JPH04332817A - 光応用計測方法 - Google Patents
光応用計測方法Info
- Publication number
- JPH04332817A JPH04332817A JP3102599A JP10259991A JPH04332817A JP H04332817 A JPH04332817 A JP H04332817A JP 3102599 A JP3102599 A JP 3102599A JP 10259991 A JP10259991 A JP 10259991A JP H04332817 A JPH04332817 A JP H04332817A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- optical
- measured
- wavelength
- optical output
- Prior art date
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- Measuring Instrument Details And Bridges, And Automatic Balancing Devices (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、複屈折素子を用いて圧
力、電界、磁界等の所定の被測定量を計測する光応用計
測方法に関するものである。
力、電界、磁界等の所定の被測定量を計測する光応用計
測方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】複屈折素子を利用した従来の光応用計測
装置の一例として、圧力を測定する計測装置を図8に示
した。同図において1は発光源で、この発光源1は光フ
ァイバ2を通してファイバコリメータ3に接続されてい
る。発光源1と光ファイバ2とコリメータ3とにより発
光部が構成されている。4はコリメータ2から出力され
た平行光線の内の45度偏光成分のみを透過させるよう
に設けられた直線偏光子で、この偏光子4の前方に複屈
折素子としてのガラスブロック5が配置されている。ガ
ラスブロック5の前方には、偏光方向が偏光子4に対し
て90度異なる直線偏光板からなる検光子6が配置され
、偏光子4とガラスブロック5と検光子6とにより光変
調部が構成されている。検光子6の前方に受光レンズ7
が配置され、受光レンズ7は光ファイバ8を通して受光
器9に接続されている。受光レンズ7と光ファイバ8と
受光器9とにより受光部が構成され、この受光部の出力
は測定部10に与えられている。
装置の一例として、圧力を測定する計測装置を図8に示
した。同図において1は発光源で、この発光源1は光フ
ァイバ2を通してファイバコリメータ3に接続されてい
る。発光源1と光ファイバ2とコリメータ3とにより発
光部が構成されている。4はコリメータ2から出力され
た平行光線の内の45度偏光成分のみを透過させるよう
に設けられた直線偏光子で、この偏光子4の前方に複屈
折素子としてのガラスブロック5が配置されている。ガ
ラスブロック5の前方には、偏光方向が偏光子4に対し
て90度異なる直線偏光板からなる検光子6が配置され
、偏光子4とガラスブロック5と検光子6とにより光変
調部が構成されている。検光子6の前方に受光レンズ7
が配置され、受光レンズ7は光ファイバ8を通して受光
器9に接続されている。受光レンズ7と光ファイバ8と
受光器9とにより受光部が構成され、この受光部の出力
は測定部10に与えられている。
【0003】上記の計測装置においては、ガラスブロッ
ク5に被測定圧力Pが加えられる。発光源1から光ファ
イバ2に入射した光は、コリメータ3より平行光線束と
して出力される。偏光子4はこの平行光線の内の45度
偏光成分のみを透過させる。偏光子4から得られる45
度偏光は、ガラスブロック5に入射するが、ガラスブロ
ックの内部では、外圧Pにより光学的な異方性が生じて
いて、垂直水平方向の光の速度に差が生じるため、ガラ
スブロック5からの出力光は、位相差を有する垂直方向
(ガラスブロックの圧縮応力の方向)成分及び水平方向
成分の合成となり、リサージュ図形のごとく、四角形に
内接する楕円偏光となる。検光子6は、この楕円偏光の
長軸(または短軸)方向成分のみを通過させるため、検
光子6を通過した光は被測定圧力Pにより光強度変調さ
れた光となる。この光強度変調された光は受光レンズ7
と光ファイバ8とを通して受光器9に与えられ、該受光
器9により電気信号に変換される。測定部10は受光器
9から与えられる電気信号から被測定圧力Pを演算して
圧力の測定値を出力する。
ク5に被測定圧力Pが加えられる。発光源1から光ファ
イバ2に入射した光は、コリメータ3より平行光線束と
して出力される。偏光子4はこの平行光線の内の45度
偏光成分のみを透過させる。偏光子4から得られる45
度偏光は、ガラスブロック5に入射するが、ガラスブロ
ックの内部では、外圧Pにより光学的な異方性が生じて
いて、垂直水平方向の光の速度に差が生じるため、ガラ
スブロック5からの出力光は、位相差を有する垂直方向
(ガラスブロックの圧縮応力の方向)成分及び水平方向
成分の合成となり、リサージュ図形のごとく、四角形に
内接する楕円偏光となる。検光子6は、この楕円偏光の
長軸(または短軸)方向成分のみを通過させるため、検
光子6を通過した光は被測定圧力Pにより光強度変調さ
れた光となる。この光強度変調された光は受光レンズ7
と光ファイバ8とを通して受光器9に与えられ、該受光
器9により電気信号に変換される。測定部10は受光器
9から与えられる電気信号から被測定圧力Pを演算して
圧力の測定値を出力する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来の光応用計測装置
では、光ファイバのベンディングロスや、コネクタのカ
ップリングロス等の、測定系における光伝送ロスの変化
が出力の変化として現れるため、測定誤差が大きくなる
という問題があった。
では、光ファイバのベンディングロスや、コネクタのカ
ップリングロス等の、測定系における光伝送ロスの変化
が出力の変化として現れるため、測定誤差が大きくなる
という問題があった。
【0005】なお図9に示すように、入射光からp偏光
成分とs偏光成分とをそれぞれ取出せる偏光ビームスプ
リッタを検光子6として使用して、検光子6に接続した
2本の光ファイバA,Bから互いに反転した出力I,I
´を取り出し、これらの出力を平均化して光伝送ロスを
補償する方法が知られている。
成分とs偏光成分とをそれぞれ取出せる偏光ビームスプ
リッタを検光子6として使用して、検光子6に接続した
2本の光ファイバA,Bから互いに反転した出力I,I
