JPH043193Y2

JPH043193Y2 -

Info

Publication number: JPH043193Y2
Application number: JP1988094851U
Authority: JP
Priority date: 1988-07-18
Filing date: 1988-07-18
Publication date: 1992-01-31
Also published as: JPH0216892U

Description

【考案の詳細な説明】［産業上の利用分野］本考案は、管継手に関するものであり、特に詳
しくは、超気密が要求される超高真空利用の装置
に好適な管継手に関するものである。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to a pipe joint, and more specifically, to a pipe joint suitable for ultra-high vacuum equipment that requires ultra-hermetic sealing. .

［従来の技術］公知の管継手は、シールボルト、シールチユー
ブ、ガスケツト、及び袋ナツトを備え、袋ナツト
のシールボルトへの螺合によりシールボルトとシ
ールチユーブ間のガスケツトを挟圧して接続部を
シールしている。[Prior Art] A known pipe joint includes a seal bolt, a seal tube, a gasket, and a cap nut, and the cap nut is screwed onto the seal bolt to squeeze the gasket between the seal bolt and the seal tube to close the connection. It is sealed.

そして、超気密（通常、ヘリウムリークレート
10^-10atm ^cc／sec以下をいう。）が要求される場合
は、シール面を鏡面にしたメタルＣリングやメタ
ル平ガスケツト等の金属ガスケツトが使用され
る。 And super airtight (usually helium leak crate)
10 ^-10atm ^cc /sec or less. ), a metal gasket such as a metal C-ring or metal flat gasket with a mirror-finished sealing surface is used.

しかしながら、公知の管継手は、ガスケツトの
保持に関する配慮に欠けるため、シール面が横向
き或いは下向きの場合、締付作業時に金属ガスケ
ツトが落下して鏡面が傷つくことがあり、これが
リークの原因になる。 However, known pipe joints lack consideration for gasket retention, so if the sealing surface is oriented sideways or downwards, the metal gasket may fall during tightening work and damage the mirror surface, which can cause leaks.

この問題を解決するために、シールボルトに環
状の凹部を設けて、多角形状のガスケツトホルダ
の辺をメタルＣリングの開口部に嵌合させ、この
ガスケツトホルダの角部を凹部の内壁に当接させ
ることにより、金属ガスケツトをシールボルトに
保持させた管継手が、特開昭61−256088号公報に
よつて提案されている。 To solve this problem, an annular recess is provided in the seal bolt, the sides of the polygonal gasket holder are fitted into the opening of the metal C-ring, and the corners of the gasket holder are fitted into the inner wall of the recess. JP-A-61-256088 proposes a pipe joint in which a metal gasket is held by a seal bolt by abutting the metal gasket with the seal bolt.

しかしながら、この既提案の管継手は、環状の
凹部内壁に多角形状のガスケツトホルダの角部を
弾性的に当接させるものであるから、ガスケツト
ホルダの凹部への取付けが面倒なばかりでなく、
ガスケツトが凹部に対して傾斜して取付けられる
ことがある。また、取付けを容易にするために、
ガスケツトホルダの弾性を小さくすることによつ
ても、ガスケツトが傾斜することがある。 However, in this previously proposed pipe joint, the corners of the polygonal gasket holder are brought into elastic contact with the inner wall of the annular recess, so it is not only troublesome to install the gasket holder in the recess. ,
The gasket may be installed at an angle to the recess. Also, to facilitate installation,
Reducing the elasticity of the gasket holder may also cause the gasket to tilt.

そして、傾斜したガスケツトを袋ナツトで締付
けると、シール面に不均一な力が作用してシール
面に傷がつく恐れがある。 If an inclined gasket is tightened with a cap nut, uneven force will be applied to the sealing surface, which may cause damage to the sealing surface.

したがつて、上記既提案の管継手は、ガスケツ
トのシールボルトへの取付けが面倒なばかりでな
く、超気密下においては、シール面の傷によつて
流体がリークする恐れがある。 Therefore, with the previously proposed pipe joints, not only is it troublesome to attach the gasket to the seal bolt, but also there is a risk of fluid leakage due to scratches on the sealing surface under extremely airtight conditions.

［考案が解決しようとする課題］本考案の目的は、袋ナツトの締付けに際して、
シール面に施した鏡面に傷がつく恐れがなく、か
つ袋ナツトの締付作業が極めて容易な超気密管継
手を提供することにある。[Problems to be solved by the invention] The purpose of the invention is to solve the following problems when tightening a cap nut:
To provide a super airtight pipe joint in which there is no fear of scratching the mirror surface formed on the sealing surface and the tightening work of a cap nut is extremely easy.

