JPH04330652A - 光ディスク原盤の露光方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は光ディスクの製造に用い
られる光ディスク原盤の露光方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】光ディスクの製造方法について説明する
。ガラス製の円盤の表面に密着剤層を形成し、さらにこ
の密着剤層上にフォトレジスト膜を形成する。次いでこ
のフォトレジスト膜が形成された面をレーザ光によって
露光し潜像を形成する。そして、この潜像を現像して凹
ませピットまたはグルーブを形成し光ディスク原盤を製
作する。次に、この光ディスク原盤にニッケルめっき等
を施し、光ディスク原盤のピット等を転写したスタンパ
を製作する。そして、このスタンパを用い射出プレス成
形や２Ｐ法などによってプラスチック製のレプリカを製
作し、このレプリカにディスク処理を施して光ディスク
を製造する。

【０００３】しかし、光ディスク原盤のピットやグルー
ブの形状にバラツキが生じ、そのため光ディスクの信号
レベルが本来のレベルから変化してしまうおそれがある
。光ディスク原盤のピット等の形状ににバラツキが生じ
る原因としては、以下のものがある。フォトレジスト膜
の感度には若干のバラツキがあるためである。これは使
用するフォトレジスト液が製品ロッド毎に多少のバラツ
キがあったり、密着剤の影響を受け、レジスト膜が変質
することによる。また、フォトリソ工程内のプリベーグ
温度（レジスト膜の乾燥温度）や時間に一様でないため
である。さらに、フォトレジスト膜に形成された潜像を
現像する現像剤の濃度、温度が一様でないためである。

【０００４】ピット等の形状のバラツキがないように上
記フォトレジスト液等を管理することは殆ど不可能であ
るので、光ディスク原盤の回折光を検出することによっ
てピット等が最も適切な形状となる現像の終了点を検知
する装置を搭載した現像装置が用いられている。すなわ
ち、光ディスク原盤にレーザ光を照射した状態で現像を
行い、この回折光を測定する。そして、予め設定された
適正なピット等が形成されると得られる回折光を検出し
たとき現像を停止する現像装置が使用されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、現像を
行いながら回折光を測定することは作業が煩雑である。 また、現像剤のフォトレジスト膜表面上の流れ方も測定
される回折光に影響を及ぼすため、測定位置の選定が困
難である問題もある。さらに現像剤の量、流れ方のバラ
ツキによって回折光の測定値がかわってしまうおそれも
ある。したがって常に適正な形状のピット等を得られな
いおそれがある。また、フォトレジスト膜の感度が低い
場合、長時間、現像を行わなければならないので、フォ
トレジスト膜全体が薄くなってしまうので、ピット等が
浅くなってしまい信号レベルに悪影響を及ぼすおそれも
ある。本発明は上記従来の問題点に着目してなされたも
のであり、作業が煩雑化せず、常に適正なピット等をえ
ることができ、しかもピット等が浅くなってしまうおそ
れのない光ディスク原盤の露光方法を提供することを目
的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、原盤のフォト
レジスト膜が形成されている面のうち情報を記録する情
報記録領域以外の部分である光量決定領域に段階的に光
量を変化させた露光光を照射して複数の潜像を形成し前
記潜像を現像して基準凹部を形成する工程と、前記基準
凹部から適正な露光光の光量を判断し、判断された適正
な光量の露光光によって前記情報記録領域の露光を行う
工程を有する光ディスク原盤の露光方法である。

【０００７】

【作用】本発明によれば、光量決定領域に段階的に光量
を変化させた露光光を照射し、複数の潜像を形成する。 そしてこの潜像を現像し、基準凹部を形成し、この基準
凹部から適正な、露光光の光量を判断する。そして、こ
の判断された適正な光量の露光光によって情報記録領域
の露光を行う。

【０００８】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面にしたがって説
明する。符号１０は、光ディスク原盤を示す。この光デ
ィスク原盤１０は、図２に示すようにガラス基板１上に
密着剤層２さらに、この密着剤層２上にレジスト膜３が
形成されて構成されている。光ディスク原盤１０は図１
において一点鎖線αを境にして外側の光量決定領域Ａと
内側の記録領域Ｂに分かれている。記録領域Ｂには必要
な情報が書き込まれ、光量決定領域Ａには情報の書き込
みは行われない。

【０００９】次に、光ディスク原盤１０の露光方法につ
いて説明する。光ディスク原盤１０をターンテーブル４
上に設置し、露光装置１５によってレーザ光を光量決定
領域Ａに照射し、潜像１１、１２、１３を形成する。こ
れら潜像１１、１２、１３を形成するレーザ光は、それ
ぞれ光量を段階的に変えて照射する。そして現像液を含
んだ物を露光部上に置き、潜像１２、１３、１４を現像
し、フォトレジスト膜３を凹ませて、基準凹部としての
ピットまたはグルーブ形成する。そして目視で判断を行
う。目視による場合は、一定の光沢を発する部分が適切
な形状のピット等が形成されていることになるので、当
該部分を露光した光量が適切な光量ということになる。 したがって例えば潜像１２を現像して得られたピット等
が形成されている部分が一定の光沢を発している場合、
潜像１２を形成した光量の露光光によって記録領域Ｂに
情報を記録する。

【００１０】また、光量決定部Ａを露光した後、光ディ
スク原盤１０をターンテーブル４から外し、現像装置を
用いたり、デッピング（現像液の噴霧）などの手段によ
ってて潜像１１、１２、１３を現像して、その後、目視
によって適切な露光光の光量を判断してもよい。

【００１１】以下に説明するように回折光検出装置によ
ってピット等が適正な形状となっているか否かを検査し
てもよい。図３、図４に示すように光ディスク原盤１０
の下面側に潜像１１、１２、１３を現像して得られたピ
ット等に対応してＬＤ１５、１６、１７を配置し、光デ
ィスク原盤１０の上面側にＣＣＤアレイ２０、２１、２
２を配置して、ＬＤ１５、１６、１７から検知光を光デ
ィスク原盤１０のピット等に向かって照射し、各ピット
等の回折の程度を判断する。なお適正な形状のピット等
がどの程度の回折率を示すかは、予め実験的に求められ
ているので、回折の程度を検出することによって、形成
されたピット等が適正な形状となっているか否かが判断
でき、適正な露光光の光量を判断することができる。そ
して上記の場合と同様にして、適正な光量の露光光で記
録領域Ｂに情報を記録する。

【００１２】第２実施例について説明する。図５に示す
ように、潜像３１、３２、３３を検出可能なように一定
間隔以上をおいて形成する。これら潜像３１、３２、３
３も段階的に光量を変化させ形成し、潜像３１、３２、
３３を現像する。また回折光検査装置としては、ＬＤ１
８とＣＣＤアレイ２５を一つずつ配置し、さらにこれら
ＬＤ１８とＣＣＤアレイ２５とによって、適正なピット
等が示す回折値が検出された場合に、それを表示するブ
ザー等の手段を設ける。本装置では、ブザーが鳴ったと
きに検出していたピット等を形成するのに用いた露光光
の光量が最も適切なものと判断できる。このように記録
領域Ｂに情報を書き込むための露光光の光量を適正な値
に調整するので、潜像の現像段階においての現像時間等
の調整を行う必要がなくなる。したがってピット等が浅
くなることはない。

【００１３】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、簡単な作
業で、常に適正なピット等を形成することができる。ま
た現像時間等は一定とするので、ピット等が浅くなって
しまうおそれもなくなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例にかかる光ディスク原盤の平面
図である。

【図２】図１の光ディスク原盤のＩーＩ断面図である。

【図３】第１実施例にかかる光ディスク原盤の露光方法
を実施するための回折光検出装置の構成を示す図である
。

【図４】第３図の回折光検出装置による検査を説明する
ための図である。

【図５】第２実施例にかかる光ディスク原盤の露光方法
を実施するための回折光検出装置の構成を示す図である
。

【符号の説明】

１　　　　　　ガラス基板 ２　　　　　　密着剤層 ３　　　　　　レジスト膜 １０　　　　光ディスク原盤 Ａ　　　　　　光量決定領域 Ｂ　　　　　　情報記録領域

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】原盤のフォトレジスト膜が形成されている
   面のうち情報を記録する情報記録領域以外の部分である
   光量決定領域に段階的に光量を変化させた露光光を照射
   して複数の潜像を形成し前記潜像を現像して基準凹部を
   形成する工程と、前記基準凹部から適正な露光光の光量
   を判断し、判断された適正な光量の露光光によって前記
   情報記録領域の露光を行う工程を有する光ディスク原盤
   の露光方法。