´を取り出し、これらの出力を平均化して光伝送ロスを
補償する方法が知られている。
【0006】しかしながらこの方法は、2本の光ファイ
バA,Bのロスが等しいことを前提としているため実際
的でない。
バA,Bのロスが等しいことを前提としているため実際
的でない。
【0007】本発明の目的は、測定系における光伝送ロ
スの変化の影響をなくして、測定の精度を向上させるこ
とができる光応用計測方法を提供することにある。
スの変化の影響をなくして、測定の精度を向上させるこ
とができる光応用計測方法を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の光応用計測方法
では、被測定量に応じて内部に光学的異方性を生じる複
屈折素子を直線偏光子と検光子との間に配置してなる光
変調部を設けて、該光変調部に、波長λ1 の光と波長
λ2 の光とを供給して両波長の光を被測定量により光
強度変調し、光変調部から得られる波長λ1 の光出力
I1 と波長λ2 の光出力I2 とをそれぞれ区別し
て受光する。
では、被測定量に応じて内部に光学的異方性を生じる複
屈折素子を直線偏光子と検光子との間に配置してなる光
変調部を設けて、該光変調部に、波長λ1 の光と波長
λ2 の光とを供給して両波長の光を被測定量により光
強度変調し、光変調部から得られる波長λ1 の光出力
I1 と波長λ2 の光出力I2 とをそれぞれ区別し
て受光する。
【0009】波長λ1 の光出力I1 と波長λ2 の
光出力I2 との受光は1つの受光器により時分割で行
っても良く、波長λ1 用と波長λ2 用との2つの受
光器を用いてリアルタイムで行っても良い。
光出力I2 との受光は1つの受光器により時分割で行
っても良く、波長λ1 用と波長λ2 用との2つの受
光器を用いてリアルタイムで行っても良い。
【0010】光出力I1 及びI2 を受光した後、被
測定量に対して光出力I2 が極大値付近で僅かな変化
を示す間に光出力I1 が被測定量に対して極小値側か
ら極大値側に、または極大値側から極小値側に大幅な変
化を示す特性が得られる被測定量の範囲を測定範囲とし
、該測定範囲での光出力I1 とI2 との比I1 /
I2 と被測定量との関係から被測定量を求める。
測定量に対して光出力I2 が極大値付近で僅かな変化
を示す間に光出力I1 が被測定量に対して極小値側か
ら極大値側に、または極大値側から極小値側に大幅な変
化を示す特性が得られる被測定量の範囲を測定範囲とし
、該測定範囲での光出力I1 とI2 との比I1 /
I2 と被測定量との関係から被測定量を求める。
【0011】上記測定範囲は、直線偏光子と複屈折素子
との間に波長板を配置して、複屈折素子に入射する波長
λ1 及びλ2 の光の位相をシフトさせることにより
所望の範囲に調整することが可能である。
との間に波長板を配置して、複屈折素子に入射する波長
λ1 及びλ2 の光の位相をシフトさせることにより
所望の範囲に調整することが可能である。
【0012】光出力I1 及びI2 がほぼ180度の
位相差を有する被測定量の範囲がある場合には、その範
囲で光出力I1 と光出力の和(I1 +I2 )がほ
ぼ一定になる。従ってこの場合には、比I1 /(I1
+I2 )、またはI2 /(I1 +I2 )を演
算して、演算した比と被測定量との関係から被測定量を
求めるようにしてもよい。
位相差を有する被測定量の範囲がある場合には、その範
囲で光出力I1 と光出力の和(I1 +I2 )がほ
ぼ一定になる。従ってこの場合には、比I1 /(I1
+I2 )、またはI2 /(I1 +I2 )を演
算して、演算した比と被測定量との関係から被測定量を
求めるようにしてもよい。
【0013】被測定量に応じて内部に光学的異方性を生
じる複屈折素子としては、被測定量に応じて適宜のもの
を用いる。例えば圧力を測定する場合には、ガラスやア
クリル樹脂等からなる透明体のブロックを用いることが
できる。また電界を測定する場合には、ポッケルス効果
を有するBSO(ビスマス・シリコン・オキサイド)等
の電気光学結晶のブロックを用いる。
じる複屈折素子としては、被測定量に応じて適宜のもの
を用いる。例えば圧力を測定する場合には、ガラスやア
クリル樹脂等からなる透明体のブロックを用いることが
できる。また電界を測定する場合には、ポッケルス効果
を有するBSO(ビスマス・シリコン・オキサイド)等
の電気光学結晶のブロックを用いる。
【0014】磁界を被測定量とする場合には、印加され
る磁界に応じて透過光の偏光面を回転させる性質を有す
るYIG(イットリウム・鉄・ガーネット)等の磁気光
学材料のブロック(磁気光学素子)を変調手段として用
いる。この場合には、被測定磁界が印加される磁気光学
素子を直線偏光子と検光子との間に配置し、磁気光学素
子と直線偏光子との間に入射光の波長に応じて偏光面を
所定の角度回転させる旋光子を更に配置した光変調部を
用い、光変調部に波長λ1 の光と波長λ2 の光とを
供給して両波長の光を被測定磁界により光強度変調し、
光変調部から得られる波長λ1 の光出力I1 と波長
λ2 の光出力I2 とをそれぞれ受光する。そして被
測定磁界に対する光出力I1 ,I2 の特性から、被
測定磁界に対して光出力I2 が極大値付近で僅かな変
化を示す間に光出力I1 が被測定磁界に対して極小値
側から極大値側に、または極大値側から極小値側に大幅
な変化を示す部分の特性を選択して、選択した特性を与
える被測定磁界の範囲を測定範囲とし、測定範囲での光
出力I1 とI2 との比I1 /I2 と被測定磁界
との関係から被測定磁界を求める。
る磁界に応じて透過光の偏光面を回転させる性質を有す
るYIG(イットリウム・鉄・ガーネット)等の磁気光
学材料のブロック(磁気光学素子)を変調手段として用
いる。この場合には、被測定磁界が印加される磁気光学
素子を直線偏光子と検光子との間に配置し、磁気光学素
子と直線偏光子との間に入射光の波長に応じて偏光面を
所定の角度回転させる旋光子を更に配置した光変調部を
用い、光変調部に波長λ1 の光と波長λ2 の光とを
供給して両波長の光を被測定磁界により光強度変調し、
光変調部から得られる波長λ1 の光出力I1 と波長
λ2 の光出力I2 とをそれぞれ受光する。そして被
測定磁界に対する光出力I1 ,I2 の特性から、被
測定磁界に対して光出力I2 が極大値付近で僅かな変
化を示す間に光出力I1 が被測定磁界に対して極小値
側から極大値側に、または極大値側から極小値側に大幅
な変化を示す部分の特性を選択して、選択した特性を与
える被測定磁界の範囲を測定範囲とし、測定範囲での光
出力I1 とI2 との比I1 /I2 と被測定磁界
との関係から被測定磁界を求める。
【0015】本発明の方法において、波長λ1 及びλ
