JPH0434538U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の精密除振台の一実施例を示す
構成図、第２図は第１図装置のモデル図及びボー
ド線図、第３図から第６図は従来の除振台のモデ
ル図及びボード線図である。 １……大型除振台、２……小型除振台、３……
加速度センサ、４……第１の制御回路、５……第
２の制御回路、６……力アクチユエータ、４１…
…第１の積分回路、４２……第２の積分回路、４
３……第１の乗算回路、４４……第２の乗算回路
、５１……オブザーバ回路、５２……第３の乗算
回路。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 大型除振台と、小型除振台と、加速度センサと
   、第１、第２の積分回路及び第１、第２の乗算回
   路から成る第１の制御回路と、オブザーバ回路及
   び第３の乗算回路から成る第２の制御回路と、力
   アクチユエータで構成され、 前記大型除振台の上に前記小型除振台を載せた
   二重除振構造であると共に、前記大型除振台上に
   前記加速度センサが取り付けられ、この加速度セ
   ンサの出力を前記第１、第２の制御回路に入力し
   、前記第１の制御回路においては、前記第１、第
   ２の積分回路にてそれぞれ速度信号と位置信号を
   求めた後、前記第１、第２の乗算回路にてそれぞ
   れ負の減衰係数とばね定数が乗算され、この出力
   を加算して第１の制御信号として出力し、前記第
   ２の制御回路においては、前記小型除振台と同等
   の特性を有する前記オブザーバ回路にて前記小型
   除振台の加速度相当の信号を得た後、前記第３の
   乗算回路にて負の質量定数を乗算したものを第２
   の制御信号として出力し、この第２の制御信号を
   前記第１の制御信号と共に前記力アクチユエータ
   に入力することにより、前記大型除振台に力を加
   えるようにしたアクテイブサーボ除振構造を形成
   し、高い周波数領域では前記二重除振構造による
   除振特性を、又、低い周波数領域では前記第１の
   制御回路によるアクテイブサーボ除振構造による
   除振特性を得ると共に、前記第２の制御回路によ
   り、前記小型除振台の固有振動数におけるピーク
   も抑えるようにしたことを特徴とする精密除振台
   。