JPH04347485A - 空気分離装置における炭酸ガスの回収方法および装置 - Google Patents

空気分離装置における炭酸ガスの回収方法および装置

Info

Publication number
JPH04347485A
JPH04347485A JP3121046A JP12104691A JPH04347485A JP H04347485 A JPH04347485 A JP H04347485A JP 3121046 A JP3121046 A JP 3121046A JP 12104691 A JP12104691 A JP 12104691A JP H04347485 A JPH04347485 A JP H04347485A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gas
carbon dioxide
air
nitrogen gas
backwashing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP3121046A
Other languages
English (en)
Inventor
Mitsuhiro Kusunoki
楠　光裕
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
JFE Steel Corp
Original Assignee
Kawasaki Steel Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kawasaki Steel Corp filed Critical Kawasaki Steel Corp
Priority to JP3121046A priority Critical patent/JPH04347485A/ja
Publication of JPH04347485A publication Critical patent/JPH04347485A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J3/00—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification
    • F25J3/02—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream
    • F25J3/04—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream for air
    • F25J3/04521—Coupling of the air fractionation unit to an air gas-consuming unit, so-called integrated processes
    • F25J3/04612—Heat exchange integration with process streams, e.g. from the air gas consuming unit
    • F25J3/04618—Heat exchange integration with process streams, e.g. from the air gas consuming unit for cooling an air stream fed to the air fractionation unit
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J3/00—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification
    • F25J3/02—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream
    • F25J3/04—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream for air
    • F25J3/04151—Purification and (pre-)cooling of the feed air; recuperative heat-exchange with product streams
    • F25J3/04157—Afterstage cooling and so-called "pre-cooling" of the feed air upstream the air purification unit and main heat exchange line
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J3/00—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification
    • F25J3/02—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream
    • F25J3/04—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream for air
    • F25J3/04151—Purification and (pre-)cooling of the feed air; recuperative heat-exchange with product streams
    • F25J3/04163—Hot end purification of the feed air
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J3/00—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification
    • F25J3/02—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream
    • F25J3/04—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream for air
    • F25J3/04151—Purification and (pre-)cooling of the feed air; recuperative heat-exchange with product streams
    • F25J3/04163—Hot end purification of the feed air
    • F25J3/04169—Hot end purification of the feed air by adsorption of the impurities
    • F25J3/04181—Regenerating the adsorbents
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J3/00—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification
    • F25J3/02—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream
    • F25J3/04—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream for air
    • F25J3/04521—Coupling of the air fractionation unit to an air gas-consuming unit, so-called integrated processes
    • F25J3/04563—Integration with a nitrogen consuming unit, e.g. for purging, inerting, cooling or heating
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2205/00—Processes or apparatus using other separation and/or other processing means
    • F25J2205/02—Processes or apparatus using other separation and/or other processing means using simple phase separation in a vessel or drum
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2205/00—Processes or apparatus using other separation and/or other processing means
    • F25J2205/20—Processes or apparatus using other separation and/or other processing means using solidification of components
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2205/00—Processes or apparatus using other separation and/or other processing means
    • F25J2205/24—Processes or apparatus using other separation and/or other processing means using regenerators, cold accumulators or reversible heat exchangers
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2205/00—Processes or apparatus using other separation and/or other processing means
    • F25J2205/60—Processes or apparatus using other separation and/or other processing means using adsorption on solid adsorbents, e.g. by temperature-swing adsorption [TSA] at the hot or cold end
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2205/00—Processes or apparatus using other separation and/or other processing means
    • F25J2205/84—Processes or apparatus using other separation and/or other processing means using filter
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2215/00—Processes characterised by the type or other details of the product stream
    • F25J2215/02—Mixing or blending of fluids to yield a certain product
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2215/00—Processes characterised by the type or other details of the product stream
    • F25J2215/42—Nitrogen or special cases, e.g. multiple or low purity N2
    • F25J2215/44—Ultra high purity nitrogen, i.e. generally less than 1 ppb impurities
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2220/00—Processes or apparatus involving steps for the removal of impurities
    • F25J2220/44—Separating high boiling, i.e. less volatile components from nitrogen, e.g. CO, Ar, O2, hydrocarbons
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2245/00—Processes or apparatus involving steps for recycling of process streams
    • F25J2245/42—Processes or apparatus involving steps for recycling of process streams the recycled stream being nitrogen
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2260/00—Coupling of processes or apparatus to other units; Integrated schemes
    • F25J2260/42—Integration in an installation using nitrogen, e.g. as utility gas, for inerting or purging purposes in IGCC, POX, GTL, PSA, float glass forming, incineration processes, for heat recovery or for enhanced oil recovery
    • F25J2260/44—Integration in an installation using nitrogen, e.g. as utility gas, for inerting or purging purposes in IGCC, POX, GTL, PSA, float glass forming, incineration processes, for heat recovery or for enhanced oil recovery using nitrogen for cooling purposes
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2260/00—Coupling of processes or apparatus to other units; Integrated schemes
    • F25J2260/80—Integration in an installation using carbon dioxide, e.g. for EOR, sequestration, refrigeration etc.