2 は異なっていれば良く、λ1 <λ2でも、λ1
>λ2 でも良い。
2 は異なっていれば良く、λ1 <λ2でも、λ1
>λ2 でも良い。
【0016】尚当然のことであるが、本明細書において
、「被測定量」とは、光を応用して直接測定する量を意
味し、必ずしも測定の最終目的とする量を意味しない。 例えば電圧を測定する光PTの場合には、電圧が印加さ
れている導体の周囲の電界をポッケルス効果を利用して
測定することにより最終的には電圧を測定するが、本発
明の測定方法での被測定量は「電界」である。また光C
Tの場合には、電流が流れている導体の周囲の磁界を磁
気光学素子(ファラデー素子)を用いて検出することに
より、最終的には電流を測定するが、本発明の方法での
被測定量は「磁界」である。
、「被測定量」とは、光を応用して直接測定する量を意
味し、必ずしも測定の最終目的とする量を意味しない。 例えば電圧を測定する光PTの場合には、電圧が印加さ
れている導体の周囲の電界をポッケルス効果を利用して
測定することにより最終的には電圧を測定するが、本発
明の測定方法での被測定量は「電界」である。また光C
Tの場合には、電流が流れている導体の周囲の磁界を磁
気光学素子(ファラデー素子)を用いて検出することに
より、最終的には電流を測定するが、本発明の方法での
被測定量は「磁界」である。
【0017】
【作用】上記のように、光変調部に波長λ1 の光と波
長λ2 の光とを供給し、光変調部から得られる波長λ
1 の光出力と波長λ2 の光出力とを区別して受光し
て、両波長の出力の比、またはいずれかの波長の光出力
と両波長の光出力の和との比をとるようにすると、比の
分子と分母とで光伝送ロスが打ち消し合ってキャンセル
されるため、光ファイバのベンディングロスや、コネク
タのカップリングロス等の光伝送ロスの変化の影響を受
けることなく計測を行うことができる。この場合、計測
精度を高めるためには、比の分母となる波長λ2 の光
出力I2 (参照出力)が測定範囲において余り変化し
ないことが望ましい。また一般に受光器は、入力が低く
なればなる程、検出すべき信号に対してバックグラウン
ドノイズが占める割合が大きくなり、S/N比が悪くな
るため、測定の精度を高めるためには参照出力I2 は
できるだけ大きいことが望ましい。従って参照出力I2
は測定範囲においてできるだけ大きい値を維持し、か
つその変化ができるだけ少ないことが望ましい。一方測
定の分解能を高め、測定精度を高めるためには、比の分
子となる光出力I1 が被測定量に対してできるだけ大
きな変化を示すことが望ましい。
長λ2 の光とを供給し、光変調部から得られる波長λ
1 の光出力と波長λ2 の光出力とを区別して受光し
て、両波長の出力の比、またはいずれかの波長の光出力
と両波長の光出力の和との比をとるようにすると、比の
分子と分母とで光伝送ロスが打ち消し合ってキャンセル
されるため、光ファイバのベンディングロスや、コネク
タのカップリングロス等の光伝送ロスの変化の影響を受
けることなく計測を行うことができる。この場合、計測
精度を高めるためには、比の分母となる波長λ2 の光
出力I2 (参照出力)が測定範囲において余り変化し
ないことが望ましい。また一般に受光器は、入力が低く
なればなる程、検出すべき信号に対してバックグラウン
ドノイズが占める割合が大きくなり、S/N比が悪くな
るため、測定の精度を高めるためには参照出力I2 は
できるだけ大きいことが望ましい。従って参照出力I2
は測定範囲においてできるだけ大きい値を維持し、か
つその変化ができるだけ少ないことが望ましい。一方測
定の分解能を高め、測定精度を高めるためには、比の分
子となる光出力I1 が被測定量に対してできるだけ大
きな変化を示すことが望ましい。
【0018】光出力は被測定量に対してほぼ正弦波状の
変化を示すので、光出力の大きさが大きく、かつその変
化が少ない領域は光出力が極大値を示す付近の領域であ
る。また光出力の変化が大きい領域は、光出力が極小値
側から極大値側に変化する領域または光出力が極大値側
から極小値側に変化する領域である。従って本発明のよ
うに、被測定量に対して光出力I2 が極大値付近で僅
かな変化を示す間に光出力I1 が被測定量に対して極
小値側から極大値側に、または極大値側から極小値側に
大幅な変化を示す部分の特性を選択して、選択した特性
を与える被測定量の範囲を測定範囲とすると、測定の精
度を高めることができる。
変化を示すので、光出力の大きさが大きく、かつその変
化が少ない領域は光出力が極大値を示す付近の領域であ
る。また光出力の変化が大きい領域は、光出力が極小値
側から極大値側に変化する領域または光出力が極大値側
から極小値側に変化する領域である。従って本発明のよ
うに、被測定量に対して光出力I2 が極大値付近で僅
かな変化を示す間に光出力I1 が被測定量に対して極
小値側から極大値側に、または極大値側から極小値側に
大幅な変化を示す部分の特性を選択して、選択した特性
を与える被測定量の範囲を測定範囲とすると、測定の精
度を高めることができる。
【0019】波長λ1 とλ2 との差によっては、被
測定量の特定の範囲で光出力I1 及びI2 がほぼ1
80度の位相差を有する場合がある。光出力I1 及び
I2 の極大値がほぼ等しいとすれば、この特定の範囲
では光出力の和(I1 +I2 )がそれぞれの光出力
の振幅の1/2にほぼ等しくなり、光出力の和(I1
+I2 )の被測定量に対する変化は零に近くなる。従
ってこの場合には、光出力I1 及びI2 がほぼ18
0度の位相差を有する範囲で光出力I1 と光出力の和
(I1 +I2 )との比I1 /(I1 +I2 )
、または光出力I2 と光出力の和(I1 +I2 )
との比I2 /(I1 +I2 )を演算し、演算した
比と被測定量との関係から被測定量を求めることにより
、高い精度で測定を行うことができる。
測定量の特定の範囲で光出力I1 及びI2 がほぼ1
80度の位相差を有する場合がある。光出力I1 及び
I2 の極大値がほぼ等しいとすれば、この特定の範囲
では光出力の和(I1 +I2 )がそれぞれの光出力
の振幅の1/2にほぼ等しくなり、光出力の和(I1
+I2 )の被測定量に対する変化は零に近くなる。従
ってこの場合には、光出力I1 及びI2 がほぼ18
0度の位相差を有する範囲で光出力I1 と光出力の和
(I1 +I2 )との比I1 /(I1 +I2 )
、または光出力I2 と光出力の和(I1 +I2 )
との比I2 /(I1 +I2 )を演算し、演算した
比と被測定量との関係から被測定量を求めることにより
、高い精度で測定を行うことができる。
【0020】上記のように、本発明の測定方法では、光
出力I1 及びI2 の特性から特定の範囲を測定範囲
