JPH04322711A - Manufacture of metal filter for micro-filtration - Google Patents
Manufacture of metal filter for micro-filtrationInfo
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Landscapes
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Abstract
Description
【０００１】0001
【産業上の利用分野】本発明は、精密濾過用金属フィル
ターの製造方法に関するものであり、その目的は、製造
効率が著しく向上した新規な上記製造方法を提供するこ
とにある。本発明により製造される金属フィルターは、
特に揮発性不純物が少なく、高温熱気を含む気体を精製
するために好ましく用いられ、例えば半導体製造プロセ
スやバイオテクノロジー・プロセスあるいは光ファイバ
ー製造プロセス等の現場（クリーン・ルーム等）に必要
な清浄度（気体中の塵埃の存在量の少なさ）や異種気体
の混入に係る純度（異種気体の混入量の少なさ）の高い
、例えば窒素、酸素、水素、アルゴン、ヘリウム等のキ
ャリアガスやモノシラン、アルシン等の腐食性ガスの精
密濾過に用いられる。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a metal filter for precision filtration, and an object of the present invention is to provide a novel manufacturing method with significantly improved manufacturing efficiency. The metal filter manufactured according to the present invention includes:
In particular, it is preferably used to purify gases that contain low volatile impurities and contain high-temperature hot air.For example, it is used to purify gases that contain high-temperature hot air, and is required to maintain the cleanliness (gas carrier gas such as nitrogen, oxygen, hydrogen, argon, helium, monosilane, arsine, etc. Used for precision filtration of corrosive gases.
【０００２】0002
【従来の技術】金属フィルターは、金属製の外郭ハウジ
ング内に金属製フィルターエレメントを配設したもので
あり、従来、各種流体を濾過、精製するため、例えば化
合繊工業の原料製造工程をはじめ後続の各種工程に至る
過程の潤滑油や燃料油を使用する油圧機器関係において
広範に使用されていた。流体の濾過に金属フィルターを
使用すると、その流体が高温・高圧であっても常に安定
して所定の濾過が為されるという特長がある。そして上
述の分野に使用されている金属フィルターは、一般には
その濾過孔径が３〜１００μｍであり、通常そのシール
は、ネジ嵌合やＯ−リング等でなされていた。また濾過
孔径が３μｍ〜０．１μｍというより精度の高い“精密
濾過”の濾材の場合でも、シール機構は、前記の場合と
同様な構成であり、しかもハウジング内に配設したエレ
メントを交換できる構成としたものであった。[Prior Art] Metal filters have a metal filter element arranged inside a metal outer housing, and have traditionally been used for filtering and purifying various fluids, for example, in the raw material manufacturing process of the synthetic fiber industry, and in subsequent processes. It was widely used in hydraulic equipment that uses lubricating oil and fuel oil in various processes. The use of metal filters for fluid filtration has the advantage that even if the fluid is at high temperature and pressure, it can always be stably filtered in a predetermined manner. The metal filters used in the above-mentioned fields generally have a filtration pore diameter of 3 to 100 .mu.m, and are usually sealed using screw fittings, O-rings, or the like. In addition, even in the case of a "precision filtration" filter medium with a filtration pore diameter of 3 μm to 0.1 μm, which has a higher precision, the sealing mechanism has the same structure as the above case, and the element installed in the housing can be replaced. It was.
【０００３】また図５に示されているように、金属フィ
ルターにおいてハウジングキャップ１１ｂの内管に金属
フィルターエレメント１２を溶接（１５）し、ついでハ
ウジングキャップ１１ｂの外管にハウジングボディ１１
ａを溶接（１６）してハウジングを構成させたものがあ
った。Further, as shown in FIG. 5, in a metal filter, a metal filter element 12 is welded (15) to the inner tube of the housing cap 11b, and then the housing body 11 is welded to the outer tube of the housing cap 11b.
There was one in which the housing was constructed by welding (16) a.
