JPH0433992B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0433992B2 JPH0433992B2 JP58077780A JP7778083A JPH0433992B2 JP H0433992 B2 JPH0433992 B2 JP H0433992B2 JP 58077780 A JP58077780 A JP 58077780A JP 7778083 A JP7778083 A JP 7778083A JP H0433992 B2 JPH0433992 B2 JP H0433992B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pipe
- explosion
- exhaust
- opening
- vacuum pump
- Prior art date
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- Expired
Links
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- 238000004880 explosion Methods 0.000 description 4
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/10—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use
- F04B37/14—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use to obtain high vacuum
- F04B37/16—Means for nullifying unswept space
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、真空ポンプ用防爆装置に関するもの
であり、特に蒸着を始め、スパツタリング，イオ
ンプレーテイング、などの真空装置、リークデイ
テクタ、電子顕微鏡、質量分析機等の測定・分析
機器、スペースチヤンバ、核融合装置等の実険設
備等に必要な回転式真空ポンプに付属すべき防爆
装置に関する。
であり、特に蒸着を始め、スパツタリング，イオ
ンプレーテイング、などの真空装置、リークデイ
テクタ、電子顕微鏡、質量分析機等の測定・分析
機器、スペースチヤンバ、核融合装置等の実険設
備等に必要な回転式真空ポンプに付属すべき防爆
装置に関する。
従来例の構成とその問題点
真空ポンプは気体を濃縮する性質上、可燃性気
体を排気する場合はもちろん、そうでない場合
も、含有される微量の可燃性気体が排気管内に濃
縮・滞留し、機構部品の熱や火花、静電気等によ
り着火・爆発する場合がある。この為、従来は排
気管を鋼製のものにしたり、破裂板式の安全弁を
設けたり、排気管中に不活性ガスを絶えず注入す
るなどの方法が採られて来たが、コストやメンテ
ナンスの点で問題があつた。
体を排気する場合はもちろん、そうでない場合
も、含有される微量の可燃性気体が排気管内に濃
縮・滞留し、機構部品の熱や火花、静電気等によ
り着火・爆発する場合がある。この為、従来は排
気管を鋼製のものにしたり、破裂板式の安全弁を
設けたり、排気管中に不活性ガスを絶えず注入す
るなどの方法が採られて来たが、コストやメンテ
ナンスの点で問題があつた。
発明の目的
本発明は、安価な設置で効果的な防爆機能、若
しくは万一爆発しても、圧力を逃がす構造によ
り、被害を最小限に留めることのできる真空ポン
プ用防爆装置を提供することを目的とする。
しくは万一爆発しても、圧力を逃がす構造によ
り、被害を最小限に留めることのできる真空ポン
プ用防爆装置を提供することを目的とする。
発明の構成
本発明の真空ポンプ用防爆装置は、真空ポンプ
の排気管に開口部と強制排気用フアンをもつもの
である。
の排気管に開口部と強制排気用フアンをもつもの
である。
実施例の説明
本発明の実施例の真空ポンプ防爆装置は真空ポ
ンプのうち回転式真空ポンプに設けるものであ
り、第１図にその構成を示す。
ンプのうち回転式真空ポンプに設けるものであ
り、第１図にその構成を示す。
本装置は真空ポンプ１の排気管８において排気
口２のま近か開口３及び、その後に設けられた強
制排気フアン４を有する。真空ポンプ１の始動直
後の排気口付近の圧力と負圧の脈動状態であり、
開口部枝管３の長さを充分長くとる事により、ま
た、強制排気フアン４の能力を充分なものにすれ
ば排気気体が開口部３から外に出る事は無い。
口２のま近か開口３及び、その後に設けられた強
制排気フアン４を有する。真空ポンプ１の始動直
後の排気口付近の圧力と負圧の脈動状態であり、
開口部枝管３の長さを充分長くとる事により、ま
た、強制排気フアン４の能力を充分なものにすれ
ば排気気体が開口部３から外に出る事は無い。
真空ポンプ始動から時間が経ち、吸入配管６の
吸入口５よりの流入気体がわずかになつた段階で
は開口部３より空気７が入り、出口１０へ大量の
空気９が流れ、管内に空気が滞留する事はなく、
防爆効果がある。また、万一爆発した場合でも、
開口部３より圧力が逃げる為、装置を損傷させる
事は無い。
吸入口５よりの流入気体がわずかになつた段階で
は開口部３より空気７が入り、出口１０へ大量の
空気９が流れ、管内に空気が滞留する事はなく、
防爆効果がある。また、万一爆発した場合でも、
開口部３より圧力が逃げる為、装置を損傷させる
事は無い。
第２図は本発明の他の実施例を示している。同
装置において排気速度3000／minの３台の油回
転真空ポンプ１１で約14m2の真空容器１２を排気
する場合について説明する。真空ポンプの排気口
に４インチサイズの開口１３を設け、枝管１４の