として選択するので、直線偏光子と複屈折素子と検光子
とにより変調部を構成した場合には、測定し得る被測定
量の範囲が限定される。所望の範囲の被測定量を測定し
得るようにするためには、測定に用いるのに適した特性
を示す被測定量の範囲をシフトさせればよい。そのため
には、光変調部の直線偏光子と複屈折素子との間に波長
板を配置して波長λ1 及びλ2 の光の位相を所定量
だけシフトさせれば良い。このように波長板を配置する
と、波長板による位相のシフト量に応じて測定に適した
特性を示す範囲が移動するため、測定範囲を所望の範囲
に調整することができる。
出力I1 及びI2 の特性から特定の範囲を測定範囲
として選択するので、直線偏光子と複屈折素子と検光子
とにより変調部を構成した場合には、測定し得る被測定
量の範囲が限定される。所望の範囲の被測定量を測定し
得るようにするためには、測定に用いるのに適した特性
を示す被測定量の範囲をシフトさせればよい。そのため
には、光変調部の直線偏光子と複屈折素子との間に波長
板を配置して波長λ1 及びλ2 の光の位相を所定量
だけシフトさせれば良い。このように波長板を配置する
と、波長板による位相のシフト量に応じて測定に適した
特性を示す範囲が移動するため、測定範囲を所望の範囲
に調整することができる。
【0021】
【実施例】図1及び図2は圧力を測定する場合に本発明
を適用した実施例を示したもので、図1は本発明の方法
を実施する光応用計測装置の全体的な構成を示し、図2
は図1の光変調部付近の上面図を示している。これらの
図において11は発光部、12は発光部11から与えら
れる光を被測定圧力Pで変調する光変調部(センサ部)
、13は光変調部12から得られる光出力を受光する受
光部、14は受光部13が受光した光出力から被測定圧
力を演算する測定部である。
を適用した実施例を示したもので、図1は本発明の方法
を実施する光応用計測装置の全体的な構成を示し、図2
は図1の光変調部付近の上面図を示している。これらの
図において11は発光部、12は発光部11から与えら
れる光を被測定圧力Pで変調する光変調部(センサ部)
、13は光変調部12から得られる光出力を受光する受
光部、14は受光部13が受光した光出力から被測定圧
力を演算する測定部である。
【0022】発光部11は、波長λ1 の光を発生する
第1の発光源15と、波長λ2 の光を発生する第2の
発光源16とを備え、これらの発光源15及び16はそ
れぞれ光ファイバ17及び18を介してカプラ19の入
力側に接続されている。カプラ19の出力側は光ファイ
バ20を通してコリメータ21に接続されている。第1
及び第2の発光源15及び16と光ファイバ17及び1
8と、カプラ19と光ファイバ20とコリメータ21と
により、発光部11が構成されている。
第1の発光源15と、波長λ2 の光を発生する第2の
発光源16とを備え、これらの発光源15及び16はそ
れぞれ光ファイバ17及び18を介してカプラ19の入
力側に接続されている。カプラ19の出力側は光ファイ
バ20を通してコリメータ21に接続されている。第1
及び第2の発光源15及び16と光ファイバ17及び1
8と、カプラ19と光ファイバ20とコリメータ21と
により、発光部11が構成されている。
【0023】光変調部12は複屈折素子としてのガラス
ブロック22と、ガラスブロック22を間にして光の伝
送方向に対向配置された直線偏光子23及び検光子24
とからなっている。偏光子23はその直線偏光の方向が
垂直方向(複屈折素子の圧縮応力の方向)に対して45
度傾いた偏光板からなり、検光子24は、その直線偏光
の方向が、垂直方向に対して偏光子とは逆方向に45度
傾いた偏光板からなっている。即ち偏光子23及び検光
子24は、それぞれの偏光方向が直交するように設けら
れている。
ブロック22と、ガラスブロック22を間にして光の伝
送方向に対向配置された直線偏光子23及び検光子24
とからなっている。偏光子23はその直線偏光の方向が
垂直方向(複屈折素子の圧縮応力の方向)に対して45
度傾いた偏光板からなり、検光子24は、その直線偏光
の方向が、垂直方向に対して偏光子とは逆方向に45度
傾いた偏光板からなっている。即ち偏光子23及び検光
子24は、それぞれの偏光方向が直交するように設けら
れている。
【0024】受光部13は、光変調部の検光子24から
与えられる光出力を受光する受光レンズ25と、該受光
レンズ25に光ファイバ26を介して接続されて、光変
調部から得られる光出力を波長λ1 の光出力(波長λ
1 の光を圧力Pで変調したもの)と波長λ2 の光出
力(波長λ2 の光を圧力Pで変調したもの)とに分け
る分波器27と、分波器27の2つの出力端に光ファイ
バ28及び29を介してそれぞれ接続された第1及び第
2の受光器30及び31とからなっている。ここで第1
の受光器30は波長λ1 の光出力を受光して、受光し
た光出力に相応した電気信号を測定部14に与える。ま
た第2の31は波長λ2 の光出力を受光して、受光し
た光出力に相応した電気信号を測定部14に与える。
与えられる光出力を受光する受光レンズ25と、該受光
レンズ25に光ファイバ26を介して接続されて、光変
調部から得られる光出力を波長λ1 の光出力(波長λ
1 の光を圧力Pで変調したもの)と波長λ2 の光出
力(波長λ2 の光を圧力Pで変調したもの)とに分け
る分波器27と、分波器27の2つの出力端に光ファイ
バ28及び29を介してそれぞれ接続された第1及び第
2の受光器30及び31とからなっている。ここで第1
の受光器30は波長λ1 の光出力を受光して、受光し
た光出力に相応した電気信号を測定部14に与える。ま
た第2の31は波長λ2 の光出力を受光して、受光し
た光出力に相応した電気信号を測定部14に与える。
【0025】測定部14は、波長λ1 の光出力と波長
λ2 の光出力との比を演算して、この光出力の比と被
測定圧力との関係から被測定圧力を演算する。
λ2 の光出力との比を演算して、この光出力の比と被
測定圧力との関係から被測定圧力を演算する。
【0026】図1の光応用計測装置において、第1の発
光源15及び第2の発光源16から出力された波長λ1
及びλ2 の光は、カプラ19により混合されて光フ
ァイバ20に供給され、該光ファイバ20からコリメー
タ21を通して平行光線として偏光子23に与えられる
。
光源15及び第2の発光源16から出力された波長λ1
及びλ2 の光は、カプラ19により混合されて光フ
ァイバ20に供給され、該光ファイバ20からコリメー
タ21を通して平行光線として偏光子23に与えられる
。
【0027】偏光子23に与えられた光は45度傾いた
直線偏光となってガラスブロック22に入射する。ガラ
スブロック22内では、加えられた被測定圧力Pにより
、光学的異方性が生じているため、ガラスブロック22
からの出力光は楕円偏光となり、検光子24からの出力
は光強度変調された光変調出力となる。
直線偏光となってガラスブロック22に入射する。ガラ
スブロック22内では、加えられた被測定圧力Pにより
、光学的異方性が生じているため、ガラスブロック22
からの出力光は楕円偏光となり、検光子24からの出力
は光強度変調された光変調出力となる。
【0028】ここでガラスブロックに加えられた圧力を
P、定数をK、光出力の最大値をIo とすると、波長
λ1 の光変調出力I1 は次式で与えられる。
P、定数をK、光出力の最大値をIo とすると、波長
λ1 の光変調出力I1 は次式で与えられる。
【0029】
I1 =Io[1−cos{K( P/λ1)}]
…(1)同様に、波長λ2 の光変調出力I2 は次
式で与えられる。
…(1)同様に、波長λ2 の光変調出力I2 は次
式で与えられる。
【0030】
I2 =Io[1−cos{K( P/λ2)}]
…(2)ここでλ2 =1.5 λ1 とすると、光
変調出力I1 及びI2 の被測定圧力Pに対する特性
は、Io =1とすると、それぞれ図3の曲線■及び■
のようになる。即ち、波長λ1 の光では、圧力P=P
o の点で光変調出力が第1のピークを迎えるが、波長
λ2 の光では、(λ1 /λ2 )×Po の点で光
変調出力が第1のピークを迎える。
…(2)ここでλ2 =1.5 λ1 とすると、光
変調出力I1 及びI2 の被測定圧力Pに対する特性
は、Io =1とすると、それぞれ図3の曲線■及び■
のようになる。即ち、波長λ1 の光では、圧力P=P
o の点で光変調出力が第1のピークを迎えるが、波長
λ2 の光では、(λ1 /λ2 )×Po の点で光
変調出力が第1のピークを迎える。
【0031】ここで測定系の伝送ロスが1/γであると
して、この因子を(1)式及び(2)式に加えると、(
1)式及び(2)式はそれぞれ次の(1)´式及び(2
)´式のようになる。
して、この因子を(1)式及び(2)式に加えると、(
1)式及び(2)式はそれぞれ次の(1)´式及び(2
)´式のようになる。
【0032】
I1 =(Io/γ)[1−cos{K( P/λ
1)}]
…(1)´ I2 =(Io/γ)[1−cos{
K( P/λ2)}]
…(2)´ ここで比R=I1 /I
2 をとると、 R=I1 /I2 =[1−cos
{K( P/λ1)}]/[1−cos{K( P/λ
2)}]
…(3)(1)式ま
たは(2)式において、γは光ファイバのベンディング
ロスの変化や、コネクタのカップリングロスの変化によ
り変動するため、これらの式により被測定圧力Pを演算
した場合には、計測誤差がある程度大きくなるのを避け
ることができない。
1)}]
…(1)´ I2 =(Io/γ)[1−cos{
K( P/λ2)}]
…(2)´ ここで比R=I1 /I
2 をとると、 R=I1 /I2 =[1−cos
{K( P/λ1)}]/[1−cos{K( P/λ
2)}]
…(3)(1)式ま
たは(2)式において、γは光ファイバのベンディング
ロスの変化や、コネクタのカップリングロスの変化によ
り変動するため、これらの式により被測定圧力Pを演算
した場合には、計測誤差がある程度大きくなるのを避け
ることができない。
【0033】これに対し、(3)式から明らかなように
、光出力の比Rは伝送ロスの影響を受けない。従って、
波長λ1 の光出力と波長λ2 の光出力とをそれぞれ
受光して、両光出力の比を演算し、(3)式から被測定
圧力Pを演算するようにすれば、伝送損失の影響を受け
ずに圧力の測定を行うことができる。
、光出力の比Rは伝送ロスの影響を受けない。従って、
波長λ1 の光出力と波長λ2 の光出力とをそれぞれ
受光して、両光出力の比を演算し、(3)式から被測定
圧力Pを演算するようにすれば、伝送損失の影響を受け
ずに圧力の測定を行うことができる。
【0034】前述したように、光出力の比I1 /I2
と被測定量との関係から被測定量を高い精度で求める
ためには、測定範囲で参照出力I2 の大きさができる
だけ大きく、かつその変化幅ができるだけ狭いことが望
ましく、また光出力I1 はできるだけ大幅な変化を示
すことが望ましい。
と被測定量との関係から被測定量を高い精度で求める
ためには、測定範囲で参照出力I2 の大きさができる
だけ大きく、かつその変化幅ができるだけ狭いことが望
ましく、また光出力I1 はできるだけ大幅な変化を示
すことが望ましい。
【0035】そこでIo =1とし、I1 ,I2 及
びI1 /I2 を圧力Pに対して図示するとそれぞれ
図3の曲線■,■及び■のようになる。図3から明らか
なようにP´〜P″の範囲では、光出力I1 が被測定
圧力Pに対して、極小値側から極大値側にほぼ直線的に
大幅に変化する。一方光出力I2 (参照出力)は極大
値付近で変化するが、この範囲での光出力I2 の変化
幅は光出力I1 の変化幅に比べると十分に狭い。従っ
て被測定圧力の演算に当っては、このP´〜2P″の範
囲の特性を選択し、この範囲P´〜2P″を測定範囲と
して、I1 ,I2 の比をとると、伝送ロスの影響を
受けることなく、光出力の比Rと圧力Pとを対応させる
ことができ、正確な計測値を得ることができる。
びI1 /I2 を圧力Pに対して図示するとそれぞれ
図3の曲線■,■及び■のようになる。図3から明らか
なようにP´〜P″の範囲では、光出力I1 が被測定
圧力Pに対して、極小値側から極大値側にほぼ直線的に
大幅に変化する。一方光出力I2 (参照出力)は極大
値付近で変化するが、この範囲での光出力I2 の変化
幅は光出力I1 の変化幅に比べると十分に狭い。従っ
て被測定圧力の演算に当っては、このP´〜2P″の範
囲の特性を選択し、この範囲P´〜2P″を測定範囲と
して、I1 ,I2 の比をとると、伝送ロスの影響を
受けることなく、光出力の比Rと圧力Pとを対応させる
ことができ、正確な計測値を得ることができる。
【0036】一般に、被測定量に対して波長λ2 の光
出力I2 が極大値付近で僅かな変化を示す間に波長λ
1 の光出力I1 が被測定量に対して極小値側から極
大値側に、または極大値側から極小値側に大幅な変化を
示す部分の特性を選択して、選択した特性を与える被測
定量の範囲を測定範囲とすることにより、両波長の光出
力の比と被測定量との対応関係をほぼ直線的な関係とす
ることができ、正確な計測を行うことができる。
出力I2 が極大値付近で僅かな変化を示す間に波長λ
1 の光出力I1 が被測定量に対して極小値側から極
大値側に、または極大値側から極小値側に大幅な変化を
示す部分の特性を選択して、選択した特性を与える被測
定量の範囲を測定範囲とすることにより、両波長の光出
力の比と被測定量との対応関係をほぼ直線的な関係とす
ることができ、正確な計測を行うことができる。
【0037】上記の実施例において、P´〜2P″の領
域での光出力I1 ,I2 の比を用いて計測を行う場
合、P´〜2P″を所望の測定範囲とするように、調整
をするのが好ましい。そのためには偏光子23と複屈折
素子22との間に波長板を挿入して、該波長板により複
屈折素子に入射する光の位相を適量シフトさせればよい
。例えばP´を被測定圧力の零点とするためには、図1
に破線で示したように、偏光子23と複屈折素子22と
の間に波長λ1 の光の位相をP´/2Po 波長分だ
けシフトさせる波長板32を配置すればよい。このよう
に波長λ1 に対するP´/2Po 波長板32を挿入
すると、光学的なバイアスがかかり、被測定圧力の零点
がP´に移動する。この場合、波長板32は、波長λ2
(=α・λ1 )の光に対しては、(P´/2Po)
(1/α)波長板として作用する。
域での光出力I1 ,I2 の比を用いて計測を行う場
合、P´〜2P″を所望の測定範囲とするように、調整
をするのが好ましい。そのためには偏光子23と複屈折
素子22との間に波長板を挿入して、該波長板により複
屈折素子に入射する光の位相を適量シフトさせればよい
。例えばP´を被測定圧力の零点とするためには、図1
に破線で示したように、偏光子23と複屈折素子22と
の間に波長λ1 の光の位相をP´/2Po 波長分だ
けシフトさせる波長板32を配置すればよい。このよう
に波長λ1 に対するP´/2Po 波長板32を挿入
すると、光学的なバイアスがかかり、被測定圧力の零点
がP´に移動する。この場合、波長板32は、波長λ2
(=α・λ1 )の光に対しては、(P´/2Po)
(1/α)波長板として作用する。
【0038】上記の実施例では、偏光子23の直線偏光
の方向と検光子24の直線偏光の方向とを直交させるよ
うにしたが、偏光子23の直線偏光の方向と検光子24
の直線偏光の方向とが同じになるように両者を配置して
もよい。このように偏光子23と検光子24とを配置し
た場合の両波長λ1 ,λ2 の光出力I1 ,I2
及び両光出力の被I1 /I2 を被測定圧力Pに対し
て図示すると、それぞれ図4の曲線■,■及び■のよう
になる。
の方向と検光子24の直線偏光の方向とを直交させるよ
うにしたが、偏光子23の直線偏光の方向と検光子24
の直線偏光の方向とが同じになるように両者を配置して
もよい。このように偏光子23と検光子24とを配置し
た場合の両波長λ1 ,λ2 の光出力I1 ,I2
及び両光出力の被I1 /I2 を被測定圧力Pに対し
て図示すると、それぞれ図4の曲線■,■及び■のよう
になる。
【0039】この場合にも、波長λ1 の光出力I1
が圧力(被測定量)Pに対して大幅に変化し、かつ波長
λ2 の光出力I2 が極大値付近で僅かに変化する領
域、例えば図4のPp ´〜Pp ″の領域でのI1
,I2 の測定値を用いて、両者の比Rをとれば、比R
と被測定圧力との対応関係をほぼ直線的にして正確な計
測値を得ることができる。
が圧力(被測定量)Pに対して大幅に変化し、かつ波長
λ2 の光出力I2 が極大値付近で僅かに変化する領
域、例えば図4のPp ´〜Pp ″の領域でのI1
,I2 の測定値を用いて、両者の比Rをとれば、比R
と被測定圧力との対応関係をほぼ直線的にして正確な計
測値を得ることができる。
【0040】尚図3及び図4において、測定範囲を光出
力I2 が極大値を示す圧力の前後の更に狭い範囲に設
定すれば、光出力I2 の変化幅が更に狭くなるため、
更に測定精度を高めることができる。
力I2 が極大値を示す圧力の前後の更に狭い範囲に設
定すれば、光出力I2 の変化幅が更に狭くなるため、
更に測定精度を高めることができる。
【0041】上記の実施例では、受光部に分波器27を
設けて、波長λ1 及びλ2 の光出力を個別にリアル
タイムで受光するようにしているが、本発明においては
、両波長の光出力を区別して受光し得ればよいので、分
波器を使用せずに、1つの受光器により時分割で波長λ
1 とλ2 とを交互に検出するようにしてもよい。
設けて、波長λ1 及びλ2 の光出力を個別にリアル
タイムで受光するようにしているが、本発明においては
、両波長の光出力を区別して受光し得ればよいので、分
波器を使用せずに、1つの受光器により時分割で波長λ
1 とλ2 とを交互に検出するようにしてもよい。
【0042】波長λ1 とλ2 との差によっては、被
測定量の特定の範囲で光出力I1 及びI2 がほぼ1
80度の位相差を有する場合がある。例えば図5(C)
の8Po 〜10Po の範囲では、波長λ1 の光出
力I1 と波長λ2 の光出力I2 とがほぼ180度
の位相差を有し、I1 はI2 を反転させたものと見
ることができる。この場合、光出力I1 及びI2 の
極大値が等しいとすれば、この特定の範囲では光出力の
和(I1 +I2 )がそれぞれの光出力の振幅の1/
2にほぼ等しくなり、光出力の和(I1 +I2 )の
被測定量に対する変化は零に近くなる。
測定量の特定の範囲で光出力I1 及びI2 がほぼ1
80度の位相差を有する場合がある。例えば図5(C)
の8Po 〜10Po の範囲では、波長λ1 の光出
力I1 と波長λ2 の光出力I2 とがほぼ180度
の位相差を有し、I1 はI2 を反転させたものと見
ることができる。この場合、光出力I1 及びI2 の
極大値が等しいとすれば、この特定の範囲では光出力の
和(I1 +I2 )がそれぞれの光出力の振幅の1/
2にほぼ等しくなり、光出力の和(I1 +I2 )の
被測定量に対する変化は零に近くなる。
【0043】従ってこの場合には、光出力I1 及びI
2 がほぼ180度の位相差を有する範囲の特性を選択
して、選択した特性を与える範囲8Po 〜10Po
の前半または後半の範囲を測定範囲とし、該測定範囲で
の光出力I1 と光出力の和(I1 +I2 )との比
I1 /(I1 +I2 )と被測定量との関係、また
は該測定範囲での光出力I2 と光出力の和(I1 +
I2 )との比I2 /(I1 +I2 )と被測定量
との関係から被測定量を求めることにより、損失の影響
をなくして高い精度で測定を行うことができる。
2 がほぼ180度の位相差を有する範囲の特性を選択
して、選択した特性を与える範囲8Po 〜10Po
の前半または後半の範囲を測定範囲とし、該測定範囲で
の光出力I1 と光出力の和(I1 +I2 )との比
I1 /(I1 +I2 )と被測定量との関係、また
は該測定範囲での光出力I2 と光出力の和(I1 +
I2 )との比I2 /(I1 +I2 )と被測定量
との関係から被測定量を求めることにより、損失の影響
をなくして高い精度で測定を行うことができる。
【0044】上記の実施例では、圧力を測定するとした
が、ポッケルス効果を利用して電界を測定する場合等、
被測定量が印加されたときに光学的異方性を生じる複屈
折素子を変調手段として用いる場合に、上記と同様の構
成で本発明を実施できる。
が、ポッケルス効果を利用して電界を測定する場合等、
被測定量が印加されたときに光学的異方性を生じる複屈
折素子を変調手段として用いる場合に、上記と同様の構
成で本発明を実施できる。
【0045】また磁界を検出する場合には、透過光の偏
光面を磁界の強さに応じた角度だけ回転させる磁気光学
素子(ファラデー素子)を変調手段として用い、この磁
気光学素子を直線偏光子と検光子との間に配置すること
により、変調部を構成できることが知られているが、こ
の場合には、図6に示したように、直線偏光子23と磁
気光学素子22´との間に旋光子33を追加することに
より、高精度の測定を行うことが可能になる。
光面を磁界の強さに応じた角度だけ回転させる磁気光学
素子(ファラデー素子)を変調手段として用い、この磁
気光学素子を直線偏光子と検光子との間に配置すること
により、変調部を構成できることが知られているが、こ
の場合には、図6に示したように、直線偏光子23と磁
気光学素子22´との間に旋光子33を追加することに
より、高精度の測定を行うことが可能になる。
【0046】図6の構成において、偏光子23を通過し
た直線偏光は旋光子33に入射する。直線偏光が旋光子
23を通過すると、その偏光面が波長により決まる角度
だけ回転する。従って旋光子23を通過した波長λ1
の直線偏光と波長λ2 の直線偏光は、異なる角度回転
した状態で磁気光学素子22´に入射する。従って、検
光子24から得られる波長λ1 の光出力I1 の磁界
に対する特性と波長λ2 の光出力I2 の磁界に対す
る特性との間には、所定の位相差が生じる。この場合に
検光子24から得られる光出力I1 及びI2 の磁界
Hに対する特性は、例えば図7に示すようになるので、
同図のH´〜H″の範囲を測定範囲とし、該測定範囲で
光出力の比I1 /I2 を演算して、この比I1 /
I2 と磁界との関係から磁界を求めるようにすること
により、高い精度で磁界を測定することができる。
た直線偏光は旋光子33に入射する。直線偏光が旋光子
23を通過すると、その偏光面が波長により決まる角度
だけ回転する。従って旋光子23を通過した波長λ1
の直線偏光と波長λ2 の直線偏光は、異なる角度回転
した状態で磁気光学素子22´に入射する。従って、検
光子24から得られる波長λ1 の光出力I1 の磁界
に対する特性と波長λ2 の光出力I2 の磁界に対す
る特性との間には、所定の位相差が生じる。この場合に
検光子24から得られる光出力I1 及びI2 の磁界
Hに対する特性は、例えば図7に示すようになるので、
同図のH´〜H″の範囲を測定範囲とし、該測定範囲で
光出力の比I1 /I2 を演算して、この比I1 /
I2 と磁界との関係から磁界を求めるようにすること
により、高い精度で磁界を測定することができる。
【0047】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、波長λ
1 の光と波長λ2 の光とを光変調部に供給し、光変
調部から得られる波長λ1 の光出力と波長λ2 の光
出力とを区別して受光して、両波長の光出力の比、また
は両波長の光出力の和に対するいずれかの光出力の比を
とることにより、光の伝送ロスが関係する因子を除去す
るようにしたため、光ファイバのベンディングロスや、
コネクタのカップリングロス等の光伝送ロスの変化の影
響を受けることなく計測を行うことができる。
1 の光と波長λ2 の光とを光変調部に供給し、光変
調部から得られる波長λ1 の光出力と波長λ2 の光
出力とを区別して受光して、両波長の光出力の比、また
は両波長の光出力の和に対するいずれかの光出力の比を
とることにより、光の伝送ロスが関係する因子を除去す
るようにしたため、光ファイバのベンディングロスや、
コネクタのカップリングロス等の光伝送ロスの変化の影
響を受けることなく計測を行うことができる。
【0048】特に本請求項1または4に記載した発明に
おいては、比の分母となる光出力I2 が極大値付近で
僅かな変化を示す間に比の分子となる光出力I1 が大
きな変化を示す特性が得られる被測定量の範囲を測定範
囲として、該測定範囲で光出力の比I1 /I2 をと
るようにしたので、S/N比を良好にして、計測精度を
高めることができる利点がある。
おいては、比の分母となる光出力I2 が極大値付近で
僅かな変化を示す間に比の分子となる光出力I1 が大
きな変化を示す特性が得られる被測定量の範囲を測定範
囲として、該測定範囲で光出力の比I1 /I2 をと
るようにしたので、S/N比を良好にして、計測精度を
高めることができる利点がある。
【0049】また請求項2に記載した発明によれば、光
変調部の直線偏光子と複屈折素子との間に波長板を配置
することにより、上記の特性が得られる被測定量の範囲
をシフトさせるようにしたので、波長板を適宜に選択す
ることにより、測定範囲を所望の範囲に調整することが
できる利点がある。
変調部の直線偏光子と複屈折素子との間に波長板を配置
することにより、上記の特性が得られる被測定量の範囲
をシフトさせるようにしたので、波長板を適宜に選択す
ることにより、測定範囲を所望の範囲に調整することが
できる利点がある。
【0050】更に請求項3に記載した発明によれば、光
出力I1 及びI2 がほぼ180度の位相差を有する
部分の特性を選択して、選択した特性を与える被測定量
の範囲で比I1 /(I1 +I2 )またはI2 /
(I1 +I2 )をとるようにしたので、比の分母の
変化を少なくして、高い精度で測定を行うことができる
利点がある。
出力I1 及びI2 がほぼ180度の位相差を有する
部分の特性を選択して、選択した特性を与える被測定量
の範囲で比I1 /(I1 +I2 )またはI2 /
(I1 +I2 )をとるようにしたので、比の分母の
変化を少なくして、高い精度で測定を行うことができる
利点がある。
【図1】本発明の実施例の光応用計測方法で用いる装置
の構成を概略的に示した構成図である。
の構成を概略的に示した構成図である。
【図2】図1の要部の構成を示した上面図である。
【図3】本発明の実施例において受光部が受光する波長
λ1 の光出力I1 と波長λ2 の光出力I2 と光
出力の比I1 /I2 とを被測定量に対してし示した
線図である。
λ1 の光出力I1 と波長λ2 の光出力I2 と光
出力の比I1 /I2 とを被測定量に対してし示した
線図である。
【図4】本発明の他の実施例において受光部が受光する
波長λ1 の光出力I1 と波長λ2 の光出力I2
と光出力の比I1 /I2 とを被測定量に対してし示
した線図である。
波長λ1 の光出力I1 と波長λ2 の光出力I2
と光出力の比I1 /I2 とを被測定量に対してし示
した線図である。
【図5】(A)は本発明の他の実施例において、受光部
が受光する波長λ1 の光出力I1 と波長λ2 の光
出力I2 との和を被測定量に対して示した線図である
。(B)は同実施例において、比I1 /(I1+I2
)を被測定量に対して示した線図である。(C)は光
出力I1及びI2 をそれぞれ被測定量に対して示した
線図である。
が受光する波長λ1 の光出力I1 と波長λ2 の光
出力I2 との和を被測定量に対して示した線図である
。(B)は同実施例において、比I1 /(I1+I2
)を被測定量に対して示した線図である。(C)は光
出力I1及びI2 をそれぞれ被測定量に対して示した
線図である。
【図6】本発明の他の実施例で用いる装置の構成を概略
的に示す構成図である。
的に示す構成図である。
【図7】図6の実施例の光出力の被測定量に対する特性
の一例を示した線図である。
の一例を示した線図である。
【図8】従来の光応用計測方法で用いる装置の構成を概
略的に示した構成図である。
略的に示した構成図である。
【図9】従来の光応用計測方法において提案されている
光伝送ロスの影響の低減方法を説明する説明図である。
光伝送ロスの影響の低減方法を説明する説明図である。
11…発光部、12…光変調部、13…受光部、14…
測定部、15…第1の発光源、16…第2の発光源、1
7,18,20,26,28,29…光ファイバ、19
…カプラ、21…コリメータ、22…複屈折素子、23
…直線偏光子、24…検光子、27…分波器、30…第
1の受光器、31…第2の受光器。
測定部、15…第1の発光源、16…第2の発光源、1
7,18,20,26,28,29…光ファイバ、19
…カプラ、21…コリメータ、22…複屈折素子、23
…直線偏光子、24…検光子、27…分波器、30…第
1の受光器、31…第2の受光器。
Claims (4)
- 【請求項1】 被測定量に応じて内部に光学的異方性
を生じる複屈折素子を直線偏光子と検光子との間に配置
してなる光変調部に、波長λ1 の光と波長λ2 の光
とを供給して両波長の光を被測定量により光強度変調し
、光変調部から得られる波長λ1 の光出力I1 と波
長λ2 の光出力I2 とをそれぞれ受光し、被測定量
に対して光出力I2 が極大値付近で僅かな変化を示す
間に光出力I1が被測定量に対して極小値側から極大値
側に、または極大値側から極小値側に大幅な変化を示す
特性が得られる被測定量の範囲を測定範囲とし、前記測
定範囲での光出力の比I1 /I2 と被測定量との関
係から被測定量を求めることを特徴とする光応用計測方
法。 - 【請求項2】 前記直線偏光子と複屈折素子との間に
波長板を配置し、前記波長板により前記複屈折素子に入
射する光の位相をシフトさせて前記測定範囲を所望の範
囲に調整することを特徴とする請求項1に記載の光応用
測定方法。 - 【請求項3】 被測定量に応じて内部に光学的異方性
を生じる複屈折素子を直線偏光子と検光子との間に配置
してなる光変調部に、波長λ1 の光と波長λ2 の光
とを供給して両波長の光を被測定量により光強度変調し
、光変調部から得られる波長λ1 の光出力I1 と波
長λ2 の光出力I2 とをそれぞれ受光し、光出力I
1 及びI2 がほぼ180度の位相差を有する特性が
得られる被測定量の範囲で、前記光出力I1 と光出力
の和(I1 +I2 )との比I1 /(I1 +I2
)または光出力I2 と光出力の和(I1 +I2
)との比I2 /(I1 +I2 )を演算し、演算し
た比と被測定量との関係から被測定量を求めることを特
徴とする光応用計測方法。 - 【請求項4】 被測定磁界が印加される磁気光学素子
を直線偏光子と検光子との間に配置し、前記磁気光学素
子と直線偏光子との間に入射光の波長に応じて偏光面を
所定の角度回転させる旋光子を更に配置した光変調部を
設け、前記光変調部に波長λ1 の光と波長λ2 の光
とを供給して両波長の光を被測定磁界により光強度変調
し、光変調部から得られる波長λ1 の光出力I1 と
波長λ2 の光出力I2 とをそれぞれ受光し、被測定
磁界に対して光出力I2 が極大値付近で僅かな変化を
示す間に光出力I1 が被測定磁界に対して極小値側か
ら極大値側に、または極大値側から極小値側に大幅な変
化を示す特性が得られる被測定磁界の範囲を測定範囲と
し、前記測定範囲での前記光出力I1 とI2 との比
I1 /I2 と被測定磁界との関係から被測定磁界を
求めることを特徴とする光応用計測方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3102599A JPH04332817A (ja) | 1991-05-08 | 1991-05-08 | 光応用計測方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3102599A JPH04332817A (ja) | 1991-05-08 | 1991-05-08 | 光応用計測方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04332817A true JPH04332817A (ja) | 1992-11-19 |
Family
ID=14331705
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3102599A Pending JPH04332817A (ja) | 1991-05-08 | 1991-05-08 | 光応用計測方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04332817A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003294491A (ja) * | 2002-03-04 | 2003-10-15 | Independence Technology Llc | センサ |
-
1991
- 1991-05-08 JP JP3102599A patent/JPH04332817A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003294491A (ja) * | 2002-03-04 | 2003-10-15 | Independence Technology Llc | センサ |
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