［課題を解決するための手段］上記目的を達成するため、本考案の超気密管継
手は、シールボルト、シールチユーブ、ガスケツ
ト、及び袋ナツトを備え、袋ナツトのシールボル
トへの螺合によりシールボルトとシールチユーブ
間のガスケツトを挟圧して接続部をシールする管
継手において、上記シールボルトが、シールチユ
ーブとの対向面に、内面に係止溝を有する軸方向
の複数のホルダを備え、上記ガスケツトを、シー
ル面を鏡面としたメタルＣリングで構成し、上記
メタルＣリングを、上記係止溝とメタルＣリング
の開口部とに係止する止め輪によつてシールボル
トに保持させたことを特徴とするものである。[Means for Solving the Problem] In order to achieve the above object, the super airtight pipe joint of the present invention includes a seal bolt, a seal tube, a gasket, and a cap nut, and seals by screwing the cap nut to the seal bolt. In a pipe joint that seals a connection by compressing a gasket between a bolt and a seal tube, the seal bolt is provided with a plurality of axial holders having locking grooves on the inner surface on a surface facing the seal tube, The gasket is composed of a metal C ring with a mirror-finished sealing surface, and the metal C ring is held on the seal bolt by a retaining ring that locks in the locking groove and the opening of the metal C ring. It is characterized by:

また、同様の目的を達成するため、ガスケツト
を、シール面を鏡面とし外周面に溝を形設したメ
タル平ガスケツトで構成し、該メタル平ガスケツ
トを、上記係止溝と溝とに係止する止め輪によつ
てシールボルトに保持させるとよい。 In addition, in order to achieve the same purpose, the gasket is constructed of a metal flat gasket with a mirror-finished sealing surface and a groove formed on the outer peripheral surface, and the metal flat gasket is locked in the locking groove and the groove. It is best to hold the seal bolt with a retaining ring.

［作用］メタルＣリングまたはメタル平ガスケツトより
なりシール面を鏡面とした金属ガスケツトを、そ
の開口部または溝とホルダの係止溝とに係止する
止め輪によつてシールボルトに保持させたので、
シール面が横向き或いは下向きであつても、シー
ルボルトから金属ガスケツトが落下することを防
止できる。[Function] A metal gasket consisting of a metal C ring or a metal flat gasket with a mirror-finished sealing surface is held on the seal bolt by a retaining ring that locks into the opening or groove of the metal gasket and the locking groove of the holder. ,
Even if the sealing surface faces sideways or downwards, the metal gasket can be prevented from falling from the seal bolt.

また、止め輪を、複数設けたボルダの係止溝に
係止させることによつてシールボルトに保持させ
たので、止め輪のシールボルトへの取付けが容易
であり、しかも金属ガスケツトがシールボルト対
して傾斜しないので、袋ナツトの締付けに際し
て、シール面に施した鏡面に傷がつく恐れがな
い。 In addition, since the retaining ring is retained on the seal bolt by being engaged with the retaining grooves of the boulder, it is easy to attach the retaining ring to the seal bolt. Since it does not tilt, there is no risk of scratching the mirror surface on the sealing surface when tightening the cap nut.

［実施例］第１図ないし第４図は本考案の第１実施例を示
し、この超気密管継手１は、シールボルト２、該
シールボルト２に螺合する袋ナツト３、シールチ
ユーブ４、シールボルト２とシールチユーブ４に
より挟圧されるメタルＣリング５、シールチユー
ブ４に装着させたスラストベアリング６及び皿ば
ねフアスナ７を備えている。[Embodiment] Figures 1 to 4 show a first embodiment of the present invention, and this super airtight pipe joint 1 includes a seal bolt 2, a cap nut 3 screwed onto the seal bolt 2, a seal tube 4, It includes a metal C ring 5 which is pressed between a seal bolt 2 and a seal tube 4, a thrust bearing 6 attached to the seal tube 4, and a disc spring fastener 7.

上記シールボルト２は、基端に溶接または一体
成形したチユーブ８を、他端に上記Ｃリング５が
当接するシール面９と該シール面９の外側におい
て軸方向に突出した一対のホルダ１０，１０を備
え、該ホルダ１０，１０の内面に止め輪１１を係
止させるための係止溝１２，１２を形設し、チユ
ーブ側の基部２ａが外形六角形をなし、外周に雄
ねじが刻設されている。またシールチユーブ４
は、先端に溶接または一体成形したフランジ１４
に、上記シール面９に対向するシール面１５を形
設し、外周に皿ばねフアスナ７が係合する周溝１
６を備えている。 The seal bolt 2 has a tube 8 welded or integrally formed at its base end, a seal surface 9 on which the C ring 5 abuts at the other end, and a pair of holders 10, 10 that protrude in the axial direction on the outside of the seal surface 9. , locking grooves 12, 12 for locking the retaining ring 11 are formed on the inner surfaces of the holders 10, 10, the base 2a on the tube side has a hexagonal outer shape, and a male thread is carved on the outer periphery. ing. Also seal tube 4
The flange 14 is welded or integrally formed at the tip.
A sealing surface 15 opposite to the sealing surface 9 is formed on the outer periphery of the circumferential groove 1 in which the disc spring fastener 7 engages.
It is equipped with 6.

