JPH04326044A - 微粒子分析装置 - Google Patents
微粒子分析装置Info
- Publication number
- JPH04326044A JPH04326044A JP9559491A JP9559491A JPH04326044A JP H04326044 A JPH04326044 A JP H04326044A JP 9559491 A JP9559491 A JP 9559491A JP 9559491 A JP9559491 A JP 9559491A JP H04326044 A JPH04326044 A JP H04326044A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、マイクロ波誘導プラズ
マを利用した元素分析計の検出器に所望の微粒子（パ―
ティクル）を供給する微粒子導入装置に関する。
マを利用した元素分析計の検出器に所望の微粒子（パ―
ティクル）を供給する微粒子導入装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から知られている微粒子導入装置は
、ポンプやエジェクタを吸引装置として大気などのサン
プリング空間から所望の微粒子を吸引し、レ―ザ（光）
を用いた光学式の微粒子測定装置に導入するような構成
になっていた。しかし、マイクロ波誘導プラズマ利用元
素分析計においては、キャリアガスを必要とするため大
気を直接導入することは困難で僅かな混入でもマイクロ
波誘導プラズマに悪影響を及ぼすうえ、導入できる微粒
子も極めて少量に限られるという欠点もあった。
、ポンプやエジェクタを吸引装置として大気などのサン
プリング空間から所望の微粒子を吸引し、レ―ザ（光）
を用いた光学式の微粒子測定装置に導入するような構成
になっていた。しかし、マイクロ波誘導プラズマ利用元
素分析計においては、キャリアガスを必要とするため大
気を直接導入することは困難で僅かな混入でもマイクロ
波誘導プラズマに悪影響を及ぼすうえ、導入できる微粒
子も極めて少量に限られるという欠点もあった。
【０００３】このような欠点を除去するため、本願の発
明者らは既に微粒子導入装置なるものを考え、本願の出
願人は平成２年４月２３日に「微粒子導入装置」の名称
で出願した（特願平２−１０７１３２、出願公開番号は
不明）。
明者らは既に微粒子導入装置なるものを考え、本願の出
願人は平成２年４月２３日に「微粒子導入装置」の名称
で出願した（特願平２−１０７１３２、出願公開番号は
不明）。
【０００４】然しながら、このような微粒子導入装置に
おいては、ディスパ―サ―内のアスピレ―タとキャビテ
ィ内の放電管を結ぶ流路を開閉する開閉弁が設けられて
おり、次のような不都合が生じていた。即ち、ディスパ
―サ―内のアスピレ―タとキャビティ内の放電管を結ぶ
流路を開閉する開閉弁は、サンプルとしての微粒子が通
過する部分であるためピンチバルブが使用されていたが
、ディスパ―サ―をガス置換するときに充分にシ―ルで
きないという欠点があった。また、ディスパ―サ―内の
アスピレ―タとキャビティ内の放電管を結ぶ流路は、ピ
ンチバルブを使用する関係上合成樹脂を材料とする配管
になっており、この配管の内壁面に水分などが付着して
究極的にプラズマのノイズを生じさせたりする欠点もあ
った。
おいては、ディスパ―サ―内のアスピレ―タとキャビテ
ィ内の放電管を結ぶ流路を開閉する開閉弁が設けられて
おり、次のような不都合が生じていた。即ち、ディスパ
―サ―内のアスピレ―タとキャビティ内の放電管を結ぶ
流路を開閉する開閉弁は、サンプルとしての微粒子が通
過する部分であるためピンチバルブが使用されていたが
、ディスパ―サ―をガス置換するときに充分にシ―ルで
きないという欠点があった。また、ディスパ―サ―内の
アスピレ―タとキャビティ内の放電管を結ぶ流路は、ピ
ンチバルブを使用する関係上合成樹脂を材料とする配管
になっており、この配管の内壁面に水分などが付着して
究極的にプラズマのノイズを生じさせたりする欠点もあ
った。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、かかる従来
例の欠点に鑑みてなされたものであり、その目的は、フ
ィルタ上に捕集したダストを効率良く分析計に送り込み
、プラズマノイズを低減させることができるような微粒
子導入装置を提供することにある。
例の欠点に鑑みてなされたものであり、その目的は、フ
ィルタ上に捕集したダストを効率良く分析計に送り込み
、プラズマノイズを低減させることができるような微粒
子導入装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、微粒子導入装
置において、表面に固体微粒子が付着されたフィルタと
、該フィルタを固定するフィルタユニットが装着された
ア―ムと、第１モ―タの回転を前記ア―ムの水平方向回
転運動に変換する固定軸と、第２モ―タの回転を前記ア
―ムの上下方向直線運動に変換するボ―ルネジと、キャ
リアガスによって前記フィルタ上の微粒子を吸引するア
スピレ―タと、該アスピレ―タと前記フィルタを収納す
るケ―スと、該ケ―ス内の気体を他のガスで置換させる
ための吸引ポンプとを設け、アスピレ―タの吸引口がフ
ィルタと一定の距離に近いた状態でキャリアガスがアス
ピレ―タに供給されると、該アスピレ―タによって固体
微粒子が吸引されプラズマ発生部に供給されるようにす
ることによって前記課題を解決したものである。
置において、表面に固体微粒子が付着されたフィルタと
、該フィルタを固定するフィルタユニットが装着された
ア―ムと、第１モ―タの回転を前記ア―ムの水平方向回
転運動に変換する固定軸と、第２モ―タの回転を前記ア
―ムの上下方向直線運動に変換するボ―ルネジと、キャ
リアガスによって前記フィルタ上の微粒子を吸引するア
スピレ―タと、該アスピレ―タと前記フィルタを収納す
るケ―スと、該ケ―ス内の気体を他のガスで置換させる
ための吸引ポンプとを設け、アスピレ―タの吸引口がフ
ィルタと一定の距離に近いた状態でキャリアガスがアス
ピレ―タに供給されると、該アスピレ―タによって固体
微粒子が吸引されプラズマ発生部に供給されるようにす
ることによって前記課題を解決したものである。
【０００７】
【作用】本発明は次のように作用する。即ち、ケ―スの
蓋を開け、表面に固体微粒子が付着されたフィルタが固
定されているフィルタ―ユニットをア―ムに装着しての
ち、ケ―スの蓋を閉じる。その後、第１〜第３開閉弁を
閉じると共に切換弁を吸引ポンプ側にし、該ポンプを駆
動する。このようにしてケ―ス内を充分に置換した後、
第２開閉弁を開にし、置換ガスをディパ―サ―内に導入
する。
蓋を開け、表面に固体微粒子が付着されたフィルタが固
定されているフィルタ―ユニットをア―ムに装着しての
ち、ケ―スの蓋を閉じる。その後、第１〜第３開閉弁を
閉じると共に切換弁を吸引ポンプ側にし、該ポンプを駆
動する。このようにしてケ―ス内を充分に置換した後、
第２開閉弁を開にし、置換ガスをディパ―サ―内に導入
する。
【０００８】その後、第１モ―タと第２モ―タを駆動し
、フィルタがアスピレ―タの吸入口と一定距離に対面す
るような位置に設定する。次に、切換弁を大気側に切換
、キャリアガスを流し、フィルタの表面に付着している
微粒子を雰囲気ガスと共に吸引する。その後、第１モ―
タを駆動してア―ムを一定速度で円周方向に移動させ、
アスピレ―タがフィルタの表面をスキャンするようにし
てフィルタの表面に付着している微粒子を吸引する。
、フィルタがアスピレ―タの吸入口と一定距離に対面す
るような位置に設定する。次に、切換弁を大気側に切換
、キャリアガスを流し、フィルタの表面に付着している
微粒子を雰囲気ガスと共に吸引する。その後、第１モ―
タを駆動してア―ムを一定速度で円周方向に移動させ、
アスピレ―タがフィルタの表面をスキャンするようにし
てフィルタの表面に付着している微粒子を吸引する。
【０００９】
【実施例】以下、本発明について図を用いて詳細に説明
する。図１は本発明実施例の構成説明図であり、図２は
ディスパ―サ―の構成断面図である。図１及び図２にお
いて、１はアスピレ―タ、２はフィルタ３を固定するフ
ィルタユニット、４はア―ム、５はガス置換部、６はバ
ックラッシュが例えば０．０１ｍｍ以下となるように設
計されているボ―ルネジ、７，７´はバックラッシュを
相殺し後述の第２モ―タから加えられた動き（回転運動
）をポ―ルネジ６を介してフィルタ―３のＺ軸方向の動
き（上下方向直線運動）に変換する固定軸である。
する。図１は本発明実施例の構成説明図であり、図２は
ディスパ―サ―の構成断面図である。図１及び図２にお
いて、１はアスピレ―タ、２はフィルタ３を固定するフ
ィルタユニット、４はア―ム、５はガス置換部、６はバ
ックラッシュが例えば０．０１ｍｍ以下となるように設
計されているボ―ルネジ、７，７´はバックラッシュを
相殺し後述の第２モ―タから加えられた動き（回転運動
）をポ―ルネジ６を介してフィルタ―３のＺ軸方向の動
き（上下方向直線運動）に変換する固定軸である。
【００１０】また、８はネジとＯリングシ―ルによって
外からの空気の漏れ込みを防ぐように構成されているケ
―ス、９は角度分解能の極めて高いステッピングモ―タ
でなる第１モ―タ、１０は第１モ―タ９の回転を伝達す
るタイミングベルト、１１はディスパ―サ―、１２ａは
キャリアガス導入口、１２ｂは置換ガス導入口、１３ａ
〜１３ｃは開閉弁、１５は放電管、１６はキャビティ、
１７はプラズマ、１８は切換弁、１９は吸引ポンプであ
る。
外からの空気の漏れ込みを防ぐように構成されているケ
―ス、９は角度分解能の極めて高いステッピングモ―タ
でなる第１モ―タ、１０は第１モ―タ９の回転を伝達す
るタイミングベルト、１１はディスパ―サ―、１２ａは
キャリアガス導入口、１２ｂは置換ガス導入口、１３ａ
〜１３ｃは開閉弁、１５は放電管、１６はキャビティ、
１７はプラズマ、１８は切換弁、１９は吸引ポンプであ
る。
【００１１】尚、キャリアガスとしてＡｒガスを使用し
た場合にはキャリアガスと試料ガスとの吸引比率が例え
ば１：３となり、キャリアガスとしてＨｅガスを使用し
た場合にはキャリアガスと試料ガスとの吸引比率が例え
ば１：１．５となるように、アスピレ―タ１の吸引特性
が設計されている。また、アスピレ―タ１の吸引口とフ
ィルタ３の間隔は０．０１ｍｍ程度になるように制御さ
れている。
た場合にはキャリアガスと試料ガスとの吸引比率が例え
ば１：３となり、キャリアガスとしてＨｅガスを使用し
た場合にはキャリアガスと試料ガスとの吸引比率が例え
ば１：１．５となるように、アスピレ―タ１の吸引特性
が設計されている。また、アスピレ―タ１の吸引口とフ
ィルタ３の間隔は０．０１ｍｍ程度になるように制御さ
れている。
【００１２】図１及び図２のような構成からなる本発明
の実施例において、最初、ケ―ス８の蓋を開け、表面に
固体微粒子が付着されたフィルタ３が固定されているフ
ィルタ―ユニット２をア―ム４に装着してのち、ケ―ス
８の蓋を閉じる。その後、図示しない第２モ―タを駆動
させてア―ム４をボ―ルネジ６の一番下まで下げてのち
、第１モ―タ９を回転させてア―ム４を水平方向に９０
゜回転させてアスピレ―タ１の位置へ移動させる。その
後、図１の開閉弁１３ａ〜１３ｃを閉じると共に切換弁
１８を吸引ポンプ１９側にし、該ポンプ１９を駆動する
。このようにして図２のケ―ス８内を充分に吸引した後
、図１の開閉弁１３ｂを開にし、置換ガスをディパ―サ
―１１内に導入する。その後、第１モ―タ９と上記第２
モ―タを駆動し、フィルタ３がアスピレ―タ１の吸入口
と一定距離に対面するような位置に設定する。
の実施例において、最初、ケ―ス８の蓋を開け、表面に
固体微粒子が付着されたフィルタ３が固定されているフ
ィルタ―ユニット２をア―ム４に装着してのち、ケ―ス
８の蓋を閉じる。その後、図示しない第２モ―タを駆動
させてア―ム４をボ―ルネジ６の一番下まで下げてのち
、第１モ―タ９を回転させてア―ム４を水平方向に９０
゜回転させてアスピレ―タ１の位置へ移動させる。その
後、図１の開閉弁１３ａ〜１３ｃを閉じると共に切換弁
１８を吸引ポンプ１９側にし、該ポンプ１９を駆動する
。このようにして図２のケ―ス８内を充分に吸引した後
、図１の開閉弁１３ｂを開にし、置換ガスをディパ―サ
―１１内に導入する。その後、第１モ―タ９と上記第２
モ―タを駆動し、フィルタ３がアスピレ―タ１の吸入口
と一定距離に対面するような位置に設定する。
【００１３】次に、図１の開閉弁１３ａを開にすると共
に切換弁１８を大気側に切換え、キャリアガスを流し、
フィルタ３の表面に付着している微粒子を雰囲気ガスと
共に吸引する。その後、図２の第１モ―タ９を駆動して
ア―ム４を一定速度で円周方向（図２の紙面では垂直方
向）に移動させ、アスピレ―タ１がフィルタ３の表面を
スキャンするようにしてフィルタ３の表面に付着してい
る微粒子を吸引する。
に切換弁１８を大気側に切換え、キャリアガスを流し、
フィルタ３の表面に付着している微粒子を雰囲気ガスと
共に吸引する。その後、図２の第１モ―タ９を駆動して
ア―ム４を一定速度で円周方向（図２の紙面では垂直方
向）に移動させ、アスピレ―タ１がフィルタ３の表面を
スキャンするようにしてフィルタ３の表面に付着してい
る微粒子を吸引する。
【００１４】一方、図１のキャリアガス導入口１２ａに
は図示しないボンベなどからキャリアガス（例えば、Ａ
ｒやＨｅ）が供給され、開閉弁１３ａとアスピレ―タ１
を通って放電管１５内に導入される。また、キャビティ
１６の中心部には図示しないマイクロ波発生器からマイ
クロ波（１００〜１５０Ｗのマイクロ波電力）が照射さ
ており、キャビティ１６の中心部に挿入されている放電
管１５内のキャリアガスを励起してプラズマ１７を発生
させる。
は図示しないボンベなどからキャリアガス（例えば、Ａ
ｒやＨｅ）が供給され、開閉弁１３ａとアスピレ―タ１
を通って放電管１５内に導入される。また、キャビティ
１６の中心部には図示しないマイクロ波発生器からマイ
クロ波（１００〜１５０Ｗのマイクロ波電力）が照射さ
ており、キャビティ１６の中心部に挿入されている放電
管１５内のキャリアガスを励起してプラズマ１７を発生
させる。
【００１５】また、フィルタ３の表面に付着している微
粒子は前述のようにしてアスピレ―タ１で吸引され、キ
ャリアガスと一緒に放電管１５内のプラズマ１７へ送り
込まれ、該プラズマによって解離されて発光する。この
ようにして放電管１５内で発生した光は、モノクロメ―
タ（図示せず）で検出され、その後、信号処理器（図示
せず）で信号処理されて微粒子若しくは該微粒子中の成
分元素などが分析される。
粒子は前述のようにしてアスピレ―タ１で吸引され、キ
ャリアガスと一緒に放電管１５内のプラズマ１７へ送り
込まれ、該プラズマによって解離されて発光する。この
ようにして放電管１５内で発生した光は、モノクロメ―
タ（図示せず）で検出され、その後、信号処理器（図示
せず）で信号処理されて微粒子若しくは該微粒子中の成
分元素などが分析される。
【００１６】尚、本発明は上述の実施例に限定されるこ
となく種々の変形が可能であり、例えば次の■〜■のよ
うにしても良い。■図１のフィルタ―ユニット２をタ―
ンテ―ブル上に複数個装着する。■図１のフィルタ―ユ
ニット２に代えロ―ル式の帯状フィルタを使用して連続
的な測定とする。■図２のフィルタユニット２を回転さ
せる駆動系を新たに儲け、１つのフィルタから効率良く
サンプルを導入できるようにする。■図２のフィルタを
水平または垂直に移動させる代わりに、アスピレ―タ１
を水平または垂直に移動させる。■図２のフィルタ３を
水平または垂直に移動させる代わりに、アスピレ―タ１
とフィルタ３を同時に水平または垂直に移動させる。
となく種々の変形が可能であり、例えば次の■〜■のよ
うにしても良い。■図１のフィルタ―ユニット２をタ―
ンテ―ブル上に複数個装着する。■図１のフィルタ―ユ
ニット２に代えロ―ル式の帯状フィルタを使用して連続
的な測定とする。■図２のフィルタユニット２を回転さ
せる駆動系を新たに儲け、１つのフィルタから効率良く
サンプルを導入できるようにする。■図２のフィルタを
水平または垂直に移動させる代わりに、アスピレ―タ１
を水平または垂直に移動させる。■図２のフィルタ３を
水平または垂直に移動させる代わりに、アスピレ―タ１
とフィルタ３を同時に水平または垂直に移動させる。
【００１７】
【発明の効果】以上詳しく説明したような本発明によれ
