JPH04342940A - 真空外囲器 - Google Patents
真空外囲器Info
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- JPH04342940A JPH04342940A JP14273091A JP14273091A JPH04342940A JP H04342940 A JPH04342940 A JP H04342940A JP 14273091 A JP14273091 A JP 14273091A JP 14273091 A JP14273091 A JP 14273091A JP H04342940 A JPH04342940 A JP H04342940A
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Landscapes
- Vessels, Lead-In Wires, Accessory Apparatuses For Cathode-Ray Tubes (AREA)
- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、蛍光表示管の真空外囲
器の構成に関するものであり、特にチップレス蛍光表示
管に効果を有するものである。
器の構成に関するものであり、特にチップレス蛍光表示
管に効果を有するものである。
【０００２】
【従来の技術】蛍光表示管の外囲器を製造する工程には
、封着工程と封止工程がある。封着工程は、大気中又は
不活性雰囲気中でガラス部材どうしを接着して外囲器を
組立てる工程である。封止工程は、前記封着工程で組立
てた外囲器の内部を高真空状態に排気して真空外囲器を
形成する工程である。
、封着工程と封止工程がある。封着工程は、大気中又は
不活性雰囲気中でガラス部材どうしを接着して外囲器を
組立てる工程である。封止工程は、前記封着工程で組立
てた外囲器の内部を高真空状態に排気して真空外囲器を
形成する工程である。
【０００３】いずれの工程においても、ガラス部材どう
し、又はガラス部材と金属部材の接着にはガラスソルダ
ーが使用されていた。ガラスソルダーは、低融点ガラス
を粉体状に加工したフリットガラスに有機溶剤を加えて
粘性のあるペースト状にしたもので、スクリーン印刷法
で接着部分に塗布していた。
し、又はガラス部材と金属部材の接着にはガラスソルダ
ーが使用されていた。ガラスソルダーは、低融点ガラス
を粉体状に加工したフリットガラスに有機溶剤を加えて
粘性のあるペースト状にしたもので、スクリーン印刷法
で接着部分に塗布していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来用いられてきたガ
ラスソルダーには、多数の気泡が含まれている。この気
泡は、フリットガラスに付着していた空気や、製造工程
中に混入した空気からなる。そして、ガラスソルダーは
一定の粘度を有するペースト状なので、内部に含まれた
空気は抜けにくい。
ラスソルダーには、多数の気泡が含まれている。この気
泡は、フリットガラスに付着していた空気や、製造工程
中に混入した空気からなる。そして、ガラスソルダーは
一定の粘度を有するペースト状なので、内部に含まれた
空気は抜けにくい。
【０００５】このような空気の混入しているガラスソル
ダーを用いて外囲器を封着すると、封止工程において真
空にする時にこれらの気泡が抜け出てくるので、高真空
状態となるまで排気するのに長い時間を要する等の問題
があった。
ダーを用いて外囲器を封着すると、封止工程において真
空にする時にこれらの気泡が抜け出てくるので、高真空
状態となるまで排気するのに長い時間を要する等の問題
があった。
【０００６】例えば、蓋付きチップレス蛍光表示管の封
止工程では、金属蓋で排気孔を封止するのに前記ガラス
ソルダーを用いている。ところが、真空チャンバ内でガ
ラスソルダーから空気の泡が発生し、真空度が低下する
という問題点のほか、ガラスソルダーが飛散してしまう
という問題点があった。そこで、ガラスソルダーをあら
かじめ仮焼成してガスを抜くようにしているが、仮焼成