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02C—CAPTURE, STORAGE, SEQUESTRATION OR DISPOSAL OF GREENHOUSE GASES [GHG]
    • Y02C20/00—Capture or disposal of greenhouse gases
    • Y02C20/40—Capture or disposal of greenhouse gases of CO2

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Separation By Low-Temperature Treatments (AREA)
  • Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
  • Carbon And Carbon Compounds (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、空気分離装置における
炭酸ガスの回収方法および装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般的に酸素（以下、Ｏ２と略称する）
および窒素（以下、Ｎ２と略称する）を工業的規模に製
造することを目的とする装置において、原料となる空気
に含まれる水分および炭酸ガス（以下、ＣＯ２ガスと略
称する）を除去する方法の一つに、たとえば特開昭６０
−　６８１０４号公報に開示されているようなリバーシ
ング式熱交換器を用いて含有する水分とＣＯ２　ガスを
冷却して氷とドライアイスの形で熱交換器内に堆積させ
ることにより除去するリバーシング式の空気分離装置が
ある。この熱交換器内に堆積した氷とドライアイスは、
空気分離装置にて同時に分離されたＮ２ガスを使用して
逆洗し、熱交換器から大気中に放出される。
【０００３】一般に空気分離装置から発生するＮ２ガス
の半分以上はこの逆洗に使用されており、したがって回
収利用されることがなかったのである。設備的には熱交
換器を２基並設しておき、切換弁を切り換えることによ
り逆洗と原料空気中の水分，　ＣＯ２　ガスの除去とを
交互に行っており、それ故熱交換器を２式並設し切り換
えて使用するのが一般的である。
【０００４】図２は、リバーシング式熱交換器を用いた
従来の空気分離装置の一例の構成図である。図において
、１は原料空気圧縮機、２ａ，２ｂはリバーシング式熱
交換器、３ａ〜３ｄは原料空気切換弁、４ａ〜４ｄは逆
洗用Ｎ２ガス切換弁、５は熱交換後の低温空気管、６は
空気分離器、７は高純Ｎ２ガス取出管、８は高純Ｏ２ガ
ス取出管、９は逆洗用Ｎ２ガス送給管、１０ａ，１０ｂ
は逆洗用Ｎ２ガス取出管、１１は逆洗用Ｎ２ガス放出管
である。
【０００５】原料空気圧縮機１で圧縮された空気は、２
基のリバーシング式熱交換器２ａ，２ｂのうちの一方た
とえば２ａに原料空気切換弁３ａ〜３ｄを介して送り込
まれ、逆洗用Ｎ２ガス送給配管９，逆洗用Ｎ２ガス切換
弁４ｃを介して送り込まれる空気分離器６で生成された
Ｎ２などの低温ガスである逆洗用Ｎ２ガスにより約−８
０℃まで冷却されて、水分は氷としてＣＯ２　ガスはド
ライアイス（水分は０℃で氷化し、ＣＯ２　ガスは−７
８．５℃でドライアイスに変態する）　として、それぞ
れ固化され除去・精製される。熱交換器２ａで熱交換後
の圧縮空気は原料空気切換弁３ｃ，低温空気管５を通っ
て空気分離器６に送られ、深冷分離法によって純酸素と
純窒素に分離・精留されてそれぞれ高純Ｎ２ガス取出管
７，高純Ｏ２ガス取出管８を介して製品として需要先へ
送出される。
【０００６】このとき、もう一方のリバーシング式熱交
換器２ｂでは前のサイクルで空気中の水分とＣＯ２　ガ
スを固化・分離した氷とドライアイスに対して、空気分
離器６から逆洗用Ｎ２ガス送給管９，逆洗用Ｎ２ガス切
換弁４ｄを介して逆洗用Ｎ２ガスが送り込まれることに
より、熱交換器２ｂの器内に堆積した氷およびドライア
イスが気化して逆洗用Ｎ２ガスに含まれ、逆洗用Ｎ２ガ
ス切換弁４ｂ，　逆洗用Ｎ２ガス取出配管１０ｂを介し
て逆洗用Ｎ２ガス放出管１１から大気中に放散される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ＣＯ２
　ガスは、たとえば消火剤の原料としてあるいは化学原
料などの工業用に利用可能であるにもかかわらず、上記
