JPH04337519A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH04337519A JPH04337519A JP13720491A JP13720491A JPH04337519A JP H04337519 A JPH04337519 A JP H04337519A JP 13720491 A JP13720491 A JP 13720491A JP 13720491 A JP13720491 A JP 13720491A JP H04337519 A JPH04337519 A JP H04337519A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coercive force
- recording
- magnetic
- underlayer
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は磁気記録媒体に関する。
更に詳細には、本発明は高密度記録性能が大幅に向上さ
れた記録層を有する磁気記録媒体に関する。 【0002】 【従来の技術】近年の磁気記録技術の進歩は急速であり
、既に最短の単位記録長がサブミクロンのオーダーの領
域に入りつつある。このような高密度の記録領域に入る
と、信号対雑音比、いわゆるS/N比を可能な限り高め
ることが最重要課題となってくる。 【0003】このようなことから、磁気ヘッド、記録媒
体そして信号処理系の改良が進められてきたが、記録媒
体の面から見ると、サブミクロンの下限付近あるいはそ
れ以上の高密度記録を目指そうとすると、現行の媒体で
は高いS/N比の確保が難しく、実用に供することは困
難と予想された。 【0004】このS/N比確保のためには、信号レベル
Sを高め、雑音レベルNを低く抑えることが必要となる
が、この課題に対しては二つのアプローチがある。磁気
記録の過程は、磁気ヘッドによる記録媒体への記録、そ
して、磁気ヘッドによる記録信号の再生の二つのプロセ
スに大別され、各々のプロセスに対し、高密度化という
目的に合致した最適化がなされなければならない。先ず
、記録の面から考えると、ヘッドが磁気的飽和に至る以
前の記録レベルで記録磁性層がその最下層まで充分に記
録されなければならない。これはヘッドが磁気的飽和状
態に近づくと、そこから発生する磁界の空間分布が拡が
り、著しい記録減磁を起こし、出力レベルSの低下およ
び高密度記録性能の著しい劣化を引き起こすためである
。 【0005】従って、技術的な面から考えると、ヘッド
が磁気的飽和に至る以前の比較的低い記録磁界で記録媒
体は充分に記録されねばならない。一方、再生の面から
考えると、記録された記録磁性層内の磁化は、磁気ヘッ
ドが過ぎ去った後、それ自身が生み出す反磁界により著
しい減磁を受け、なるべくエネルギー的に安定な状態を
取ろうとする。そして、このような減磁を受けると、記
録磁化は減少し、顕著な出力レベルの低下を引き起こす
。従って、なるべく記録時の磁化を保持するような努力
が必要となる。 【0006】以上、記録および再生の点からS/N比向
上のための指針を述べたが、実際にこれまで開発されて
きた磁気記録媒体では、これらの点が充分に検討された
とはいえず、その結果、高記録密度領域の高いS/N比
を確保することが困難であった。 【0007】 【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記従来技
術がもつ高記録密度領域におけるS/N比の不足という
問題を解決し、以て、高密度記録性能に優れた磁気記録
媒体を提供することを目的とする。 【0008】 【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明では、図1に示すような、非磁性基体1上に
低保磁力下地層2および高保磁力記録層3を設けた磁気
記録媒体において、低保磁力下地層の飽和磁化を高保磁
力記録層の飽和磁化よりも小さく、かつ、その値を50
〜300Gの範囲内に収めるようにしている。非磁性基
体1と低保磁力下地層2との間には、所望により、非磁
性アンダーコート層を設けることもできる。 【0009】これにより、記録媒体の広い記録密度領域
におけるS/N比は向上するが、低保磁力下地層2に更
に以下の特性を持たせることにより、本発明の効果は一
層顕著になる。すなわち、高保磁力記録層および低保磁
力下地層を共に消磁後、50Oe以下の外部磁場を印加
した時に測定した膜面垂直方向および面内方向保磁力を
10Oe以下とし、更には、消磁状態で測定した低保磁
力下地層の透磁率を10以上とすることである。 【0010】 【作用】垂直記録媒体、長手記録媒体を問わず、実験的
には上記の構成を採用することにより、高記録密度領域
におけるS/N比は著しく向上した。この原因は、本発
明の記録媒体構造が前記のS/N比向上のための指針に