【０００４】0004
【発明が解決しようとする課題】前述したネジ嵌合やＯ
−リング等によるシール機構では、濾過孔径が３μｍ以
下という“精密濾過”の場合、しばしばシール機構自体
に起因する流体漏れ（リーク）の恐れや、また厳しい使
用条件の下でシール材の膨潤や変形に起因するリーク発
生の恐れがあった。また、フィルターエレメントの配設
のため、例えばハウジングをハウジングボディとハウジ
ングキャップに２分割し、その両者とフィルターエレメ
ントとを同時に溶接する方法も考えられるが、外観上こ
れら３者を溶接できたとしても、その溶接中には、フィ
ルターエレメントの開孔により溶接部分に多数の気泡が
発生し、それによる間隙形成の危険があり、この危険を
避けるために数回重ねてあるいは溶接条件を上げて溶接
すると手間がかかり、また、“内面焼け”を起こすとい
う危険があった。また、図５に示された態様のものでは
、フィルターエレメント１２とハウジング１１との溶接
シールを容易にした形態である、内部に形成される図中
Ｄの位置にデッドスペース（流通する流体が滞留してし
まう部分：滞留部）Ｄが形成されてしまうという問題が
あった。即ち金属フィルターの内部にこのような滞留部
Ｄが存在すると、適用する流体（の種類）を代える場合
、滞留部Ｄに滞留し残存する元の流体を新規に流入する
流体で置換させることがきわめて困難であり、そのため
特に各種の気体を共用する配管系においては、常に異種
流体の混入を避けることができなかった。半導体製造プ
ロセスにおいては、ＬＳＩから超ＬＳＩへと集積度の高
度化が急激に進んでいるが、適用される気体の清浄度や
純度がきわめて高いことが要求され、上記のごとき異種
流体が混入した流体が流れる初期においてはしばしば欠
陥製品を生み、製品の歩溜りの低下を招く等の問題があ
った。[Problem to be solved by the invention] The above-mentioned screw fitting and O
- With seal mechanisms such as rings, in the case of "precision filtration" where the filtration pore diameter is 3 μm or less, there is often a risk of fluid leakage due to the seal mechanism itself, and the seal material may swell or deform under severe usage conditions. There was a risk of leaks occurring due to In addition, in order to arrange the filter element, for example, it is possible to divide the housing into two parts, a housing body and a housing cap, and weld both of them and the filter element at the same time, but even if these three parts can be welded from the outside, During welding, there is a risk that a large number of air bubbles will be generated in the welded area due to the holes in the filter element, resulting in the formation of gaps. It was time-consuming and there was a risk of "inner burn". In addition, in the embodiment shown in FIG. 5, a dead space (where the circulating fluid accumulates) is formed inside at position D in the figure, which facilitates welding and sealing between the filter element 12 and the housing 11. There was a problem in that D was formed (retention part). In other words, if such a retention part D exists inside the metal filter, when changing the fluid (type) to be applied, it is extremely difficult to replace the original fluid that remains in the retention part D with the newly flowing fluid. This is difficult, and therefore, it has not always been possible to avoid mixing of different fluids, especially in piping systems that share various gases. In the semiconductor manufacturing process, the degree of integration is rapidly increasing from LSI to VLSI, but the gas used must have extremely high cleanliness and purity, and there is a risk of contamination with foreign fluids such as those mentioned above. In the early stages of fluid flow, there are problems such as defective products often being produced and a decrease in product yield.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上述した
従来技術における問題点（課題）を解決すべく鋭意研究
を重ねた結果、いかなる流体の場合でも、またいかなる
使用条件においても金属フィルターエレメントのシール
性を保持することができ、しかもハウジング内部に形成
されがちな滞留部をなくし、内部における流体の置換性
を向上させ、かつ製造効率を著しく向上させた新規な金
属フィルターの製造方法を発明するに至ったものである
。即ち本発明は、流体の流路を形成する外郭ハウジング
の内部に金属フィルターエレメントを配設することから
なる精密濾過用金属フィルターの製造方法において、該
金属フィルターエレメント外周の開孔部をあらかじめ溶
接して封止した後、該封止部分を該ハウジングと溶接す
ることにより該ハウジングの内部に該金属フィルターエ
レメントを配設することを特徴とする上記金属フィルタ
ーの製造方法であり、特に好ましくは上記ハウジングを
分割した形態とし、分割した該ハウジングの両分割面間