したように水分を含む逆洗用Ｎ２ガスとともに逆洗用Ｎ
２ガス放出管から大気中に放散するのは非常に不経済で
ある。また、大気中のＣＯ２　ガス濃度の増加にともな
う地球温暖化などの環境問題などから、でき得るかぎり
ＣＯ２　ガスの大気へのリサイクルを避けるに越したこ
とはないのである。本発明は、上記のような従来技術の
課題を解決すべくしてなされたものであって、リバーシ
ング式熱交換器を用いた空気分離装置における炭酸ガス
を回収可能とした方法および装置を提供することを目的
とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の第１の態様は、
リバーシング式の熱交換器と空気分離器とからなる空気
分離装置における炭酸ガスの回収方法であって、前記熱
交換器内において原料空気中の水分と炭酸ガスを冷却固
化して氷とドライアイスとして堆積する工程と、前記熱
交換器に堆積した氷とドライアイスに逆洗用窒素ガスを
吹き込んで水分および炭酸ガスに気化する工程と、この
水分および炭酸ガスを含んだ混合窒素ガスに前記空気分
離器で発生して得られた低温の高純窒素ガスを吹き込ん
で０℃以下まで低下させてガス中の水分のみを固化して
氷として分離・除去する工程と、さらに低温の高純窒素
ガスを吹き込んで前記混合窒素ガスを約−８０℃まで冷
却させてガス中の炭酸ガスを固化してドライアイスとし
て分離・除去して回収窒素ガスを回収する工程と、この
ドライアイスに逆洗用炭酸ガスを吹き込んで炭酸ガスに
気化して回収する工程と、からなることを特徴とする空
気分離装置における炭酸ガスの回収方法である。なお、
前記回収窒素ガスを原料空気と熱交換させて冷却熱を回
収する工程を付加することができ、また前記回収炭酸ガ
スを原料空気と熱交換させて冷却熱を回収する工程を付
加することができる。
【０００９】また、本発明の第２の態様は、１基の原料
空気圧縮機と、この原料空気圧縮機で圧縮された空気を
交互に切り換えられながら冷却してその中に含まれる水
分と炭酸ガスを固化して氷とドライアイスとして堆積す
る２基のリバーシング式熱交換器と、この熱交換器から
の清浄空気を深冷分離して高純の酸素と窒素とを製造す
る１基の空気分離器と、この空気分離器で生成した窒素
ガスの一部を逆洗用として前記熱交換器に送給する逆洗
用窒素ガス送給管と、前記熱交換器からの逆洗用窒素ガ
スを回収する逆洗用窒素ガス取出管と、この逆洗用窒素
ガス取出管の途中に取付けられて前記空気分離器で製造
された低温高純窒素ガスの一部を第１の高純窒素ガス分
岐管を介して吹き込む第１のデフューザと、この第１の
デフューザの下流に取付けられた温度検出器からの逆洗
用窒素ガスの温度信号を入力して前記第１の窒素ガス分
岐管に取付けられた制御弁の開度を調節して逆洗用窒素
ガスの温度を０〜−１０℃の範囲に制御する第１の温度
調節計と、前記逆洗用窒素ガス取出管に接続されて氷を
ろ過して分離する第１の重力沈降セパレータおよび／ま
たは第１の分離フィルタと、これら第１の重力沈降セパ
レータおよび／または第１の分離フィルタ内に堆積した
氷を気化すべく逆洗する空気を送り込む空気ファンと、
前記第１の重力沈降セパレータおよび／または第１の分
離フィルタの下流に取付けられて前記空気分離器で製造
された低温高純窒素ガスの一部を第２の高純窒素ガス分
岐管を介して吹き込む第２のデフューザと、この第２の
デフューザの下流に取付けられた温度検出器からの逆洗
用窒素ガスの温度信号を入力して前記第２の高純窒素ガ
ス分岐管を介して吹き込む第２のデフューザと、この第
２のデフューザの下流に取付けられた温度検出器からの
逆洗用窒素ガスの温度信号を入力して前記第２の高純窒
素ガス分岐管に取付けられた制御弁の開度を調節して逆
洗用窒素ガスの温度を−８０℃以下に制御する第２の温
度調節計と、前記第２のデフューザの下流に接続されて
ガス中のドライアイスをろ過して分離する第２の重力沈
降セパレータおよび／または第２の分離フィルタと、こ
れら第２の重力沈降セパレータおよび／または第２の分
離フィルタに回収炭酸ガスホルダに貯えられた低温の逆
洗用炭酸ガスを吹き込む逆洗用炭酸ガス送給管と、ドラ
イアイスが気化した炭酸ガスを回収する回収炭酸ガス取
出管と、回収された炭酸ガスを昇圧して前記回収炭酸ガ
スホルダに送り込む回収炭酸ガス圧縮機と、からなるこ
とを特徴とする空気分離装置における炭酸ガスの回収装
置である。なお、前記原料空気圧縮機と前記リバーシン
グ式熱交換器との間に回収窒素ガスを原料空気と熱交換
