JPH04329149A - Liquid jet recording head - Google Patents
Liquid jet recording headInfo
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- JPH04329149A JPH04329149A JP12673791A JP12673791A JPH04329149A JP H04329149 A JPH04329149 A JP H04329149A JP 12673791 A JP12673791 A JP 12673791A JP 12673791 A JP12673791 A JP 12673791A JP H04329149 A JPH04329149 A JP H04329149A
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- heating element
- recess
- recording head
- flow path
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
Description
【0001】0001
【技術分野】本発明は、液体噴射記録ヘッドに関し、よ
り詳細には、出口から吐出させた液滴により記録がなさ
れる液体噴射記録装置に用いられる液体噴射記録ヘッド
に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid jet recording head, and more particularly to a liquid jet recording head used in a liquid jet recording apparatus that performs recording using droplets ejected from an outlet.
【0002】0002
【従来技術】従来、この種の液体噴射記録装置としては
、圧電素子の変形により液流路内に圧力変化を発生させ
て微小液滴を吐出させるもの、あるいはさらに一対の電
極を設けて、これにより液滴を偏向させるもの、もしく
は液流路内に配設した発熱素子を急激に発熱させること
によって気泡を生ぜしめるなどの熱エネルギーを利用す
ることによって吐出口から液滴を吐出させるもの等が種
々提案されてきた。これらの中でも、熱エネルギーを利
用して記録液を吐出する方式に係る液体噴射記録ヘッド
は、記録用の液滴を吐出して飛翔用液滴を形成するため
のオリフィス等の液体吐出口(以下、オリフィスともい
う)を高密度に配列することができるために高解像力の
記録をすることが可能であること、記録ヘッドとして全
体的なコンパクト化も容易であること、最近の半導体分
野における技術の進歩と信頼性の向上が著しいIC技術
やマイクロ加工技術の長所を十二分に活用でき、長尺化
および面状化(2次元化)が容易であること等により、
マルチノズル化および高密度実装化が容易で、しかも大
量生産時の生産性が良く製造費用も廉価にできるものと
して特に注目されている。[Prior Art] Conventionally, this type of liquid jet recording device has been designed to eject minute droplets by generating a pressure change in a liquid flow path by deforming a piezoelectric element, or by further providing a pair of electrodes. There are devices that deflect droplets by using a heating element installed in the liquid flow path, or devices that eject droplets from an ejection port by using thermal energy such as generating air bubbles by rapidly generating heat from a heating element installed in the liquid flow path. Various proposals have been made. Among these, a liquid jet recording head that uses thermal energy to eject a recording liquid has a liquid ejection opening (hereinafter referred to as an orifice) such as an orifice for ejecting recording liquid droplets to form flying droplets. , orifices) can be arranged in a high density, making it possible to perform high-resolution recording, making it easy to make the overall recording head compact, and taking advantage of recent technology in the semiconductor field. It is possible to take full advantage of the advantages of IC technology and micro-processing technology, which are rapidly progressing and improving in reliability, and it is easy to make them longer and planar (two-dimensional).
It is attracting particular attention because it is easy to implement multiple nozzles and high-density packaging, has good productivity during mass production, and can reduce manufacturing costs.
【0003】この原理を利用したものとして、例えば、
特開平2−192954号公報に開示されているような
ヘッドが知られている。ここにその構成を説明すると、
樹脂の成形によって形成された天板(流路板)をヒータ
ーボードと一体化して得た記録ヘッドを支持体の上にの
せ、さらに、天板上部より押えばねの付勢力を作用させ
て密着状態となった記録ヘッドを完成するというもので
ある。この方法は、記録ヘッドのアセンブリを容易にし
、コスト面からみても多くの有利な点を有している。
しかしながら、記録ヘッドの吐出口の数が少ない小アレ
イヘッドの場合には、この方法で何ら不都合は生じない
が、吐出口の数が多い中〜大アレイヘッドにおいてこの
方法を適用しようとすると、ヘッドチップが大きくなる
ことにともなって、天板(流路板)もアレイ配列方向に
長くなるため、その天板に付勢力を作用させた場合に、
樹脂で形成されているが故にたわみが発生し、液室の機
密性が維持できずにインクがもれるという問題が発生し
ていた。[0003] Examples of methods using this principle include:
A head as disclosed in Japanese Unexamined Patent Publication No. 2-192954 is known. Explaining its configuration here,
A recording head obtained by integrating a top plate (channel plate) formed by resin molding with a heater board is placed on the support, and the urging force of a pressing spring is applied from the top of the top plate to bring it into close contact. The goal is to complete the recording head that has become . This method simplifies assembly of the recording head and has many cost advantages. However, in the case of a small array head with a small number of ejection ports, this method does not cause any problems, but if you try to apply this method to a medium to large array head with a large number of ejection ports, the head As the chip becomes larger, the top plate (channel plate) also becomes longer in the array arrangement direction, so when a biasing force is applied to the top plate,
Because it is made of resin, it flexes, causing problems such as ink leakage because the airtightness of the liquid chamber cannot be maintained.
【0004】0004
【目的】本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなされた
もので、製造工程が簡素かつ工程が少なくてすみ、しか
も信頼性の高い安価な液体噴射記録ヘッドを提供するこ
とを目的としてなされたものである。[Purpose] The present invention has been made in view of the above-mentioned circumstances, and has been made with the object of providing a highly reliable and inexpensive liquid jet recording head that has a simple manufacturing process and fewer steps. It is something.
