ズ（一定収下の信号）を取り除き、ＴＴＬレベルのディ
ジタルパルスへ変換し、後段のスケーラ−が受は取る。
ＳＣＡは、前段ＡＭＰから人力したアナログ信号のノイ
ズ（一定収下の信号）を取り除き、ＴＴＬレベルのディ
ジタルパルスへ変換し、後段のスケーラ−が受は取る。
ＴＴＬレベル出力パルスの時間幅は通常、出力段のＩＣ
で用いられる抵抗とコンデンサ容量で決まる。今までの
市販の波高弁別器では抵抗とコンデンサは固定型であり
、従って、出力パルス幅は固定であった。本発明では、
これを可変型とし、出力パルス幅が連続的に変えられる
ようにした。
で用いられる抵抗とコンデンサ容量で決まる。今までの
市販の波高弁別器では抵抗とコンデンサは固定型であり
、従って、出力パルス幅は固定であった。本発明では、
これを可変型とし、出力パルス幅が連続的に変えられる
ようにした。
次に、本発明の線型増幅器を非晶質ＣｕＴａ合金のＥＸ
ＡＦＳ測定に応用した例を示す。実験条件は次ぎのとお
りである。前記２力ウンタ式ＥＸＡＦＳ測定装置におい
て、Ｉカウンタ用の波高弁別器として本発明の出力パル
ス幅可変型波高弁別器を用いた。１０カウンタの波高弁
別器には通常の固定型のものを用いた。実際に、非晶質
ＣｕＴａ合金のＴａ Ｌｎ［吸収端上のＥＸＡＦＳ測定
した例を第２Ａ図、第２Ｂ図に示す。Ｉｏ、Ｉカウンタ
の不感時間を、 （ａｌ ｒ ５ＣＡ（１０） −１ｕ ｓｅｃ 、τ
５ｃＡ（Ｉ） ＝ ２０ ｐ ５ｅｃ（ｂ） τ５ｃ
Ａ（Ｌ） −１μｓｅｃ、τ５ｃｔｔ （Ｉ） ＝ ５
μ５ｅｃ（Ｃ１τ５ｃＡ（Ｉｏ） ＝ ５μＳｅｃ ％
τ５ｃＡ（１） ＝ １μｓｅｃのように調整した。
ＡＦＳ測定に応用した例を示す。実験条件は次ぎのとお
りである。前記２力ウンタ式ＥＸＡＦＳ測定装置におい
て、Ｉカウンタ用の波高弁別器として本発明の出力パル
ス幅可変型波高弁別器を用いた。１０カウンタの波高弁
別器には通常の固定型のものを用いた。実際に、非晶質
ＣｕＴａ合金のＴａ Ｌｎ［吸収端上のＥＸＡＦＳ測定
した例を第２Ａ図、第２Ｂ図に示す。Ｉｏ、Ｉカウンタ
の不感時間を、 （ａｌ ｒ ５ＣＡ（１０） −１ｕ ｓｅｃ 、τ
５ｃＡ（Ｉ） ＝ ２０ ｐ ５ｅｃ（ｂ） τ５ｃ
Ａ（Ｌ） −１μｓｅｃ、τ５ｃｔｔ （Ｉ） ＝ ５
μ５ｅｃ（Ｃ１τ５ｃＡ（Ｉｏ） ＝ ５μＳｅｃ ％
τ５ｃＡ（１） ＝ １μｓｅｃのように調整した。
第２Ｂ図には、Ｘ線管の対陰極に含まれる不純物による
特性Ｘ線ＷＬβ２が現れている。第２Ａ図のＸ線吸収係
数曲線を見ると、前記Ｘ線ＷＬβ２に対応して、（ａ）
のときは山型のデータグリッチが、（Ｃ）のときは谷型
のデータグリッチが発生しているが、（ｂ）のときはデ
ータグリッチが発生していない。
特性Ｘ線ＷＬβ２が現れている。第２Ａ図のＸ線吸収係
数曲線を見ると、前記Ｘ線ＷＬβ２に対応して、（ａ）
のときは山型のデータグリッチが、（Ｃ）のときは谷型
のデータグリッチが発生しているが、（ｂ）のときはデ
ータグリッチが発生していない。
以上、本発明の出力パルス幅連続可変型波高弁別器は、
２力ウンタ式ＥＸＡＦＳ測定装置においてデータグリッ
チを完全に消去する上で極めて有効であることが示され
た。
２力ウンタ式ＥＸＡＦＳ測定装置においてデータグリッ
チを完全に消去する上で極めて有効であることが示され
た。
第１図は、本発明の実施例を示す回路図、第２Ａ図、第
２Ｂ図は、試料に非晶質ＣｕＴａ合金を用いて２力ウン
タ式ＥＸＡＦＳ測定を行って得られたＸ線吸収係数曲線
、 第３図は、単一薄膜法で求めたτＶ、 Ｓ、τＳＣＡの
プロット図、 第４図は、線型増幅器と波高弁別器の出力パルス波形、 第５図は、Ｘ線検出器系の信号の流れ図、第６図は、２
力ウンタ式ＥＸＡＦＳ測定装置の構成図である。 （符号の説明） ＸＳ・・・Ｘ線管、 ＳＳ・・・ソラースリット、
ＤＳ・・・発散スリット、 ＭＣ・・・分光結晶、ＧＭ
・・・ゴニオメータ、 Ｒ３・・・発光スリット、Ｃ１
・・・Ｉ０カウンタ、 Ｃ２・・・１カウンタ、Ｃ８・
・・Ｎ２デユワ−ＳＰ・・・試料、ＨＶ・・・高圧電源
、 ＣＡ・・・カウンタアーム、ＰＡ・・・前置増
幅器、 ＡＭＰ・・・線型（主）増幅器、ＳＣＡ、Ｓ
ＣＡ’・・・波高弁別器、 ＳＴ・・・チャンネルスケーラ− μＣＰ・・・マイクロコンピュータ。 「−− ＳＣＡ −一一」 第４図 （△） （Ｂ） ＡＭＰ 〉 てＳＣＡ てＭＰく下ｓｃＡ
２Ｂ図は、試料に非晶質ＣｕＴａ合金を用いて２力ウン
タ式ＥＸＡＦＳ測定を行って得られたＸ線吸収係数曲線
、 第３図は、単一薄膜法で求めたτＶ、 Ｓ、τＳＣＡの
プロット図、 第４図は、線型増幅器と波高弁別器の出力パルス波形、 第５図は、Ｘ線検出器系の信号の流れ図、第６図は、２
力ウンタ式ＥＸＡＦＳ測定装置の構成図である。 （符号の説明） ＸＳ・・・Ｘ線管、 ＳＳ・・・ソラースリット、