させて冷却熱を回収する回収窒素ガス／原料空気熱交換
器を付設することができ、また前記回収炭酸ガス取出管
に回収炭酸ガスを原料空気と熱交換させて冷却熱を回収
する回収炭酸ガス／原料空気熱交換器を付設することが
できる。
【００１０】さらに、本発明の方法および装置は、リバ
ーシング式熱交換器の代わりに吸着式水分・炭酸ガス除
去器を用いた空気分離装置にも適用することが可能であ
る。
【００１１】
【作　　用】本発明によれば、リバーシング式熱交換器
（または吸着式水分・炭酸ガス除去器）内の逆洗に使用
された水分とＣＯ２　ガスを含有する逆洗用Ｎ２ガスに
２段に分けて高純窒素ガスを混合することにより、水分
を分離除去してからＣＯ２　ガスを回収するようにして
、初期の目的を達成したものである。すなわち、１段目
として、空気分離器で得られた低温のＮ２ガスを混合し
て０〜−１０℃以内になるように制御して水分を氷に固
化し、この氷をダストとともに重力沈降セパレータと分
離フィルタを用いて分離・除去する。さらに２段目とし
て、水分の除去された逆洗用Ｎ２ガスに再び低温のＮ２
ガスを混合して−８０℃以下になるように制御してＣＯ
２　ガスをドライアイスとして固化し、重力沈降セパレ
ータと分離フィルタを用いて分離・除去する。これによ
って、ＣＯ２　ガスを単独で回収可能となる。
【００１２】なお、水分とＣＯ２　ガスが除去された逆
洗用Ｎ２ガスには−８０℃の冷却熱を保有しており、こ
れを原料空気と熱交換後Ｎ２ガス源として、通常の工場
でたとえばパージ用ガスなどに有効に利用することがで
きる。ここで、熱エネルギーバランスについて説明する
と、まず水分を固化する際の１段目のバランスについて
は高純Ｎ２の保有する−１８０　℃から−１０℃までの
有効エネルギーをＱ０Ｎ′としその必要量をＶ０Ｎ′と
すると、熱エネルギーバランス的には下記式（数１）で
表すことができる。
【００１３】 Ｑ０Ｎ′Ｖ０Ｎ′＝ＱＮ　′ＶＮ　′＋ＱＨ　ＶＨ　＋
ＱＣ　′ＶＣ　′＋Δ′…（数１） ここで、 ＱＮ　′；逆洗用Ｎ２ガスの常温から−１０℃までの冷
却に必要なエネルギー ＶＮ　′；ＱＮ　′を確保するのに必要とされる量ＱＨ
　　　；逆洗用Ｎ２ガスに含まれる水分の常温から−１
０℃までの冷却に必要な熱量 ＶＨ　　　；ＱＨ　を確保するのに必要とされる量ＱＣ
　′；逆洗用Ｎ２ガスに含まれるＣＯ２　ガスの常温か
ら−１０℃までの冷却に必要な熱量 ＶＣ　′；ＱＣ　′を確保するのに必要とされる量Δ　
　′；設備の放散熱で−１０℃までのラインまたＣＯ２
　ガスを固化する際の２段目のバランスについては高純
Ｎ２の保有する−１８０　℃から−８０℃までの有効エ
ネルギーをＱ０Ｎ″としその必要量をＶ０Ｎ″とすると
、熱エネルギーバランス的には下記式（数２）で表すこ
とができる。
【００１４】 Ｑ０Ｎ″Ｖ０Ｎ″＝ＱＮ　″ＶＮ　″＋ＱＣ　″ＶＣ　
″＋Δ″　　　　　　………（数２） ここで、 ＱＮ　″；逆洗用Ｎ２ガスの−１０〜−８０℃までの冷
却に必要なエネルギー ＶＮ　″；ＱＮ　″を確保するのに必要とされる量ＱＣ
　″；逆洗用Ｎ２ガスに含まれるＣＯ２　ガスの−１０
〜−８０℃までの冷却に必要な熱量 ＶＣ　″；ＱＣ　″を確保するのに必要とされる量Δ　
　″；設備の放散熱で−１０〜−８０℃までのライン
【
００１５】
【実施例】以下に、本発明の実施例について図面を参照
して説明する。図１は本発明の実施例を示す構成図であ
り、図中、前出した図２の従来例と同一部材は同一符号
を付して説明を省略する。図において、１２ａ，１２ｂ
は第１の重力沈降セパレータであり、それぞれ切換弁１
３ａ，１３ｂを介して熱交換器２ａ，２ｂの出側の逆洗
用Ｎ２ガス取出管１０ａ，１０ｂに接続される。なお、
これら逆洗用Ｎ２ガス取出管１０ａ，１０ｂの途中には
第１のデフューザ１４ａ，１４ｂが設けられ、制御弁１
５ａ，１５ｂを介して高純Ｎ２ガス取出管７の第１の分
岐管７ａ，７ｂが接続される。 この制御弁１５ａ，１５ｂは、逆洗用Ｎ２ガス取出管１
０ａ，１０ｂの第１のデフューザ１４ａ，１４ｂの下流
にそれぞれ取付けられた温度検出器１６ａ，１６ｂで検
出された温度信号を入力する第１の温度調節計１７ａ，
１７ｂによってその開度が制御される。また、第１の重
力沈降セパレータ１２ａ，１２ｂは切換弁１８ａ，１８
ｂを介してその一端が排水槽１９に臨む排水管２０に接
続される。
【００１６】２１ａ，２１ｂは第１の分離フィルタであ
り、第１の重力沈降セパレータ１２ａ，１２ｂの後段に