に該封止部分を挾持あるいは当接し、該分割面と該封止
部分を同時に溶接することにより該ハウジングの内部に
該金属フィルターエレメントを配設する金属フィルター
の製造方法である。[Means for Solving the Problems] As a result of intensive research to solve the problems (problems) in the prior art described above, the present inventors have developed a metal filter that can be used with any fluid and under any usage conditions. A new method for manufacturing metal filters that maintains the sealing properties of the element, eliminates the stagnation that tends to form inside the housing, improves fluid displacement inside the housing, and significantly improves manufacturing efficiency. This is what led to his invention. That is, the present invention provides a method for manufacturing a metal filter for precision filtration, which comprises arranging a metal filter element inside an outer housing that forms a fluid flow path, in which the openings on the outer periphery of the metal filter element are welded in advance. The method for manufacturing the metal filter is characterized in that the metal filter element is disposed inside the housing by welding the sealed portion to the housing, and particularly preferably, the metal filter element is disposed inside the housing. The metal filter element is placed inside the housing by sandwiching or abutting the sealing part between both divided faces of the divided housing and welding the divided face and the sealing part at the same time. This is a method for manufacturing a metal filter.
【０００６】以下、本発明を詳細に説明する。まず、本
発明における金属フィルターについて説明すると、金属
フィルターは基本的にはその外郭をなすハウジングとそ
の内部に配設された金属製のフィルターエレメントから
なる。ハウジングは、金属フィルターが濾過のため適用
される流体の流路を形成し、かつその流路を完全に横断
して配設される金属フィルターの設置部材をなす。ハウ
ジングの形態は、配設する金属フィルターエレメントの
形状により様々な形態であり得る。通常は円筒状の管体
をなし、その中央の金属フィルターエレメントを配設し
た部分は、エレメントのサイズに対応してその両端部分
より径が大に（太く）されている。そしてハウジングの
内部に金属フィルターエレメントを配設する作業のため
、ハウジングは、一般には複数個に分割した部分から構
成され、各個は、金属フィルターエレメントの配設と共
にあるいは配設後に溶接されてハウジングを形成する。
ハウジングの素材は、金属であり、適用される流体によ
って腐食、変質するものであってはならず、例えばステ
ンレス鋼“ＳＵＳ３０４”や“ＳＵＳ３１６”“ＳＵＳ
３１６−Ｌ”等は、耐腐食性が大きく、多くの種類の流
体に適用し得るので、最も好ましい素材である。The present invention will be explained in detail below. First, the metal filter according to the present invention will be explained. The metal filter basically consists of a housing forming the outer shell of the metal filter and a metal filter element disposed inside the housing. The housing forms a flow path for the fluid to which the metal filter is applied for filtration, and constitutes a mounting member for the metal filter disposed completely across the flow path. The shape of the housing may vary depending on the shape of the metal filter element to be provided. Usually, it is a cylindrical tube, and the central part where the metal filter element is disposed has a larger diameter (thicker) than both end parts, corresponding to the size of the element. In order to install the metal filter element inside the housing, the housing is generally divided into multiple parts, each of which is welded together with or after the installation of the metal filter element to complete the housing. Form. The material of the housing is metal, and must not be corroded or altered by the applied fluid. For example, stainless steel "SUS304", "SUS316", "SUS"
316-L" is the most preferred material because it has high corrosion resistance and can be applied to many types of fluids.
