JPH0432430U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図はこの考案の一実施例を示す
図であつて、第１図ａはクリーンルームの概略断
面図、同図ｂは空気吹出口ユニツトが取り付けら
れた空気供給部の概略断面図、第２図ａは空気吹
出口ユニツトの概略断面図、同図ｂは空気吹出ノ
ズルの断面図、同図ｃは空気吹出口ユニツトの全
体斜視図、第３図ａ〜ｄは複数の空気供給部の設
置例を示す平面図、第４図ａ，ｂは測定に用いた
クリーンルームの平面図、第５図ａ〜ｄはこの考
案に係るクリーンルームにおける気流分布の測定
結果を示すグラフ、第６図ａ〜ｄは従来例のクリ
ーンルームにおける気流分布の測定結果を示すグ
ラフ、第７図ａ〜ｄはこの考案に係るクリーンル
ームにおける粒子濃度の測定結果を示すグラフ、
第８図ａ〜ｄは従来例のクリーンルームにおける
粒子濃度の測定結果を示すグラフ、第９図及び第
１０図は従来例を示す図であつて、第９図ａはク
リーンルームの概略断面図、同図ｂは空気吹出口
ユニツトが取り付けられた空気供給部の概略断面
図、第１０図は複数の空気供給部の設置例を示す
平面図である。 Ｂ……クリーンルーム、Ｂ２……天井、Ｂ３…
…壁、Ｂ４……床、Ｂ５……クリーンルーム室内
、Ｂ１１……空気調和部、Ｂ１３，Ｂ１４……ダ
クト、Ｂ２２……送風装置、Ｂ２５……外気取入
口、Ｂ２７……濾過材、４１……空気調和装置、
４２……空気供給部、４３……空気取入口、５１
……空気吹出口ユニツト、５７……空気吹出ノズ
ル、５８……空気吹出口、５９……球状体、６０
……貫通孔、６１……支持部。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 天井に設けられた空気供給部から、壁に設けら
   れた排気用の空気吸込口に向けて清浄な空気を流
   すことによつて、室内の空気を清浄な状態に維持
   するクリーンルームであつて、前記空気供給部の
   下部に空気吹出口ユニツトを設け、該空気吹出口
   ユニツトは側面に空気の流れの方向を自在に変更
   できる可変式の空気吹出ノズルを備えるとともに
   、底面に複数の空気吹出口を備えてなることを特
   徴とするクリーンルーム。