ＤＳ・・・発散スリット、 ＭＣ・・・分光結晶、ＧＭ
・・・ゴニオメータ、 Ｒ３・・・発光スリット、Ｃ１
・・・Ｉ０カウンタ、 Ｃ２・・・１カウンタ、Ｃ８・
・・Ｎ２デユワ−ＳＰ・・・試料、ＨＶ・・・高圧電源
、 ＣＡ・・・カウンタアーム、ＰＡ・・・前置増
幅器、 ＡＭＰ・・・線型（主）増幅器、ＳＣＡ、Ｓ
ＣＡ’・・・波高弁別器、 ＳＴ・・・チャンネルスケーラ− μＣＰ・・・マイクロコンピュータ。 「−− ＳＣＡ −一一」 第４図 （△） （Ｂ） ＡＭＰ 〉 てＳＣＡ てＭＰく下ｓｃＡ
Claims (2)
- （１）Ｘ線検出器系の波高弁別器から出力される出力パ
ルス波形の幅を連続的に変化させることを特徴とするＸ
線検出器系の不感時間調整法。 - （２）時定数を連続的に調整する手段を有する波高弁別
器を備え、それにより不感時間を調整できるようにした
ことを特徴とするＸ線検出器系。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02137398A JP3083534B2 (ja) | 1990-05-28 | 1990-05-28 | ２カウンタ式ｅｘａｆｓ測定装置のｘ線検出器系の不感時間調整法と２カウンタ式ｅｘａｆｓ測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02137398A JP3083534B2 (ja) | 1990-05-28 | 1990-05-28 | ２カウンタ式ｅｘａｆｓ測定装置のｘ線検出器系の不感時間調整法と２カウンタ式ｅｘａｆｓ測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0431785A true JPH0431785A (ja) | 1992-02-03 |
| JP3083534B2 JP3083534B2 (ja) | 2000-09-04 |
Family
ID=15197728
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP02137398A Expired - Fee Related JP3083534B2 (ja) | 1990-05-28 | 1990-05-28 | ２カウンタ式ｅｘａｆｓ測定装置のｘ線検出器系の不感時間調整法と２カウンタ式ｅｘａｆｓ測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3083534B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07229861A (ja) * | 1994-02-16 | 1995-08-29 | Dkk Corp | 放射線分析装置 |
| EP1787938A3 (de) * | 2005-10-13 | 2007-08-01 | Wittenstein AG | Selbstfahrender Aufzug |
| JP2020027073A (ja) * | 2018-08-16 | 2020-02-20 | 日本電子株式会社 | Ｘ線分析装置および計数率の補正方法 |
| JP2024118541A (ja) * | 2023-02-21 | 2024-09-02 | 株式会社リガク | 放射線検出器、放射線測定装置および放射線検出器の設定方法 |
-
1990
- 1990-05-28 JP JP02137398A patent/JP3083534B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07229861A (ja) * | 1994-02-16 | 1995-08-29 | Dkk Corp | 放射線分析装置 |
| EP1787938A3 (de) * | 2005-10-13 | 2007-08-01 | Wittenstein AG | Selbstfahrender Aufzug |
| JP2020027073A (ja) * | 2018-08-16 | 2020-02-20 | 日本電子株式会社 | Ｘ線分析装置および計数率の補正方法 |
| JP2024118541A (ja) * | 2023-02-21 | 2024-09-02 | 株式会社リガク | 放射線検出器、放射線測定装置および放射線検出器の設定方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3083534B2 (ja) | 2000-09-04 |
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