【０００７】上記のハウジングに配設される金属フィル
ターエレメントは、所定の孔径、即ち精密濾過では０．
０１〜５μｍ程度の孔径を有する金属、特に好ましくは
ステンレス鋼の、例えば膜状体、繊維加工体、あるいは
粉末焼結体等のごとき多数の開孔を有する多孔質体であ
る。それぞれの製法は公知であり、ここでは詳細な説明
を省略する。エレメントの形状には特に限定はないが、
例えば平盤（板）状、皿状、椀状、球面状、袋状、円錐
状等各種の形状をなし、その（開孔部の）外周は、円形
、四角形、多角形等、種々の形状であり得る。この外周
部分は、金属フィルターエレメントの基体をなし、後述
するようにこの基体をもってハウジングの内部に溶接に
より気密に接合・配設される。ここで気密とは、接合部
分は完全に密閉して溶接、接合されることである。即ち
、金属フィルターエレメント自体は、多数の開孔を有し
、当然気密になり得ないが、金属フィルター内を流通す
る流体は、フィルターエレメントの開孔のみを通過し、
接合部分を全く通過しないということである。また金属
フィルターには、温度１００〜２５０℃程度に加熱処理
が施されることがあり、この程度の耐熱性を有すること
が必要である。この金属フィルターエレメントは、前記
ハウジング内に１個もしくは複数個設けられる。[0007] The metal filter element disposed in the housing has a predetermined pore diameter, that is, 0.05 mm for precision filtration.
A porous body having a large number of pores, such as a membrane-like body, a processed fiber body, or a powder sintered body, is preferably made of a metal having a pore diameter of about 0.01 to 5 μm, particularly preferably stainless steel. Each manufacturing method is well known, and detailed explanation will be omitted here. There are no particular restrictions on the shape of the element, but
For example, it has various shapes such as flat (plate) shape, dish shape, bowl shape, spherical shape, bag shape, cone shape, etc., and the outer periphery (of the opening) can have various shapes such as circle, square, polygon, etc. It can be. This outer peripheral portion forms the base of the metal filter element, and as will be described later, the base is airtightly joined and disposed inside the housing by welding. Here, airtightness means that the joint parts are welded and joined in a completely hermetically sealed manner. That is, the metal filter element itself has many holes and cannot be airtight, but the fluid flowing inside the metal filter passes only through the holes in the filter element.
This means that it does not pass through the joint at all. Further, metal filters are sometimes subjected to heat treatment at a temperature of about 100 to 250°C, and it is necessary to have heat resistance of this level. One or more metal filter elements are provided within the housing.
【０００８】上述したように、金属フィルターエレメン
トは、一般にはその全体が膜状体、繊維加工体あるいは
粉末焼結体等のごとき各種の多孔質体であり、その基体
である外周部分も同様である。従って多孔質体である外
周部分をハウジングの内壁に溶接させる際、外周部分全
体の溶接を常に完全に行うことが甚だ困難であり、時と
して溶接に間隙が生じ、その間隙から濾過すべき流体が
漏洩してしまうことがある。本発明は、正にこの点を改
良するものである。即ち金属フィルターエレメント外周
（外周部分）の開孔をあらかじめ溶接、封止した後、該
封止部分を該ハウジングの内部に溶接し、あるいは後述
の図３に示されている実施例におけるごとく、この外周
部分にハウジングに溶接可能な薄板状の被覆材料を当て
がい、これを溶接してエレメント外周部分の開孔を封止
しておき、次いでこのフィルターエレメントをハウジン
グ内壁に当接しあるいは分割されたハウジング部材で挾
持し、これを同時に一体に溶接し、その状態で該分割面
と該封止部分を同時に溶接することにより該封止部分を
該ハウジングの内部に配設する。本発明の方法において
実施される溶接方法としては、例えば非溶極式ティグ溶
接、レーザー溶接、電子ビーム溶接、マイクロプラズマ
溶接等があり、特に好ましくはティグ溶接やレーザー溶
接が実施される。上記の溶接加工により溶接した部分を
弗酸、硝酸、塩酸等の無機酸により処理すると、溶接ヤ
ケを除去することができ、また不働態皮膜を形成させる
ことができる。[0008] As mentioned above, the entire metal filter element is generally made of various porous materials such as a membrane-like material, processed fiber material, or powdered sintered material, and the outer peripheral portion that is the base material is also the same. be. Therefore, when welding the outer circumferential part, which is a porous material, to the inner wall of the housing, it is extremely difficult to always completely weld the entire outer circumferential part, and gaps sometimes occur in the welding, and the fluid to be filtered can leak through these gaps. It may leak. The present invention improves precisely this point. That is, after the openings on the outer periphery (outer peripheral portion) of the metal filter element are welded and sealed in advance, the sealed portion is welded to the inside of the housing, or as in the embodiment shown in FIG. 3, which will be described later. A thin plate-shaped coating material that can be welded to the housing is applied to the outer circumference, and this is welded to seal the opening in the outer circumference of the element.Then, this filter element is brought into contact with the inner wall of the housing, or the housing is divided into parts. The parts are clamped and welded together at the same time, and in this state, the dividing surface and the sealing part are simultaneously welded to arrange the sealing part inside the housing. Welding methods carried out in the method of the present invention include, for example, non-electrode TIG welding, laser welding, electron beam welding, microplasma welding, etc., and TIG welding and laser welding are particularly preferably carried out. By treating the welded portion by the above welding process with an inorganic acid such as hydrofluoric acid, nitric acid, or hydrochloric acid, welding stains can be removed and a passive film can be formed.