【0005】[0005]
【構成】本発明は、上記目的を達成するために、(1)
複数の流路と、該流路に供給される記録用液体を貯留す
るための共通液室を形成するための凹部と、前記共通液
室に記録用液体を導入するための前記凹部に形成された
導入口を有する流路基板と、熱エネルギー作用部を付設
した発熱体基板と、該発熱体基板を保持するヘッド保持
基板と、該ヘッド保持基板と前記発熱体基板と前記流路
基板をこの順序に積層して、前記発熱体基板の平面に対
してほぼ垂直な方向の力を前記流路基板に作用させる押
圧部材とよりなる液体噴射記録ヘッドにおいて、前記流
路基板は樹脂の成形によって形成され、前記凹部の内部
に凹部の縁と同等の高さの凸部を設けたこと、或いは、
(2)複数の流路と、該流路の一方の端部に形成された
記録用液体を吐出するための吐出口を有する吐出口形成
部材と、前記流路に供給される記録用液体を貯留するた
めの共通液室を形成するための凹部と、前記共通液室に
記録用液体を導入するための前記凹部に形成された導入
口を有する流路基板と、熱エネルギー作用部を付設した
発熱体基板と、該発熱体基板を保持するヘッド保持基板
と、該ヘッド保持基板と前記発熱体基板と前記流路基板
をこの順序に積層して、前記発熱体基板の平面に対して
ほぼ垂直な方向の力を前記流路基板に作用させる押圧部
材とよりなる液体噴射記録ヘッドにおいて、前記流路基
板は樹脂の成形によって形成され、前記凹部の内部に凹
部の縁と同等の高さの凸部を設けたこと、更には、(3
)前記(1)又は(2)において、前記凸部は、該凸部
が存在しないと仮定した場合に前記凹部の領域で最も大
きくたわむ領域近傍に設けられること、更には、(4)
前記(1)又は(2)において、前記凸部は、力が最も
大きく作用する領域近傍と前記凹部壁を介した反対側の
領域に設けられること、或いは、(5)複数の流路と、
該流路に供給される記録用液体を貯留するための共通液
室を形成するための凹部と、前記共通液室に記録用液体
を導入するための、前記凹部に形成された導入口を有す
る樹脂の成形によって形成された流路基板と、熱エネル
ギー作用部を付設した発熱体基板と、該発熱体基板を保
持するヘッド保持基板と、該ヘッド保持基板と前記発熱
体基板と前記流路基板をこの順序に積層して、前記発熱
体基板の平面に対してほぼ垂直な方向の力を前記流路基
板に作用させる押圧部材とよりなる液体噴射記録ヘッド
において、前記共通液室内に支持部材を設けたこと、或
いは、(6)複数の流路と、該流路の一方の端部に形成
された記録用液体を吐出するための吐出口を有する吐出
口形成部材と、流路に供給される記録用液体を貯留する
ための共通液室を形成するための凹部と、前記共通液室
に記録用液体を導入するための前記凹部に形成された導
入口を有する樹脂の成形によって形成された流路基板と
、熱エネルギー作用部を付設した発熱体基板と、該発熱
体基板を保持するヘッド保持基板と、該ヘッド保持基板
と前記発熱体基板と前記流路基板をこの順序に積層して
、前記発熱体基板の平面に対してほぼ垂直な方向の力を
前記流路基板に作用させる押圧部材とよりなる液体噴射
記録ヘッドにおいて、前記共通液室内に支持部材を設け
たこと、更には、(7)前記(5)又は(6)において
、前記支持部材は、該支持部材を設けないと仮定した場
合に、前記凹部の領域で最も大きくたわむ領域近傍に設
けられること、更には、(8)前記(5)又は(6)に
おいて、前記支持部材は、力が最も大きく作用する領域
近傍の前記共通液室内に設けられたことを特徴としたも
のである。以下、本発明の実施例に基づいて説明する。[Structure] In order to achieve the above objects, the present invention provides (1)
A plurality of flow channels, a recess for forming a common liquid chamber for storing recording liquid supplied to the flow channels, and a recess formed in the recess for introducing the recording liquid into the common liquid chamber. a flow path substrate having an inlet, a heating element substrate provided with a thermal energy acting section, a head holding substrate for holding the heating element substrate, and a head holding substrate, the heating element substrate, and the flow path substrate. In a liquid jet recording head comprising a pressing member stacked in order to apply a force to the channel substrate in a direction substantially perpendicular to the plane of the heating element substrate, the channel substrate is formed by molding a resin. and a convex portion having a height equivalent to the edge of the concave portion is provided inside the concave portion, or
(2) A discharge port forming member having a plurality of flow channels and a discharge port formed at one end of the flow channels for discharging recording liquid; A flow path substrate having a recess for forming a common liquid chamber for storing a recording liquid, an inlet formed in the recess for introducing recording liquid into the common liquid chamber, and a thermal energy acting section. A heating element substrate, a head holding substrate for holding the heating element substrate, the head holding substrate, the heating element substrate, and the flow path substrate are stacked in this order, and the heating element substrate is substantially perpendicular to the plane of the heating element substrate. In a liquid jet recording head comprising a pressing member that applies a force in a direction to the channel substrate, the channel substrate is formed by molding a resin, and a convex portion having a height equivalent to the edge of the concave portion is provided inside the concave portion. Furthermore, (3
) In (1) or (2) above, the convex portion is provided in the vicinity of the area of the concave portion that would deflect the most if it were assumed that the convex portion did not exist, and further, (4)
In (1) or (2) above, the convex portion is provided in the vicinity of a region where the largest force acts and a region on the opposite side of the recess wall, or (5) a plurality of flow paths;
It has a recess for forming a common liquid chamber for storing the recording liquid supplied to the flow path, and an inlet formed in the recess for introducing the recording liquid into the common liquid chamber. A flow path substrate formed by resin molding, a heating element substrate provided with a thermal energy acting section, a head holding substrate for holding the heating element substrate, the head holding substrate, the heating element substrate, and the flow path substrate. In a liquid jet recording head comprising a pressing member which applies a force in a direction substantially perpendicular to the plane of the heating element substrate to the flow path substrate by laminating them in this order, a support member is provided in the common liquid chamber. or (6) an ejection port forming member having a plurality of flow channels and an ejection port formed at one end of the flow channels for ejecting recording liquid; a recess for forming a common liquid chamber for storing recording liquid; and an inlet formed in the recess for introducing the recording liquid into the common liquid chamber. A flow channel substrate, a heat generating substrate provided with a thermal energy acting portion, a head holding substrate for holding the heat generating substrate, the head holding substrate, the heat generating substrate, and the flow channel substrate are stacked in this order. In the liquid jet recording head comprising a pressing member that applies a force in a direction substantially perpendicular to the plane of the heating element substrate to the flow path substrate, a support member is provided in the common liquid chamber, further comprising: (7) In (5) or (6) above, the support member is provided in the vicinity of an area of the recess that deflects the most if the support member is not provided; ) In the above (5) or (6), the support member is provided in the common liquid chamber near the area where the largest force acts. Hereinafter, the present invention will be explained based on examples.
