JPH0434093B2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0434093B2
JPH0434093B2 JP58069145A JP6914583A JPH0434093B2 JP H0434093 B2 JPH0434093 B2 JP H0434093B2 JP 58069145 A JP58069145 A JP 58069145A JP 6914583 A JP6914583 A JP 6914583A JP H0434093 B2 JPH0434093 B2 JP H0434093B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laser
transparent
measurement
transmittance
laser light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP58069145A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS59195142A (ja
Inventor
Minoru Kimura
Yasuyuki Morita
Hidemi Takahashi
Reiji Sano
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
Original Assignee
Agency of Industrial Science and Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Agency of Industrial Science and Technology filed Critical Agency of Industrial Science and Technology
Priority to JP6914583A priority Critical patent/JPS59195142A/ja
Publication of JPS59195142A publication Critical patent/JPS59195142A/ja
Publication of JPH0434093B2 publication Critical patent/JPH0434093B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/59Transmissivity

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はレーザ用透明部品である透明窓材、レ
ンズ、部分反射鏡の評価に用いるレーザ用の透明
部品評価装置に関するものである。
従来例の構成とその問題点 従来、レーザ用透明部品の評価法としては、第
1図に示すような透過率の測定方法と、第2図に
示す様な損傷試験法がある。
第1図に示す透過率の測定は、測定用レーザ光
源2から出たレーザ光6を、ビームスプリツタ3
により、2つの光路に分離し、チヨツパー7でチ
ヨツピングを行なう。片方のレーザ光は試料1を
透過し、もう一方のレーザ光とビームスプリツタ
3で混合されて検出器5に入る。ここで、4はミ
ラーである。検出器5の出力を信号処理して、試
料1の透過率が算出される。
第2図に示す損傷試験は、試験用レーザ光源1
2から出たレーザ光15を、レンズ13にて集光
し、試料11に照射し、試料11の損傷閾値を求
めたり、品質保証の根拠とするものである。14
は透過してきたレーザ光15を吸収するための受
光器である。
このような従来の透過率測定では、測定用レー
ザ光源2の出力が小さいために実際にレーザ装置
に実装された場合の透過率と差異を生ずる。これ
は、レーザ用透明部品の表面には多層膜が形成さ
れており、レーザ装置に実装された時には、多層
膜の吸収(〜0.15%)により多層膜が温度上昇、
熱膨張を起し、透過率が変化するためである。
また従来では、透過率測定や損傷試験は個別に
行われており実装時の真の値が得られず、レーザ
用透明部品の総合評価を行うのに不都合であつ
た。
発明の目的 本発明は、レーザ用透明部品を、実際にレーザ
装置に実装した状態を再現する為の試験容器内に
おいて、透過率測定、形状変化測定、温度上昇測
定、損傷閾値測定を同一の位置にて交互もしくは
同時に行い、レーザ用透明部品の総合評価を行な
うことにある。
発明の構成 本発明はレーザ用透明部品の評価の為の、3種
類のレーザ光源と、光学系と、実際に使用する時
と同様の雰囲気を再現する試験容器とを備え、第
一のレーザとして、レーザ用透明部品の透過率を
測定する為の測定用レーザ光源を、第二のレーザ
として、シミユレーシヨンの為の試験用レーザ光
源を、第三のレーザとして、レーザヨー用透明部
品の形状変化、温度変化を測定する為のHe−Ne
レーザ光源を用い、前記3種のレーザのレーザ光
をレーザ用透明部品の1ケ所に照射するように配
置し、従来、単独に行なわれていた、これらの測
定を、試験容器内の雰囲気中で交互もしくは同時
に測定するようにしたもので、レーザ用透明部品
の実装時の透過率変化、形状変化、温度上昇が推
定可能となり、また試験用レーザ光源による照射
レーザ光のパワー密度を変え、透過率を測定する
ことにより、損傷閾値とそれに至るまでの劣化の
状態を測定できるものである。
実施例の説明 本発明の実施例の光学系を第3図に、信号系を
第4図に示す。
まず、試料21を試験容器22に装着する。試
験容器22には、レーザ光32,35,39を導
入する為の窓材26,27が取付けられ、気密が
保たれる様にしてある。排気ポンプ25により試
験容器22を真空排気し、ボンベ23より、弁2
4を経て雰囲気ガスを試験容器22に充填する様
にしてある。照射試験、透過率測定は、レーザ用
透明部品が実際に使用される雰囲気と同等の雰囲
気中で行なう。
透過率測定は、測定用レーザ光源28を用いて
行ない測定原理は従来例第1図と同様である。測
定用レーザ光源28から出たレーザ光32は、ビ
ームスプリツタ29で、2つに分離され、チヨツ
パー33でチヨツピングされる。一方のレーザ光
32は、試験容器22の窓材26を透過し、試料
21を透過し、ミラー30で折曲げられビームス
プリツタ29′にて、分離されたレーザ光32と
再び混合され、検出器31に導びかれる。透過率
は、試験用レーザ光源38からのレーザ光39を
照射する前、照射中および照射後に行なわれ、レ
ーザ光照射による透過率の変化、およびレーザ用
透明部品の劣化の有無を測定する。
照射試験は、試験用レーザ光源38を用いて行
なう。
試験用レーザ光源38から出たレーザ光39
は、試験容器22の窓材27を透過し、レンズ4
0にて集光し試料21に照射される。レンズ40
は前後にスライドが出来、試料21への照射パワ
ー密度を可変できる。試料21を透過してレーザ
光39は検出器41で受けられ、反射光は受光器
42で受けられる。
照射試験中のレーザ用透明部品の形状変化、温
度上昇の測定は、He−Neレーザ光源34を用い
て非接触にて行なわれる。
He−Neレーザ光源34から出たレーザ光35
は、試験容器22の窓材26を透過し、試料21
の表面で反射し、再び窓材26を透過し、スクリ
ーン36に投影される。
スクリーン36に投影された像は、試料の表裏
面の干渉により、縞状に写る。試料21に試験用
レーザ光源38から出たレーザ光39が照射され
ると、熱膨張、屈折率変化等で、スクリーン36
に投影されるレーザ光35のパターンが変化す
る。このパターンの変化は、ビデオカメラ37に
て記録される。この時の縞数の変化と試料21の
形状変化と温度変化の比は、試料21が例えば
ZnSeの場合は0.08μ/縞と、0.8℃/縞となり、縞
数の変化により非接触にて測定される。
損傷閾値は、レンズ40の位置を調整し、試料
21に照射されるレーザ光39の照射パワー密度
を最大にして行なう。破壊に至るまでの試料21
の変化はHe−Neレーザ光源34と、ビデオカメ
ラ37を用いて観測、記録する。以上の透過率測
定、照射試験、照射試験中のレーザ用透明部品の
形状変化および温度上昇を測定する3種のレーザ
28,34,38のレーザ光32,35,39
は、試料21の同一の位置に照射される。そのた
め、それぞれの測定値の相関を調べることがで
き、総合的な透明部品の評価が行なわれる。この
時の3種のレーザ光源の配置は、透過率測定は測
定誤差を最小にするために正面から、すなわち入
射角度が概略0度であるように、He−Neレーザ
は前記透明部品の表裏面反射の重なりができるだ
け大きく十分確保できるように浅い入射角度で、
試験用レーザはレンズで集光して照射するために
散乱光が透過率測定系に入り、検出器を破壊しな
いように入射角度をやや大きめに設定してある。
信号系は、第4図に示す様になつており、透過率
測定データと、照射レーザ出力は1台のレコーダ
45に同時に記録され照射レーザ密度と透過率変
化の対応が出来る様にしてある。
検出器31の出力は2台のロツクインアンプ4
3で、試料光信号と参照光信号とに分離され、レ
シオメータ44で反射率が算出される。
照射レーザ出力は検出器41で受けられ、出力
をアンプ46で増幅し、レコーダ45に記録され
る。
透過率測定はチヨツパー33にて強度変調され
たレーザ光を用いて行うため、照射試験の際の試
料21の表面からの散乱光の影響を受ける事なく
安定した測定を行うことができる。
試料21の形状変化と照射レーザとの対応をつ
ける為に、スクリーン36には、発光ダイオード
361が取り付けられ、照射用レーザ光源38の
放電電源381からの信号により発光する。37
はビデオカメラである。
発明の効果 以上のように本発明はレーザ用透明部品の評価
のための3種類のレーザ光源と、光学系と、実際
に使用する時と同様の雰囲気を再現する試験容器
とを備え、第一のレーザとして、レーザ用透明部
品の透過率を測定する為の測定用レーザ光源を、
第二のレーザとして、シミユレーシヨンの為の試
験用レーザ光源を、第三のレーザとして、レーザ
用透明部品の形状変化、温度変化を測定する為の
He−Neレーザ光源を用い、試料の1ケ所に照射
するように配置し、従来、単独に行なわれていた
これらの測定を試験容器内の雰囲気中で交互もし
くは同時に測定するようにしたもので、以下に示
すような効果を有する。
(1) レーザ用透明部品試料の1ケ所に照射するよ
う3種のレーザ光源を配置し、透過率測定は測
定誤差を最小にするために正面から、He−Ne
レーザは前記透明部品の表裏面反射の重なりが
できるだけ大きくなるように浅い角度で、試験
用レーザはレンズで集光して照射するため散乱
光が透過率測定系に入り、検出器を破壊しない
ように角度をややおおきめに設定してあるた