【０００９】[0009]
【作用】本発明においては、金属フィルターエレメント
をハウジング内に配設する際にあらかじめ金属フィルタ
ーエレメントの外周部分を（所望によりプレス加工した
後、）直接溶接し、あるいはこの外周部分にハウジング
に溶接可能な材料を当てがい、これを溶接してエレメン
ト外周部分の開孔を封止しておき、次いでこのフィルタ
ーエレメントをハウジング内壁に当接しあるいは分割さ
れたハウジング部材で挾持し、これを同時に一体に溶接
するので、金属フィルターエレメントはハウジングに確
実に溶接され、また外周部分における開孔を完全に封止
でき、さらにこのような本発明によって製造されるフィ
ルターには、デッドスペースは形成されない。[Operation] In the present invention, when installing the metal filter element in the housing, the outer peripheral part of the metal filter element can be directly welded in advance (after press working if desired), or this outer peripheral part can be welded to the housing. The filter element is then welded to seal the opening on the outer periphery of the element, and then the filter element is brought into contact with the inner wall of the housing or sandwiched between the housing parts, which are then welded together. Therefore, the metal filter element can be reliably welded to the housing, and the openings in the outer periphery can be completely sealed, and furthermore, no dead space is formed in the filter manufactured according to the present invention.
【００１０】0010
【実施例】次に本発明を図面に示した実施例に基づいて
さらに詳細にかつ具体的に説明する。図１は、本発明に
よって製造された金属フィルターの実施態様例であり、
円錐袋状フィルターエレメントの配設例を示す縦断面図
である。図において、ハウジング１は、ハウジングボデ
ィ１ａ及びハウジングキャップ１ｂからなり、その内部
には、円錐状側面と球面状頭部からなる、いわば円錐袋
状のフィルターエレメント２が配設されている。エレメ
ント２の開口部をなす外周部分３は外方に拡がるように
平坦にプレスされた後、溶接処理され、その結果、溶接
部分においてはエレメント素材の特徴であった開孔が封
止され、微細な開孔や微小な間隙は全くない。この外周
部分３をハウジングボディ１ａとハウジングキャップ１
ｂの間に挾持し、３者を同時に溶接する（ａ）。この方
法によると、得られる金属フィルターの溶接部分は、完
全に溶接し、しかもこの金属フィルターの形態を前述し
たデッドスペースのない形態にすることができる。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Next, the present invention will be described in more detail and specifically based on embodiments shown in the drawings. FIG. 1 is an example embodiment of a metal filter manufactured according to the present invention,
It is a longitudinal cross-sectional view showing an example of arrangement of a conical bag-shaped filter element. In the figure, a housing 1 consists of a housing body 1a and a housing cap 1b, and a filter element 2 in the shape of a conical bag, which has a conical side surface and a spherical head, is disposed inside the housing 1. The outer circumferential portion 3 that forms the opening of the element 2 is pressed flat so that it expands outward, and then welded. As a result, the apertures that were characteristic of the element material are sealed in the welded portion, and the fine pores are sealed. There are no openings or minute gaps. This outer peripheral portion 3 is connected to the housing body 1a and the housing cap 1.
(b) and weld the three parts at the same time (a). According to this method, the welded portion of the resulting metal filter can be completely welded, and the metal filter can be shaped without the above-mentioned dead space.