【0006】図1は本発明による液体噴射記録ヘッドの
一実施例を示す斜視図、図2は該記録ヘッドを構成する
流路基板(図2(a))と発熱体基板(図2(b))の
分解斜視図、図3は流路基板を裏面から見た斜視図で、
図中、1は流路基板、2は発熱体基板、3はインク導入
口、4は吐出口、5は流路溝、6は共通液室を形成する
ための凹部、7は個別リード電極、8は共通リード電極
、9は発熱体で、10a,10bは凸部である。発熱体
基板2の表面には、発熱体9がリード電極7及び8とと
もに形成されている。これらリード電極発熱体等の構成
には、従来より知られているサーマルヘッドの製作プロ
セスが応用可能であり、そのプロセスは当事者間でよく
知られた技術である。ここでは説明を簡明化するために
リード電極と発熱体しか示していないが、より厳密には
、図示しない耐インク保護層、絶緑層等が必要に応じて
設けられている。又、発熱体及び吐出口の数も簡略化の
ために4個しか示していないが、厳密には数10〜数1
00、あるいはそれ以上存在する。FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of a liquid jet recording head according to the present invention, and FIG. 2 shows a flow path substrate (FIG. 2(a)) and a heating element substrate (FIG. 2(b)) constituting the recording head. )), Figure 3 is a perspective view of the channel board seen from the back side.
In the figure, 1 is a channel substrate, 2 is a heating element substrate, 3 is an ink inlet, 4 is an ejection port, 5 is a channel groove, 6 is a recess for forming a common liquid chamber, 7 is an individual lead electrode, 8 is a common lead electrode, 9 is a heating element, and 10a and 10b are convex portions. A heating element 9 is formed on the surface of the heating element substrate 2 along with lead electrodes 7 and 8 . A conventionally known thermal head manufacturing process can be applied to the construction of these lead electrode heating elements, and this process is a well-known technique among those involved. Although only the lead electrodes and the heating element are shown here to simplify the explanation, more precisely, an ink-resistant protective layer, an anti-green layer, etc. (not shown) are provided as necessary. Also, the number of heating elements and discharge ports is only shown as four for the sake of simplicity, but strictly speaking it is several tens to several 1.
00 or more exist.
【0007】次に流路基板1について説明する。凹部6
の内部には、10a,10bに示されるような凸部が設
けられている。この凸部の高さは、凹部6の縁の高さと
同等とされ、図1のように発熱体基板2と重ねられた時
に、凸部は発熱体基板2と接触することになる。流路基
板1は本発明では樹脂の一体成形で製作される。使用さ
れる樹脂の材料としては、耐インク性に優れたポリサル
フォン、ポリエーテルサルフォン、ポリフェニレンオキ
サイド、ポリプロピレンなどが使用される。その中でも
、成形のために流動性のよいmelt flow ra
teが10g/10分以上の材料を用いることが好まし
い。成形機は市販の射出成形機を用いるが、微細な形状
を精度よく転写するために、射出圧力が2000kg/
cm2以上の能力を有する成形機が望ましい。又、樹脂
の流動性を高めるため、シリンダ温度は400℃以上に
加熱する。金型は、図3に示した流路基板1と対になる
形状の金型を用いる。又、転写性を良くするため金型の
材料の熱変形温度以上に加熱できるように、ヒーター熱
媒体等を金型内に設ける。なお、金型の樹脂充填部を真
空ポンプ等により減圧し、転写性を高めることも有効で
ある。Next, the channel substrate 1 will be explained. Recess 6
Convex portions as shown at 10a and 10b are provided inside. The height of this convex portion is equal to the height of the edge of the concave portion 6, and when stacked on the heat generating substrate 2 as shown in FIG. 1, the convex portion comes into contact with the heat generating substrate 2. In the present invention, the channel substrate 1 is manufactured by integral molding of resin. As the resin material used, polysulfone, polyethersulfone, polyphenylene oxide, polypropylene, etc., which have excellent ink resistance, are used. Among them, melt flow ra has good fluidity for molding.
It is preferable to use a material having a te of 10 g/10 minutes or more. A commercially available injection molding machine is used as the molding machine, but the injection pressure is 2000 kg/cm in order to accurately transfer the minute shape.
A molding machine with a capacity of cm2 or more is desirable. Further, in order to improve the fluidity of the resin, the cylinder temperature is heated to 400° C. or higher. As the mold, a mold having a shape that is paired with the channel substrate 1 shown in FIG. 3 is used. Further, in order to improve transferability, a heater heat medium or the like is provided in the mold so that the material can be heated to a temperature higher than the thermal deformation temperature of the material of the mold. Note that it is also effective to reduce the pressure in the resin-filled portion of the mold using a vacuum pump or the like to improve transferability.
【0008】図4は、本発明による液体噴射記録ヘッド
の分解斜視図で、図中、11は保持基板、12は穴部、
13は接着剤、14は押えバネ、15は穴、16は爪で
、その他、図1〜図3と同じ作用をする部分は同一の符
号を付してある。ヘッド保持基板11に上述の発熱体基
板2と流路基板1とをこの順序に積層し、さらに、押圧
部材として断面がM字状を有する押えバネ14でこれら
積層体を圧着、アセンブリする。13は発熱体基板2を
ヘッド保持基板11に固着するための接着剤であり、エ
ポキシ系接着剤が好適に使用される。FIG. 4 is an exploded perspective view of a liquid jet recording head according to the present invention, in which 11 is a holding substrate, 12 is a hole,
13 is an adhesive, 14 is a presser spring, 15 is a hole, 16 is a nail, and other parts having the same functions as those in FIGS. 1 to 3 are given the same reference numerals. The above-described heating element substrate 2 and channel substrate 1 are laminated in this order on the head holding substrate 11, and the laminated body is pressed and assembled using a presser spring 14 having an M-shaped cross section as a pressing member. Reference numeral 13 denotes an adhesive for fixing the heating element substrate 2 to the head holding substrate 11, and an epoxy adhesive is preferably used.