接続される。なお、この第１の分離フィルタ２１ａ，２
１ｂはこれのみで第１の重力沈降セパレータ１２ａ，１
２ｂの代わりの機能をもたせることができ、あるいは第
１の重力沈降セパレータ１２ａ，１２ｂのみにして第１
の分離フィルタ２１ａ，２１ｂを省略する場合もある。 ２２は空気ファンであり、切換弁２３ａ，２３ｂを介し
て第１の分離フィルタ２１ａ，２１ｂにそれぞれ逆洗用
空気を供給する。
【００１７】２４ａ，２４ｂは第１の分離フィルタ２１
ａ，２１ｂの出側に切換弁２５ａ，２５ｂを介して取付
けられる第２のデフューザであり、制御弁２６ａ，２６
ｂを介して高純Ｎ２ガス取出管７の第２の分岐管７ｃが
接続される。この制御弁２６ａ，２６ｂは第２のデフュ
ーザ２４ａ，２４ｂの下流にそれぞれ取付けられた温度
検出器２７ａ，２７ｂで検出された温度信号を入力する
第２の温度調節計２８ａ，２８ｂによってその開度が制
御される。　　２９ａ，２９ｂは第２の重力沈降セパレ
ータであり、それぞれ切換弁３０ａ，３０ｂを介して第
２のデフューザ２４ａ，２４ｂに接続される。３１ａ，
３１ｂは第２の重力沈降セパレータ２９ａ，２９ｂの下
流に切換弁３２ａ，３２ｂを介して接続される第２の分
離フィルタである。この第２の分離フィルタ３１ａ，３
１ｂの出側は切換弁３３ａ，３３ｂを介して回収Ｎ２ガ
ス取出管３４に接続される。なお、第２の分離フィルタ
３１ａ，３１ｂは単独に取付けてもよく、あるいは第２
の重力沈降セパレータ２９ａ，２９ｂのみでもよい。
【００１８】３５は回収ＣＯ２　ガスホルダであり、そ
の中に貯えられた回収ＣＯ２　ガスは製品ＣＯ２　ガス
送給管３６を介して需要先に送給されるが、その一部は
逆洗用ＣＯ２　ガス管３７によって切換弁３８ａ，３８
ｂおよび３９ａ，３９ｂを介してそれぞれ第２の重力沈
降セパレータ２９ａ，２９ｂおよび第２の分離フィルタ
３１ａ，３１ｂに供給される。４０は回収ＣＯ２　ガス
圧縮機であり、回収ＣＯ２　ガス取出管４１によって切
換弁４２ａ，４２ｂおよび４３ａ，４３ｂを介して第２
の重力沈降セパレータ２９ａ，２９ｂおよび第２の分離
フィルタ３１ａ，３１ｂにそれぞれ接続される。
【００１９】４４は回収Ｎ２ガス／原料空気熱交換器で
あり、回収Ｎ２ガス取出管３４を介して送り込まれる回
収Ｎ２ガスと原料空気との熱交換をする。４５は回収Ｎ
２ガス圧縮機であり、４６は回収Ｎ２ガス送給管である
。そこで、一方のたとえば熱交換器２ｂで固化された氷
，ドライアイスは、空気分離器６から逆洗用Ｎ２ガス送
給管９，切換弁４ｄを介して送り込まれる逆洗用Ｎ２ガ
スによって水分とＣＯ２　ガスに気化される。そして、
切換弁４ｂ，逆洗用Ｎ２ガス取出管１０ｂ，切換弁１３
ｂを介して第１の重力沈降セパレータ１２ｂに送り込ま
れる際に、高純Ｎ２ガス取出管７の第１の分岐管７ｂか
ら制御弁１５ｂを介して送り込まれる低温の高純Ｎ２ガ
スと第１のデフューザ１４ｂで混合されるのであるが、
このとき第１の温度調節計１７ｂによって逆洗用Ｎ２ガ
スの温度が０〜−１０℃以内になるように制御弁１５ｂ
の開度が制御されて、逆洗用Ｎ２ガス中に含まれる水分
のみが再び冷却固化されて氷となる。この氷は第１の重
力沈降セパレータ１２ｂと第１の分離フィルタ２１ｂで
ろ過されて除去される。この第１の重力沈降セパレータ
１２ｂ，　第１の分離フィルタ２１ｂに堆積した氷は、
つぎのサイクルで空気ファン２２から切換弁２３ｂを介
して送り込まれる逆洗用空気によって水分に気化され、
第１の重力沈降セパレータ１２ｂに設けられた切換弁１
８ｂを介して排水管２０を経て排水槽１９に一旦溜めら
れ、その後系外に排出される。
【００２０】ついで、水分の除去された逆洗用Ｎ２ガス
は第２のデフューザ２４ｂで高純Ｎ２ガス取出管７の第
２の分岐管７ｃから制御弁２６ｂを介して送り込まれる
低温の高純Ｎ２ガスと混合されるのであるが、このとき
第２の温度調節計２８ｂによって逆洗用Ｎ２ガスの温度
が−８０℃以下になるように制御弁２６ｂの開度が制御
されて、逆洗用Ｎ２ガス中に含まれるＣＯ２　ガスは再
び冷却固化されてドライアイスとなって第２の重力沈降
セパレータ２９ｂと第２の分離フィルタ３１ｂでろ過さ
れて除去される。こうして水分もＣＯ２　ガスも含まな
いかなり高い純度になった回収Ｎ２ガスは、回収Ｎ２ガ
ス取出管３４を介して回収Ｎ２ガス／原料空気熱交換器
４４に送られ、原料空気と熱交換してから回収Ｎ２ガス
圧縮機４５で昇圧されて回収Ｎ２ガス送給管４６を介し
て需要先に供給される。
【００２１】そして、第２の重力沈降セパレータ２９ｂ
