JPH04320907A - 光切断顕微鏡 - Google Patents
光切断顕微鏡Info
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- JPH04320907A JPH04320907A JP11701291A JP11701291A JPH04320907A JP H04320907 A JPH04320907 A JP H04320907A JP 11701291 A JP11701291 A JP 11701291A JP 11701291 A JP11701291 A JP 11701291A JP H04320907 A JPH04320907 A JP H04320907A
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- JP
- Japan
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 33
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/04—Measuring microscopes
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、測定物の測定面に斜め
方向からスリット光（光学的な細い光線）を投射するこ
とによって、上記測定面の表面にならった形状を呈する
、恰も測定面を切断したかのような光切断像を得て、こ
れにより測定面の微小な凹凸、段差の深さ高さを測定す
るようにした、光切断顕微鏡に関する。
方向からスリット光（光学的な細い光線）を投射するこ
とによって、上記測定面の表面にならった形状を呈する
、恰も測定面を切断したかのような光切断像を得て、こ
れにより測定面の微小な凹凸、段差の深さ高さを測定す
るようにした、光切断顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、図３に示すようなスリット光２１
の投光用光学系（以下、投光系という。）と図５に示す
ような光切断像８の観測用光学系（以下、観測系という
。）とを、これ等両系の対物レンズの光軸３、７が測定
面２０上において交叉する状態で備えた、図４の基本図
に示すような光切断顕微鏡は知られている。（特公昭５
３ー２３０９４号公報及び特公昭５３ー２３０９５号公
報参照）
の投光用光学系（以下、投光系という。）と図５に示す
ような光切断像８の観測用光学系（以下、観測系という
。）とを、これ等両系の対物レンズの光軸３、７が測定
面２０上において交叉する状態で備えた、図４の基本図
に示すような光切断顕微鏡は知られている。（特公昭５
３ー２３０９４号公報及び特公昭５３ー２３０９５号公
報参照）
【０００３】このような光切断顕微鏡は、図４の基本図
及び図６の説明図に示すように、投光系１の対物レンズ
２の光軸３が垂線４の左側に４５°傾き、観測系５の対
物レンズ６の光軸７が右側に４５°傾いた状態の構成（
以下、９０°タイプという。）で実施されたり、図７に
示す説明図のように左に６０°、右に６０°傾いた状態
の構成（以下、１２０°タイプという。）で実施された
り、図８に示すように左に３０°、右に３０°傾いた状
態の構成（以下、６０°タイプという。）で実施された
り、図９に示すように左に１５°、右に１５°傾いた状
態の構成（以下、３０°タイプという。）で実施された
り、している。
及び図６の説明図に示すように、投光系１の対物レンズ
２の光軸３が垂線４の左側に４５°傾き、観測系５の対
物レンズ６の光軸７が右側に４５°傾いた状態の構成（
以下、９０°タイプという。）で実施されたり、図７に
示す説明図のように左に６０°、右に６０°傾いた状態
の構成（以下、１２０°タイプという。）で実施された
り、図８に示すように左に３０°、右に３０°傾いた状
態の構成（以下、６０°タイプという。）で実施された
り、図９に示すように左に１５°、右に１５°傾いた状
態の構成（以下、３０°タイプという。）で実施された
り、している。
【０００４】図６は光切断像８が４５°傾いて測定対象
の深さ高さがＨのときにＨ×１．４１倍のヨコ拡大像で
観測されることを示し、図７は光切断像８が６０°傾い
てＨ×１．７３倍のヨコ拡大像で観測されることを示し
、図８は光切断像８が３０°傾いてＨ×１倍の実寸像で
観測されることを示し、また、図９は光切断像８が１５
°傾いてＨ×０．７倍のヨコ縮小像で観測されることを
示している。
の深さ高さがＨのときにＨ×１．４１倍のヨコ拡大像で
観測されることを示し、図７は光切断像８が６０°傾い
てＨ×１．７３倍のヨコ拡大像で観測されることを示し
、図８は光切断像８が３０°傾いてＨ×１倍の実寸像で
観測されることを示し、また、図９は光切断像８が１５
°傾いてＨ×０．７倍のヨコ縮小像で観測されることを
示している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の技術におい
て述べた光切断顕微鏡は、投光系１の対物レンズ２の光
軸３と観測系５の対物レンズ６の光軸７の交叉角度を９
０°に定めた場合にはヨコ拡大率が１．４１倍であり、
１２０°に定めた場合には１．７３倍であり、６０°に
定めた場合には１倍であり、また、３０°に定めた場合
には０．７倍である。
て述べた光切断顕微鏡は、投光系１の対物レンズ２の光
軸３と観測系５の対物レンズ６の光軸７の交叉角度を９
０°に定めた場合にはヨコ拡大率が１．４１倍であり、
１２０°に定めた場合には１．７３倍であり、６０°に
定めた場合には１倍であり、また、３０°に定めた場合
には０．７倍である。
【０００６】そこで、従来は、９０°、１２０°、６０
°または３０°タイプを利用して、極めて低い段差の観
測・測定を行う場合には対物レンズの倍率を高めて、限
られた小さな視野の中でなすようにするしかなかった。
°または３０°タイプを利用して、極めて低い段差の観
測・測定を行う場合には対物レンズの倍率を高めて、限
られた小さな視野の中でなすようにするしかなかった。
【０００７】本発明は、対物レンズの倍率及び視野の広
さを変えないでヨコ拡大率を高める工夫、スリット線を
鮮明にする工夫を施した新規の光切断顕微鏡を提供する
ことを目的とする。
さを変えないでヨコ拡大率を高める工夫、スリット線を
鮮明にする工夫を施した新規の光切断顕微鏡を提供する
ことを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明に係わる光切断顕微鏡は、スリット光投光用光
学系１の光軸１０及び光切断像観測用光学系５の光軸１
１にアナモルフイック系１２、１３を組み入れたもので
ある。
に本発明に係わる光切断顕微鏡は、スリット光投光用光
学系１の光軸１０及び光切断像観測用光学系５の光軸１
１にアナモルフイック系１２、１３を組み入れたもので
ある。
【０００９】
【実施例】図１及び図２に示す実施例は、投光系１の光
軸１０及び観測系５の光軸１１に、凹型のシリンドリカ
ルレンズ１４と凸型のシリンドリカルレンズ１５を利用
したガリレオ望遠鏡タイプのアナモルフイック系１２、
１３を組み入れたものである。
軸１０及び観測系５の光軸１１に、凹型のシリンドリカ
ルレンズ１４と凸型のシリンドリカルレンズ１５を利用
したガリレオ望遠鏡タイプのアナモルフイック系１２、
１３を組み入れたものである。
【００１０】尚、図中符号１６はランプ、１７はスリッ
ト板、１８は接眼レンズ、１９は測定物、また、２０は
測定面を示す。
ト板、１８は接眼レンズ、１９は測定物、また、２０は
測定面を示す。
【００１１】
【作用】アナモルフイック系は、タテ方向の倍率が×１
でヨコ方向の倍率が×２、×３、×４の像をつくるもの
であり、このアナモルフイック系１２、１３を光切断顕
微鏡に組み込んだ場合には次のようになる。すなわち、
たとえば９０°タイプの光切断顕微鏡に対してヨコ方向
倍率が×３のアナモルフイック系を組み込んだ場合には
、観察系からみればタテ倍率は対物レンズの倍率×１倍
で、ヨコ倍率は対物レンズの倍率×１．４１×３＝４．
２３倍の大きさに拡がる。また、スリット投光系でみれ
ばアナモルフイック系のレンズを通ったスリット線は倍
率に逆比例して細く鮮明になる。
でヨコ方向の倍率が×２、×３、×４の像をつくるもの
であり、このアナモルフイック系１２、１３を光切断顕
微鏡に組み込んだ場合には次のようになる。すなわち、
たとえば９０°タイプの光切断顕微鏡に対してヨコ方向
倍率が×３のアナモルフイック系を組み込んだ場合には
、観察系からみればタテ倍率は対物レンズの倍率×１倍
で、ヨコ倍率は対物レンズの倍率×１．４１×３＝４．
２３倍の大きさに拡がる。また、スリット投光系でみれ
ばアナモルフイック系のレンズを通ったスリット線は倍
率に逆比例して細く鮮明になる。
【００１２】
【発明の効果】本発明に係わる光切断顕微鏡は、投光系
１の光軸１０及び観測系５の光軸１１に組み入れたアナ
モルフイック系１２、１３の機能によって、ヨコの拡大
率が視野の大きさはそのままの状態において高くなって
いるので、測定面の微小な凹凸、段差の深さ高さの測定
には極めて具合が良く、またアナモルフイック系のレン
ズによりスリット線が鮮明になっているので観測にも都
合の良いものである。
１の光軸１０及び観測系５の光軸１１に組み入れたアナ
モルフイック系１２、１３の機能によって、ヨコの拡大
率が視野の大きさはそのままの状態において高くなって
いるので、測定面の微小な凹凸、段差の深さ高さの測定
には極めて具合が良く、またアナモルフイック系のレン
ズによりスリット線が鮮明になっているので観測にも都
合の良いものである。
【図１】本発明実施例の基本図である。
【図２】本発明実施例の視野図である。
【図３】スリット光の当たり方を示す説明図である。
【図４】従来例の基本図である。
【図５】従来例の視野図である。
【図６】９０°タイプの説明図である。
【図７】１２０°タイプの説明図である。
【図８】６０°タイプの説明図である。
【図９】３０°タイプの説明図である。
１ 投光系
２ 対物レンズ３ 光軸
４ 垂線５
観測系
６ 対物レンズ７ 光軸
８ 光切断像
９ 視野
１０ 光軸１１ 光軸
１２ アナモルフイ
ック系 １３ アナモルフイック系 １４
シリンドリカルレンズ １５ シリンドリカルレンズ １６
ランプ１７ スリット板
１８ 切眼レンズ１９ 測定物
２０ 測定
面２１ スリット光
２ 対物レンズ３ 光軸
４ 垂線５
観測系
６ 対物レンズ７ 光軸
８ 光切断像
９ 視野
１０ 光軸１１ 光軸
１２ アナモルフイ
ック系 １３ アナモルフイック系 １４
シリンドリカルレンズ １５ シリンドリカルレンズ １６
ランプ１７ スリット板
１８ 切眼レンズ１９ 測定物
２０ 測定
面２１ スリット光
Claims (1)
- 【請求項１】 スリット光投光用光学系１の光軸１０
及び光切断像観測用光学系５の光軸１１にアナモルフイ
ック系１２、１３を組み入れたことを特徴とする光切断
顕微鏡。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3117012A JP2689359B2 (ja) | 1991-04-20 | 1991-04-20 | 光切断顕微鏡 |
| DE19924208622 DE4208622B4 (de) | 1991-04-20 | 1992-03-18 | Licht-Schnitt-Mikroskop |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3117012A JP2689359B2 (ja) | 1991-04-20 | 1991-04-20 | 光切断顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04320907A true JPH04320907A (ja) | 1992-11-11 |
| JP2689359B2 JP2689359B2 (ja) | 1997-12-10 |
Family
ID=14701270
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3117012A Expired - Lifetime JP2689359B2 (ja) | 1991-04-20 | 1991-04-20 | 光切断顕微鏡 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2689359B2 (ja) |
| DE (1) | DE4208622B4 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0643509U (ja) * | 1992-11-13 | 1994-06-10 | 信越エンジニアリング株式会社 | 光切断式顕微鏡 |
| JPH06258579A (ja) * | 1993-03-03 | 1994-09-16 | Nissho Seimitsu Kogaku Kk | 顕微鏡の対物レンズ、ｉｔｖカメラ用レンズ等レンズ装置 |
| JP2009002725A (ja) * | 2007-06-20 | 2009-01-08 | Nikon Corp | 非接触三次元形状測定機 |
| JP2009222418A (ja) * | 2008-03-13 | 2009-10-01 | Aisin Seiki Co Ltd | 凹凸表面検査装置 |
| JP2019053036A (ja) * | 2017-07-06 | 2019-04-04 | セントレ ナショナル デテュッド スパティアレＣｅｎｔｒｅ Ｎａｔｉｏｎａｌ Ｄ‘Ｅｔｕｄｅｓ Ｓｐａｔｉａｌｅｓ | 広帯域ハイパースペクトル分光光度計 |
| JP2019531511A (ja) * | 2016-10-10 | 2019-10-31 | ライカ マイクロシステムズ シーエムエス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングＬｅｉｃａ Ｍｉｃｒｏｓｙｓｔｅｍｓ ＣＭＳ ＧｍｂＨ | 斜面顕微鏡 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63206682A (ja) * | 1987-02-24 | 1988-08-25 | Matsushita Electric Works Ltd | 光電スイツチ |
| JPS6463845A (en) * | 1987-09-02 | 1989-03-09 | Asahi Optical Co Ltd | Method for inspecting surface to be inspected having linear defect |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3921956A1 (de) * | 1989-06-06 | 1990-12-13 | Eyetec Gmbh | Verfahren zur beruehrungslosen dickenmessung von faserigen, koernigen oder poroesen materialien sowie vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens |
-
1991
- 1991-04-20 JP JP3117012A patent/JP2689359B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1992
- 1992-03-18 DE DE19924208622 patent/DE4208622B4/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63206682A (ja) * | 1987-02-24 | 1988-08-25 | Matsushita Electric Works Ltd | 光電スイツチ |
| JPS6463845A (en) * | 1987-09-02 | 1989-03-09 | Asahi Optical Co Ltd | Method for inspecting surface to be inspected having linear defect |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0643509U (ja) * | 1992-11-13 | 1994-06-10 | 信越エンジニアリング株式会社 | 光切断式顕微鏡 |
| JPH06258579A (ja) * | 1993-03-03 | 1994-09-16 | Nissho Seimitsu Kogaku Kk | 顕微鏡の対物レンズ、ｉｔｖカメラ用レンズ等レンズ装置 |
| JP2009002725A (ja) * | 2007-06-20 | 2009-01-08 | Nikon Corp | 非接触三次元形状測定機 |
| JP2009222418A (ja) * | 2008-03-13 | 2009-10-01 | Aisin Seiki Co Ltd | 凹凸表面検査装置 |
| JP2019531511A (ja) * | 2016-10-10 | 2019-10-31 | ライカ マイクロシステムズ シーエムエス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングＬｅｉｃａ Ｍｉｃｒｏｓｙｓｔｅｍｓ ＣＭＳ ＧｍｂＨ | 斜面顕微鏡 |
| US11500190B2 (en) | 2016-10-10 | 2022-11-15 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Oblique plane microscope |
| JP2019053036A (ja) * | 2017-07-06 | 2019-04-04 | セントレ ナショナル デテュッド スパティアレＣｅｎｔｒｅ Ｎａｔｉｏｎａｌ Ｄ‘Ｅｔｕｄｅｓ Ｓｐａｔｉａｌｅｓ | 広帯域ハイパースペクトル分光光度計 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE4208622B4 (de) | 2005-04-28 |
| JP2689359B2 (ja) | 1997-12-10 |
| DE4208622A1 (de) | 1992-10-22 |
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