沿ったものであるためと考えられる。以下にその詳細を
述べるが、垂直記録および長手記録共に、類似のメカニ
ズムが考えられるので、ここでは垂直記録すなわち、記
録磁性層3が垂直磁気異方性記録層である場合について
述べる。なお、垂直および長手の中間状態にある斜め磁
気異方性の場合についても同様の解釈を行うことができ
る。 【0011】先ず、記録サイドから、低飽和磁化かつ低
保磁力下地層2の役割について図2を用いて考察してみ
る。磁気ヘッドが高保磁力記録層3に記録を行う場合、
低保磁力下地層2の方が磁化されやすい。この磁化のし
やすさの度合いは軟磁性であるほど、また下地層2の飽
和磁化が低いほど反磁界が小さくなり、ヘッド磁界分布
に従った磁化状態が実現されやすい。このように、低保
磁力下地層が磁化されると、下地層とその上の高保磁力
記録層3の交換相互作用により、記録層3も磁化される
。従って、記録の点から考えると、このような低保磁力
下地層の存在は、高保磁力記録層3に記録を行うための
ヘッド磁界を著しく低減させる役割がある。このことを
実用面から考えると、磁気ヘッドを磁気飽和以下の低記
録電流で駆動できることを意味し、急峻なヘッド磁界空
間分布すなわち急峻な記録を行うことが出来るという大
きなメリットがある。以上述べた記録サイドの観点から
すると、低保磁力下地層の飽和磁化には最適値があり、
過小では両層の交換相互作用が弱く、また、過大になる
と下地層内に生じる反磁界によりヘッド磁界分布に従っ
た磁化状態が実現されない。 【0012】次に、再生サイドから本発明の磁気記録媒
体の特徴について図3を用いて説明する。磁気ヘッドが
記録を行い過ぎ去った後には、低保磁力下地層内の磁化
は高保磁力記録層との交換相互作用により影響は受ける
ものの、ランダムな分布に近づこうとする。しかし、磁
化遷移近傍においては、強い漏洩磁気記録媒体勾配が現
れているため、その近傍のみの低保磁力下地層は強く磁
化され、図3に示すように、高保磁力記録層−低保磁力
下地層間で半閉磁路を形成する。その結果、高保磁力記
録層裏面の自由磁極は低減され、記憶磁化に作用する反
磁界が減少する結果、磁化遷移領域近傍の記録磁化は安
定化する。このようにして、再生出力が向上するものと
推測されたが、低保磁力下地層の飽和磁化を過小にする
と、半閉磁路形成が不十分であり、過大にすると雑音レ
ベルが非常に高くなる。 【0013】以上、記録および再生の面から本発明の効
果のメカニズムについて考察したが、上述したように本
発明者らの具体的実験検討によれば、低保磁力下地層の
飽和磁化を高保磁力記録層のそれよりも小さくし、かつ
、その値を50〜300Gと設定した時に、高記録密度
領域において最も良好なS/N比を実現することができ
た。また、先に述べたメカニズムから予想されるように
、低保磁力下地層は軟磁性的性質を有することが好まし
いが、本発明のような積層状態における個々の層の磁気
特性評価は困難であり、これまで有効な測定方法がなか
った。このような困難を避けるために、各層を単独に形
成し、各々の磁気特性が評価されていた。しかし、この
ような評価法が妥当でないことは明かである。先ず、第
一には、低保磁力下地層2の上に高保磁力記録層を形成
すると膜形成時の熱残留応力、そして、膜の内部応力の
変化により磁気特性は大きく変化する。第2には、低保
磁力下地層と高保磁力記録層界面において原子拡散が生
じ、組成変化により磁気特性も変化する。第三には、両
層間の磁気的カップリングのため単層と積層状態では、
低保磁力下地層の磁気的挙動は大きく違ってくる。 【0014】このように、単層状態の磁気特性から積層
状態における磁気的挙動を議論することは妥当なことで
はなく、誤解を生じる場合が非常に多い。このような問
題を解決するため、本発明者らは、積層状態における低
保磁力下地層の新たな磁気特性評価法を考案した。それ
は、上記積層膜を消磁後、高保磁力記録層が殆ど磁化さ
れないような弱磁界下で、低保磁力下地層の磁気特性を
評価するという手法である。先に、本発明の積層型磁気
記録媒体の低保磁力下地層は、軟磁性的性質を有する必
要のあることを述べたが、上記評価法に基づけば、低保
磁力下地層が下記2つの要件を満足する時に、特に優れ
た記録再生特性を実現できることを確認した。第一には
、高保磁力記録層および低保磁力下地層共に消磁後、5
0Oe以下の外部磁場を印加した時の膜面垂直方向およ
び面内方向の保磁力が10Oe以下であること。第二に
、高保磁力記録層および低保磁力下地層共に消磁後に測
定した低保磁力下地層の透磁率が10以上であること。 これら二つの要件が、優れた記録特性を実現するために
、飽和磁化を低く設定することの他に、低保磁力下地層
に要求される性質である。 【0015】本発明の磁気記録媒体における低保磁力下
地層の材料としては、上記要件を満足するものならば特
に限定されず、Fe、Co、Niを含有する結晶質、非
晶質合金あるいはMn−Znフェライトなどの酸化物材