と第２の分離フィルタ３１ｂで除去されて堆積したドラ
イアイスは、つぎのサイクルで回収ＣＯ２　ガスホルダ
３５から逆洗用ＣＯ２　ガス管３７によって切換弁３８
ｂ，３９ｂを介して送り込まれる低温の逆洗用ＣＯ２　
ガスによって気化され、回収ＣＯ２　ガスとして回収Ｃ
Ｏ２　ガス圧縮機４０によって切換弁４２ｂ，４３ｂお
よび回収ＣＯ２　ガス取出管４１を介して回収ＣＯ２　
ガスホルダ３５に送り込まれ貯えられる。
【００２２】なお、回収ＣＯ２　ガス取出管４１の途中
に回収ＣＯ２　ガス／原料空気熱交換器（図示せず）を
設けて、回収ＣＯ２　ガスの冷却熱で原料空気を冷却す
るようにすれば、さらに省エネルギーの観点から望まし
いことである。また、回収Ｎ２ガスは水分やＣＯ２　ガ
ス，　ダストなどが除去されてはいるが微量のたとえば
Ｈ２とかＣＯなどが除けないため、通常の空気分離器６
で得られる高純Ｎ２ガスに比して純度が多少落ちること
になり、それらが問題になるようなシビアな品質を要求
される需要先では使用することはできない。しかし、通
常の工場のパージ用ガスなどとしては支障なく十分使用
することが可能である。
【００２３】さらに、上記した実施例は圧縮空気中の水
分，炭酸ガスの除去に２基のリバーシング式熱交換器を
用いる空気分離装置について説明したが、本発明はこれ
に限定されるものではなく、リバーシング式熱交換器の
代わりに２基の吸着式水分・炭酸ガス除去器を用いる場
合に適用することができる。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、逆
洗用Ｎ２ガスを回収するとともにそれに含まれるＣＯ２
　ガスをも高効率に回収することができるから、安価な
ＣＯ２　ガスを供給し得るからその経済的効果は大であ
り、また環境汚染防止にも寄与する。さらに回収Ｎ２ガ
スや回収ＣＯ２　ガスの冷却熱を用いて原料空気を冷却
することができ、空気分離装置の系内の省エネルギー効
果は大である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例を示す構成図である。
【図２】リバーシング式熱交換器を用いた従来の空気分
離装置の一例の構成図である。
【符号の説明】
１　　原料空気圧縮機 ２ａ，２ｂ　　リバーシング式熱交換器３ａ〜３ｄ　　
原料空気切換弁 ４ａ〜４ｄ　　逆洗用Ｎ２ガス切換弁 ５　　低温空気管 ６　　空気分離器 ７　　高純Ｎ２ガス取出管 ８　　高純Ｏ２ガス取出管 ９　　逆洗用Ｎ２ガス送給管 １０ａ，１０ｂ　　逆洗用Ｎ２ガス取出管１２ａ，１２
ｂ　　第１の重力沈降セパレータ１３ａ，１３ｂ，１８
ａ，１８ｂ，２３ａ，２３ｂ，２５ａ，２５ｂ，３０ａ
，３０ｂ　　切換弁 １４ａ，１４ｂ　　第１のデフューザ １５ａ，１５ｂ，２６ａ，２６ｂ　　制御弁１６ａ，１
６ｂ，　２７ａ，２７ｂ　　温度検出器１７ａ，１７ｂ
　　第１の温度調節計 ２０　　排水管 ２１ａ，２１ｂ　　第１の分離フィルタ２２　　空気フ
ァン ２４ａ，２４ｂ　　第２のデフューザ ２８ａ，２８ｂ　　第２の温度調節計 ２９ａ，２９ｂ　　第２の重力沈降セパレータ３１ａ，
３１ｂ　　第２の分離フィルタ３２ａ，３２ｂ，３３ａ
，３３ｂ，３８ａ，３８ｂ，３９ａ，３９ｂ，４２ａ，
４２ｂ　　切換弁 ３４　　回収Ｎ２ガス取出管 ３５　　回収ＣＯ２　ガスホルダ ３６　　製品ＣＯ２　ガス送給管 ３７　　逆洗用ＣＯ２　ガス管 ４０　　回収ＣＯ２　ガス圧縮機 ４１　　回収ＣＯ２　ガス取出管 ４３ａ，４３ｂ　　切換弁 ４４　　回収Ｎ２ガス／原料空気熱交換器４５　　回収
Ｎ２ガス圧縮機 ４６　　回収Ｎ２ガス送給管

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】　　　　リバーシング式の熱交換器と空気
    分離器とからなる空気分離装置における炭酸ガスの回収
    方法であって、前記熱交換器内において原料空気中の水
    分と炭酸ガスを冷却固化して氷とドライアイスとして堆
    積する工程と、前記熱交換器に堆積した氷とドライアイ
    スに逆洗用窒素ガスを吹き込んで水分および炭酸ガスに
    気化する工程と、この水分および炭酸ガスを含んだ混合
    窒素ガスに前記空気分離器で発生して得られた低温の高
    純窒素ガスを吹き込んで０℃以下まで低下させてガス中
    の水分のみを固化して氷として分離・除去する工程と、
    さらに低温の高純窒素ガスを吹き込んで前記混合窒素ガ