の温度が軟化点以下だと空気が抜けづらい。そしてガラ
スソルダー内に残された空気が封止後に漏れると外囲器
内の真空状態が低下し、カソードや蛍光体等が酸化等の
悪影響を受け、蛍光表示管としての信頼性が低下してし
まうという問題点が生じることもあった。
止工程では、金属蓋で排気孔を封止するのに前記ガラス
ソルダーを用いている。ところが、真空チャンバ内でガ
ラスソルダーから空気の泡が発生し、真空度が低下する
という問題点のほか、ガラスソルダーが飛散してしまう
という問題点があった。そこで、ガラスソルダーをあら
かじめ仮焼成してガスを抜くようにしているが、仮焼成
の温度が軟化点以下だと空気が抜けづらい。そしてガラ
スソルダー内に残された空気が封止後に漏れると外囲器
内の真空状態が低下し、カソードや蛍光体等が酸化等の
悪影響を受け、蛍光表示管としての信頼性が低下してし
まうという問題点が生じることもあった。
【０００７】さらに、排気管も排気孔もない完全チップ
レス蛍光表示管においては、高真空雰囲気内で加熱しな
がら基板の外周縁部に容器部を接着し、封着と封止を同
時に行なって真空外囲器を形成している。このため前記
ガラスソルダーは容器部の開口端面の全面に塗布するの
で量が多く、混入している空気の量も多く、従って、前
述した種々の問題点が特に顕著であった。
レス蛍光表示管においては、高真空雰囲気内で加熱しな
がら基板の外周縁部に容器部を接着し、封着と封止を同
時に行なって真空外囲器を形成している。このため前記
ガラスソルダーは容器部の開口端面の全面に塗布するの
で量が多く、混入している空気の量も多く、従って、前
述した種々の問題点が特に顕著であった。
【０００８】なお、前述したガス抜きのための仮焼成で
は、ガラスソルダーのフリットガラスを軟化点以上の４
５０〜６００℃に加熱するのが好ましいが、このような
温度に加熱すると基板上の金属部品・フィラメント・蛍
光体層等が酸化してしまう。このため、封着工程でこの
ような加熱をする場合には、炉内を不活性ガス雰囲気に
して部品の酸化を防いでいる。従って、加熱しながら真
空ポンプで気泡を引いている訳ではなく、封着工程はガ
ラスソルダーから空気が抜けにくい状態で行なわれてい
る。このため、これに続く封止工程で気泡の発生を防止
できないのである。
は、ガラスソルダーのフリットガラスを軟化点以上の４
５０〜６００℃に加熱するのが好ましいが、このような
温度に加熱すると基板上の金属部品・フィラメント・蛍
光体層等が酸化してしまう。このため、封着工程でこの
ような加熱をする場合には、炉内を不活性ガス雰囲気に
して部品の酸化を防いでいる。従って、加熱しながら真
空ポンプで気泡を引いている訳ではなく、封着工程はガ
ラスソルダーから空気が抜けにくい状態で行なわれてい
る。このため、これに続く封止工程で気泡の発生を防止
できないのである。
【０００９】本発明は、気泡を含まない低融点ガラスで
組立てられた真空外囲器を提供することを目的としてい
る。
組立てられた真空外囲器を提供することを目的としてい
る。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明の真空外囲器は、
真空外囲器を構成するガラス部材どうしが、低融点ガラ
スを溶融して形成した成形ガラスを介して組立てられて
いることを特徴としている。
真空外囲器を構成するガラス部材どうしが、低融点ガラ
スを溶融して形成した成形ガラスを介して組立てられて
いることを特徴としている。
【００１１】また本発明によれば、基板と該基板に対面
する平面板が枠状のスペーサ部材を介して一体に組立て
られた偏平箱形の真空外囲器において、前記スペーサ部
材を、低融点ガラスを溶融して枠状に形成した成形ガラ
スで構成するようにしてもよい。
する平面板が枠状のスペーサ部材を介して一体に組立て
られた偏平箱形の真空外囲器において、前記スペーサ部
材を、低融点ガラスを溶融して枠状に形成した成形ガラ
スで構成するようにしてもよい。
【００１２】
【作用】成形ガラスは低融点ガラスを溶融して所定形状
に固めた部材であるから気泡をほとんど含んでいない。 従って、この成形ガラス乃至該成形ガラスからなるスペ