【0009】上述のような順序で積層されたこれらの基
板は、流路基板1の上部側から、断面がM字状を有する
押えバネ14によって、発熱体基板2の平面に対してほ
ぼ垂直な方向の力が加えられる。この押えバネ14とし
ては、たとえば、バネ用のリン青銅やステンレス板を用
いて形成することができる。そして、その両端下部に設
けた爪16をヘッド保持基板11に設けた穴部12に嵌
させ、両者を係合させることで、流路基板1の上部から
機械的な圧力が発熱体基板2の平面に対してほぼ垂直な
方向に加わるようになる。これによって、発熱体基板2
と流路基板1の十分な密着状態が得られる。なお、この
押えバネ14において、15は穴であり、流路基板1の
インク導入口3と、図示しない供給タンク側のインク供
給口とを接続する供給管の挿通を受容する。These substrates stacked in the above-mentioned order are stacked from the upper side of the flow path substrate 1 in a direction substantially perpendicular to the plane of the heating element substrate 2 by a presser spring 14 having an M-shaped cross section. A directional force is applied. This presser spring 14 can be formed using, for example, phosphor bronze or a stainless steel plate for springs. Then, by fitting the claws 16 provided at the bottom of both ends into the holes 12 provided in the head holding substrate 11 and engaging them, mechanical pressure is applied from the upper part of the flow path substrate 1 to the heating element substrate 2. It will be applied in a direction almost perpendicular to the plane. As a result, the heating element board 2
Thus, sufficient adhesion between the channel substrate 1 and the flow path substrate 1 can be obtained. In this presser spring 14, reference numeral 15 is a hole that receives the insertion of a supply pipe connecting the ink introduction port 3 of the flow path substrate 1 and the ink supply port on the supply tank side (not shown).
【0010】本発明では、発熱体基板2と、流路基板1
とが十分な密着状態が得られるが、必要に応じて両者の
間にインクの密封性を高めるために、接着剤を介在させ
てもよい。その際に用いられる接着剤としては、インク
に対する溶出がきわめて少ない。たとえば、XB305
2(チバガイギー製)というエポキシ接着剤が使用でき
る。この接着剤の好適な硬化条件は、80℃雰囲気中で
8時間放置することによって得られる。[0010] In the present invention, the heating element substrate 2 and the channel substrate 1
Although sufficient adhesion between the two can be obtained, an adhesive may be interposed between the two, if necessary, in order to improve the sealing performance of the ink. The adhesive used in this case has very little elution with the ink. For example, XB305
An epoxy adhesive called 2 (manufactured by Ciba Geigy) can be used. Suitable curing conditions for this adhesive are obtained by leaving it in an 80°C atmosphere for 8 hours.
【0011】図3に示したように、本発明の流路基板1
の凹部6には、10a,10bのような凸部を設けてい
る。これは、図4で説明したように、押えバネ14で機
械的な圧力が加えられた際に、樹脂で形成された流路基
板1がたわむことによって、密着状態が維持できなくな
るのを防止するために設けられたものである。この点に
ついて、図5を用いて説明する。As shown in FIG. 3, the channel substrate 1 of the present invention
The concave portion 6 is provided with convex portions such as 10a and 10b. As explained in FIG. 4, this prevents the flow path substrate 1 made of resin from bending when mechanical pressure is applied by the presser spring 14, thereby preventing the inability to maintain the close contact state. It was established for this purpose. This point will be explained using FIG. 5.
【0012】図5(a)は、図3のような流路基板で、
凸部10a,10bが設けられていない場合であり、図
5(b)は、凸部10a,10bが設けられている場合
であり、それぞれが図4のように発熱体基板1と密着さ
せて、さらに、押えバネ15によって下方に加わる力F
を加えた場合の、図5(c)に示す共通液室部の断面図
である。FIG. 5(a) shows a channel substrate as shown in FIG.
FIG. 5(b) shows the case where the protrusions 10a, 10b are not provided, and FIG. , furthermore, the force F applied downward by the presser spring 15
FIG. 5C is a cross-sectional view of the common liquid chamber shown in FIG. 5(c) when .
【0013】本発明の流路基板1は樹脂の成形で製作さ
れるため、機械的な強度は金属等に比べて弱くなり、押
えバネで力Fが加えられた場合、仮に、共通液室となる
凹部6内が全くの空洞であった場合は、図5(a)に示
すように中央部においてたわみが生じ、従って、流路基
板1の左右両端でウキが生じて発熱体基板2との密着状
態が維持できなくなり、インクのもれをひきおこす。こ
の不良は、ヘッドチップがごく小さい場合(数ミリ角、
従って印写幅も数ミリ)にはほとんど問題にならないが
、中〜高速印写を目的とする中〜大アレイマルチヘッド
(ヘッドチップが10mm角以上で、印写幅も10mm
以上)では、流路基板1が吐出口配列方向に長くなるた
め、押圧部材による加圧によってたわみ量が大きくなり
、問題は深刻となる。しかしながら、図3に示したよう
に、凸部10a,10bはたわみを防止する支持体とし
て機能するため、たわみはなくなり、従って、たわみに
よって生じていた流路基板1の左右両端でのウキも発生
せず、図5(b)に示すように、発熱体基板2と流路基
板1とは良好な密着状能が維持される。Since the channel substrate 1 of the present invention is manufactured by molding resin, its mechanical strength is weaker than that of metal, etc., and when a force F is applied by a presser spring, it may If the inside of the recess 6 is completely hollow, as shown in FIG. The adhesion cannot be maintained, causing ink leakage. This defect occurs when the head chip is very small (a few millimeters square,
Therefore, it is hardly a problem for medium to large array multiheads (with a head chip of 10 mm square or more and a printing width of 10 mm) for medium to high speed printing.
In the above), since the channel substrate 1 becomes longer in the direction in which the discharge ports are arranged, the amount of deflection increases due to the pressure applied by the pressing member, and the problem becomes serious. However, as shown in FIG. 3, since the convex portions 10a and 10b function as supports to prevent deflection, the deflection disappears, and therefore, the floating at both left and right ends of the channel substrate 1 caused by the deflection also occurs. Instead, as shown in FIG. 5(b), good adhesion between the heating element substrate 2 and the channel substrate 1 is maintained.
【0014】以上の説明では、凸部は2個形成した例で
あるが、本発明では、この凸部の個数、形状、位置はこ
の例に限定されるものではない。一般に前記凸部は、押
圧部材によって力が加えられた場合で凸部がないと仮定
した場合に、最大たわみが生じる場所に設けられること
が望ましい。しかしながら、場合によっては、例えば、
その最大たわみ量が発生する場所がインク導入口3と一
致するような場合もあり得る。そのような場合には、必
ずしも最大たわみ量が発生する場所としなくても、その
近傍の設計上都合の良い場所に凸部を設定しても、本発
明の効果は十分発揮される。[0014] In the above explanation, an example is given in which two protrusions are formed, but in the present invention, the number, shape, and position of the protrusions are not limited to this example. Generally, it is desirable that the convex portion be provided at a location where the maximum deflection occurs when a force is applied by the pressing member and assuming that there is no convex portion. However, in some cases, e.g.
There may be cases where the location where the maximum amount of deflection occurs coincides with the ink introduction port 3. In such a case, the effects of the present invention can be sufficiently exerted even if the convex portion is not necessarily set at a location where the maximum amount of deflection occurs, but at a location convenient for design in the vicinity thereof.
【0015】別の好適な場所として、押圧部材によって
力が加えられる場所、あるいは、加えられる力が複数あ
る場合、それらの力ベクトルの合成ベクトルが最大とな
る場所の近傍と、凹部の壁を介した反対側の領域(凹部
の内側)に凸部は設けられる。押圧部材の構造、方式に
より、たわみ量が最大になる場所と、力が最大にかかる
場所とは同一であったり、異ったりするが、凸部を設け
る場所は、他の設計上の要因なども加味しながら適切に
決定すれば良い。Another suitable location is the location where the force is applied by the pressing member, or if there are multiple forces applied, the vicinity of the location where the resultant vector of those force vectors is maximum, and through the wall of the recess. The convex portion is provided in the area on the opposite side (inside the concave portion). Depending on the structure and method of the pressing member, the location where the amount of deflection is maximum and the location where the maximum force is applied may be the same or different, but the location of the protrusion may depend on other design factors. It is best to make an appropriate decision while also taking into consideration the following.
【0016】図6(a)〜(e)は、押圧部材の他の実
施例で、それぞれ断面図を示す。図中、17はネジ、1
8は押え板、19はコイルスプリング、20は板バネで
ある。図(a)は発熱体基板2と流路基板1を重ねあわ
せた後、押え板をあてがい、ネジで締結する構造である
。図(b)は押え部材を両側からネジで締結し、押え部
材の中央部の凸部で流路基板1を押える構造である。
図(c)はネジによって流路基板1を押える構造である
。図(d)及び図(e)はそれぞれコイルスプリング、
あるいは、板バネの弾性力によって流路基板1を押える
構造である。FIGS. 6(a) to 6(e) show cross-sectional views of other embodiments of the pressing member. In the figure, 17 is a screw, 1
8 is a holding plate, 19 is a coil spring, and 20 is a leaf spring. Figure (a) shows a structure in which a heating element substrate 2 and a channel substrate 1 are placed one on top of the other, a presser plate is applied, and the two are fastened together with screws. Figure (b) shows a structure in which a holding member is fastened with screws from both sides, and the channel substrate 1 is held down by a convex portion in the center of the holding member. Figure (c) shows a structure in which the channel substrate 1 is held down by screws. Figures (d) and (e) are coil springs, respectively.
Alternatively, the structure is such that the channel substrate 1 is held down by the elastic force of a leaf spring.
【0017】図7は、流路基板に設けられるインク導入
口を図1とは異なる位置に設けた図である。図1の場合
のように、共通液室の天井に付設した場合、たとえば、
押圧部材14の構造によってはインク導入口3がおおわ
れてしまう場合が出てくる。これも、図4の押圧部材1
4のように、それを回避するような穴15を設けて解消
されるが、図7のように側部にインク導入口3を設ける
ことにより、押圧部材の構造等に自由度を広げることが
できる。又、凹部内に設けられた凸部10cの位置も、
インク導入口3によってじゃまされないので、最適位置
に設けることが可能となる。以上の説明では、流路基板
1は記録ヘッド完成後、流路溝5の先端がそのまま吐出
口4をなすような構成であるが、インクの噴射をより安
定化するために流路溝5の先端にさらに吐出口を別に設
けるような構成としてもよい。FIG. 7 is a diagram in which the ink inlet provided in the channel substrate is provided at a different position from that in FIG. For example, when attached to the ceiling of the common liquid chamber as in the case of Fig. 1,
Depending on the structure of the pressing member 14, the ink introduction port 3 may be covered. This is also the pressing member 1 in FIG.
4, this can be solved by providing a hole 15 to avoid this problem, but by providing an ink introduction port 3 on the side as shown in FIG. 7, it is possible to increase the degree of freedom in the structure of the pressing member. can. Furthermore, the position of the convex portion 10c provided within the concave portion is also
Since it is not obstructed by the ink introduction port 3, it can be provided at an optimal position. In the above explanation, the flow path substrate 1 is configured such that the tips of the flow path grooves 5 directly form the ejection ports 4 after the recording head is completed, but in order to stabilize the ejection of ink, the flow path grooves 5 are A configuration may be adopted in which a separate discharge port is further provided at the tip.
【0018】図8,図9,図10は、流路基板および発
熱体基板の構成図で、図中、30は流路基板、31,3
2はインク流路形成用溝、33は共通液室形成用凹部、
34はオリフィスプレート部、35,36はオリフィス
、37a,37bは発熱体、38は発熱体基板である。
流路基板30は、共通液室形成用凹部33と、該共通液
室形成用凹部33に連通したインク流路形成用溝31,
32と、これに対応してオリフィスプレート部34に形
成したインク吐出口(オリフィス)35,36とを所望
の個数(図においては簡略のために2個)有し、オリフ
ィスプレート34と一体に設けた構成としてある。FIGS. 8, 9, and 10 are configuration diagrams of the flow path substrate and the heating element substrate, and in the figures, 30 is the flow path substrate, 31, 3
2 is a groove for forming an ink flow path; 33 is a recess for forming a common liquid chamber;
34 is an orifice plate portion, 35 and 36 are orifices, 37a and 37b are heating elements, and 38 is a heating element substrate. The flow path substrate 30 includes a recess 33 for forming a common liquid chamber, a groove 31 for forming an ink flow path communicating with the recess 33 for forming a common liquid chamber,
32, and a desired number of ink ejection ports (orifices) 35, 36 correspondingly formed in the orifice plate portion 34 (two in the figure for simplicity), and are provided integrally with the orifice plate 34. It has a different configuration.
