JPH043251Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、液体中の微粒子の検出・測定を行う
液中微粒子測定装置に関する。

〔従来の技術〕

従来の液中微粒子測定装置は、微粒子検出原理
に基づき、光遮断法、光散乱方、ダイナミツク光
散乱法、電気抵抗法、音響法等に分類される。

この中で音響法に基づく微粒子測定装置を除
き、他の測定原理に基づく微粒子測定装置におい
ては微粒子の検出部で、液中に存在する気泡と、
検出対象である固体粒子との識別が困難であり、
気泡を粒子として計数する所謂偽計数が生じ、測
定精度の低下は避けられない実状であつた。揮発
性の有機溶剤や過酸化水素水、アンモニア水等、
気泡を発生し易い液体試料中の微粒子測定では、
前記偽計数の発生は特に重要な問題であつた。

尚、音響法に基づく装置については、その検出
原理上粒子の物質組成に対しある程度の知見を得
ることができるため気泡と固体粒子とを識別する
ことが可能である。

今までのところ、このような気泡対策として、
例えば測定前に液体試料を減圧脱気する減圧脱気
法がある。

第３図は光遮断方式または光散乱方式で、かつ
バツチサンプリング方式の液中微粒子測定装置に
減圧脱気法を適用した場合の従来例である。

１は加圧タンクであり内部には液体試料２の入
つた容器３が設置されている。４は加圧空気を作
り出す加圧用ポンプ、５は液体試料２を後述する
微粒子検出部７へ圧送すべく、加圧タンク１内に
加圧空気を送り込む加圧パイプである。６は加圧
タンク１内から検出部７内に導かれる流入流路系
を構成する導入パイプである。加圧パイプ５には
三方弁３０及び減圧用ポンプ３１が付加されてい
る。測定を行う前に減圧ポンプ３１を運転し液体
試料２を減圧処理し予め気泡の発生を促進して液
体試料２中に溶在している空気分子と気泡の除去
を行う。

検出部７は、微粒子検出原理に基づき各種の構
成が知られている。例えば光散乱方式であれば、
大略、試料に光を照射する照射系、試料の通過す
る流路系及び微粒子に依り発生する散乱光を受光
素子に導く受光系で構成されてなる。

検出部７からの微粒子に対応するパルス信号は
増幅器８、多チヤンネル分級器９で処理し、粒径
区分ごとの粒子計数値を表示器１０に表示させ
る。１１は検出部７から導出される排出流路系を
構成する排出パイプである。１３，１４はバルブ
であり、このバルブ１３，１４を操作することに
より液体試料２を検出部７に導入したり、メスシ
リンダ１５に溜めて測定容量を求めたり、或いは
液体試料２を排出したりする。

尚１６は加圧タンク１内の圧力を指示する圧力
計、１７はレギユレータである。

減圧脱気法の他にも気泡発生防止の為に、液体
試料を加温脱気する方法、液体試料を超音波にか
ける方法が行われている。

しかしながら以上述べた三方法はいずれも液体
試料中に溶けている空気分子を除去するのに有効
であり、従つて空気分子を組成とする気泡対策に
はなるが、気化し易く蒸気により気泡を形成する
揮発性の液体試料に対する気泡対策にはならな
い。加えて前述の三方法はいずれも装置が大型で
複雑であつた。さらに測定前に液体試料に対し、
何等かの処理もしくは操作を加えることになる
為、液体試料中の被測定粒子数が変化する虞があ
つた。

〔考案の目的〕

本考案は、微粒子の検出部における液体試料中
の既存気泡の消失を推進し、さらに新たなる気泡
の発生を防止すること、ひいては偽計数の発生を
防止することを目的とする。

本発明の他の目的は、低粘度の液体試料に対し
ても流量調節を容易にすることにある。

〔問題点を解決するための手段〕

以上の目的を達成する為に本考案では、液体試
料が通過する排出流路系に内径の細い樹脂チユー
ブ１２を介在するようにする。

〔実施例〕

以下、添付図面に従つて本考案の実施例を説明
する。

第１図は本考案を光遮断方式または光散乱方式
で、かつバツチサンプリング方式の液中微粒子測
定装置に適用した場合の実施例である。

１は加圧タンクであり内部には液体試料２の入
つた容器３が設置されている。４は加圧空気を作
り出す加圧用ポンプ、５は液体試料２を後述する
微粒子検出部７へ圧送すべく、加圧タンク１内に
加圧空気を送り込む加圧パイプである。６は加圧
タンク１内から検出部７内に導かれる流入流路系
を構成する導入パイプである。

検出部７からの微粒子に対応するパルス信号は
増幅器８、多チヤンネル分級器９で処理し、粒径
区分ごとの粒子計数値を表示器１０に表示させ
る。１１は検出部７から導出される排出流路系を
構成する排出パイプである。１２は排出パイプ１
１中に介在接続されてなる、内径の細い樹脂チユ
ーブである。１３，１４はバルブであり、このバ
ルブ１３，１４を操作することにより液体試料を
検出部６に導入したり、メスシリンダ１５に溜め
て測定容量を求めたり、或いは液体試料を排出し
たりする。

次に作用について述べる。

液体試料２は加圧タンク１から導入パイプ６を
介して検出部７に導かれ、この検出部７に於いて
微粒子が検出され、その測定結果が表示器１０で
判明する。その後、液体試料２は排出パイプ１１
によつて検出部７から導出されるが、内径の細い
樹脂チューブ１２の存在により液体試料の流れに
対する管路の抵抗は大となる。従つて液体試料２
が内径の細い樹脂チューブ１２を通る際、圧力損
失が生じる。この圧力損失により検出部７内の液
体試料２の圧力を高く保つことができる。

第２図は他の実施例であり本考案をオンライン
サンプリング方式の液中微粒子測定装置に適用し
た場合をしめす。上記実施例では液体容量の測定
にメスシリンダを使用している場合について説明
したが、本実施例では流量計１８を用いている。
また上記実施例では液体試料２の送出手段として
用いられていた加圧タンク１の代わりに本実施例
では高圧のシステム配管１９内の圧力を利用して
システム配管１９内を流れる液体試料２を検出部
７へ送出している。

また第２図で内径の細い樹脂チューブ１２は流
量計の後に置かれているが、このために流量計内
部の液体圧力も高まり、流量測定も気泡に依る誤
差を受け難くなる。

〔考案の効果〕

以上説明した如く本考案によれば、排出流路系
の一部に内径の細い樹脂チユーブを介在せしめて
いるため、検出部内部の液体の圧力が高まり、液
体試料の沸点が上昇すると共に気体の液体中への
溶解度が増大するので既に液体試料中に存在する
気泡が消失し、或いは新たな発生が妨げられるこ
とになる。この効果は空気分子からなる気泡、及
び液体試料の蒸気からなる気泡いずれにも有効で
ある。従つて非常に容易な構成で気泡による偽計
数の問題を改善する効果が得られ測定精度を向上
することが可能になる。

その上本考案は測定以前に液体試料に対し何等
操作を加えることなく上記効果を得ることが可能
な為、本考案の実施に依り液体試料中の被測定粒
子数が変化する虞が皆無である。

また管路の抵抗増大手段として内径の細い樹脂
チューブを用いるためこの樹脂チユーブの長さを
変えることにより圧力損失の大きさを調節して、
沸点の異なる種々の液体試料に対しても容易に最
適な条件で本考案を適用することが可能である。

更に内径の細い樹脂チューブを用いており柔軟
性に富むため、樹脂チューブが相当長くなる場合
でも折り曲げることによつて、装置内部に容易に
組み込むことが可能である。

また樹脂材質をポリテトラフロロエチレンにす
れば耐薬品性が非常に向上する。

更に従来の液中微粒子測定装置に於いては送出
圧力の調整による液体試料の流速調節が低粘度の
液体試料に対しては、容易ではなかつたが本考案
を適用した液中微粒子測定装置に於いては低粘度
の液体試料に対しても送出圧力の調整による液体
試料の流速調節が容易になる効果が得られる。

また第２図に示す実施例では、内径の細い樹脂
チューブは流量計の後に置かれているため流量計
内部の液体圧力も高まり、流量測定も気泡に依る
誤差を受け難くなる効果が得られる。

以上の如く本考案によれば、非常に容易な構成
にも拘らず気泡発生による偽計数の問題を解決す
ることができ、合わせて上述の如く多数の効果が
得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す構成図を、又
第２図は同じく他の実施例を示す構成図を示す。
第３図は従来の微粒子測定装置の一例をしめす。 ２……液体試料、７……検出部、１１……排出
パイプ（排出流路系）、１２……内径の細い樹脂
チユーブ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 液体試料２中の微粒子を検出する検出部７から
   導出される液体試料２の流れる排出流路系１１
   に、内径の細い樹脂チユーブ１２を介在せしめ、
   この樹脂チユーブ１２の存在により、前記検出部
   ７内の液体圧力を高めることを特徴とする微粒子
   測定装置。