ば、パ―ジ容器内のガス置換を行なう際にアスピレ―タ
出口と分析計との間にバルブ（開閉弁）が不要なため次
のような効果が得られる。■アスピレ―タ出口と分析計
をむすぶ微粒子通過ラインを簡単な構成にできるため、
分析計に入らずに付着・沈降する微粒子を減少できる。 ■アスピレ―タ出口と分析計をむすぶ微粒子通過ライン
を金属配管とすることができるため、プラズマノイズに
与える水分などの影響を低減でき、結果的に、分析計の
感度を向上できる。
ば、パ―ジ容器内のガス置換を行なう際にアスピレ―タ
出口と分析計との間にバルブ（開閉弁）が不要なため次
のような効果が得られる。■アスピレ―タ出口と分析計
をむすぶ微粒子通過ラインを簡単な構成にできるため、
分析計に入らずに付着・沈降する微粒子を減少できる。 ■アスピレ―タ出口と分析計をむすぶ微粒子通過ライン
を金属配管とすることができるため、プラズマノイズに
与える水分などの影響を低減でき、結果的に、分析計の
感度を向上できる。
【図１】本発明実施例の構成説明図である。
【図２】ディストリビュ―タの構成断面図である。
１ アスピレ―タ
３ フィルタ
８ ケ―ス
９ モ―タ
１１ ディスパ―サ―
１３ａ〜１３ｃ 開閉弁
１５ 放電管
１６ キャビティ
１７ プラズマ
１８ 切換弁
１９ 吸引ポンプ
Claims (1)
- 【請求項１】マイクロ波誘導プラズマ利用元素分析計の
プラズマ発生部に試料を安定的に供給する微粒子導入装
置において、表面に固体微粒子が付着されたフィルタと
、該フィルタを固定するフィルタユニットが装着された
ア―ムと、第１モ―タの回転を前記ア―ムの水平方向回
転運動に変換する固定軸と、第２モ―タの回転を前記ア
―ムの上下方向直線運動に変換するボ―ルネジと、キャ
リアガスによって前記フィルタ上の微粒子を吸引するア
スピレ―タと、該アスピレ―タと前記フィルタを収納す
るケ―スと、該ケ―ス内の気体を他のガスで置換させる
ための吸引ポンプとを具備し、前記アスピレ―タの吸引
口が前記フィルタと一定の距離に近いた状態でキャリア
ガスが前記アスピレ―タに供給されると、該アスピレ―
タによって前記固体微粒子が吸引され前記プラズマ発生
部に供給されることを特徴とする微粒子導入装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9559491A JP2856937B2 (ja) | 1991-04-25 | 1991-04-25 | 微粒子分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9559491A JP2856937B2 (ja) | 1991-04-25 | 1991-04-25 | 微粒子分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04326044A true JPH04326044A (ja) | 1992-11-16 |
| JP2856937B2 JP2856937B2 (ja) | 1999-02-10 |
Family
ID=14141899
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9559491A Expired - Lifetime JP2856937B2 (ja) | 1991-04-25 | 1991-04-25 | 微粒子分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2856937B2 (ja) |
-
1991
- 1991-04-25 JP JP9559491A patent/JP2856937B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2856937B2 (ja) | 1999-02-10 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
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