【0019】図8に示した構成例においては、流路基板
30は耐インク性に優れたポリサルフォン、ポリエーテ
ルサルフォン、プリフェニレンオキサイド、ポリプロピ
レンなどの樹脂を用い、オリフィスプレート部34と共
に金型内で一体に同時成型してある。一方、図9に示し
た構成例においては、オリフィスプレート部34を流路
基板30の本体部分と同一樹脂材料でなるもの、あるい
は別種樹脂材料でなるもの、さらには金属材料のフィル
ムを用いて構成したものとし、これを流路基板30の本
体部分とは別に製作しておき、金型内に挿入してインサ
ート成形してある。あるいは、オリフィスプレート部3
4は流路基板30の本体部分とは別に製作し、接着によ
って取付けられる。In the configuration example shown in FIG. 8, the channel substrate 30 is made of a resin having excellent ink resistance such as polysulfone, polyethersulfone, prephenylene oxide, polypropylene, etc. It is molded as one piece. On the other hand, in the configuration example shown in FIG. 9, the orifice plate portion 34 is made of the same resin material as the main body portion of the channel substrate 30, or is made of a different type of resin material, or is made of a film made of a metal material. This is manufactured separately from the main body of the channel substrate 30, and inserted into a mold for insert molding. Alternatively, the orifice plate portion 3
4 is manufactured separately from the main body portion of the channel substrate 30 and attached by adhesive.
【0020】次にインク流路溝やオリフィスの形成方法
を説明する。インク流路溝については、それと逆パター
ンの微細溝を切削等の手法により形成した型により樹脂
を成型し、これによって流路基板30に流路溝31,3
2を形成することができる。オリフィスについては、オ
リフィス35,36の形状の駒、例えば円筒形スライド
駒を金型内のオリフィス成形部分に配置し、樹脂を充填
してこれが硬化した後に駒をスライドして逃がすことに
より、金型内で形成することができる。Next, a method for forming the ink channel grooves and orifices will be explained. For the ink channel grooves, resin is molded using a mold in which fine grooves with a reverse pattern are formed by cutting or other methods, and thereby channel grooves 31 and 3 are formed in the channel substrate 30.
2 can be formed. Regarding the orifice, a piece in the shape of the orifices 35 and 36, for example a cylindrical slide piece, is placed in the orifice molding part in the mold, and after the resin is filled and the resin is cured, the piece is slid and released. can be formed within.
【0021】また、他の方法としては、金型内ではオリ
フィス35,36を有さない状態で成形し、オリフィス
を形成すべき位置にオリフィスプレート部34の端面側
から型内から取り出した後に、例えばレーザ装置により
紫外線を照射し、樹脂を除去・蒸発せしめてオリフィス
35,36を形成することもできる。インク流路溝31
,32や共通液室形成用の凹部についても、レーザ装置
からの紫外線の照射により形成することも可能である。
このとき、エキシマレーザを適切に用いると、マスクパ
ターンに沿った精密な加工を簡単に行うことができる。
実施例では、図8または図9の構成に対し、インク流路
溝幅30〜50μm、非溝部幅20〜40μm、オリフ
ィス穴径20〜40μmの流路基板30を得た。そして
、このような流路基板30に対し、図10に示すように
、発熱体37a,37bを有する発熱体基板38をオリ
フィスプレート部34に突き当てて接合し、記録ヘッド
本体を得る。Another method is to mold the mold without orifices 35 and 36 in the mold, and then take it out from the mold from the end surface side of the orifice plate 34 at the position where the orifice is to be formed. For example, the orifices 35 and 36 can be formed by irradiating ultraviolet rays with a laser device to remove and evaporate the resin. Ink channel groove 31
, 32 and the recess for forming the common liquid chamber can also be formed by irradiation with ultraviolet rays from a laser device. At this time, if an excimer laser is appropriately used, precise processing along the mask pattern can be easily performed. In the example, a channel substrate 30 having an ink channel groove width of 30 to 50 μm, a non-groove width of 20 to 40 μm, and an orifice hole diameter of 20 to 40 μm was obtained for the configuration shown in FIG. 8 or 9. Then, as shown in FIG. 10, a heating element substrate 38 having heating elements 37a and 37b is bonded to such a flow path substrate 30 by abutting against the orifice plate portion 34 to obtain a recording head main body.
【0022】ところで、流路基板の凹部内に設けられた
凸部は、流路基板を樹脂の一体成形で作る際に、その凸
部形状も同時に作られるが、図5(a)で示したような
凸部を形成されていない流路基板を用い、発熱体基板と
重ね合せて記録ヘッドを組立る際に、凹部内部のたわみ
量が大きくなる領域、あるいは、力Fが多くかかる領域
に、別に製作した支持部材ブロックを挿入して、上述の
ようなたわみを防止する機能を持たせてもよい。このよ
うな支持部材ブロックは、凹部の深さ(つまり共通液室
の高さ)と同等の高さをもつ上下の平行度に優れたもの
を用いる。又、もし、この支持部材ブロックが共通液室
内部で移動するおそれがある場合には、接着剤等によっ
て発熱体基板側、あるいは流路基板側(凹部内部)のど
ちらか、あるいは両方に固着すればよい。凹部内部に凸
部を設けないことの利点は金型製作のうえにおいて、コ
ストを大幅に下げることができる。又、成形時の留止り
も向上する。
実施例1
図11(a),(b)に流路基板の寸法(単位mm)を
示す。a=5,b=12,c=38,d=3,e=2,
f=3,g=1,h=0.45,i=9.5,j=2.
