JPH0434740U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0434740U JPH0434740U JP7601490U JP7601490U JPH0434740U JP H0434740 U JPH0434740 U JP H0434740U JP 7601490 U JP7601490 U JP 7601490U JP 7601490 U JP7601490 U JP 7601490U JP H0434740 U JPH0434740 U JP H0434740U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- porous member
- semiconductor
- pellet
- pick
- suction
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000008188 pellet Substances 0.000 claims description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案に係る半導体ペレツトのピツク
アツプ装置の略示的断面図、第２図は同ピツクア
ツプ装置の平面図、第３図は同ピツクアツプ装置
の動作状態を示す要部のみの拡大断面図、第４図
は従来例のテーブルにおける吸着状態を示す説明
図である。 １１……テーブル、１２……テーブルの胴部、
１３……アダプター、１４……ポーラス部材、１
５……吸引領域、１６……ピストン、１７……ピ
ストンロツド、１８……針状部材、１９……貫通
孔、２０……接続部、２１……粘着シート、２２
……ペレツト、２３……コレツト。
アツプ装置の略示的断面図、第２図は同ピツクア
ツプ装置の平面図、第３図は同ピツクアツプ装置
の動作状態を示す要部のみの拡大断面図、第４図
は従来例のテーブルにおける吸着状態を示す説明
図である。 １１……テーブル、１２……テーブルの胴部、
１３……アダプター、１４……ポーラス部材、１
５……吸引領域、１６……ピストン、１７……ピ
ストンロツド、１８……針状部材、１９……貫通
孔、２０……接続部、２１……粘着シート、２２
……ペレツト、２３……コレツト。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ストリートに沿つてペレツト状に分割した
半導体ウエーハの各ペレツトを粘着シートからピ
ツクアツプするピツクアツプ装置であつて、前記
半導体ウエーハが載置されるテーブルの吸着面が
ポーラス部材で形成され、該ポーラス部材を貫通
し前記粘着シートの下面から対応するペレツトを
突き上げる針状部材が進退するように構成された
ことを特徴とする半導体ペレツトのピツクアツプ
装置。 (2) ポーラス部材の下部に、ポーラス部材の全
面が吸引作用を行うよう、吸引領域が設けられた
請求項(1)記載の半導体ペレツトのピツクアツプ
装置。 (3) 進退する針状部材が複数本である請求項(1)
又は(2)記載の半導体ペレツトのピツクアツプ装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7601490U JPH0434740U (ja) | 1990-07-17 | 1990-07-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7601490U JPH0434740U (ja) | 1990-07-17 | 1990-07-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0434740U true JPH0434740U (ja) | 1992-03-23 |
Family
ID=31617103
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7601490U Pending JPH0434740U (ja) | 1990-07-17 | 1990-07-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0434740U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008078388A (ja) * | 2006-09-21 | 2008-04-03 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 保持治具 |
| JP2013172042A (ja) * | 2012-02-22 | 2013-09-02 | Mitsubishi Electric Corp | チップピックアップ装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60102754A (ja) * | 1983-11-09 | 1985-06-06 | Nec Corp | チツプ分離機構 |
| JPS6144842B2 (ja) * | 1980-05-15 | 1986-10-04 | Emu Deii Corp |
-
1990
- 1990-07-17 JP JP7601490U patent/JPH0434740U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6144842B2 (ja) * | 1980-05-15 | 1986-10-04 | Emu Deii Corp | |
| JPS60102754A (ja) * | 1983-11-09 | 1985-06-06 | Nec Corp | チツプ分離機構 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008078388A (ja) * | 2006-09-21 | 2008-04-03 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 保持治具 |
| JP2013172042A (ja) * | 2012-02-22 | 2013-09-02 | Mitsubishi Electric Corp | チップピックアップ装置 |