JPH04325284A - レーザ印字装置 - Google Patents
レーザ印字装置Info
- Publication number
- JPH04325284A JPH04325284A JP3121821A JP12182191A JPH04325284A JP H04325284 A JPH04325284 A JP H04325284A JP 3121821 A JP3121821 A JP 3121821A JP 12182191 A JP12182191 A JP 12182191A JP H04325284 A JPH04325284 A JP H04325284A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid crystal
- crystal mask
- objective lens
- image
- optical path
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Thermal Transfer Or Thermal Recording In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶マスクを用いたレ
ーザ印字装置で、特に、液晶マスクの出射側から印字面
までの出射側光路内で、液晶マスクから出射した画像を
Ｘ方向とＹ方向の双方へ偏光して印字位置を印字面にて
変えることができるようにしたレーザ印字装置に関する
ものである。
ーザ印字装置で、特に、液晶マスクの出射側から印字面
までの出射側光路内で、液晶マスクから出射した画像を
Ｘ方向とＹ方向の双方へ偏光して印字位置を印字面にて
変えることができるようにしたレーザ印字装置に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の上記レーザ印字装置は、図４に示
すようになっていて、フィールドレンズ１と組合わせて
なる液晶マスク２の出射側の固定反射ミラー３を含む出
射側光路４内に、この出射光を例えばＸ方向へ偏光する
第１のスキャナミラー５とＹ方向に偏光する第２のスキ
ャナミラー６と対物レンズ７とが介装してあり、上記両
スキャナミラー５，６をそれぞれに連結したスキャナモ
ータ５ａ，６ａにて連動してスキャナ動作するようにな
っている。上記対物レンズ７は第２のスキャナミラー６
による角度偏差を補正するためと、エネルギ集中のため
に用いられる。また上記両スキャナミラー５，６の間に
は角度によるひずみを補正するためのｆ−θレンズ７ａ
が必要な場合がある。
すようになっていて、フィールドレンズ１と組合わせて
なる液晶マスク２の出射側の固定反射ミラー３を含む出
射側光路４内に、この出射光を例えばＸ方向へ偏光する
第１のスキャナミラー５とＹ方向に偏光する第２のスキ
ャナミラー６と対物レンズ７とが介装してあり、上記両
スキャナミラー５，６をそれぞれに連結したスキャナモ
ータ５ａ，６ａにて連動してスキャナ動作するようにな
っている。上記対物レンズ７は第２のスキャナミラー６
による角度偏差を補正するためと、エネルギ集中のため
に用いられる。また上記両スキャナミラー５，６の間に
は角度によるひずみを補正するためのｆ−θレンズ７ａ
が必要な場合がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来のレーザ印字
装置にあっては、２組のスキャナミラー５，６と対物レ
ンズ７及びｆ−θレンズ７ａを必要としていたため部品
が多い上に、ひずみを完全になくすことはむずかしかっ
た。
装置にあっては、２組のスキャナミラー５，６と対物レ
ンズ７及びｆ−θレンズ７ａを必要としていたため部品
が多い上に、ひずみを完全になくすことはむずかしかっ
た。
【０００４】本発明は上記のことにかんがみなされたも
ので、液晶マスクから印字面までの出射側光路内の偏光
機構を単純化でき、しかも出射光像のひずみを少なくす
ることができるようにしたレーザ印字装置を提供するこ
とを目的とするものである。
ので、液晶マスクから印字面までの出射側光路内の偏光
機構を単純化でき、しかも出射光像のひずみを少なくす
ることができるようにしたレーザ印字装置を提供するこ
とを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係るレーザ印字装置は、液晶マスクの出射
側から印字面までの出射側光路内で、液晶マスクから出
射した画像をＸ方向とＹ方向の双方へ偏光して印字位置
を印字面にて変えるようにしたレーザ印字装置において
、出射側光路内に、Ｘ，Ｙ方向の一方に回動可能にした
偏光ミラーと、Ｘ，Ｙ方向の他方に移動可能にした対物
レンズとを設けた構成となっている。
に、本発明に係るレーザ印字装置は、液晶マスクの出射
側から印字面までの出射側光路内で、液晶マスクから出
射した画像をＸ方向とＹ方向の双方へ偏光して印字位置
を印字面にて変えるようにしたレーザ印字装置において
、出射側光路内に、Ｘ，Ｙ方向の一方に回動可能にした
偏光ミラーと、Ｘ，Ｙ方向の他方に移動可能にした対物
レンズとを設けた構成となっている。
【０００６】
【作 用】液晶マスクから出射された画像は偏光
ミラーと対物レンズを経て印字面に照射される。そして
このとき、この出射画像は偏光ミラーと対物レンズを回
動（移動）することにより印字面における印字位置が変
えられる。
ミラーと対物レンズを経て印字面に照射される。そして
このとき、この出射画像は偏光ミラーと対物レンズを回
動（移動）することにより印字面における印字位置が変
えられる。
【０００７】
【実 施 例】本発明の実施例を図１から図３に基
づいて説明する。なおこの実施例において、図４に示す
従来例と同一部材は同一符号を付して説明する。フィー
ルドレンズ１と組合わせてなる液晶マスク２の入射側に
はレーザ発振器８，Ｘ方向偏光ミラー９，リレーレンズ
１０，Ｙ方向スキャン用のポリゴンミラー１１にて入射
側光路１２が構成されている。また上記液晶マスク２の
出射側光路１３は偏光ミラー１４と、対物レンズ１５と
にて構成されている。そして上記出射側光路１３の偏光
ミラー１４は従来例における第１のスキャナミラーと同
様に、例えばＸ方向に回動モータ１６にて回動されて液
晶マスク２からの出射ビームをＸ方向に偏光するように
なっている。また対物レンズ１５は上記偏光ミラー１４
の回動方向と直角方向（Ｙ方向）に回動自在に支持され
ている。１７はその回動支点であり、これの回転アーム
１８にリンク機構１９を介して回動モータ２０の出力軸
に連結されている。
づいて説明する。なおこの実施例において、図４に示す
従来例と同一部材は同一符号を付して説明する。フィー
ルドレンズ１と組合わせてなる液晶マスク２の入射側に
はレーザ発振器８，Ｘ方向偏光ミラー９，リレーレンズ
１０，Ｙ方向スキャン用のポリゴンミラー１１にて入射
側光路１２が構成されている。また上記液晶マスク２の
出射側光路１３は偏光ミラー１４と、対物レンズ１５と
にて構成されている。そして上記出射側光路１３の偏光
ミラー１４は従来例における第１のスキャナミラーと同
様に、例えばＸ方向に回動モータ１６にて回動されて液
晶マスク２からの出射ビームをＸ方向に偏光するように
なっている。また対物レンズ１５は上記偏光ミラー１４
の回動方向と直角方向（Ｙ方向）に回動自在に支持され
ている。１７はその回動支点であり、これの回転アーム
１８にリンク機構１９を介して回動モータ２０の出力軸
に連結されている。
【０００８】上記構成において、液晶マスク２にはこれ
に印加する電圧信号により所定の画像が任意に、あるい
は順次現出される。そしてこの液晶マスク２の入射側光
路１２ではＸ方向偏光ミラー９、ポリゴンミラー１１に
てレーザ発振器８からのレーザビームは上記液晶マスク
２上にスキャニングされ、この液晶マスク２に現われた
第１の画像が出射側光路１３に出射され、この像は偏光
ミラー１４と対物レンズ１５を経てワーク等の印字面２
１上に照射されて、この印字面２１の第１の印字位置ａ
に上記液晶マスク２の第１の画像が印字される。次いで
図２に示すように、例えば、対物レンズ１５を固定した
状態で、偏光ミラー１４をＸ方向の一方へ所定の角度だ
け回動すると共に、液晶マスク２に第２の画像を現出さ
せてからこれをスキャニングすることにより、この第２
の画像はＸ方向の一方へ振られた状態で対物レンズ１５
を経て印字面２１へ照射され、上記第１の印字位置ａに
Ｘ方向の一方に隣接するＸ方向第２の印字位置ｂに上記
液晶マスク２の第２の画像が印字される。同様に偏光ミ
ラー１４をＸ方向の他方へ所定角度だけ回動して上記作
動を行なうことにより印字面２１のＸ方向第３の印字位
置ｃに第３の画像が印字される。一方図３に示すように
、偏光ミラー１４を固定した状態で対物レンズ１５を上
記第１の画像が印字された状態から所定角度だけＹ方向
の一方へ回動すると、液晶マスク２の第４の画像が上記
第１の印字位置のＹ方向の一方に隣接するＹ方向第２の
印字位置ｄに印字される。同様に対物レンズ１５をＹ方
向の他方へ所定角度だけ回動して照射することにより液
晶マスク２の第５の画像が上記第１の印字位置のＹ方向
の他方に隣接するＹ方向第３の印字位置ｅに印字される
。上記Ｘ，Ｙ方向以外にも、偏光ミラー１４と対物レン
ズ１５を共動させることにより、Ｘ−Ｙ方向に対して４
５°の方向にも印字位置をずらせることができる。上記
作動において、液晶マスク２に現われる画像をある大き
な画像の一部分の画像にしておくことにより、上記各印
字位置ａ〜ｅに印字される画像により大きな像を分割的
に描いていくことができる。なお上記実施例では、入射
側光路１２にＸ方向偏光ミラー９とポリゴンミラー１１
を用いたスキャナタイプの例を示したが、この入射側光
路１２には、液晶マスク２に直接光源を対向させ、かつ
液晶マスク２の全面に光が照射するように光路を拡大し
た状態に設け１ショットで光を照射するようにしてもよ
い。上記出射側光路１３の偏光ミラー１４と対物レンズ
１５のそれぞれを動作する回動モータ１６，２０及び液
晶マスク２等は図示しない制御装置にて制御される。 上記回動モータ１６，２０にはパルスモータあるいはＡ
Ｃサーボを用いてあり、これにより絶対位置のコントロ
ールが容易、かつ正確に行なうことができ、その上動作
にかかる時間が短い。ここで回動モータ１６，２０は有
限回動であるため危険防止のためリミッタを用いる。な
お図１に示す実施例では、対物レンズ１５をリンク機構
を介して回動する例を示したが、この回動するための手
段は、リンク機構に限るものではなく、無論ベルトを介
して回動するようにしてもよい。また上記実施例では対
物レンズ１５を光軸に対して回動するようにした例を示
したが、この対物レンズ１５は光軸と直角方向に平行移
動するようにしてもよい。
に印加する電圧信号により所定の画像が任意に、あるい
は順次現出される。そしてこの液晶マスク２の入射側光
路１２ではＸ方向偏光ミラー９、ポリゴンミラー１１に
てレーザ発振器８からのレーザビームは上記液晶マスク
２上にスキャニングされ、この液晶マスク２に現われた
第１の画像が出射側光路１３に出射され、この像は偏光
ミラー１４と対物レンズ１５を経てワーク等の印字面２
１上に照射されて、この印字面２１の第１の印字位置ａ
に上記液晶マスク２の第１の画像が印字される。次いで
図２に示すように、例えば、対物レンズ１５を固定した
状態で、偏光ミラー１４をＸ方向の一方へ所定の角度だ
け回動すると共に、液晶マスク２に第２の画像を現出さ
せてからこれをスキャニングすることにより、この第２
の画像はＸ方向の一方へ振られた状態で対物レンズ１５
を経て印字面２１へ照射され、上記第１の印字位置ａに
Ｘ方向の一方に隣接するＸ方向第２の印字位置ｂに上記
液晶マスク２の第２の画像が印字される。同様に偏光ミ
ラー１４をＸ方向の他方へ所定角度だけ回動して上記作
動を行なうことにより印字面２１のＸ方向第３の印字位
置ｃに第３の画像が印字される。一方図３に示すように
、偏光ミラー１４を固定した状態で対物レンズ１５を上
記第１の画像が印字された状態から所定角度だけＹ方向
の一方へ回動すると、液晶マスク２の第４の画像が上記
第１の印字位置のＹ方向の一方に隣接するＹ方向第２の
印字位置ｄに印字される。同様に対物レンズ１５をＹ方
向の他方へ所定角度だけ回動して照射することにより液
晶マスク２の第５の画像が上記第１の印字位置のＹ方向
の他方に隣接するＹ方向第３の印字位置ｅに印字される
。上記Ｘ，Ｙ方向以外にも、偏光ミラー１４と対物レン
ズ１５を共動させることにより、Ｘ−Ｙ方向に対して４
５°の方向にも印字位置をずらせることができる。上記
作動において、液晶マスク２に現われる画像をある大き
な画像の一部分の画像にしておくことにより、上記各印
字位置ａ〜ｅに印字される画像により大きな像を分割的
に描いていくことができる。なお上記実施例では、入射
側光路１２にＸ方向偏光ミラー９とポリゴンミラー１１
を用いたスキャナタイプの例を示したが、この入射側光
路１２には、液晶マスク２に直接光源を対向させ、かつ
液晶マスク２の全面に光が照射するように光路を拡大し
た状態に設け１ショットで光を照射するようにしてもよ
い。上記出射側光路１３の偏光ミラー１４と対物レンズ
１５のそれぞれを動作する回動モータ１６，２０及び液
晶マスク２等は図示しない制御装置にて制御される。 上記回動モータ１６，２０にはパルスモータあるいはＡ
Ｃサーボを用いてあり、これにより絶対位置のコントロ
ールが容易、かつ正確に行なうことができ、その上動作
にかかる時間が短い。ここで回動モータ１６，２０は有
限回動であるため危険防止のためリミッタを用いる。な
お図１に示す実施例では、対物レンズ１５をリンク機構
を介して回動する例を示したが、この回動するための手
段は、リンク機構に限るものではなく、無論ベルトを介
して回動するようにしてもよい。また上記実施例では対
物レンズ１５を光軸に対して回動するようにした例を示
したが、この対物レンズ１５は光軸と直角方向に平行移
動するようにしてもよい。
【０００９】
【発明の効果】本発明によれば、液晶マスク２から印字
面２１までの出射側光路１３内の偏光機構を、従来必要
としていた２枚の偏光ミラーを１枚にすることができて
その構成を単純化できる。また１枚の偏光ミラーと１個
の対物レンズとの組合わせであることにより、出射光像
のひずみが少なくなり、従来必要としていたｆ−θレン
ズを不用とすることができる。
面２１までの出射側光路１３内の偏光機構を、従来必要
としていた２枚の偏光ミラーを１枚にすることができて
その構成を単純化できる。また１枚の偏光ミラーと１個
の対物レンズとの組合わせであることにより、出射光像
のひずみが少なくなり、従来必要としていたｆ−θレン
ズを不用とすることができる。
【図１】本発明の実施例を示す概略的な構成説明図であ
る。
る。
【図２】偏光ミラーを回動した状態の出射側光路図であ
る。
る。
【図３】対物レンズを回動した状態の出射側光路図であ
る。
る。
【図４】従来例を示す概略的な構成説明図である。
１ フィールドレンズ、２ 液晶マスク、１３
出射側光路、１４ 偏光ミラー、１５ 対物レンズ
、２１ 印字面。
出射側光路、１４ 偏光ミラー、１５ 対物レンズ
、２１ 印字面。
Claims (1)
- 【請求項１】 液晶マスクの出射側から印字面までの
出射側光路内で、液晶マスクから出射した画像をＸ方向
とＹ方向の双方へ偏光して印字位置を印字面にて変える
ようにしたレーザ印字装置において、出射側光路内に、
Ｘ，Ｙ方向の一方に回動可能にした偏光ミラーと、Ｘ，
Ｙ方向の他方に移動可能にした対物レンズとを設けたこ
とを特徴とするレーザ印字装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3121821A JPH04325284A (ja) | 1991-04-25 | 1991-04-25 | レーザ印字装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3121821A JPH04325284A (ja) | 1991-04-25 | 1991-04-25 | レーザ印字装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04325284A true JPH04325284A (ja) | 1992-11-13 |
Family
ID=14820770
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3121821A Pending JPH04325284A (ja) | 1991-04-25 | 1991-04-25 | レーザ印字装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04325284A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5532712A (en) * | 1993-04-13 | 1996-07-02 | Kabushiki Kaisha Komatsu Seisakusho | Drive circuit for use with transmissive scattered liquid crystal display device |
| US6197917B1 (en) | 1998-09-02 | 2001-03-06 | General Electric Company | Method for manufacturing polycarbonate for optical use |
-
1991
- 1991-04-25 JP JP3121821A patent/JPH04325284A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5532712A (en) * | 1993-04-13 | 1996-07-02 | Kabushiki Kaisha Komatsu Seisakusho | Drive circuit for use with transmissive scattered liquid crystal display device |
| US6197917B1 (en) | 1998-09-02 | 2001-03-06 | General Electric Company | Method for manufacturing polycarbonate for optical use |
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