5,k=3.5である。ポリサルフォンを材料として成
形によって製作した流路溝の配列密度は400dpi相
当で、その本数は512本とした。凹部の底部(共通液
室の天井厚さ)は1mmの肉厚である。又、10a,1
0bは凸部である。このような流路基板と発熱体基板と
重ねあわせ、図4に示したようなバネ用リン青銅の押圧
部材14で押えて、インク導入口3からインクを入れヘ
ッドとして使用したが、インクのもれは生じなかった。
実施例2
実施例1と同じ物を用い、押圧部材としては図6(c)
の方式を採用した。ただし、ネジは2ヵ所の凸部(2m
m×3mmの大きさ)と対向する側にあたるように2本
使用した。結果は、インクもれは生じなかった。
実施例3
図11に示した流路基板の凸部(2mm×3mm)2ヵ
所をナイフで削りとり、発熱体基板と重ねあわせる際に
、上記の削りとられた箇所をはずして、そのとなりに直
径2mm、高さ2.5mmで、上下の平行度、平面度の
すぐれたSUS303の円柱状ブロックを配置し、ヘッ
ドを組立た。押圧部材は図6(b)の方式を採用し、2
個のコイルスプリングの弾性力によって押えた。結果は
、インクもれは生じなかった。
比較例4
実施例3のヘッドを用い、円柱状のブロックをはずした
状態で、同様にヘッドを組立た。結果は、インクが流路
基板と発熱体基板の間からしみ出して使用不可であった
。
比較例5
比較例4のヘッドを用い、2個のコイルスプリングの弾
性力をより強いものにしてヘッドを組立た。結果は、比
較例4よりもさらにインクもれが増加し使用不可であっ
た。By the way, the shape of the convex portion provided in the concave portion of the channel substrate is also made at the same time when the channel substrate is made by integral molding of resin, but the shape of the convex portion is formed at the same time as shown in FIG. 5(a). When assembling a recording head by overlapping a heat generating substrate with a flow path substrate that does not have convex portions, the area where the amount of deflection inside the recess is large or the area where a large force F is applied A separately manufactured support member block may be inserted to provide the function of preventing deflection as described above. Such a support member block has a height equivalent to the depth of the recess (that is, the height of the common liquid chamber) and is excellent in vertical parallelism. In addition, if there is a risk that this support member block may move inside the common liquid chamber, use adhesive or the like to fix it to either the heating element substrate side, the flow path substrate side (inside the recess), or both. Bye. The advantage of not providing a protrusion inside the recess is that it can significantly reduce the cost of mold production. Furthermore, retention during molding is also improved. Example 1 FIGS. 11(a) and 11(b) show the dimensions (unit: mm) of the channel substrate. a=5, b=12, c=38, d=3, e=2,
f=3, g=1, h=0.45, i=9.5, j=2.
5, k=3.5. The arrangement density of the channel grooves manufactured by molding using polysulfone as a material was equivalent to 400 dpi, and the number of grooves was 512. The bottom of the recess (thickness of the ceiling of the common liquid chamber) was 1 mm thick. Also, 10a, 1
0b is a convex portion. The flow path board and the heating element board were stacked together and pressed with a phosphor bronze pressing member 14 for a spring as shown in Fig. 4, and ink was poured into the ink introduction port 3 and used as a head. This did not occur. Example 2 The same material as in Example 1 was used, and the pressing member was as shown in Fig. 6(c).
The method was adopted. However, the screw has two protrusions (2m
Two pieces were used so that they were on opposite sides. As a result, no ink leakage occurred. Example 3 Two convex portions (2 mm x 3 mm) of the channel substrate shown in Fig. 11 were scraped off with a knife, and when overlapping with the heating element substrate, the scraped portions were removed and the areas next to them were removed. A cylindrical block of SUS303 with a diameter of 2 mm, a height of 2.5 mm, and excellent vertical parallelism and flatness was arranged to assemble the head. The pressing member adopts the method shown in Fig. 6(b), and 2
It was held down by the elastic force of several coil springs. As a result, no ink leakage occurred. Comparative Example 4 Using the head of Example 3, the head was assembled in the same manner with the cylindrical block removed. As a result, the ink seeped out from between the channel substrate and the heating element substrate, making it unusable. Comparative Example 5 Using the head of Comparative Example 4, a head was assembled by increasing the elastic force of the two coil springs. As a result, ink leakage increased more than in Comparative Example 4, making it unusable.
【0023】[0023]
【効果】以上の説明から明らかなように、本発明による
と、以下のような効果がある。
(1)請求項1(構成1)に対応する効果: 樹脂の
成形によりコストダウンを図った流路基板を用いたイン
クジェットにおいて、樹脂の機械的強度の弱さによる変
形を防ぐことができ、インクもれの生じない安価で高信
頼性のヘッドを提案できた。
(2)構成2に対応する効果: 樹脂の成形を利用し
た方法のヘッドであって、前記(1)より吐出口を別に
設けたためインクの吐出が安定しており、前記(1)と
同様の効果が得られた。
(3)請求項2(構成3)に対応する効果: 変形を
防ぐために設ける凸部の位置について、明確にしたため
、効率良く凸部の位置を決定できる。
(4)請求項3(構成4)に対応する効果: 変形を
生じさせるための力が作用する位置を明確にしたため、
効率良く凸部の位置を決定できる。
(5)請求項4(構成5)に対応する効果: 前記(
1)の場合と同様の効果が得られる。さらに、凸部を流
路基板と一体に作らず、別の支持部材として共通液室内
に配置することにより、流路基板を成形するのに用いら
れる金型構造が単純になり、低コストダウンが可能とな
る。さらに、金型が単純になったために、流路基板の製
作における不良も少なくなった。
(6)構成6,7,8に対応する効果: 前記(2)
,(3),(4)の場合と同様の効果が得られ、さらに
、金型単純化によるコストダウン、留止りの向上といっ
た前記(5)と同様の効果が得られた。[Effects] As is clear from the above description, the present invention has the following effects. (1) Effects corresponding to claim 1 (configuration 1): In an inkjet jet using a channel substrate whose cost is reduced by resin molding, deformation due to the weak mechanical strength of the resin can be prevented, and the ink We were able to propose an inexpensive and highly reliable head that does not cause leaks. (2) Effects corresponding to configuration 2: This is a head using a method that uses resin molding, and since the ejection opening is provided separately from the above (1), the ink ejection is stable, and the same effect as in the above (1) is achieved. It worked. (3) Effect corresponding to claim 2 (configuration 3): Since the position of the protrusion provided to prevent deformation has been clarified, the position of the protrusion can be determined efficiently. (4) Effect corresponding to claim 3 (configuration 4): Since the position where the force to cause deformation acts is clarified,
The position of the convex portion can be determined efficiently. (5) Effect corresponding to claim 4 (configuration 5): Said (
The same effect as in case 1) can be obtained. Furthermore, by arranging the protrusion as a separate support member within the common liquid chamber instead of making it integral with the channel substrate, the structure of the mold used to mold the channel substrate can be simplified and costs can be reduced. It becomes possible. Furthermore, since the mold has become simpler, there are fewer defects in the manufacture of the channel substrate. (6) Effects corresponding to configurations 6, 7, and 8: (2) above
, (3), and (4) were obtained, and furthermore, the same effects as in (5) were obtained, such as cost reduction due to mold simplification and improvement in retention.