    スを約−８０℃まで冷却させてガス中の炭酸ガスを固化
    してドライアイスとして分離・除去して回収窒素ガスを
    回収する工程と、このドライアイスに逆洗用炭酸ガスを
    吹き込んで炭酸ガスに気化して回収する工程と、からな
    ることを特徴とする空気分離装置における炭酸ガスの回
    収方法。
  2. 【請求項２】　　　　前記回収窒素ガスを原料空気と熱
    交換させて冷却熱を回収する工程を付加したことを特徴
    とする請求項１記載の空気分離装置における炭酸ガスの
    回収方法。
  3. 【請求項３】　　　　前記回収炭酸ガスを原料空気と熱
    交換させて冷却熱を回収する工程を付加したことを特徴
    とする請求項１または２記載の空気分離装置における炭
    酸ガスの回収方法。
  4. 【請求項４】　　　　前記リバーシング式熱交換器の代
    わりに吸着式水分・炭酸ガス除去器を用いた空気分離装
    置に適用したことを特徴とする請求項１または２または
    ３記載の空気分離装置における炭酸ガスの回収方法。
  5. 【請求項５】　　　　１基の原料空気圧縮機と、この原
    料空気圧縮機で圧縮された空気を交互に切り換えられな
    がら冷却してその中に含まれる水分と炭酸ガスを固化し
    て氷とドライアイスとして堆積する２基のリバーシング
    式熱交換器と、この熱交換器からの清浄空気を深冷分離
    して高純の酸素と窒素とを製造する１基の空気分離器と
    、この空気分離器で生成した窒素ガスの一部を逆洗用と
    して前記熱交換器に送給する逆洗用窒素ガス送給管と、
    前記熱交換器からの逆洗用窒素ガスを回収する逆洗用窒
    素ガス取出管と、この逆洗用窒素ガス取出管の途中に取
    付けられて前記空気分離器で製造された低温高純窒素ガ
    スの一部を第１の高純窒素ガス分岐管を介して吹き込む
    第１のデフューザと、この第１のデフューザの下流に取
    付けられた温度検出器からの逆洗用窒素ガスの温度信号
    を入力して前記第１の窒素ガス分岐管に取付けられた制
    御弁の開度を調節して逆洗用窒素ガスの温度を０〜−１
    ０℃の範囲に制御する第１の温度調節計と、前記逆洗用
    窒素ガス取出管に接続されて氷をろ過して分離する第１
    の重力沈降セパレータおよび／または第１の分離フィル
    タと、これら第１の重力沈降セパレータおよび／または
    第１の分離フィルタ内に堆積した氷を気化すべく逆洗す
    る空気を送り込む空気ファンと、前記第１の重力沈降セ
    パレータおよび／または第１の分離フィルタの下流に取
    付けられて前記空気分離器で製造された低温高純窒素ガ
    スの一部を第２の高純窒素ガス分岐管を介して吹き込む
    第２のデフューザと、この第２のデフューザの下流に取
    付けられた温度検出器からの逆洗用窒素ガスの温度信号
    を入力して前記第２の高純窒素ガス分岐管に取付けられ
    た制御弁の開度を調節して逆洗用窒素ガスの温度を−８
    ０℃以下に制御する第２の温度調節計と、前記第２のデ
    フューザの下流に接続されてガス中のドライアイスをろ
    過して分離する第２の重力沈降セパレータおよび／また
    は第２の分離フィルタと、これら第２の重力沈降セパレ
    ータおよび／または第２の分離フィルタに回収炭酸ガス
    ホルダに貯えられた低温の逆洗用炭酸ガスを吹き込む逆
    洗用炭酸ガス送給管と、ドライアイスが気化した炭酸ガ
    スを回収する回収炭酸ガス取出管と、回収された炭酸ガ
    スを昇圧して前記回収炭酸ガスホルダに送り込む回収炭
    酸ガス圧縮機と、からなることを特徴とする空気分離装
    置における炭酸ガスの回収装置。
  6. 【請求項６】　　　　前記原料空気圧縮機と前記リバー
    シング式熱交換器との間に回収窒素ガスを原料空気と熱
    交換させて冷却熱を回収する回収窒素ガス／原料空気熱
    交換器を付設したことを特徴とする請求項５記載の空気
    分離装置における炭酸ガスの回収装置。
  7. 【請求項７】　　　　前記回収炭酸ガス取出管に回収炭
    酸ガスを原料空気と熱交換させて冷却熱を回収する回収
    炭酸ガス／原料空気熱交換器を付設したことを特徴とす
    る請求項５または６記載の空気分離装置における炭酸ガ
    スの回収装置。
  8. 【請求項８】　　　　前記リバーシング式熱交換器の代