【００１１】図２は、本発明によって製造された金属フ
ィルターの他の実施態様例の縦断面図である。図におい
て、ハウジング１は、前例と同様にハウジングボディ１
ａ及びハウジングキャップ１ｂからなり、その内部には
、円盤状の金属フィルターエレメント２が配設される。
エレメント２の外周部分３は、平坦にプレス、溶接処理
されている。前例の場合と同様に、エレメント２の外周
部分３をハウジングボディ１ａとハウジングキャップ１
ｂとで挾持し、３者を同時に溶接する（ｂ）。FIG. 2 is a longitudinal sectional view of another embodiment of a metal filter manufactured according to the present invention. In the figure, the housing 1 is the housing body 1 as in the previous example.
a and a housing cap 1b, and a disc-shaped metal filter element 2 is disposed inside the housing cap 1b. The outer peripheral portion 3 of the element 2 is flatly pressed and welded. As in the case of the previous example, the outer peripheral portion 3 of the element 2 is connected to the housing body 1a and the housing cap 1.
(b).
【００１２】図３は、本発明による金属フィルターエレ
メントのハウジング内への溶接の仕方の例を示す当該溶
接部分の縦断面図である。本例において、まず前２例の
場合のごとく、フィルターエレメント２の外周部分３を
プレス加工する。次いでこのプレス加工された部分に該
部分３を覆うように環状の封止部材４を圧着し、この封
止部材４の内輪端部分とプレス加工された部分とを表裏
溶接（５）し、この溶接部材をハウジングボディ１ａと
ハウジングキャップ１ｂとで挾持し、外方の微小な間隙
６から加熱して３者を同時に溶接する。FIG. 3 is a longitudinal sectional view of a welded portion showing an example of how to weld a metal filter element into a housing according to the present invention. In this example, first, as in the previous two examples, the outer peripheral portion 3 of the filter element 2 is pressed. Next, an annular sealing member 4 is crimped onto this pressed part so as to cover the part 3, and the inner ring end portion of this sealing member 4 and the pressed part are welded on the front and back sides (5). The welding member is held between the housing body 1a and the housing cap 1b, and the three members are simultaneously welded by heating from a small outer gap 6.
【００１３】図４は、本発明による金属フィルターエレ
メントのハウジング内への溶接の仕方の他の例を示す当
該溶接部分の縦断面図である。本例において、まず前３
例の場合のごとく、フィルターエレメント２の外周部分
３をプレス加工する。他方、ハウジングボディ１ａとハ
ウジングキャップ１ｂとは、外周部分３を嵌合し得るよ
うに成形されている。図示されているように、フィルタ
ーエレメント２の外周３をハウジングボディ１ａとハウ
ジングキャップ１ｂとの成形部分に当接・嵌合し、外方
の微小な間隙６から加熱して３者を同時に溶接する。FIG. 4 is a longitudinal sectional view of a welded portion showing another example of how to weld a metal filter element into a housing according to the present invention. In this example, first, the first 3
As in the example, the outer peripheral portion 3 of the filter element 2 is pressed. On the other hand, the housing body 1a and the housing cap 1b are formed so that the outer peripheral portion 3 can be fitted into the housing body 1a and the housing cap 1b. As shown in the figure, the outer periphery 3 of the filter element 2 is brought into contact with and fitted into the molded parts of the housing body 1a and the housing cap 1b, and the three parts are simultaneously welded by heating from the outer minute gap 6. .
【００１４】[0014]
【発明の効果】本発明の方法によれば、金属フィルター
におけるフィルターエレメントとハウジングとの溶接が
確実になされて製造効率を著しく向上させることができ
、かつ溶接部分における気孔や間隙の発生を確実になく
すことができるので、金属フィルターは、デッドスペー
スのない構造とすることができ、かつまた種々の流体を
適用する場合、流体を代えるごとに金属フィルター内に
供給される新たな流体により元の流体を完全に除去する
こと（流体の置換）が容易である。[Effects of the Invention] According to the method of the present invention, the filter element and housing of a metal filter can be reliably welded to significantly improve manufacturing efficiency, and the generation of pores and gaps in the welded portion can be reliably prevented. The metal filter can be constructed without dead space, and when different fluids are applied, each time the fluid is changed, the new fluid supplied into the metal filter replaces the original fluid. It is easy to completely remove (fluid replacement).