【図1】 本発明による液体噴射記録ヘッドの一実施
例を説明するための構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram for explaining one embodiment of a liquid jet recording head according to the present invention.
【図2】 記録ヘッドを構成する流路基板と発熱体基
板の構成図である。FIG. 2 is a configuration diagram of a flow path substrate and a heat generating substrate that constitute a recording head.
【図3】 流路基板を裏面から見た構成図である。FIG. 3 is a configuration diagram of the channel substrate viewed from the back side.
【図4】 本発明による液体噴射記録ヘッドの分解斜
視図である。FIG. 4 is an exploded perspective view of a liquid jet recording head according to the present invention.
【図5】 流路基板のたわみの状態を説明するための
図である。FIG. 5 is a diagram for explaining the state of deflection of the channel substrate.
【図6】 押圧部材の他の例を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing another example of the pressing member.
【図7】 流路基板に設けられるインク導入口の設置
位置の異なる例を示す図である。FIG. 7 is a diagram illustrating different examples of installation positions of ink introduction ports provided on the channel substrate.
【図8】 流路基板の構成図である。FIG. 8 is a configuration diagram of a channel substrate.
【図9】 流路基板の他の例を示す構成図である。FIG. 9 is a configuration diagram showing another example of a flow path substrate.
【図10】 流路基板の更に他の例を示す構成図であ
る。FIG. 10 is a configuration diagram showing still another example of a channel substrate.
【図11】 流路基板の更に他の例を示す構成図であ
る。FIG. 11 is a configuration diagram showing still another example of a channel substrate.
1…流路基板、2…発熱体基板、3…インク導入口、4
…吐出口、5…流路溝、6…共通液室を形成するための
凹部、7…個別リード電極、8…共通リード電極、9…
発熱体、10a,10b…凸部。1... Channel board, 2... Heating element board, 3... Ink introduction port, 4
...Discharge port, 5...Flow path groove, 6...Recessed portion for forming a common liquid chamber, 7...Individual lead electrode, 8...Common lead electrode, 9...
Heating element, 10a, 10b...convex portion.
Claims (4)
録用液体を貯留するための共通液室を形成するための凹
部と、前記共通液室に記録用液体を導入するための前記
凹部に形成された導入口を有する流路基板と、熱エネル
ギー作用部を付設した発熱体基板と、該発熱体基板を保
持するヘッド保持基板と、該ヘッド保持基板と前記発熱
体基板と前記流路基板をこの順序に積層して、前記発熱
体基板の平面に対してほぼ垂直な方向の力を前記流路基
板に作用させる押圧部材とよりなる液体噴射記録ヘッド
において、前記流路基板は樹脂の成形によって形成され
、前記凹部の内部に凹部の縁と同等の高さの凸部を設け
たことを特徴とする液体噴射記録ヘッド。1. A plurality of flow channels, a recess for forming a common liquid chamber for storing recording liquid supplied to the flow channels, and a recess for forming a common liquid chamber for introducing the recording liquid into the common liquid chamber. a flow path substrate having an inlet formed in the recess, a heating element substrate provided with a thermal energy acting section, a head holding substrate holding the heating element substrate, the head holding substrate, the heating element substrate, and the heating element substrate. In a liquid jet recording head comprising a pressing member that applies a force to the flow path substrate in a direction substantially perpendicular to the plane of the heating element substrate by stacking flow path substrates in this order, the flow path substrate 1. A liquid jet recording head characterized in that the recess is formed by molding a resin, and has a convex portion having the same height as the edge of the recess.
定した場合に前記凹部の領域で最も大きくたわむ領域近
傍に設けられることを特徴とする請求項1記載の液体噴
射記録ヘッド。2. The liquid jet recording head according to claim 1, wherein the convex portion is provided near a region of the concave portion that would deflect the most if it were assumed that the convex portion did not exist.
領域近傍と前記凹部壁を介した反対側の領域に設けられ
ることを特徴とする請求項1記載の液体噴射記録ヘッド
。3. The liquid jet recording head according to claim 1, wherein the convex portion is provided in a region near a region where the greatest force acts and a region on the opposite side of the concave wall.
録用液体を貯留するための共通液室を形成するための凹
部と、前記共通液室に記録用液体を導入するための前記
凹部に形成された導入口を有する樹脂の成形によって形
成された流路基板と、熱エネルギー作用部を付設した発
熱体基板と、該発熱体基板を保持するヘッド保持基板と
、該ヘッド保持基板と前記発熱体基板と前記流路基板を
この順序に積層して、前記発熱体基板の平面に対してほ
ぼ垂直な方向の力を前記流路基板に作用させる押圧部材
とよりなる液体噴射記録ヘッドにおいて、前記共通液室
内に支持部材を設けたことを特徴とする液体噴射記録ヘ
ッド。4. A plurality of flow channels, a recess for forming a common liquid chamber for storing recording liquid supplied to the flow channels, and a recess for forming a common liquid chamber for introducing the recording liquid into the common liquid chamber. A channel substrate formed by molding a resin having an inlet formed in the recess, a heating element substrate provided with a thermal energy acting part, a head holding substrate holding the heating element substrate, and the head holding substrate. A liquid jet recording head comprising: a pressing member that stacks the heating element substrate and the flow path substrate in this order and applies a force in a direction substantially perpendicular to the plane of the heating element substrate to the flow path substrate; A liquid jet recording head according to claim 1, further comprising a support member provided in the common liquid chamber.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12673791A JPH04329149A (en) | 1991-04-30 | 1991-04-30 | Liquid jet recording head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12673791A JPH04329149A (en) | 1991-04-30 | 1991-04-30 | Liquid jet recording head |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04329149A true JPH04329149A (en) | 1992-11-17 |
Family
ID=14942653
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12673791A Pending JPH04329149A (en) | 1991-04-30 | 1991-04-30 | Liquid jet recording head |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04329149A (en) |
-
1991
- 1991-04-30 JP JP12673791A patent/JPH04329149A/en active Pending
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