上記袋ナツト３は、シールチユーブ４に遊挿す
る孔を有する頂壁３ａと、シールボルト２に螺合
する雄ねじを刻設した外形六角形の周壁を備え、
頂壁３ａの溝に滑り止めリング１７を備え、該滑
り止めリング１７に形設した複数の突起１７ａ，
……（第３図参照）によつて、軸線方向に滑らな
いようにしてシールチユーブ４に装着されてい
る。 The cap nut 3 includes a top wall 3a having a hole that is loosely inserted into the seal tube 4, and a peripheral wall having a hexagonal outer shape and having a male screw threaded thereon to be screwed into the seal bolt 2.
A non-slip ring 17 is provided in the groove of the top wall 3a, and a plurality of protrusions 17a formed on the non-slip ring 17,
... (see Fig. 3), it is attached to the seal tube 4 so as not to slip in the axial direction.

メタルＣリング５は、断面Ｃ形をなし、シール
面に鏡面加工が施され、ホルダ１０，１０間に挿
入してその開口部５ａが上記止め輪１１に係止す
ることによりシールボルト２に保持される。この
場合、止め輪１１が、係止溝１２，１２及び開口
部５ａの両方に係止可能な径を備えていることは
勿論である。 The metal C ring 5 has a C-shaped cross section, has a mirror finish on its sealing surface, and is held on the seal bolt 2 by being inserted between the holders 10 and 10 and having its opening 5a locked with the retaining ring 11. be done. In this case, it goes without saying that the retaining ring 11 has a diameter that can be engaged with both the retaining grooves 12, 12 and the opening 5a.

スラストベアリング６は、袋ナツト３のシール
ボルト２への螺合時にそのトルクのシールチユー
ブ４への伝達を可及的に防止するもので、皿ばね
フアスナ７によつてシールチユーブ４に装着され
ている。また、皿ばねフアスナ７は、側壁７ａ、
弯曲した底壁７ｂ、及び該底壁７ｂの径方向の切
欠溝１８，……により形設した爪１９，……を備
え、スラストベアリング６に冠着させ、爪１９，
……の周溝１６への係合によつてシールチユーブ
４に装着し、袋ナツト３のシールボルト２への螺
合によつて軸方向の弾性を与えるものである。 The thrust bearing 6 prevents as much as possible the transmission of torque to the seal tube 4 when the cap nut 3 is screwed onto the seal bolt 2, and is attached to the seal tube 4 by a disc spring fastener 7. There is. Further, the disc spring fastener 7 includes a side wall 7a,
A curved bottom wall 7b, and pawls 19, . . . formed by radial notch grooves 18, .
It is attached to the seal tube 4 by engagement with the circumferential groove 16, and provides elasticity in the axial direction by screwing the cap nut 3 onto the seal bolt 2.

上記第１実施例は、止め輪１１を僅かに縮径さ
せて係止溝１２，１２に係止させ、メタルＣリン
グ５をホルダ１２，１２間に挿入すると、開口部
５ａが止め輪１１に係止してシールボルト２に保
持される。したがつて、メタルＣリング５がシー
ルボルト２から落下しないので、管継手の締付作
業が極めて容易である。 In the first embodiment, when the retaining ring 11 is slightly reduced in diameter and is engaged with the retaining grooves 12, 12, and the metal C ring 5 is inserted between the holders 12, 12, the opening 5a is inserted into the retaining ring 11. It is locked and held by the seal bolt 2. Therefore, since the metal C-ring 5 does not fall off the seal bolt 2, the work of tightening the pipe joint is extremely easy.

また、袋ナツト３が、滑り止めリング１７によ
つてシールチユーブ４に滑らないように装着され
ているため、シール面が下向きの場合にもシール
チユーブ４から落下しないので、これによつても
管継手の締付作業が容易である。 In addition, since the cap nut 3 is attached to the seal tube 4 by the anti-slip ring 17 so as not to slip, it will not fall from the seal tube 4 even when the seal surface is facing downward. Easy to tighten the joint.

