JPH04343450A - ダイシングブレード - Google Patents
ダイシングブレードInfo
- Publication number
- JPH04343450A JPH04343450A JP11518191A JP11518191A JPH04343450A JP H04343450 A JPH04343450 A JP H04343450A JP 11518191 A JP11518191 A JP 11518191A JP 11518191 A JP11518191 A JP 11518191A JP H04343450 A JPH04343450 A JP H04343450A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- blade
- dicing blade
- dicing
- cutting waste
- grooves
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Dicing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエハのダイシ
ングに使用するダイシングブレードに関し、特に切削屑
排出用の溝を有するダイシングブレードに関する。
ングに使用するダイシングブレードに関し、特に切削屑
排出用の溝を有するダイシングブレードに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のダイシングブレードは、図２の正
面図に示すように、円盤状のダイシングブレード１を回
転させて、テーブル４に吸着されたウエハ３を切断して
いた。また従来のダイシングブレードは、１例として外
径２インチ、厚さ６０〜７０μｍのものが用いられて、
材質は人工ダイヤの砥粒をニッケルをボンド材として使
用し、電着技術により結合させている。
面図に示すように、円盤状のダイシングブレード１を回
転させて、テーブル４に吸着されたウエハ３を切断して
いた。また従来のダイシングブレードは、１例として外
径２インチ、厚さ６０〜７０μｍのものが用いられて、
材質は人工ダイヤの砥粒をニッケルをボンド材として使
用し、電着技術により結合させている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この従来のダイシング
ブレードは、両サイド面が、フラットであり、切削部に
冷却水を当てながらダイシングブレード先端部分のみで
切削屑の排出を行なっているため、排出能力としては十
分ではなかった。又、この排出されなかった切削屑はウ
エハ上に残り、製品に悪影響を及ぼす恐れがあった。
ブレードは、両サイド面が、フラットであり、切削部に
冷却水を当てながらダイシングブレード先端部分のみで
切削屑の排出を行なっているため、排出能力としては十
分ではなかった。又、この排出されなかった切削屑はウ
エハ上に残り、製品に悪影響を及ぼす恐れがあった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明のダイシングブレ
ードは両サイド面に切削屑を排出する為の溝を設けてお
り、この溝はダイシングブレード先端から中心方向に抜
ける曲線状の溝であり、両サイド面に放射状に形成され
ている。
ードは両サイド面に切削屑を排出する為の溝を設けてお
り、この溝はダイシングブレード先端から中心方向に抜
ける曲線状の溝であり、両サイド面に放射状に形成され
ている。
【０００５】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明する
。図１は本発明の一実施例のダイシングブレードの使用
状態を示す正面図である。本実施例は、ダイシングブレ
ードの両サイド面に、切削屑排出溝２をブレード先端か
ら中心方向へ抜けるように設ける。この切削屑排出溝２
は、ダイシングブレード１の回転方向とは逆方向に湾曲
させ、放射状に４本設けてある。製造方法は、溝形を有
する型を用い、電着により製造する。また、溝の本数、
幅、深さ等は、切削加工物の大きさ、ブレードサイズ等
の条件によって最適な寸法を設定する。本実施例のダイ
シングブレードを用いれば、ブレードの回転力と溝形状
によりウエハの切削屑がブレード先端からブレード中心
方向へ導かれ、ウエハ外へ排出される。
。図１は本発明の一実施例のダイシングブレードの使用
状態を示す正面図である。本実施例は、ダイシングブレ
ードの両サイド面に、切削屑排出溝２をブレード先端か
ら中心方向へ抜けるように設ける。この切削屑排出溝２
は、ダイシングブレード１の回転方向とは逆方向に湾曲
させ、放射状に４本設けてある。製造方法は、溝形を有
する型を用い、電着により製造する。また、溝の本数、
幅、深さ等は、切削加工物の大きさ、ブレードサイズ等
の条件によって最適な寸法を設定する。本実施例のダイ
シングブレードを用いれば、ブレードの回転力と溝形状
によりウエハの切削屑がブレード先端からブレード中心
方向へ導かれ、ウエハ外へ排出される。
【０００６】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、ダイシン
グブレードの両サイド面に溝を設けたので、ブレードの
回転力により切削屑が溝を通って排出されるという効果
を有する。
グブレードの両サイド面に溝を設けたので、ブレードの
回転力により切削屑が溝を通って排出されるという効果
を有する。
【図１】本発明のー実施例の使用状態を示す正面図であ
る。
る。
【図２】従来のダイシングブレードの使用状態を示す正
面図である。
面図である。
１ ダイシングブレード
２ 切削屑排出溝
３ ウエハ
４ テーブル
Claims (1)
- 【請求項１】 半導体ウエハのダイシングに使用する
ダイシングブレードにおいて、ダイシングブレードの両
サイド面に、ダイシングブレード先端から中心方向に抜
ける曲線状の切削屑排出溝を放射状に形成したことを特
徴とするダイシングブレード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11518191A JPH04343450A (ja) | 1991-05-21 | 1991-05-21 | ダイシングブレード |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11518191A JPH04343450A (ja) | 1991-05-21 | 1991-05-21 | ダイシングブレード |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04343450A true JPH04343450A (ja) | 1992-11-30 |
Family
ID=14656364
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11518191A Pending JPH04343450A (ja) | 1991-05-21 | 1991-05-21 | ダイシングブレード |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04343450A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016179505A (ja) * | 2015-03-23 | 2016-10-13 | 株式会社ディスコ | 切削ブレードの検査方法 |
-
1991
- 1991-05-21 JP JP11518191A patent/JPH04343450A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016179505A (ja) * | 2015-03-23 | 2016-10-13 | 株式会社ディスコ | 切削ブレードの検査方法 |
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