料、窒化物材料などがその一例として考えられる。また
、高保磁力記録層材料としては、Fe、Co、Niを主
体とする合金あるいは酸化物材料などがその一例として
挙げられ、例えば、Co系の材料としては、Co−Ni
、Co−Cr、Co−Pt、Co−Ta、Co−O、C
o−Fe−O、Co−Ni−O、Co−Ni−Cr、C
o−Ni−Pt、Co−Ni−Ta、Co−Cr−Ta
、Co−Cr−Ptなどがある。 【0016】また、高保磁力記録層の面内磁気異方性あ
るいは垂直磁気異方性を特に強調する場合には、Cr主
体合金あるいはTi、Geなどの非磁性アンダーコート
層を低保磁力下地層2と基板1の間に介在させてもよい
。 【0017】本発明の磁気記録媒体の製造方法自体は特
に限定されない。本発明の磁気記録媒体における、非磁
性アンダーコート層、低保磁力下地層および高保磁力記
録層は何れも、例えば、非磁性基体にスパッタ法あるい
は真空蒸着法といつたベーパデポジション法により製造
することができる。このような製造方法は当業者に公知
である。別法として、非磁性アンダーコート層はパルス
メッキ法によっても形成することができる。 【0018】本発明の磁気記録媒体に使用される非磁性
基板としては、アルミニウム基板の他に、ポリイミド,
ポリエチレンテレフタレート等の高分子フィルム,ガラ
ス類,セラミック,陽極酸化アルミ,黄銅などの金属板
,Si単結晶板,表面を熱酸化処理したSi単結晶板な
どがある。 【0019】また、本発明の磁気記録媒体としては、ポ
リエステルフィルム、ポリイミドフィルムなどの合成樹
脂フィルムを基体とする磁気テープや磁気ディスク、合
成樹脂フィルム、アルミニウム板およびガラス板等から
なる円盤やドラムを基体とする磁気ディスクや磁気ドラ
ムなど、磁気ヘッドと摺接する構造の種々の形態を包含
する。 【0020】以下、実施例により本発明を更に詳細に説
明する。 実施例1 2.5インチのガラスディスク基板を120℃に加熱し
た状態で、膜厚0.06μmの非晶質Co−Zr下地層
を形成し、該層上に膜厚0.05μmのCo−20wt
%Cr垂直磁気異方性膜(飽和磁化Ms1 =290G
)そして、膜厚100Åのカーボン膜をスパッタ形成し
た。 なお、Co−Zr膜はCoターゲット上にZrチップを
置き、その被覆面積により組成すなわち飽和磁化を変化
させた。なお、Co−Zr下地層の磁気特性を変化させ
るため、25〜250℃の温度範囲で回転磁界中熱処理
を施した。この温度範囲の熱処理ではCo−Cr膜の磁
性に大きな変化は現れなかった。また、Co−Zr下地
層の磁気特性の評価にあたっては、積層状態の試料を交
流消磁した上で、初期磁化曲線を描かせ、零磁場近傍の
曲線の傾斜より透磁率μiを決定した。また、下地層の
保磁力Hc2 の評価は、消磁状態の試料に50Oeの
外部磁界を印加し、ヒステリシス曲線を描かせて保磁力
を決定した。このようにして形成したディスクをギャッ
プ長0.26μmの薄膜型リングヘッドで記録し、膜厚
0.08μmの磁気抵抗効果型ヘッド(MRヘッド)で
再生した。測定結果を下記の表1に示す。表中、S/N
比の結果は記録密度100kFCIにおける値として示
されている。 【0021】 【表1】
表1 Co−Cr
膜 Co−Zr 膜 Co−Zr
膜 Co−Zr 膜 S/N 比(
対 飽和磁化 飽和磁化
透磁率 保磁力 単
層膜比)試 料 Ms1(G)
Ms2(G) μi
Hc2(Oe) dB
1 290 −−−
−−− −−−
0 2 290
800 950 2.4
−6.2 3 290
430 390
3.0 −3.7 4
290 270 280
0.8 +3.3 5
290 110
210 1.1 +5.8
6 290 70
80 0.3
+2.7 7 290
40 30
0.3 0 8
290 110
6 13 0
【0022】実施例2 2.5インチのガラス基板を150℃に加熱した状態で
膜厚0.35μmのCr下地層、膜厚0.009μmの
Ni−Cr合金下地層そして膜厚0.045μmのCo
−Cr−Ta記録磁性層(飽和磁化Ms1 =320G
)、更に膜厚130Åのカーボン膜をスパッタ形成した
。なお、Ni−Cr膜はNiターゲット上にCrチップ
を置き、その被覆面積により組成すなわち飽和磁化を変
化させた。なお、実施例1と同様に、Ni−Cr層の磁
気特性を変化させるため、25〜250℃の温度範囲内
で磁界中熱処理を施した。磁気特性および記録再生特性
の評価方法は、先の実施例と同様であり、その結果を表
2に示す。 【0023】 【表2】
表2 Co−Cr−
Ta膜 Co−Zr 膜 Co−Zr
膜 Co−Zr 膜 S/N 比(
対 飽和磁化 飽和磁化
透磁率 保磁力 単
層膜比)試 料 Ms1(G)
Ms2(G) μi
Hc2(Oe) dB
9 320 −−−
−−− −−−
0 10 320
400 1300 1.5
−2.6 11 320
270 860 0.
9 +2.3 12 320
110 630
0.8 +3.9 13
320 30
80 2.3 0
14 320 110
8 9.0
+0.5 【0024】実施例3 図4に示す巻取式真空蒸着装置を用い、厚さ9.2μm
のPET(ポリエチレンテレフタレート)フィルム基板
6上に、低保磁力Ni−Cu下地層、高保磁力Co−O
記録磁性膜の蒸着を行った。以下にその製造プロセスを
説明する。真空槽内を排気孔4を通し、5×10−6T
orr以下の真空度を達成した後、ロール5よりフィル
ム基板6を送り出し、水冷キャンドラム7に沿わせて走
行させる。ここで、電子ビームにより加熱したNi−C
u蒸発源12より、基板上に膜厚0.012μmのNi
−Cu下地膜を堆積させ、ロール5に巻き取った。次い
で、再び巻戻し操作を行い、真空槽内にガス導入孔9か
ら酸素ガスを導入しながら、Co蒸発源11より、膜厚
0.21μmのCo−O膜をNi−Cu下地膜上に堆積
させた。このようにして作製したCo−O/Ni−Cu
積層膜を交流消磁後、初期磁化曲線を描かせ、零磁場近
傍の傾斜より透磁率μi を決定した。また、下地層の
保磁力Hc2 の評価は、消磁状態の試料に30Oeの
外部磁界を印加し、保磁力を測定した。また、記録再生
特性は1/2インチ幅のテープ状に切り出した試料をギ
ャップ長0.17μmのCoNbZrアモルファス−フ
ェライト複合MIG(メタル−イン−ギャップ)型リン
グヘッドにより自己記録再生評価を行った。結果を表3
に示す。 【0025】 【表3】
表3 Co−O
膜 Ni−Cu 膜 Ni−Cu
膜 Ni−Cu 膜 S/N 比(
対 飽和磁化 飽和磁化
透磁率 保磁力 単
層膜比)試 料 Ms1(G)
Ms2(G) μi
Hc2(Oe) dB
9 910 −−−
−−− −−−
0 10 910
400 960 3.2
+2.1 11 910
250 640 1
.7 +4.9 【0026】 【発明の効果】以上説明したように、本発明では低保磁
力下地層と高保磁力記録層の積層膜において、前者の飽
和磁化を後者のそれよりも小さくし、かつ、その値を5
0〜300Gとすることにより高密度記録領域における
S/N比を向上している。
れた記録層を有する磁気記録媒体に関する。 【0002】 【従来の技術】近年の磁気記録技術の進歩は急速であり
、既に最短の単位記録長がサブミクロンのオーダーの領
域に入りつつある。このような高密度の記録領域に入る
と、信号対雑音比、いわゆるS/N比を可能な限り高め
ることが最重要課題となってくる。 【0003】このようなことから、磁気ヘッド、記録媒
体そして信号処理系の改良が進められてきたが、記録媒
体の面から見ると、サブミクロンの下限付近あるいはそ
れ以上の高密度記録を目指そうとすると、現行の媒体で
は高いS/N比の確保が難しく、実用に供することは困
難と予想された。 【0004】このS/N比確保のためには、信号レベル
Sを高め、雑音レベルNを低く抑えることが必要となる
が、この課題に対しては二つのアプローチがある。磁気
記録の過程は、磁気ヘッドによる記録媒体への記録、そ
して、磁気ヘッドによる記録信号の再生の二つのプロセ
スに大別され、各々のプロセスに対し、高密度化という
目的に合致した最適化がなされなければならない。先ず
、記録の面から考えると、ヘッドが磁気的飽和に至る以
前の記録レベルで記録磁性層がその最下層まで充分に記
録されなければならない。これはヘッドが磁気的飽和状
態に近づくと、そこから発生する磁界の空間分布が拡が
り、著しい記録減磁を起こし、出力レベルSの低下およ
び高密度記録性能の著しい劣化を引き起こすためである
。 【0005】従って、技術的な面から考えると、ヘッド
が磁気的飽和に至る以前の比較的低い記録磁界で記録媒
体は充分に記録されねばならない。一方、再生の面から
考えると、記録された記録磁性層内の磁化は、磁気ヘッ
ドが過ぎ去った後、それ自身が生み出す反磁界により著
しい減磁を受け、なるべくエネルギー的に安定な状態を
取ろうとする。そして、このような減磁を受けると、記
録磁化は減少し、顕著な出力レベルの低下を引き起こす
。従って、なるべく記録時の磁化を保持するような努力
が必要となる。 【0006】以上、記録および再生の点からS/N比向
上のための指針を述べたが、実際にこれまで開発されて
きた磁気記録媒体では、これらの点が充分に検討された
とはいえず、その結果、高記録密度領域の高いS/N比
を確保することが困難であった。 【0007】 【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記従来技
術がもつ高記録密度領域におけるS/N比の不足という
問題を解決し、以て、高密度記録性能に優れた磁気記録
媒体を提供することを目的とする。 【0008】 【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明では、図1に示すような、非磁性基体1上に
低保磁力下地層2および高保磁力記録層3を設けた磁気
記録媒体において、低保磁力下地層の飽和磁化を高保磁
力記録層の飽和磁化よりも小さく、かつ、その値を50
〜300Gの範囲内に収めるようにしている。非磁性基
体1と低保磁力下地層2との間には、所望により、非磁
性アンダーコート層を設けることもできる。 【0009】これにより、記録媒体の広い記録密度領域