第５図は本考案の第２実施例を示し、第２実施
例の超気密管継手２１におけるシールボルト２２
とシールチユーブ２３は、対向するシール部２
４，２５がエツジ状をなし、これらのシール部に
よつて挟圧されるガスケツトを、シール面に鏡面
加工を施したメタル平ガスケツト２７で構成し、
その外周面に上記止め輪１１が係止する溝２７ａ
を形設している。上記第２実施例は、ガスケツト
をメタル平ガスケツト２７で構成したことによ
り、金属ガスケツトを安価なものにすることがで
きる。 FIG. 5 shows a second embodiment of the present invention, in which a seal bolt 22 in a super airtight pipe joint 21 of the second embodiment is shown.
and the seal tube 23 are connected to the opposing seal portion 2.
4 and 25 are edge-shaped, and the gasket compressed by these sealing parts is composed of a metal flat gasket 27 whose sealing surface is mirror-finished,
A groove 27a in which the retaining ring 11 is engaged on its outer peripheral surface
is formed. In the second embodiment, the gasket is made of a metal flat gasket 27, so that the metal gasket can be made inexpensive.

第２実施例の他の構成及び作用は、第１実施例
と同じであるから、図中主要な個所に同一の符号
を付して詳細な説明は省略する。 Since the other configurations and operations of the second embodiment are the same as those of the first embodiment, the same reference numerals are given to the main parts in the drawings, and detailed explanations are omitted.

［考案の効果］本考案の超気密管継手は、メタルＣリングまた
はメタル平ガスケツトよりなる金属ガスケツト
を、その開口部または溝とホルダの係止溝とに係
止する止め輪によつてシールボルトに保持させた
ことにより、シール面を鏡面としたガスケツトが
シールボルトから落下しないので、袋ナツトの締
付作業が極めて容易である。[Effects of the invention] The super airtight pipe joint of the present invention has a metal gasket made of a metal C ring or a metal flat gasket, and a sealing bolt is secured by a retaining ring that locks the metal gasket in the opening or groove of the metal gasket and the locking groove of the holder. By holding the gasket in place, the gasket whose sealing surface is mirror-finished will not fall off the sealing bolt, making tightening the cap nut extremely easy.

また、金属ガスケツトがシールボルトに対して
傾斜しないために、袋ナツトを締付ける際に鏡面
としたシール面に傷がつかないので、超気密下に
おける流体のリークを確実に防止することができ
る。 Further, since the metal gasket is not inclined with respect to the seal bolt, the mirror-finished sealing surface is not scratched when tightening the cap nut, so that leakage of fluid can be reliably prevented in a super-airtight environment.

[Brief explanation of the drawing]

第１図は本考案の第１実施例の縦断面図、第２
図はその要部の拡大断面図、第３図は滑り止めリ
ングの側面図、第４図は皿ばねフアスナの側面
図、第５図は第２実施例の要部を示す拡大断面図
である。１，２１……超気密管継手、２，２２……シー
ルボルト、３……袋ナツト、４，２３……シール
チユーブ、５……メタルＣリング、５ａ……開口
部、１０……ホルダ、１１……止め輪、１２……
係止溝、２７……メタル平ガスケツト、２７ａ…
…溝。 Fig. 1 is a vertical sectional view of the first embodiment of the present invention, and the second
3 is a side view of the anti-slip ring, FIG. 4 is a side view of the disc spring fastener, and FIG. 5 is an enlarged sectional view of the main part of the second embodiment. . 1, 21... Super airtight pipe joint, 2, 22... Seal bolt, 3... Cap nut, 4, 23... Seal tube, 5... Metal C ring, 5a... Opening, 10... Holder, 11... Retaining ring, 12...
Locking groove, 27...Metal flat gasket, 27a...
…groove.

Claims

[Claims for Utility Model Registration] 1. Comprising a seal bolt, a seal tube, a gasket, and a cap nut, the cap nut is screwed onto the seal bolt to squeeze the gasket between the seal bolt and the seal tube to seal the connection. In the pipe joint, the seal bolt is provided with a plurality of axial holders having locking grooves on the inner surface on the surface facing the seal tube, and the gasket is composed of a metal C ring with a mirror-finished sealing surface, A super airtight pipe joint characterized in that the metal C-ring is held on a seal bolt by a retaining ring that engages the locking groove and the opening of the metal C-ring. 2. The gasket is composed of a flat metal gasket with a mirror-finish sealing surface and a groove on the outer circumferential surface, and the flat metal gasket is held on the seal bolt by the above-mentioned locking groove and a retaining ring that locks in the groove. The super airtight pipe joint according to claim 1, characterized in that: