JPH04332841A - 半導体発光装置の検査方法 - Google Patents
半導体発光装置の検査方法Info
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- JPH04332841A JPH04332841A JP10304391A JP10304391A JPH04332841A JP H04332841 A JPH04332841 A JP H04332841A JP 10304391 A JP10304391 A JP 10304391A JP 10304391 A JP10304391 A JP 10304391A JP H04332841 A JPH04332841 A JP H04332841A
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- Japan
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- measured
- optical
- light
- optical fiber
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光通信や光ディスク装
置等に使用される発光ダイオード等の発光素子の光出力
と発振波長を測定する半導体発光装置の検査方法に関す
るものである。
置等に使用される発光ダイオード等の発光素子の光出力
と発振波長を測定する半導体発光装置の検査方法に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】図２は従来の半導体発光装置の光出力と
発振波長を測定する検査方法を説明する装置の構成図で
あり、この図において、１は半導体レーザ装置、２はこ
の半導体レーザ装置１の駆動電源、３は前記半導体レー
ザ装置１より出射する光束、４はこの光束３を受光し光
電変換する光検知器（光パワーセンサ）、５はこの光パ
ワーセンサ４の光電変換出力を光出力として表示する光
パワーメータ、６は前記光束３の一部を取り込む光ファ
イバで、光パワーセンサ４の外部のセンサホルダに取り
付けられている。７はこの光ファイバ６により取り込ま
れた光束３の発振波長を測定する分光器、８は前記光パ
ワーセンサ４と光ファイバ６を固定するセンサホルダで
ある。
発振波長を測定する検査方法を説明する装置の構成図で
あり、この図において、１は半導体レーザ装置、２はこ
の半導体レーザ装置１の駆動電源、３は前記半導体レー
ザ装置１より出射する光束、４はこの光束３を受光し光
電変換する光検知器（光パワーセンサ）、５はこの光パ
ワーセンサ４の光電変換出力を光出力として表示する光
パワーメータ、６は前記光束３の一部を取り込む光ファ
イバで、光パワーセンサ４の外部のセンサホルダに取り
付けられている。７はこの光ファイバ６により取り込ま
れた光束３の発振波長を測定する分光器、８は前記光パ
ワーセンサ４と光ファイバ６を固定するセンサホルダで
ある。
【０００３】次に、従来の半導体発光装置の光出力と発
振波長の測定方法について説明する。半導体レーザ装置
１に駆動電源２により電流を流すと、光束３が出射する
。この光束３の光出力の測定は、光パワーセンサ４によ
り光束３の全光束を受光し光電変換し、その光電変換出
力を光パワーメータ５によって測定することで光出力を
測定する。また、光束３の発振波長の測定は、光束３の
一部を光ファイバ６により取り込み、その取り込まれた
光束３を分光器７にて分光し、発振波長を測定する。
振波長の測定方法について説明する。半導体レーザ装置
１に駆動電源２により電流を流すと、光束３が出射する
。この光束３の光出力の測定は、光パワーセンサ４によ
り光束３の全光束を受光し光電変換し、その光電変換出
力を光パワーメータ５によって測定することで光出力を
測定する。また、光束３の発振波長の測定は、光束３の
一部を光ファイバ６により取り込み、その取り込まれた
光束３を分光器７にて分光し、発振波長を測定する。
【０００４】一般に、半導体レーザ装置１の発振波長は
、ある一定の光出力における発振波長で規定されている
。従って、半導体レーザ装置１の発振波長の測定を行う
場合、あらかじめ光出力を測定し、定められている光出
力を得る駆動電流値を測定した後、その駆動電流値にて
半導体レーザ装置１を発光させ、発振波長を測定する。
、ある一定の光出力における発振波長で規定されている
。従って、半導体レーザ装置１の発振波長の測定を行う
場合、あらかじめ光出力を測定し、定められている光出
力を得る駆動電流値を測定した後、その駆動電流値にて
半導体レーザ装置１を発光させ、発振波長を測定する。
【０００５】したがって、半導体レーザ装置１の光出力
と発振波長を測定する場合、はじめに光パワーセンサ４
に半導体レーザ装置１から出射する光束３の全光束が入
射するようにし、光出力および駆動電流値を測定した後
、光ファイバ６に光束３の一部が入射するようにし、所
定の駆動電流値にて半導体レーザ装置１を駆動し、発振
波長を分光器７にて測定する。光パワーセンサ４と光フ
ァイバ６はセンサホルダ８に固定されており、各センサ
への光束３の入射の切換えはセンサホルダ８をエアシリ
ンダなどの機械的手段にて移動させて行う。
と発振波長を測定する場合、はじめに光パワーセンサ４
に半導体レーザ装置１から出射する光束３の全光束が入
射するようにし、光出力および駆動電流値を測定した後
、光ファイバ６に光束３の一部が入射するようにし、所
定の駆動電流値にて半導体レーザ装置１を駆動し、発振
波長を分光器７にて測定する。光パワーセンサ４と光フ
ァイバ６はセンサホルダ８に固定されており、各センサ
への光束３の入射の切換えはセンサホルダ８をエアシリ
ンダなどの機械的手段にて移動させて行う。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来の半導体レーザ装
置１の光出力と発振波長の検査方法は以上のようにして
行っているので、光パワーセンサ４と光ファイバ６を機
械的手段にて移動させて光出力，発振波長を測定してい
るので、測定系が複雑になり、また測定時間が長くなる
などの問題点があった。
置１の光出力と発振波長の検査方法は以上のようにして
行っているので、光パワーセンサ４と光ファイバ６を機
械的手段にて移動させて光出力，発振波長を測定してい
るので、測定系が複雑になり、また測定時間が長くなる
などの問題点があった。
【０００７】本発明は、上記のような問題点を解決する
ためになされたもので、機械的手段を用いずに光出力と
発振波長を同時に測定できる半導体発光装置の検査方法
を得ることを目的とする。
ためになされたもので、機械的手段を用いずに光出力と
発振波長を同時に測定できる半導体発光装置の検査方法
を得ることを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明に係る半導体発光
装置の検査方法は、光出力を測定する光検知器の一部に
、発振波長を測定するための光ファイバを取り付けたも
のである。
装置の検査方法は、光出力を測定する光検知器の一部に
、発振波長を測定するための光ファイバを取り付けたも
のである。
【０００９】
【作用】本発明における光検知器と、この光検知器の一
部に取り付けられた光ファイバは、同時に半導体発光装
置から出射する光束を受光し、その光出力と発振波長が
測定される。
部に取り付けられた光ファイバは、同時に半導体発光装
置から出射する光束を受光し、その光出力と発振波長が
測定される。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１について説明
する。この図において、１〜３および５，７は図２と同
じものであり、１４は前記光束３を受光し光電変換する
光検知器（光パワーセンサ）、１６はこの光パワーセン
サ１４の中央部に取り付けられた光束３の一部を取り込
む光ファイバである。
する。この図において、１〜３および５，７は図２と同
じものであり、１４は前記光束３を受光し光電変換する
光検知器（光パワーセンサ）、１６はこの光パワーセン
サ１４の中央部に取り付けられた光束３の一部を取り込
む光ファイバである。
【００１１】上記のように、光パワーセンサ１４の中央
部に光ファイバ１６を取り付けると、半導体レーザ装置
１より出射する光束３の全光束を光パワーセンサ１４に
入射させると同時に、光ファイバ１６に光束３の一部が
入射する。そこで、半導体レーザ装置１の光出力と発振
波長を測定するときには光束３の全光束を光パワーセン
サ１４に入射させ、同時に光ファイバ１６にも光束３の
一部を入射させるようにして、半導体レーザ装置１に流
す駆動電源２から供給される駆動電流を変化させながら
光出力を光パワーセンサ１４の光電変換出力を光パワー
メータ５で測定することにより、光出力を測定する。発
振波長の測定は、測定した光出力が発振波長を測定する
所定の光出力値に達したときに、光ファイバ１６より導
かれた光束３を分光器７により測定したときの波長が半
導体レーザ装置１の発振波長となる。
部に光ファイバ１６を取り付けると、半導体レーザ装置
１より出射する光束３の全光束を光パワーセンサ１４に
入射させると同時に、光ファイバ１６に光束３の一部が
入射する。そこで、半導体レーザ装置１の光出力と発振
波長を測定するときには光束３の全光束を光パワーセン
サ１４に入射させ、同時に光ファイバ１６にも光束３の
一部を入射させるようにして、半導体レーザ装置１に流
す駆動電源２から供給される駆動電流を変化させながら
光出力を光パワーセンサ１４の光電変換出力を光パワー
メータ５で測定することにより、光出力を測定する。発
振波長の測定は、測定した光出力が発振波長を測定する
所定の光出力値に達したときに、光ファイバ１６より導
かれた光束３を分光器７により測定したときの波長が半
導体レーザ装置１の発振波長となる。
【００１２】また、光パワーセンサ１４の直径が１０ｍ
ｍのものを使用すれば光ファイバ１６の直径が１２５μ
ｍであるので、光ファイバ１６の光パワーセンサ１４の
面積に占める面積比は０．２％程度になるので、光束３
の光出力の測定にはほとんど影響を与えない。
ｍのものを使用すれば光ファイバ１６の直径が１２５μ
ｍであるので、光ファイバ１６の光パワーセンサ１４の
面積に占める面積比は０．２％程度になるので、光束３
の光出力の測定にはほとんど影響を与えない。
【００１３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
光パワーセンサの一部に光ファイバを取り付け、半導体
発光素子から出射される光束を光パワーセンサと光ファ
イバとに同時に入射させるようにしたので、半導体レー
ザ装置の光出力と発振波長の測定系が簡単になり、また
、測定時間の短縮化がはかれる効果がある。
光パワーセンサの一部に光ファイバを取り付け、半導体
発光素子から出射される光束を光パワーセンサと光ファ
イバとに同時に入射させるようにしたので、半導体レー
ザ装置の光出力と発振波長の測定系が簡単になり、また
、測定時間の短縮化がはかれる効果がある。
【図１】本発明の一実施例による半導体発光装置の検査
方法を示す装置の構成図である。
方法を示す装置の構成図である。
【図２】従来の半導体発光装置の検査方法を示す装置の
構成図である。
構成図である。
１ 半導体レーザ装置
２ 駆動電源
３ 光束
４ 光パワーセンサ
５ 光パワーメータ
６ 光ファイバ
７ 分光器
１４ 光パワーセンサ
１６ 光ファイバ
Claims (1)
- 【請求項１】半導体発光装置より出射する光束の光出力
と発振波長を検査する検査方法において、前記光出力を
検知する光検知器の一部に発振波長を測定するために使
用する前記光束の一部を取り込む光ファイバを取り付け
、前記半導体発光装置より出射する光束の光出力と発振
波長を同時に測定することを特徴とする半導体発光装置
の検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10304391A JPH04332841A (ja) | 1991-05-09 | 1991-05-09 | 半導体発光装置の検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10304391A JPH04332841A (ja) | 1991-05-09 | 1991-05-09 | 半導体発光装置の検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04332841A true JPH04332841A (ja) | 1992-11-19 |
Family
ID=14343640
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10304391A Pending JPH04332841A (ja) | 1991-05-09 | 1991-05-09 | 半導体発光装置の検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04332841A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009250879A (ja) * | 2008-04-09 | 2009-10-29 | Ae Tekku Kk | 発光装置の検査装置及び検査方法 |
| JP4892118B1 (ja) * | 2010-11-30 | 2012-03-07 | パイオニア株式会社 | 発光素子用受光モジュール及び発光素子用検査装置 |
| CN104897365A (zh) * | 2015-05-27 | 2015-09-09 | 广东高聚激光有限公司 | 一种光纤激光器的老化测试装置 |
| CN105891692A (zh) * | 2016-02-23 | 2016-08-24 | 青岛海信宽带多媒体技术有限公司 | 一种激光芯片p-i曲线扭折测试方法及装置 |
-
1991
- 1991-05-09 JP JP10304391A patent/JPH04332841A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009250879A (ja) * | 2008-04-09 | 2009-10-29 | Ae Tekku Kk | 発光装置の検査装置及び検査方法 |
| JP4892118B1 (ja) * | 2010-11-30 | 2012-03-07 | パイオニア株式会社 | 発光素子用受光モジュール及び発光素子用検査装置 |
| WO2012073345A1 (ja) * | 2010-11-30 | 2012-06-07 | パイオニア株式会社 | 発光素子用受光モジュール及び発光素子用検査装置 |
| CN104897365A (zh) * | 2015-05-27 | 2015-09-09 | 广东高聚激光有限公司 | 一种光纤激光器的老化测试装置 |
| CN105891692A (zh) * | 2016-02-23 | 2016-08-24 | 青岛海信宽带多媒体技术有限公司 | 一种激光芯片p-i曲线扭折测试方法及装置 |
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