におけるS/N比は向上するが、低保磁力下地層2に更
に以下の特性を持たせることにより、本発明の効果は一
層顕著になる。すなわち、高保磁力記録層および低保磁
力下地層を共に消磁後、50Oe以下の外部磁場を印加
した時に測定した膜面垂直方向および面内方向保磁力を
10Oe以下とし、更には、消磁状態で測定した低保磁
力下地層の透磁率を10以上とすることである。 【0010】 【作用】垂直記録媒体、長手記録媒体を問わず、実験的
には上記の構成を採用することにより、高記録密度領域
におけるS/N比は著しく向上した。この原因は、本発
明の記録媒体構造が前記のS/N比向上のための指針に
沿ったものであるためと考えられる。以下にその詳細を
述べるが、垂直記録および長手記録共に、類似のメカニ
ズムが考えられるので、ここでは垂直記録すなわち、記
録磁性層3が垂直磁気異方性記録層である場合について
述べる。なお、垂直および長手の中間状態にある斜め磁
気異方性の場合についても同様の解釈を行うことができ
る。 【0011】先ず、記録サイドから、低飽和磁化かつ低
保磁力下地層2の役割について図2を用いて考察してみ
る。磁気ヘッドが高保磁力記録層3に記録を行う場合、
低保磁力下地層2の方が磁化されやすい。この磁化のし
やすさの度合いは軟磁性であるほど、また下地層2の飽
和磁化が低いほど反磁界が小さくなり、ヘッド磁界分布
に従った磁化状態が実現されやすい。このように、低保
磁力下地層が磁化されると、下地層とその上の高保磁力
記録層3の交換相互作用により、記録層3も磁化される
。従って、記録の点から考えると、このような低保磁力
下地層の存在は、高保磁力記録層3に記録を行うための
ヘッド磁界を著しく低減させる役割がある。このことを
実用面から考えると、磁気ヘッドを磁気飽和以下の低記
録電流で駆動できることを意味し、急峻なヘッド磁界空
間分布すなわち急峻な記録を行うことが出来るという大
きなメリットがある。以上述べた記録サイドの観点から
すると、低保磁力下地層の飽和磁化には最適値があり、
過小では両層の交換相互作用が弱く、また、過大になる
と下地層内に生じる反磁界によりヘッド磁界分布に従っ
た磁化状態が実現されない。 【0012】次に、再生サイドから本発明の磁気記録媒
体の特徴について図3を用いて説明する。磁気ヘッドが
記録を行い過ぎ去った後には、低保磁力下地層内の磁化
は高保磁力記録層との交換相互作用により影響は受ける
ものの、ランダムな分布に近づこうとする。しかし、磁
化遷移近傍においては、強い漏洩磁気記録媒体勾配が現
れているため、その近傍のみの低保磁力下地層は強く磁
化され、図3に示すように、高保磁力記録層−低保磁力
下地層間で半閉磁路を形成する。その結果、高保磁力記
録層裏面の自由磁極は低減され、記憶磁化に作用する反
磁界が減少する結果、磁化遷移領域近傍の記録磁化は安
定化する。このようにして、再生出力が向上するものと
推測されたが、低保磁力下地層の飽和磁化を過小にする
と、半閉磁路形成が不十分であり、過大にすると雑音レ
ベルが非常に高くなる。 【0013】以上、記録および再生の面から本発明の効
果のメカニズムについて考察したが、上述したように本
発明者らの具体的実験検討によれば、低保磁力下地層の
飽和磁化を高保磁力記録層のそれよりも小さくし、かつ
、その値を50〜300Gと設定した時に、高記録密度
領域において最も良好なS/N比を実現することができ
た。また、先に述べたメカニズムから予想されるように
、低保磁力下地層は軟磁性的性質を有することが好まし
いが、本発明のような積層状態における個々の層の磁気
特性評価は困難であり、これまで有効な測定方法がなか
った。このような困難を避けるために、各層を単独に形
成し、各々の磁気特性が評価されていた。しかし、この
ような評価法が妥当でないことは明かである。先ず、第
一には、低保磁力下地層2の上に高保磁力記録層を形成
すると膜形成時の熱残留応力、そして、膜の内部応力の
変化により磁気特性は大きく変化する。第2には、低保
磁力下地層と高保磁力記録層界面において原子拡散が生
じ、組成変化により磁気特性も変化する。第三には、両
層間の磁気的カップリングのため単層と積層状態では、
低保磁力下地層の磁気的挙動は大きく違ってくる。 【0014】このように、単層状態の磁気特性から積層
状態における磁気的挙動を議論することは妥当なことで
はなく、誤解を生じる場合が非常に多い。このような問
題を解決するため、本発明者らは、積層状態における低
保磁力下地層の新たな磁気特性評価法を考案した。それ
は、上記積層膜を消磁後、高保磁力記録層が殆ど磁化さ
れないような弱磁界下で、低保磁力下地層の磁気特性を
評価するという手法である。先に、本発明の積層型磁気
記録媒体の低保磁力下地層は、軟磁性的性質を有する必
要のあることを述べたが、上記評価法に基づけば、低保
磁力下地層が下記2つの要件を満足する時に、特に優れ
た記録再生特性を実現できることを確認した。第一には
、高保磁力記録層および低保磁力下地層共に消磁後、5
0Oe以下の外部磁場を印加した時の膜面垂直方向およ
び面内方向の保磁力が10Oe以下であること。第二に
、高保磁力記録層および低保磁力下地層共に消磁後に測
定した低保磁力下地層の透磁率が10以上であること。 これら二つの要件が、優れた記録特性を実現するために