ーサ部材を介して真空外囲器を組立てれば、封着又は封
止工程中に気泡はほとんど発生しない。
に固めた部材であるから気泡をほとんど含んでいない。 従って、この成形ガラス乃至該成形ガラスからなるスペ
ーサ部材を介して真空外囲器を組立てれば、封着又は封
止工程中に気泡はほとんど発生しない。
【００１３】
【実施例】本発明の実施例に適用される成形ガラスは、
４５０〜６００℃の軟化点を有する低融点ガラスを７０
０〜８００℃の高温に加熱し、溶融状態にして粘度を低
下させ、充分に脱泡させた後に任意の形状に成形したも
のである。なお、脱泡を行なうと、外観は透明な状態に
なる。
４５０〜６００℃の軟化点を有する低融点ガラスを７０
０〜８００℃の高温に加熱し、溶融状態にして粘度を低
下させ、充分に脱泡させた後に任意の形状に成形したも
のである。なお、脱泡を行なうと、外観は透明な状態に
なる。
【００１４】この成形ガラスは、真空外囲器を構成する
ガラス部材どうしの間、例えば基板と容器部の間に一部
品として介装される。そして封着後には、ガラス部材ど
うしを気密に接着するようになっている。
ガラス部材どうしの間、例えば基板と容器部の間に一部
品として介装される。そして封着後には、ガラス部材ど
うしを気密に接着するようになっている。
【００１５】前記成形ガラスの形状は、例えば真空外囲
器の封着部分の形状に合わせて定めればよい。例えば図
２は、丸棒状の成形ガラス１ａを示し、図３は細長い薄
板状の成形ガラス１ｂを示し、また図４は枠状の成形ガ
ラス１ｃを示している。
器の封着部分の形状に合わせて定めればよい。例えば図
２は、丸棒状の成形ガラス１ａを示し、図３は細長い薄
板状の成形ガラス１ｂを示し、また図４は枠状の成形ガ
ラス１ｃを示している。
【００１６】このような成形ガラス１を用いた真空外囲
器の製造工程について、図１を参照して説明する。但し
、図１中では真空外囲器の内部構造を省略してある。
器の製造工程について、図１を参照して説明する。但し
、図１中では真空外囲器の内部構造を省略してある。
【００１７】まず、基板２上に、Ａｌ薄膜からなる配線
導体と陽極導体をフォトリソ法によって形成する。陽極
導体を除いて配線導体を絶縁層で覆い、前記陽極導体上
に蛍光体層を被着して陽極を構成する。
導体と陽極導体をフォトリソ法によって形成する。陽極
導体を除いて配線導体を絶縁層で覆い、前記陽極導体上
に蛍光体層を被着して陽極を構成する。
【００１８】基板２上において、メッシュ状の制御電極
を導電性接着材を用いて蛍光体層の上方に配設する。さ
らにその上方にフィラメント状の陰極を張架する。
を導電性接着材を用いて蛍光体層の上方に配設する。さ
らにその上方にフィラメント状の陰極を張架する。
【００１９】前記基板２の上面の周縁部に、十分脱泡し
た低融点ガラスからなる前記成形ガラス１を介して枠状
の側面板３を設置する。さらに、枠状の側面板３の開口
した上端面に同成形ガラス１を介して平面板４を設置す
る。
た低融点ガラスからなる前記成形ガラス１を介して枠状
の側面板３を設置する。さらに、枠状の側面板３の開口
した上端面に同成形ガラス１を介して平面板４を設置す
る。
【００２０】前記平面板４と前記基板２に面に垂直な方
向の圧力を加えることができる適当な治具を用いて、外
囲器を浮かした状態で箱形に保持する。これを真空チャ
ンバ内に収納し、１０−６Ｔｏｒｒ以上の高真空雰囲気
下で排気する。その後、カソードの分解をした後、真空
チャンバ内を４５０〜６００℃で加熱して前記成形ガラ
ス１を溶融させると共に、前記治具により上下から圧力
を加えて平面板４と基板２と側面板３を互いに接着して
真空外囲器５を完成する。
向の圧力を加えることができる適当な治具を用いて、外
囲器を浮かした状態で箱形に保持する。これを真空チャ
ンバ内に収納し、１０−６Ｔｏｒｒ以上の高真空雰囲気
下で排気する。その後、カソードの分解をした後、真空
チャンバ内を４５０〜６００℃で加熱して前記成形ガラ
ス１を溶融させると共に、前記治具により上下から圧力
を加えて平面板４と基板２と側面板３を互いに接着して
真空外囲器５を完成する。
【００２１】図５は他の実施例による成形ガラス１０を
示す斜視図である。この成形ガラス１０は、低融点ガラ
スを溶融させて十分に脱泡させた後、側面板として必要
な高さを有するような枠状に成形したものである。
示す斜視図である。この成形ガラス１０は、低融点ガラ
スを溶融させて十分に脱泡させた後、側面板として必要
な高さを有するような枠状に成形したものである。
【００２２】即ち、この成形ガラス１０はスペーサ部材
として基板２と平面板４の間に介装される部材である。 具体的には、基板２上にこの枠状の成形ガラス１０を載
置し、さらにその上面に平面板４を載せる。そして、適
当な治具を用いて、この成形ガラス１０が一定の厚さよ
りも薄くならないように規制しながら、基板２と平面板
４を成形ガラス１０に向けて押圧する。
として基板２と平面板４の間に介装される部材である。 具体的には、基板２上にこの枠状の成形ガラス１０を載
置し、さらにその上面に平面板４を載せる。そして、適
当な治具を用いて、この成形ガラス１０が一定の厚さよ
りも薄くならないように規制しながら、基板２と平面板
４を成形ガラス１０に向けて押圧する。
【００２３】これを真空チャンバ内に収納し、チャンバ
内部を排気していく。真空チャンバ内が高真空状態にな
った時、チャンバ内部を加熱して前記成形ガラス１０を
軟化させ、成形ガラス１０と平面板４と基板２を接着す
る。成形ガラス１０が軟化した状態において、平面板４
と基板２は上下から成形ガラス１０を挟んでいるが、治
具による規制があるので成形ガラス１０が無制限に押し
つぶされることはなく、スペーサ部材としての一定の厚
さが確保される。
内部を排気していく。真空チャンバ内が高真空状態にな
った時、チャンバ内部を加熱して前記成形ガラス１０を
軟化させ、成形ガラス１０と平面板４と基板２を接着す
る。成形ガラス１０が軟化した状態において、平面板４
と基板２は上下から成形ガラス１０を挟んでいるが、治
具による規制があるので成形ガラス１０が無制限に押し
つぶされることはなく、スペーサ部材としての一定の厚
さが確保される。
【００２４】軟化した成形ガラス１０がスペーサ部材と
して一定の厚さを確保できるように、前記実施例では平
面板４及び基板２を押圧する治具をストッパ状の規制部
材として用いたが、別の手段を用いてもよい。例えば、
成形ガラス１０の内部に、低融点ガラスの溶融温度では
溶融しない材質から成る一定粒径のビーズを入れておい
てもよい。
して一定の厚さを確保できるように、前記実施例では平
面板４及び基板２を押圧する治具をストッパ状の規制部
材として用いたが、別の手段を用いてもよい。例えば、
成形ガラス１０の内部に、低融点ガラスの溶融温度では
溶融しない材質から成る一定粒径のビーズを入れておい
てもよい。
【００２５】
【発明の効果】本発明によれば、低融点ガラスを溶融し
て形成した成形ガラスで真空外囲器のガラス部材を接着
しているので、次のような効果が得られる。 （１）真空外囲器の接着部分を構成する成形ガラス中に
気泡がないので、接着部分からのリークが少なくなった
。 （２）前記接着部分に気泡がなく、すべてガラス成分だ
けなので、接着強度が大きくなった。 （３）完全チップレスの真空外囲器を実用化できた。 （４）完全チップレスの真空外囲器に適用した場合、従
来別工程であった封着工程と排気工程と封止工程を一工
程で行なえることになり、工程が簡略化される。
て形成した成形ガラスで真空外囲器のガラス部材を接着
しているので、次のような効果が得られる。 （１）真空外囲器の接着部分を構成する成形ガラス中に
気泡がないので、接着部分からのリークが少なくなった
。 （２）前記接着部分に気泡がなく、すべてガラス成分だ
けなので、接着強度が大きくなった。 （３）完全チップレスの真空外囲器を実用化できた。 （４）完全チップレスの真空外囲器に適用した場合、従
来別工程であった封着工程と排気工程と封止工程を一工
程で行なえることになり、工程が簡略化される。
【図１】一実施例の内部構造を省略した断面図である。
【図２】一実施例で用いられる成形ガラスの一形状例で
ある。
ある。
【図３】一実施例で用いられる成形ガラスの一形状例で
ある。