【図１】本発明による金属フィルターにおける円錐袋状
フィルターエレメントの配設例を示す当該金属フィルタ
ーの縦断面図である。FIG. 1 is a longitudinal cross-sectional view of a metal filter according to the present invention, showing an example of the arrangement of conical bag-shaped filter elements in the metal filter.
【図２】本発明による金属フィルターにおける平板状フ
ィルターエレメントの配設例を示す当該金属フィルター
の縦断面図である。FIG. 2 is a longitudinal sectional view of the metal filter according to the present invention, showing an example of the arrangement of flat filter elements in the metal filter.
【図３】本発明におけるフィルターエレメントの溶接の
仕方の一例を示す溶接部分の一部拡大断面図である。FIG. 3 is a partially enlarged sectional view of a welded portion showing an example of how to weld the filter element in the present invention.
【図４】本発明におけるフィルターエレメントの溶接の
仕方の他の例を示す溶接部分の一部拡大断面図である。FIG. 4 is a partially enlarged sectional view of a welded portion showing another example of how to weld a filter element in the present invention.
【図５】従来の金属フィルターにおけるフィルターエレ
メントの溶接の仕方の例を示す金属フィルターの縦断面
図である。FIG. 5 is a longitudinal cross-sectional view of a metal filter showing an example of how to weld filter elements in a conventional metal filter.
１ ハウジング １ａ ハウジングキャップ １ｂ ハウジングボディ ２ フィルターエレメント ３ 外周部分 ４ 封止部材 ５ 溶接部分 ６ 溶接部分 1 Housing 1a Housing cap 1b Housing body 2 Filter element 3 Outer peripheral part 4 Sealing member 5 Welding part 6 Welding part
Claims (2)
の内部に、金属フィルターエレメントを配設することか
らなる精密濾過用金属フィルターの製造方法において、
該金属フィルターエレメント外周の開孔部をあらかじめ
溶接して封止した後、該封止部分を該ハウジングと溶接
することにより該ハウジングの内部に該金属フィルター
エレメントを配設することを特徴とする上記金属フィル
ターの製造方法。1. A method for manufacturing a metal filter for precision filtration, which comprises arranging a metal filter element inside an outer housing that forms a fluid flow path,
The metal filter element is disposed inside the housing by welding and sealing the opening on the outer periphery of the metal filter element in advance, and then welding the sealed portion to the housing. Method of manufacturing metal filters.
、該封止部分を挟持あるいは当接し、該分割面と該封止
部分を同時に溶接することにより、該ハウジングの内部
に、該金属フィルターエレメントを配設することを特徴
とする請求項１記載の金属フィルターの製造方法。2. The metal filter is placed inside the housing by sandwiching or abutting the sealing portion between both dividing surfaces of the divided housing, and simultaneously welding the dividing surface and the sealing portion. 2. The method for manufacturing a metal filter according to claim 1, further comprising arranging an element.
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|---|---|---|---|
| JP03113746A JP3076812B2 (en) | 1991-04-19 | 1991-04-19 | Manufacturing method of metal filter for microfiltration |
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| JP (1) | JP3076812B2 (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1994029492A1 (en) * | 1993-06-15 | 1994-12-22 | Tadahiro Ohmi | Member or part of superhigh-purity gas supply system |
| JP2003334431A (en) * | 2002-05-16 | 2003-11-25 | Nippon Seisen Co Ltd | Filter device |
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1991
- 1991-04-19 JP JP03113746A patent/JP3076812B2/en not_active Expired - Fee Related
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| WO1994029492A1 (en) * | 1993-06-15 | 1994-12-22 | Tadahiro Ohmi | Member or part of superhigh-purity gas supply system |
| JP2003334431A (en) * | 2002-05-16 | 2003-11-25 | Nippon Seisen Co Ltd | Filter device |
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| Publication number | Publication date |
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| JP3076812B2 (en) | 2000-08-14 |
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