    わりに吸着式水分・炭酸ガス除去器を用いた空気分離装
    置に適用したことを特徴とする請求項５または６または
    ７記載の空気分離装置における炭酸ガスの回収装置。
JP3121046A 1991-05-27 1991-05-27 空気分離装置における炭酸ガスの回収方法および装置 Pending JPH04347485A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3121046A JPH04347485A (ja) 1991-05-27 1991-05-27 空気分離装置における炭酸ガスの回収方法および装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3121046A JPH04347485A (ja) 1991-05-27 1991-05-27 空気分離装置における炭酸ガスの回収方法および装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH04347485A true JPH04347485A (ja) 1992-12-02

Family

ID=14801487

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3121046A Pending JPH04347485A (ja) 1991-05-27 1991-05-27 空気分離装置における炭酸ガスの回収方法および装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH04347485A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1211003A2 (en) Process and apparatus for producing atomized powder using recirculating atomizing gas
JP3140761B2 (ja) 二酸化炭素含有供給物から実質的に純粋な二酸化炭素を製造するプロセス
AU626494B2 (en) Pre-purification of air for separation
US8444749B2 (en) Method and system for membrane-based gas recovery
US2496380A (en) Gas purifying method and apparatus
KR100877511B1 (ko) 고순도 질소가스 발생 장치
US20030133864A1 (en) Central carbon dioxide purifier
JP3703933B2 (ja) 窒素生成のための、透過による空気分離方法および装置
JPS6380184A (ja) ガスを浄化しかつ戻す方法および装置
JP2008505830A (ja) アンモニアの精製および移送充填
CN102725437B (zh) 用于分离混合气体中的氩气的方法和装置
US20050006310A1 (en) Purification and recovery of fluids in processing applications
JPH04347485A (ja) 空気分離装置における炭酸ガスの回収方法および装置
KR100680921B1 (ko) 초고순도 가스의 제조방법 및 제조장치
JPH04350489A (ja) 空気分離装置における逆洗用窒素ガスの回収方法および装置
JP2944285B2 (ja) 空気分離プロセスにおける原料空気の前処理方法
JP2773858B2 (ja) 空気を分離する方法および装置
JP3674895B2 (ja) ドライエアー供給システムおよび供給方法
JP2001194055A (ja) アルゴンの回収方法および同装置
JP3143757B2 (ja) ヘリウムガス精製装置及びその運転方法
US6134912A (en) Method and system for separation of a mixed gas containing oxygen and chlorine
JP3545914B2 (ja) アルゴンの回収方法および同装置
JPH0652140B2 (ja) Ｈｅガス精製装置
JPS61140778A (ja) Ｈｅの精製方法
JP2003056980A (ja) ガスの分離精製方法及びその装置