め、同時測定による相互干渉をほとんど生じな
い。
(2) 透過率測定と、シミユレーシヨンを同時に行
なう為にレーザ用透明部品を、レーザ装置に実
装した時の真の透過率が測定できる。
(3) He−Neレーザにより、レーザ用透明部品に
レーザ光が照射された時のレーザ用透明部品の
形状変化、温度変化が、非接触で測定できる。
(4) 損傷閾値の測定が、ビデオカメラによる画像
をモニターしながら行なえる為、遠隔操作が出
来る。
(5) 損傷に至るまでの、レーザ部品の形状変化温
度変化が記録出来る。
(6) レーザ用透明部品の使用限界のパワー密度が
測定出来、高信頼性レーザ装置の設計が出来
る。
(7) 試験容器内の雰囲気を自由に変えることが出
来る為に、あらゆる使用条件を設定してレーザ
用透明部品の評価が行なえる。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の透過率測定光学系の概念図、第
2図は従来の損傷試験光学系の概念図、第3図は
本発明のレーザ用透明部品評価装置の光学系を示
す概念図、第4図は本発明のレーザ用透明部品評
価装置の信号系を示すブロツク図である。 1……試料、2……測定用レーザ光源、3……
ビームスプリツタ、4……ミラー、5……検出
器、6……レーザ光、7……チヨツパー、11…
…試料、12……試験用レーザ光源、13……レ
ンズ、14……受光器、15……レーザ光、21
……試料、22……試験容器、23……ボンベ、
24……弁、25……排気ポンプ、26,27…
…窓材、28……測定用レーザ光源、29,2
9′……ビームスプリツタ、30,30′……ミラ
ー、31……検出器、32……レーザ光、33…
…チヨツパー、34……He−Neレーザ光源、3
5……レーザ光、36……スクリーン、37……
ビデオカメラ、38……試験用レーザ光源、39
……レーザ光、40……レンズ、41……検出
器、42……受光器、43……ロツクインアン
プ、44……レシオメータ、45……コペンレコ
ーダ、46……アンプ、361……発光ダイオー
ド、381……放電電源。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 レーザ用透明部品の透過率を測定するための
    測定用レーザ光源と、シミユレーシヨンの為の試
    験用レーザ光源と、前記レーザ用透明部品の形状
    変化と温度変化とを測定する為のHe−Neレーザ
    光源と、前記レーザ用透明部品を保持し、その使
    用雰囲気を制御するための試験容器と、測定及び
    試験用光学系と、少なくとも透過率測定用検出手
    段を含む測定用検出観測手段とを備え、前記測定
    用レーザ光源は正面から入射角が略0度で、前記
    試験用レーザ光源は散乱光が前記透過率測定用検
    出手段に入射しないように大きな入射角度で、前
    記He−Neレーザ光源は前記透明部品の表裏面反
    射の重なりを確保するように浅い入射角度で各々
    レーザ用透明部品に入射され、かつ前記3種のレ
    ーザ光源が前記レーザ用透明部品の同一の1ケ所
    を照射するように配置し、前記レーザ用透明部品
    の透過率、レーザ光照射路のと照射路の透過率変
    化、形状変化、温度変化、損傷閾値を実際に使用
    される雰囲気と同等の雰囲気の中で、交互もしく
    は同時に測定することにより、総合的な評価を行
    なうことを特徴とするレーザ用透明部品評価装
    置。 2 測定用検出観測手段が、さらにシミユレーシ
    ヨン試験用検出手段と、レーザ用透明部品の形状
    変化及び温度変化測定用検出観測手段から成るこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第1項記載のレー
    ザ用透明部品評価装置。 3 測定及び試験用光学系の一部の透過率測定用
    光学系が、その光学系内を伝播する光の強度を変
    調するチヨツパ手段を有することを特徴とする特
    許請求の範囲第1項記載のレーザ用透明部品評価
    装置。 4 測定及び試験用光学系の一部のシミユレーシ
    ヨン試験用光学系が、その焦点位置が可変である
    ことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載のレ
    ーザ用透明部品評価装置。
JP6914583A 1983-04-21 1983-04-21 レ−ザ用透明部品評価装置 Granted JPS59195142A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6914583A JPS59195142A (ja) 1983-04-21 1983-04-21 レ−ザ用透明部品評価装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6914583A JPS59195142A (ja) 1983-04-21 1983-04-21 レ−ザ用透明部品評価装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS59195142A JPS59195142A (ja) 1984-11-06
JPH0434093B2 true JPH0434093B2 (ja) 1992-06-04

Family

ID=13394190

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6914583A Granted JPS59195142A (ja) 1983-04-21 1983-04-21 レ−ザ用透明部品評価装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS59195142A (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104034700B (zh) * 2014-06-21 2016-09-21 中国科学院合肥物质科学研究院 一种大气传输激光透过率的测量方法

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5058780U (ja) * 1973-09-27 1975-05-31
JPS50151583A (ja) * 1974-05-27 1975-12-05

Also Published As

Publication number Publication date
JPS59195142A (ja) 1984-11-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH05107035A (ja) 感度向上型の光学測定装置
US4443106A (en) Measuring device for measuring the amount of change in thickness of the paint layer
Roundy et al. Current technology of laser beam profile measurements
CN108061722A (zh) 一种一氧化碳浓度的检测装置及检测方法
JP2006517028A (ja) 無接触温度モニタ及び制御方法及び装置
CN111712908B (zh) 载流子寿命测定方法及载流子寿命测定装置
CN116642580B (zh) 一种光电探测器激光损伤测试装置及方法
CN102252828A (zh) 一种监测高反射光学元件在激光辐照下反射率实时变化的方法
CN115639124B (zh) 用单波长激光实现碳烟浓度测量和原位标定的装置及方法
JP7313460B2 (ja) 高コントラスト撮像のための装置、装置の使用、及び方法
US6628402B1 (en) Phase interference detecting method and system in interferometer, and light detector therefor
CN107860334B (zh) 高功率激光击穿金属孔洞形状和面积实时测量装置及方法
JPH0434093B2 (ja)
US5477328A (en) Optical transmission calibration device and method for optical transmissiometer
US4362388A (en) Remote measurement of concentration of a gas specie by resonance absorption
JP7505751B2 (ja) 温度測定装置、温度測定方法、レーザ強度分布測定装置、レーザ強度分布測定方法、半導体回路評価装置及び半導体回路評価方法
JP3794745B2 (ja) 光学定数測定装置および顕微鏡
US5293211A (en) Microreflectometer system
US4522065A (en) Remote pressure sensor
Gu et al. Design review of a unique laser monostatic bidirectional reflectometer
SU935701A1 (ru) Устройство дл контрол оптических систем
US20210333206A1 (en) Aerosol transmissometer with an in-process transfer standard
JP2001183256A (ja) コーティング膜検査装置及び検査方法
JPH03240282A (ja) レーザ装置
SU730084A1 (ru) Способ измерени оптического поглощени В пОКРыТи Х