ある。
【図４】一実施例で用いられる成形ガラスの一形状例で
ある。
ある。
【図５】他の実施例で用いられるスペーサ部材としての
成形ガラスを示す斜視図である。
成形ガラスを示す斜視図である。
１，１ａ，１ｂ，１ｃ，１０ 成形ガラス２ ガラ
ス部材としての基板 ３ ガラス部材としての側面板 ４ ガラス部材としての平面板 ５ 真空外囲器
ス部材としての基板 ３ ガラス部材としての側面板 ４ ガラス部材としての平面板 ５ 真空外囲器
Claims (2)
- 【請求項１】 真空外囲器を構成するガラス部材どう
しが、低融点ガラスを溶融して形成した成形ガラスを介
して組立てられていることを特徴とする真空外囲器。 - 【請求項２】 基板と該基板に対面する平面板が枠状
のスペーサ部材を介して一体に組立てられた偏平箱形の
真空外囲器において、前記スペーサ部材が低融点ガラス
を溶融して枠状に形成した成形ガラスであることを特徴
とする真空外囲器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14273091A JPH04342940A (ja) | 1991-05-20 | 1991-05-20 | 真空外囲器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14273091A JPH04342940A (ja) | 1991-05-20 | 1991-05-20 | 真空外囲器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04342940A true JPH04342940A (ja) | 1992-11-30 |
Family
ID=15322248
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14273091A Pending JPH04342940A (ja) | 1991-05-20 | 1991-05-20 | 真空外囲器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04342940A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0521025A (ja) * | 1991-07-16 | 1993-01-29 | Mitsubishi Electric Corp | 発光素子 |
| JP2007042376A (ja) * | 2005-08-02 | 2007-02-15 | Futaba Corp | 気密容器 |
| WO2012107831A1 (en) * | 2011-02-11 | 2012-08-16 | Signa S.A. De C.V. | Method of making a pyridone compound, 5-ethyl-1-phenyl-2-(1h)-pyridone, and intermediates thereof |
-
1991
- 1991-05-20 JP JP14273091A patent/JPH04342940A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0521025A (ja) * | 1991-07-16 | 1993-01-29 | Mitsubishi Electric Corp | 発光素子 |
| JP2007042376A (ja) * | 2005-08-02 | 2007-02-15 | Futaba Corp | 気密容器 |
| WO2012107831A1 (en) * | 2011-02-11 | 2012-08-16 | Signa S.A. De C.V. | Method of making a pyridone compound, 5-ethyl-1-phenyl-2-(1h)-pyridone, and intermediates thereof |
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