、飽和磁化を低く設定することの他に、低保磁力下地層
に要求される性質である。 【0015】本発明の磁気記録媒体における低保磁力下
地層の材料としては、上記要件を満足するものならば特
に限定されず、Fe、Co、Niを含有する結晶質、非
晶質合金あるいはMn−Znフェライトなどの酸化物材
料、窒化物材料などがその一例として考えられる。また
、高保磁力記録層材料としては、Fe、Co、Niを主
体とする合金あるいは酸化物材料などがその一例として
挙げられ、例えば、Co系の材料としては、Co−Ni
、Co−Cr、Co−Pt、Co−Ta、Co−O、C
o−Fe−O、Co−Ni−O、Co−Ni−Cr、C
o−Ni−Pt、Co−Ni−Ta、Co−Cr−Ta
、Co−Cr−Ptなどがある。 【0016】また、高保磁力記録層の面内磁気異方性あ
るいは垂直磁気異方性を特に強調する場合には、Cr主
体合金あるいはTi、Geなどの非磁性アンダーコート
層を低保磁力下地層2と基板1の間に介在させてもよい
。 【0017】本発明の磁気記録媒体の製造方法自体は特
に限定されない。本発明の磁気記録媒体における、非磁
性アンダーコート層、低保磁力下地層および高保磁力記
録層は何れも、例えば、非磁性基体にスパッタ法あるい
は真空蒸着法といつたベーパデポジション法により製造
することができる。このような製造方法は当業者に公知
である。別法として、非磁性アンダーコート層はパルス
メッキ法によっても形成することができる。 【0018】本発明の磁気記録媒体に使用される非磁性
基板としては、アルミニウム基板の他に、ポリイミド,
ポリエチレンテレフタレート等の高分子フィルム,ガラ
ス類,セラミック,陽極酸化アルミ,黄銅などの金属板
,Si単結晶板,表面を熱酸化処理したSi単結晶板な
どがある。 【0019】また、本発明の磁気記録媒体としては、ポ
リエステルフィルム、ポリイミドフィルムなどの合成樹
脂フィルムを基体とする磁気テープや磁気ディスク、合
成樹脂フィルム、アルミニウム板およびガラス板等から
なる円盤やドラムを基体とする磁気ディスクや磁気ドラ
ムなど、磁気ヘッドと摺接する構造の種々の形態を包含
する。 【0020】以下、実施例により本発明を更に詳細に説
明する。 実施例1 2.5インチのガラスディスク基板を120℃に加熱し
た状態で、膜厚0.06μmの非晶質Co−Zr下地層
を形成し、該層上に膜厚0.05μmのCo−20wt
%Cr垂直磁気異方性膜(飽和磁化Ms1 =290G
)そして、膜厚100Åのカーボン膜をスパッタ形成し
た。 なお、Co−Zr膜はCoターゲット上にZrチップを
置き、その被覆面積により組成すなわち飽和磁化を変化
させた。なお、Co−Zr下地層の磁気特性を変化させ
るため、25〜250℃の温度範囲で回転磁界中熱処理
を施した。この温度範囲の熱処理ではCo−Cr膜の磁
性に大きな変化は現れなかった。また、Co−Zr下地
層の磁気特性の評価にあたっては、積層状態の試料を交
流消磁した上で、初期磁化曲線を描かせ、零磁場近傍の
曲線の傾斜より透磁率μiを決定した。また、下地層の
保磁力Hc2 の評価は、消磁状態の試料に50Oeの
外部磁界を印加し、ヒステリシス曲線を描かせて保磁力
を決定した。このようにして形成したディスクをギャッ
プ長0.26μmの薄膜型リングヘッドで記録し、膜厚
0.08μmの磁気抵抗効果型ヘッド(MRヘッド)で
再生した。測定結果を下記の表1に示す。表中、S/N
比の結果は記録密度100kFCIにおける値として示
されている。 【0021】 【表1】
表1 Co−Cr
膜 Co−Zr 膜 Co−Zr
膜 Co−Zr 膜 S/N 比(
対 飽和磁化 飽和磁化
透磁率 保磁力 単
層膜比)試 料 Ms1(G)
Ms2(G) μi
Hc2(Oe) dB
1 290 −−−
−−− −−−
0 2 290
800 950 2.4
−6.2 3 290
430 390
3.0 −3.7 4
290 270 280
0.8 +3.3 5
290 110
210 1.1 +5.8
6 290 70
80 0.3
+2.7 7 290
40 30
0.3 0 8
290 110
6 13 0
【0022】実施例2 2.5インチのガラス基板を150℃に加熱した状態で
膜厚0.35μmのCr下地層、膜厚0.009μmの
Ni−Cr合金下地層そして膜厚0.045μmのCo
−Cr−Ta記録磁性層(飽和磁化Ms1 =320G
)、更に膜厚130Åのカーボン膜をスパッタ形成した
。なお、Ni−Cr膜はNiターゲット上にCrチップ
を置き、その被覆面積により組成すなわち飽和磁化を変
化させた。なお、実施例1と同様に、Ni−Cr層の磁
気特性を変化させるため、25〜250℃の温度範囲内
で磁界中熱処理を施した。磁気特性および記録再生特性
の評価方法は、先の実施例と同様であり、その結果を表
2に示す。 【0023】 【表2】
表2 Co−Cr−
Ta膜 Co−Zr 膜 Co−Zr
膜 Co−Zr 膜 S/N 比(
対 飽和磁化 飽和磁化
透磁率 保磁力 単
層膜比)試 料 Ms1(G)
Ms2(G) μi
Hc2(Oe) dB
9 320 −−−
−−− −−−
0 10 320
400 1300 1.5
−2.6 11 320
270 860 0.
9 +2.3 12 320
110 630
0.8 +3.9 13
320 30