長さは４インチ管で５ｍとし、排気管１５は８イ
ンチの管１６に集合している。空気は約15ｍの配
管１６を通つた後、静圧110mmAqにて風量40m3／
minの能力を持つ軸流フアン１７に接続される。
その後、空気は約15ｍの配管１８を通り、更に静
圧40mm／Aqにて風量30m3／minのブースタフア
ン１９に接続され、大気に開放される。
装置において排気速度3000／minの３台の油回
転真空ポンプ１１で約14m2の真空容器１２を排気
する場合について説明する。真空ポンプの排気口
に４インチサイズの開口１３を設け、枝管１４の
長さは４インチ管で５ｍとし、排気管１５は８イ
ンチの管１６に集合している。空気は約15ｍの配
管１６を通つた後、静圧110mmAqにて風量40m3／
minの能力を持つ軸流フアン１７に接続される。
その後、空気は約15ｍの配管１８を通り、更に静
圧40mm／Aqにて風量30m3／minのブースタフア
ン１９に接続され、大気に開放される。
さらに、他の実施例を第３図に示す。同図にお
いては、排気速度3000／minの３台の油回転真
空ポンプ１１で約８m3の真空容器２０を排気する
場合、開口枝管２１を40cmとする。空気は６ｍの
集合管２２を通つた後、静圧110mmAqにて風量40
m3／minの能力を持つ軸流フアン２３に接続さ
れ、４ｍの配管後、大気に開放される。
いては、排気速度3000／minの３台の油回転真
空ポンプ１１で約８m3の真空容器２０を排気する
場合、開口枝管２１を40cmとする。空気は６ｍの
集合管２２を通つた後、静圧110mmAqにて風量40
m3／minの能力を持つ軸流フアン２３に接続さ
れ、４ｍの配管後、大気に開放される。
発明の効果
本発明の装置においては開口部から大気への漏
れ出しはなく、爆鳴頻度の著しい低下が見られ、
又、爆鳴時にも、装置類に何らの損傷も確認され
なかつた。なお、強制排気フアンは真空ポンプ始
動直前に始動し、ポンプ停止まで連続運転する
為、ポンプ室の換気にも効果がある。
れ出しはなく、爆鳴頻度の著しい低下が見られ、
又、爆鳴時にも、装置類に何らの損傷も確認され
なかつた。なお、強制排気フアンは真空ポンプ始
動直前に始動し、ポンプ停止まで連続運転する
為、ポンプ室の換気にも効果がある。
第１図は本発明の一実施例の防爆装置の構成を
示す図、第２図は本発明の他の実施例の防爆装置
の構成を示す図、第３図は本発明のさらに他の実
施例の防爆装置の構成を示す図である。 １……油回転真空ポンプ、２……排気口、３…
…開口枝管、４……強制排気用軸流フアン、５…
…吸気、６……吸入配管、７……開口、８……排
気管、９……排気、１０……排気開口、１１……
油回転真空ポンプ、１２……真空容器、１３……
開口、１４……開口枝管、１５……排気管、１６
……排気集合管、１７……軸流フアン、１８……
排気管、１９……ブースタフアン、２０……真空
容器、２１……開口枝管、２２……集合管、２３
……軸流フアン。
示す図、第２図は本発明の他の実施例の防爆装置
の構成を示す図、第３図は本発明のさらに他の実
施例の防爆装置の構成を示す図である。 １……油回転真空ポンプ、２……排気口、３…
…開口枝管、４……強制排気用軸流フアン、５…
…吸気、６……吸入配管、７……開口、８……排
気管、９……排気、１０……排気開口、１１……
油回転真空ポンプ、１２……真空容器、１３……
開口、１４……開口枝管、１５……排気管、１６
……排気集合管、１７……軸流フアン、１８……
排気管、１９……ブースタフアン、２０……真空
容器、２１……開口枝管、２２……集合管、２３
……軸流フアン。
Claims (1)
- １ 真空ポンプの排気管に開口部と強制排気用フ
アンを持つことを特徴とする真空ポンプ用防爆装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58077780A JPS59203886A (ja) | 1983-05-02 | 1983-05-02 | 真空ポンプ用防爆装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58077780A JPS59203886A (ja) | 1983-05-02 | 1983-05-02 | 真空ポンプ用防爆装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59203886A JPS59203886A (ja) | 1984-11-19 |
| JPH0433992B2 true JPH0433992B2 (ja) | 1992-06-04 |
Family
ID=13643479
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58077780A Granted JPS59203886A (ja) | 1983-05-02 | 1983-05-02 | 真空ポンプ用防爆装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59203886A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08193573A (ja) * | 1995-01-17 | 1996-07-30 | Tel Varian Ltd | クライオポンプの安全弁装置 |
-
1983
- 1983-05-02 JP JP58077780A patent/JPS59203886A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59203886A (ja) | 1984-11-19 |
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