JPH04323627A - 光波長変換方法 - Google Patents
光波長変換方法Info
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- JPH04323627A JPH04323627A JP3092062A JP9206291A JPH04323627A JP H04323627 A JPH04323627 A JP H04323627A JP 3092062 A JP3092062 A JP 3092062A JP 9206291 A JP9206291 A JP 9206291A JP H04323627 A JPH04323627 A JP H04323627A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】レーザビームによるレーザ加工で
は、波長が短い程、焦点を小さく絞れ、より精密な加工
が可能になるので、波長の短いレーザビームとして、レ
ーザビームの第二高調波が使用される。
は、波長が短い程、焦点を小さく絞れ、より精密な加工
が可能になるので、波長の短いレーザビームとして、レ
ーザビームの第二高調波が使用される。
【０００２】本発明は、光波長変換素子タイプＩＩを用
いて、直線偏光レーザビームの第二高調波を発生させる
光波長変換方法に関し、特に、高効率な光波長変換方法
に関するものである。
いて、直線偏光レーザビームの第二高調波を発生させる
光波長変換方法に関し、特に、高効率な光波長変換方法
に関するものである。
【０００３】
【従来の技術】従来の光波長変換方法を図面に基づいて
説明する。図２、図３は、従来の光波長変換装置の構成
と動作を示す図である。光波長変換素子タイプＩＩには
、その結晶の波長変換軸（位相整合方向）が、図の２２
になるように設置したＫＴＰ結晶２１を用いる。ＫＴＰ
結晶２１は、結晶の波長変換軸２２と入射光の偏光方向
との方位関係によって、その第二高調波変換効率が決ま
る。図２、図３に示すように、入射レーザビーム（基本
波）２３のうち偏光方向が図の偏光方向２５の成分（波
長変換軸のＸ軸に対し±π／４）のみが、ＫＴＰ結晶２
１を通過する間にその一部が第二高調波に変換されて、
ＫＴＰ結晶２１から射出され、その他の偏光方向のもの
は素通りする。したがって、この射出レーザビーム２４
は基本波と第二高調波の混在波であり、基本波の偏光方
向はＸ軸と平行のものと垂直のものの２つ、第二高調波
の偏光方向はＸ軸と垂直（図の偏光方向２６）のものと
なる。
説明する。図２、図３は、従来の光波長変換装置の構成
と動作を示す図である。光波長変換素子タイプＩＩには
、その結晶の波長変換軸（位相整合方向）が、図の２２
になるように設置したＫＴＰ結晶２１を用いる。ＫＴＰ
結晶２１は、結晶の波長変換軸２２と入射光の偏光方向
との方位関係によって、その第二高調波変換効率が決ま
る。図２、図３に示すように、入射レーザビーム（基本
波）２３のうち偏光方向が図の偏光方向２５の成分（波
長変換軸のＸ軸に対し±π／４）のみが、ＫＴＰ結晶２
１を通過する間にその一部が第二高調波に変換されて、
ＫＴＰ結晶２１から射出され、その他の偏光方向のもの
は素通りする。したがって、この射出レーザビーム２４
は基本波と第二高調波の混在波であり、基本波の偏光方
向はＸ軸と平行のものと垂直のものの２つ、第二高調波
の偏光方向はＸ軸と垂直（図の偏光方向２６）のものと
なる。
【０００４】ＫＴＰ結晶に代表される光波長変換素子タ
イプＩＩを用いて第二高調波を発生させる従来の方法は
、上述のような配置の光波長変換素子タイプＩＩにレー
ザビームを１回だけ通過させて、光波長変換素子タイプ
ＩＩから射出された基本波と第二高調波が混在するレー
ザビームを、基本波反射・第二高調波透過のダイクロイ
ックミラー（図示せず）などにより、基本波と第二高調
波に分離し、そこから第二高調波を取り出している。
イプＩＩを用いて第二高調波を発生させる従来の方法は
、上述のような配置の光波長変換素子タイプＩＩにレー
ザビームを１回だけ通過させて、光波長変換素子タイプ
ＩＩから射出された基本波と第二高調波が混在するレー
ザビームを、基本波反射・第二高調波透過のダイクロイ
ックミラー（図示せず）などにより、基本波と第二高調
波に分離し、そこから第二高調波を取り出している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の光波長
変換素子タイプＩＩを用いた方法では、ＫＴＰ結晶２１
を通過した出射レーザビーム２４の中に、第二高調波に
変換されなかった基本波が多く残っており、従来は、こ
の残った基本波を再び第二高調波に変換する技術はなく
、この残った基本波が無駄になるという問題点があった
。
変換素子タイプＩＩを用いた方法では、ＫＴＰ結晶２１
を通過した出射レーザビーム２４の中に、第二高調波に
変換されなかった基本波が多く残っており、従来は、こ
の残った基本波を再び第二高調波に変換する技術はなく
、この残った基本波が無駄になるという問題点があった
。
【０００６】本発明は、上記問題点を解決し、光波長変
換素子タイプＩＩを用いた方法によって、光波長変換素
子タイプＩＩ通過後の射出レーザビーム中に残った基本
波を再び第二高調波に変換し、無駄なく利用できる光波
長変換方法を提供することをその課題とする。
換素子タイプＩＩを用いた方法によって、光波長変換素
子タイプＩＩ通過後の射出レーザビーム中に残った基本
波を再び第二高調波に変換し、無駄なく利用できる光波
長変換方法を提供することをその課題とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の光波長変換方法
は、上記の課題を解決するために、直線偏光のレーザビ
ーム基本波を光波長変換素子タイプＩＩを用いて第二高
調波に変換する光波長変換方法において、直線偏光方向
を光波長変換素子タイプＩＩの変換方向に合わせた基本
波を、此の基本波を反射し第二高調波を透過するハーフ
ミラーを介して、光波長変換素子タイプＩＩに入射し、
この基本波の一部を第二高調波に変換して、残りの基本
波と第二高調波とが混在する第１混在波を出射し、この
第１混在波を、ファラデー旋光手段を通し、全反射手段
によって反射して、再び前記旋光手段を前記と逆方向か
ら通すことにより、この第１混在波中の前記残りの基本
波の直線偏光方向を前記光波長変換素子タイプＩＩの変
換方向に合わせると共に、この第１混在波中の第二高調
波の直線偏光方向を前記光波長変換素子タイプＩＩの変
換方向から外して、前記光波長変換素子タイプＩＩに前
記と逆方向から入射し、この第１混在波中の前記残りの
基本波の一部を第二高調波に変換すると共に、この第１
混在波中の第二高調波を前記光波長変換素子タイプＩＩ
を素通りさせて、光波長変換素子タイプＩＩから、往路
において変換され復路は素通りした第二高調波と、復路
において変換された第二高調波と、残った基本波とが混
在する第２混在波を出射し、この第２混在波を、前記ハ
ーフミラーを介して、基本波と第二高調波とに分離する
ことを特徴とする。
は、上記の課題を解決するために、直線偏光のレーザビ
ーム基本波を光波長変換素子タイプＩＩを用いて第二高
調波に変換する光波長変換方法において、直線偏光方向
を光波長変換素子タイプＩＩの変換方向に合わせた基本
波を、此の基本波を反射し第二高調波を透過するハーフ
ミラーを介して、光波長変換素子タイプＩＩに入射し、
この基本波の一部を第二高調波に変換して、残りの基本
波と第二高調波とが混在する第１混在波を出射し、この
第１混在波を、ファラデー旋光手段を通し、全反射手段
によって反射して、再び前記旋光手段を前記と逆方向か
ら通すことにより、この第１混在波中の前記残りの基本
波の直線偏光方向を前記光波長変換素子タイプＩＩの変
換方向に合わせると共に、この第１混在波中の第二高調
波の直線偏光方向を前記光波長変換素子タイプＩＩの変
換方向から外して、前記光波長変換素子タイプＩＩに前
記と逆方向から入射し、この第１混在波中の前記残りの
基本波の一部を第二高調波に変換すると共に、この第１
混在波中の第二高調波を前記光波長変換素子タイプＩＩ
を素通りさせて、光波長変換素子タイプＩＩから、往路
において変換され復路は素通りした第二高調波と、復路
において変換された第二高調波と、残った基本波とが混
在する第２混在波を出射し、この第２混在波を、前記ハ
ーフミラーを介して、基本波と第二高調波とに分離する
ことを特徴とする。
【０００８】
【作用】本発明は、上記の構成により、光波長変換素子
タイプＩＩを用いた光波長変換方法において、光波長変
換素子タイプＩＩ通過後の出射レーザビーム中に残って
いる第二高調波に変換されなかった基本波と第二高調波
との第１混在波を、ファラデー旋光手段を通し、次いで
、全反射手段によって反射して、再び前記ファラデー旋
光手段に前記と逆方向から通すことにより、この第１混
在波中の前記残りの基本波の直線偏光方向を前記光波長
変換素子タイプＩＩの変換方向に合わせると共に、この
第１混在波中の第二高調波の直線偏光方向を前記光波長
変換素子タイプＩＩの変換方向から外して、前記光波長
変換素子タイプＩＩに前記と逆方向から入射することに
より、この第１混在波中の前記残りの基本波の一部を第
二高調波に変換すると共に、この第１混在波中の第二高
調波を前記光波長変換素子タイプＩＩを素通りさせて、
光波長変換素子タイプＩＩから、往路において変換され
復路は素通りした第二高調波と、復路において変換され
た第二高調波と、残った基本波とが混在する第２混在波
を出射し、この第２混在波を、ハーフミラーを介して、
基本波と第二高調波とに分離することにより、高価な光
波長変換素子タイプＩＩの数を増やすことなく、入射レ
ーザビームのエネルギに対する第二高調波の変換効率を
大きくすることができる。
タイプＩＩを用いた光波長変換方法において、光波長変
換素子タイプＩＩ通過後の出射レーザビーム中に残って
いる第二高調波に変換されなかった基本波と第二高調波
との第１混在波を、ファラデー旋光手段を通し、次いで
、全反射手段によって反射して、再び前記ファラデー旋
光手段に前記と逆方向から通すことにより、この第１混
在波中の前記残りの基本波の直線偏光方向を前記光波長
変換素子タイプＩＩの変換方向に合わせると共に、この
第１混在波中の第二高調波の直線偏光方向を前記光波長
変換素子タイプＩＩの変換方向から外して、前記光波長
変換素子タイプＩＩに前記と逆方向から入射することに
より、この第１混在波中の前記残りの基本波の一部を第
二高調波に変換すると共に、この第１混在波中の第二高
調波を前記光波長変換素子タイプＩＩを素通りさせて、
光波長変換素子タイプＩＩから、往路において変換され
復路は素通りした第二高調波と、復路において変換され
た第二高調波と、残った基本波とが混在する第２混在波
を出射し、この第２混在波を、ハーフミラーを介して、
基本波と第二高調波とに分離することにより、高価な光
波長変換素子タイプＩＩの数を増やすことなく、入射レ
ーザビームのエネルギに対する第二高調波の変換効率を
大きくすることができる。
【０００９】
【実施例】本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
図１は、光波長変換素子タイプＩＩとしてＫＴＰ結晶を
用いた場合の、本発明の一実施例の構成と動作を示す図
である。
用いた場合の、本発明の一実施例の構成と動作を示す図
である。
【００１０】図１において、光波長変換素子タイプＩＩ
として用いたＫＴＰ結晶１は、その結晶の波長変換軸（
位相整合方向）が、図１の２の方向になるように設置し
たＫＴＰ結晶１を用いる。この光波長変換素子タイプＩ
Ｉ１は、入射レーザビームのうち偏光方向が図１の波長
変換軸（位相整合方向）２のＸ軸に対し±π／４の成分
のみが、ＫＴＰ結晶１を通過する間にその一部が第二高
調波に変換されて、ＫＴＰ結晶１から出射され、他の偏
光方向の成分は光波長変換素子タイプＩＩを素通りする
。
として用いたＫＴＰ結晶１は、その結晶の波長変換軸（
位相整合方向）が、図１の２の方向になるように設置し
たＫＴＰ結晶１を用いる。この光波長変換素子タイプＩ
Ｉ１は、入射レーザビームのうち偏光方向が図１の波長
変換軸（位相整合方向）２のＸ軸に対し±π／４の成分
のみが、ＫＴＰ結晶１を通過する間にその一部が第二高
調波に変換されて、ＫＴＰ結晶１から出射され、他の偏
光方向の成分は光波長変換素子タイプＩＩを素通りする
。
【００１１】ファラデー旋光手段として用いるπ／８回
転のファラデー旋光子（右回り、左回りのいずれでも使
用可能、図のものは右回り）は、基本波の偏光方向を右
にπ／８回転する。全反射手段として用いる全反射ミラ
ー４は、レーザビームを垂直入射で、基本波・第二高調
波ともに全反射する。ハーフミラーとして用いるダイク
ロイックミラー５は、レーザビームの基本波を全反射し
、第二高調波を透過させる。レーザビーム６、８、１０
、１２、１４、１５、１７、１９はこの順番で各光学素
子を通過・反射する。偏光方向７、９、１１、１３、１
６、１８は夫々の地点でのレーザビームの偏光方向を示
す。ωは基本波、２ωは第二高調波を示す。
転のファラデー旋光子（右回り、左回りのいずれでも使
用可能、図のものは右回り）は、基本波の偏光方向を右
にπ／８回転する。全反射手段として用いる全反射ミラ
ー４は、レーザビームを垂直入射で、基本波・第二高調
波ともに全反射する。ハーフミラーとして用いるダイク
ロイックミラー５は、レーザビームの基本波を全反射し
、第二高調波を透過させる。レーザビーム６、８、１０
、１２、１４、１５、１７、１９はこの順番で各光学素
子を通過・反射する。偏光方向７、９、１１、１３、１
６、１８は夫々の地点でのレーザビームの偏光方向を示
す。ωは基本波、２ωは第二高調波を示す。
【００１２】本発明の実施例の動作は次の通りである。
ポッケルスセルＱスイッチ発信（図示せず）等により取
り出した直線偏光レーザビーム（基本波ω）６が偏光方
向７に示すように水平方向にπ／４傾いた偏光方向でダ
イクロイックミラー５に水平方向４５度の角度で入射す
る。
り出した直線偏光レーザビーム（基本波ω）６が偏光方
向７に示すように水平方向にπ／４傾いた偏光方向でダ
イクロイックミラー５に水平方向４５度の角度で入射す
る。
【００１３】ダイクロイックミラー５で反射されたレー
ザビーム８は、その結晶の波長変換軸（位相整合方向）
２のＸ軸方向が、図１に示されるように、前記直線偏光
レーザビーム（基本波ω）６と平行になるように設置さ
れたＫＴＰ結晶１に入射される。レーザビーム８の偏光
方向は、図１の偏光方向９に示すように、水平方向にπ
／４傾いたままの基本波ωである。
ザビーム８は、その結晶の波長変換軸（位相整合方向）
２のＸ軸方向が、図１に示されるように、前記直線偏光
レーザビーム（基本波ω）６と平行になるように設置さ
れたＫＴＰ結晶１に入射される。レーザビーム８の偏光
方向は、図１の偏光方向９に示すように、水平方向にπ
／４傾いたままの基本波ωである。
【００１４】ＫＴＰ結晶１を通過したレーザビーム１０
は、その一部が第二高調波２ωに変換されている（説明
のために、ここでは、５０％が第二高調波２ωに変換さ
れるものとする。）。変換後の、残った基本波ωと変換
された第二高調波２ωとの混合レーザビーム１０の偏光
方向は、偏光方向１１に示すように、残った基本波ωは
水平および垂直の２つの直線偏光方向に、第二高調波２
ωは垂直の直線偏光方向になる。混合レーザビーム１０
は、右回りのπ／８回転のファラデー旋光子３に入射し
、レーザビーム１２となって射出される。
は、その一部が第二高調波２ωに変換されている（説明
のために、ここでは、５０％が第二高調波２ωに変換さ
れるものとする。）。変換後の、残った基本波ωと変換
された第二高調波２ωとの混合レーザビーム１０の偏光
方向は、偏光方向１１に示すように、残った基本波ωは
水平および垂直の２つの直線偏光方向に、第二高調波２
ωは垂直の直線偏光方向になる。混合レーザビーム１０
は、右回りのπ／８回転のファラデー旋光子３に入射し
、レーザビーム１２となって射出される。
【００１５】レーザビーム１２の偏光方向は、図の偏光
方向１３に示すように、残った基本波ωは水平方向から
−π／８、および、３π／８の方向の直線偏光となり、
第二高調波２ωは水平方向から、 π｛２−（λ１ ／λ２ ）×２／８｝だけ回転した直
線偏光となる。ここでλ１ は基本波ωの波長、λ２
は第二高調波２ωの波長である。レーザビーム１２は、
全反射ミラー４に入射角度０度で入射し、全反射されて
、その進行方向がレーザビーム１２と逆方向のレーザビ
ーム１４となる。
方向１３に示すように、残った基本波ωは水平方向から
−π／８、および、３π／８の方向の直線偏光となり、
第二高調波２ωは水平方向から、 π｛２−（λ１ ／λ２ ）×２／８｝だけ回転した直
線偏光となる。ここでλ１ は基本波ωの波長、λ２
は第二高調波２ωの波長である。レーザビーム１２は、
全反射ミラー４に入射角度０度で入射し、全反射されて
、その進行方向がレーザビーム１２と逆方向のレーザビ
ーム１４となる。
【００１６】レーザビーム１４の偏光方向は、偏光方向
１３に示すままであり、再び、π／８回転のファラデー
旋光子３に入射し、レーザビーム１５となって出射され
る。
１３に示すままであり、再び、π／８回転のファラデー
旋光子３に入射し、レーザビーム１５となって出射され
る。
【００１７】レーザビーム１５の偏光方向は、図の偏光
方向１６に示すように、基本波ωは水平方向から±π／
４の２方向の直線偏光となり、第二高調波２ωは水平方
向から、 π｛２−（λ１ ／λ２ ）×２／４｝だけ回転した直
線偏光となるが、実際にはλ１ 対 λ２ が約１／
２なので、図１に示すようになる。残った基本波ωのエ
ネルギ成分は元の直線偏光レーザビーム（基本波ω）６
に対して約５０％である。レーザビーム１５は、再度、
ＫＴＰ結晶１を通過する。
方向１６に示すように、基本波ωは水平方向から±π／
４の２方向の直線偏光となり、第二高調波２ωは水平方
向から、 π｛２−（λ１ ／λ２ ）×２／４｝だけ回転した直
線偏光となるが、実際にはλ１ 対 λ２ が約１／
２なので、図１に示すようになる。残った基本波ωのエ
ネルギ成分は元の直線偏光レーザビーム（基本波ω）６
に対して約５０％である。レーザビーム１５は、再度、
ＫＴＰ結晶１を通過する。
【００１８】このとき、水平方向から±π／４の２方向
の直線偏光であるレーザビーム１５の残った基本波ωは
、ＫＴＰ結晶１の変換効率によって、その一部が第二高
調波２ωに変換される。そして、先に変換されている第
二高調波２ωは、前記の、 π｛２−（λ１ ／λ２ ）×２／４｝だけ水平方向か
ら回転した方向の直線偏光のままでＫＴＰ結晶１を通過
する。説明のために、ＫＴＰ結晶１の第二高調波２ωへ
の変換効率が入射基本波ωのエネルギ密度の２乗に比例
するとすれば、この第２回目のＫＴＰ結晶１を通過する
ことによって、元の直線偏光レーザビーム（基本波ω）
６に対して約１２．５％の基本波ωが第二高調波２ωに
変換されることになる。
の直線偏光であるレーザビーム１５の残った基本波ωは
、ＫＴＰ結晶１の変換効率によって、その一部が第二高
調波２ωに変換される。そして、先に変換されている第
二高調波２ωは、前記の、 π｛２−（λ１ ／λ２ ）×２／４｝だけ水平方向か
ら回転した方向の直線偏光のままでＫＴＰ結晶１を通過
する。説明のために、ＫＴＰ結晶１の第二高調波２ωへ
の変換効率が入射基本波ωのエネルギ密度の２乗に比例
するとすれば、この第２回目のＫＴＰ結晶１を通過する
ことによって、元の直線偏光レーザビーム（基本波ω）
６に対して約１２．５％の基本波ωが第二高調波２ωに
変換されることになる。
【００１９】この再度変換後の、さらに残った基本波ω
と第二高調波２ωとの混合レーザビーム１７は、図の１
８に示すように、その基本波ωは水平および垂直方向の
２つの偏光方向の直線偏光になり、その第二高調波２ω
は垂直方向と、図１の偏光方向１８に示すように、水平
方向から、前記の π｛２−（λ１ ／λ２ ）×２／４｝だけ回転した方
向の２つの直線偏光になる。
と第二高調波２ωとの混合レーザビーム１７は、図の１
８に示すように、その基本波ωは水平および垂直方向の
２つの偏光方向の直線偏光になり、その第二高調波２ω
は垂直方向と、図１の偏光方向１８に示すように、水平
方向から、前記の π｛２−（λ１ ／λ２ ）×２／４｝だけ回転した方
向の２つの直線偏光になる。
【００２０】この混合レーザビーム１７は、ダイクロイ
ックミラー５に水平方向４５度の角度で入射する。ダイ
クロイックミラー５によって、この混合レーザビーム１
７の基本波ωは全反射され、第二高調波２ωのみがダイ
クロイックミラー５を透過してレーザビーム１９となっ
て射出される。
ックミラー５に水平方向４５度の角度で入射する。ダイ
クロイックミラー５によって、この混合レーザビーム１
７の基本波ωは全反射され、第二高調波２ωのみがダイ
クロイックミラー５を透過してレーザビーム１９となっ
て射出される。
【００２１】レーザビーム１９の第二高調波２ωの直線
偏光方向は、図１の偏光方向１８の第二高調波２ωのま
まである。
偏光方向は、図１の偏光方向１８の第二高調波２ωのま
まである。
【００２２】本発明の光波長変換装置は、５０％の変換
効率のＫＴＰ結晶１を１つだけ使用して、元の直線偏光
レーザビーム（基本波ω）６のエネルギの６２．５％を
第二高調波２ωに変換することができる。但し、この計
算は、光学素子における吸収・透過界面における反射、
および、ＫＴＰ結晶中での第二高調波のウォークオフ現
象がないものと仮定している。
効率のＫＴＰ結晶１を１つだけ使用して、元の直線偏光
レーザビーム（基本波ω）６のエネルギの６２．５％を
第二高調波２ωに変換することができる。但し、この計
算は、光学素子における吸収・透過界面における反射、
および、ＫＴＰ結晶中での第二高調波のウォークオフ現
象がないものと仮定している。
【００２３】本発明の光波長変換装置は、上記の実施例
に限らず種々の態様が可能である。
に限らず種々の態様が可能である。
【００２４】例えば、光波長変換素子タイプＩＩは、Ｋ
ＴＰ結晶以外のものでも良い。ファラデー旋光手段は、
π／８回転のファラデー旋光子に限らず基本波の偏光方
向を光波長変換素子タイプＩＩの変換方向に合わせるこ
とができば例えばπ／８の奇数倍回転でも良い。ハーフ
ミラーへの入射角は４５度に限らない。
ＴＰ結晶以外のものでも良い。ファラデー旋光手段は、
π／８回転のファラデー旋光子に限らず基本波の偏光方
向を光波長変換素子タイプＩＩの変換方向に合わせるこ
とができば例えばπ／８の奇数倍回転でも良い。ハーフ
ミラーへの入射角は４５度に限らない。
【００２５】
【発明の効果】本発明は、上記の構成と作用によって、
従来技術では、第二高調波２ωへの変換ができなかった
、光波長変換素子タイプＩＩ通過後の射出レーザビーム
中に残った基本波ωを、１つの光波長変換素子タイプＩ
Ｉを再度通過させて第二高調波２ωへの変換を行うため
に、光波長変換素子タイプＩＩの数を増やすことなく、
元の入射レーザビームのエネルギに対する第二高調波２
ωへの変換効率を大きくすることができる。従って、本
発明の光波長変換方法を用いると、レーザ加工において
、従来より大きいエネルギの短い波長のレーザビームを
用いて、精密な加工を能率良く行うことができるという
効果を奏する。
従来技術では、第二高調波２ωへの変換ができなかった
、光波長変換素子タイプＩＩ通過後の射出レーザビーム
中に残った基本波ωを、１つの光波長変換素子タイプＩ
Ｉを再度通過させて第二高調波２ωへの変換を行うため
に、光波長変換素子タイプＩＩの数を増やすことなく、
元の入射レーザビームのエネルギに対する第二高調波２
ωへの変換効率を大きくすることができる。従って、本
発明の光波長変換方法を用いると、レーザ加工において
、従来より大きいエネルギの短い波長のレーザビームを
用いて、精密な加工を能率良く行うことができるという
効果を奏する。
【図１】本発明の一実施例の構成と動作を示す図である
。
。
【図２】従来例の構成と動作を示す図である。
【図３】従来例の構成と動作を示す図である。
ω 基本波
２ω 第二高調波
１ ＫＴＰ結晶（光波長変換素子タイプＩＩ）３
π／８回転ファラデー旋光子（ファラデー旋光手段） ４ 全反射ミラー（全反射手段）
π／８回転ファラデー旋光子（ファラデー旋光手段） ４ 全反射ミラー（全反射手段）
Claims (1)
- 【請求項１】 直線偏光のレーザビーム基本波を光波
長変換素子タイプＩＩを用いて第二高調波に変換する光
波長変換方法において、直線偏光方向を光波長変換素子
タイプＩＩの変換方向に合わせた基本波を、此の基本波
を反射し第二高調波を透過するハーフミラーを介して、
光波長変換素子タイプＩＩに入射し、この基本波の一部
を第二高調波に変換して、残りの基本波と第二高調波と
が混在する第１混在波を出射し、この第１混在波を、フ
ァラデー旋光手段を通し、全反射手段によって反射して
、再び前記旋光手段を前記と逆方向から通すことにより
、この第１混在波中の前記残りの基本波の直線偏光方向
を前記光波長変換素子タイプＩＩの変換方向に合わせる
と共に、この第１混在波中の第二高調波の直線偏光方向
を前記光波長変換素子タイプＩＩの変換方向から外して
、前記光波長変換素子タイプＩＩに前記と逆方向から入
射し、この第１混在波中の前記残りの基本波の一部を第
二高調波に変換すると共に、この第１混在波中の第二高
調波を前記光波長変換素子タイプＩＩを素通りさせて、
光波長変換素子タイプＩＩから、往路において変換され
復路は素通りした第二高調波と、復路において変換され
た第二高調波と、残った基本波とが混在する第２混在波
を出射し、この第２混在波を、前記ハーフミラーを介し
て、基本波と第二高調波とに分離することを特徴とする
光波長変換方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3092062A JPH04323627A (ja) | 1991-04-23 | 1991-04-23 | 光波長変換方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3092062A JPH04323627A (ja) | 1991-04-23 | 1991-04-23 | 光波長変換方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04323627A true JPH04323627A (ja) | 1992-11-12 |
Family
ID=14043995
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3092062A Pending JPH04323627A (ja) | 1991-04-23 | 1991-04-23 | 光波長変換方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04323627A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001056491A (ja) * | 1999-08-18 | 2001-02-27 | Japan Atom Energy Res Inst | レーザー光の波長変換法 |
| JP2007053159A (ja) * | 2005-08-16 | 2007-03-01 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | レーザ共振器及び波長変換装置 |
-
1991
- 1991-04-23 JP JP3092062A patent/JPH04323627A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001056491A (ja) * | 1999-08-18 | 2001-02-27 | Japan Atom Energy Res Inst | レーザー光の波長変換法 |
| JP2007053159A (ja) * | 2005-08-16 | 2007-03-01 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | レーザ共振器及び波長変換装置 |
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