80 2.3 0
14 320 110
8 9.0
+0.5 【0024】実施例3 図4に示す巻取式真空蒸着装置を用い、厚さ9.2μm
のPET(ポリエチレンテレフタレート)フィルム基板
6上に、低保磁力Ni−Cu下地層、高保磁力Co−O
記録磁性膜の蒸着を行った。以下にその製造プロセスを
説明する。真空槽内を排気孔4を通し、5×10−6T
orr以下の真空度を達成した後、ロール5よりフィル
ム基板6を送り出し、水冷キャンドラム7に沿わせて走
行させる。ここで、電子ビームにより加熱したNi−C
u蒸発源12より、基板上に膜厚0.012μmのNi
−Cu下地膜を堆積させ、ロール5に巻き取った。次い
で、再び巻戻し操作を行い、真空槽内にガス導入孔9か
ら酸素ガスを導入しながら、Co蒸発源11より、膜厚
0.21μmのCo−O膜をNi−Cu下地膜上に堆積
させた。このようにして作製したCo−O/Ni−Cu
積層膜を交流消磁後、初期磁化曲線を描かせ、零磁場近
傍の傾斜より透磁率μi を決定した。また、下地層の
保磁力Hc2 の評価は、消磁状態の試料に30Oeの
外部磁界を印加し、保磁力を測定した。また、記録再生
特性は1/2インチ幅のテープ状に切り出した試料をギ
ャップ長0.17μmのCoNbZrアモルファス−フ
ェライト複合MIG(メタル−イン−ギャップ)型リン
グヘッドにより自己記録再生評価を行った。結果を表3
に示す。 【0025】 【表3】
表3 Co−O
膜 Ni−Cu 膜 Ni−Cu
膜 Ni−Cu 膜 S/N 比(
対 飽和磁化 飽和磁化
透磁率 保磁力 単
層膜比)試 料 Ms1(G)
Ms2(G) μi
Hc2(Oe) dB
9 910 −−−
−−− −−−
0 10 910
400 960 3.2
+2.1 11 910
250 640 1
.7 +4.9 【0026】 【発明の効果】以上説明したように、本発明では低保磁
力下地層と高保磁力記録層の積層膜において、前者の飽
和磁化を後者のそれよりも小さくし、かつ、その値を5
0〜300Gとすることにより高密度記録領域における
S/N比を向上している。
【図1】本発明の磁気記録媒体の構造の一例を示す模式
的断面図である。
的断面図である。
【図2】記録過程における低保磁力下地層の役割を説明
するための模式図である。
するための模式図である。
【図3】再生過程における低保磁力下地層の役割を説明
するための模式図である。
するための模式図である。
【図4】実施例3で使用された真空蒸着装置の模式図で
ある。
ある。
1 非磁性基体
2 低保磁力下地層
3 高保磁力記録層
4 排気孔
5 ロール
6 PETフィルム基板
7 水冷キャンドラム
8 防着板
9 ガス導入孔
10 ニードルバルブ
11 Co蒸発源
12 Ni−Cu蒸発源
13 フィラメント
Claims (3)
- 【請求項1】 非磁性基体上に、非磁性アンダーコー
ト層を介するか、または介さず、低保磁力下地層および
高保磁力記録層を設けた磁気記録媒体において、低保磁
力下地層の飽和磁化が高保磁力記録層の飽和磁化よりも
小さく、かつ、その値が50〜300Gの範囲内にある
ことを特徴とする磁気記録媒体。 - 【請求項2】 高保磁力記録層および低保磁力下地層
共に消磁後、50Oe以下の外部磁場を印加した時の膜
面垂直方向および面内方向の保磁力が10Oe以下であ
る請求項1の磁気記録媒体。 - 【請求項3】 高保磁力記録層および低保磁力下地層
共に消磁後、測定した低保磁力下地層の透磁率が10以
上である請求項1または2の磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3137204A JP3050421B2 (ja) | 1991-05-13 | 1991-05-13 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3137204A JP3050421B2 (ja) | 1991-05-13 | 1991-05-13 | 磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04337519A true JPH04337519A (ja) | 1992-11-25 |
| JP3050421B2 JP3050421B2 (ja) | 2000-06-12 |
Family
ID=15193224
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3137204A Expired - Fee Related JP3050421B2 (ja) | 1991-05-13 | 1991-05-13 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3050421B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0661695A3 (en) * | 1993-12-28 | 1996-09-18 | Tdk Corp | Magnetic recording medium. |
-
1991
- 1991-05-13 JP JP3137204A patent/JP3050421B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0661695A3 (en) * | 1993-12-28 | 1996-09-18 | Tdk Corp | Magnetic recording medium. |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3050421B2 (ja) | 2000-06-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6899959B2 (en) | Magnetic media with improved exchange coupling | |
| US20020080520A1 (en) | Magnetic recording medium and magnetic recording apparatus using the same | |
| US6080476A (en) | Magnetic recording medium and magnetic recording system using such a magnetic recording medium | |
| JP2003162806A (ja) | 垂直磁気記録媒体および磁気記憶装置 | |
| JP3919047B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| US5576085A (en) | Thin-film recording medium with soft magnetic layer | |
| US6686071B2 (en) | Magnetic recording medium and magnetic recording apparatus using the same | |
| JP2003317221A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| Ohmori et al. | Low noise Co/Pd multilayer perpendicular media with granular seed layer | |
| JP3359706B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP3050421B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP3582435B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JP2002092843A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPWO2004019322A1 (ja) | 裏打ち磁性膜 | |
| JP2005038596A (ja) | 垂直磁気記録媒体およびその製造方法 | |
| US20010050829A1 (en) | Magnetic recording and reproducing system including a ring head of materials having different saturation flux densities | |
| JP3864637B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| US5443879A (en) | Longitudinal magnetic recording medium exhibiting various coercivitiy relationships | |
| JP3670798B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JP2000339657A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP2508639B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JPH0532809B2 (ja) | ||
| JP2715783B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH10334443A (ja) | 垂直磁気記録媒体および記録再生装置 | |
| JPH0570205B2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20000229 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080331 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090331 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090331 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100331 Year of fee payment: 10 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |