JPH04347571A - リニアパルスモータ - Google Patents
リニアパルスモータInfo
- Publication number
- JPH04347571A JPH04347571A JP3120966A JP12096691A JPH04347571A JP H04347571 A JPH04347571 A JP H04347571A JP 3120966 A JP3120966 A JP 3120966A JP 12096691 A JP12096691 A JP 12096691A JP H04347571 A JPH04347571 A JP H04347571A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slit plate
- pulse motor
- linear
- fixed
- linear pulse
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Linear Motors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ロボット，工作機械，
半導体製造装置等の搬送用として用いることのできるリ
ニアパルスモータに関する。
半導体製造装置等の搬送用として用いることのできるリ
ニアパルスモータに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、リニアパルスモータは構造が単純
であること、ワイヤ，プーリを用いて直線運動を得るよ
り信頼性が高いこと等により次第に応用範囲が広がりつ
つある。以下に従来のリニアパルスモータについて説明
する。図３は従来のリニアパルスモータの構造を示すも
のであり、図４は図３における矢視図である。図３およ
び図４において、１はステータ基台であり、磁性体によ
り形成されている。２−１はスリット板であり、長手方
向に一定のピッチで溝状の磁極歯が形成され、ステータ
基台１に固定されている。３はリニアガイドであり、互
いに平行な位置にステータ基台１に固定されている。４
はスライダであり、リニアガイド３に嵌合して（一方に
２台で計４台）走行する。５はムーバであり、スライダ
４に固定され、スリット板２−１とはエアギャップｇ１
にて対向している。５−１はコイルであり、ムーバ５に
複数個具備され、それらを順序よく励磁することにより
、ムーバ５はスリット板２−１との間に推力を発生し、
リニアガイド３にガイドされて走行する。
であること、ワイヤ，プーリを用いて直線運動を得るよ
り信頼性が高いこと等により次第に応用範囲が広がりつ
つある。以下に従来のリニアパルスモータについて説明
する。図３は従来のリニアパルスモータの構造を示すも
のであり、図４は図３における矢視図である。図３およ
び図４において、１はステータ基台であり、磁性体によ
り形成されている。２−１はスリット板であり、長手方
向に一定のピッチで溝状の磁極歯が形成され、ステータ
基台１に固定されている。３はリニアガイドであり、互
いに平行な位置にステータ基台１に固定されている。４
はスライダであり、リニアガイド３に嵌合して（一方に
２台で計４台）走行する。５はムーバであり、スライダ
４に固定され、スリット板２−１とはエアギャップｇ１
にて対向している。５−１はコイルであり、ムーバ５に
複数個具備され、それらを順序よく励磁することにより
、ムーバ５はスリット板２−１との間に推力を発生し、
リニアガイド３にガイドされて走行する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の従
来の構成では、スリット板２−１の板厚以外の寸法変化
は無視できるが、スリット板２−１の板厚が部品毎で変
動したり、長手方向でゆるやかではあるが変化（ｔ１〜
ｔ２）するため、エアギャップｇ１が変化し（ばらつき
±３０μｍ程度）、その結果ムーバ５の推力がモータに
より変動したり、ムーバの位置により変化する（ばらつ
き±５０％）という問題点を有していた。
来の構成では、スリット板２−１の板厚以外の寸法変化
は無視できるが、スリット板２−１の板厚が部品毎で変
動したり、長手方向でゆるやかではあるが変化（ｔ１〜
ｔ２）するため、エアギャップｇ１が変化し（ばらつき
±３０μｍ程度）、その結果ムーバ５の推力がモータに
より変動したり、ムーバの位置により変化する（ばらつ
き±５０％）という問題点を有していた。
【０００４】本発明は、上記従来の問題点を解決するも
ので、スリット板の板厚が変化しても推力が安定して得
られるリニアパルスモータを提供することを目的とする
。
ので、スリット板の板厚が変化しても推力が安定して得
られるリニアパルスモータを提供することを目的とする
。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明のリニアパルスモータは、リニアガイドがスリ
ット板の上に固定されているものである。
に本発明のリニアパルスモータは、リニアガイドがスリ
ット板の上に固定されているものである。
【０００６】
【作用】この構成によって、スリット板の板厚が変動し
てもその上にリニアガイドが固定されているので、エア
ギャップの変動をきわめて小さくできる。
てもその上にリニアガイドが固定されているので、エア
ギャップの変動をきわめて小さくできる。
【０００７】
【実施例】以下本発明の一実施例について、図１を参照
しながら説明する。図２は図１における矢視図である。 図１および図２において、２はスリット板であり、長手
方向に一定のピッチで溝状の磁極歯が形成され、ステー
タ基台１に固定されている。３はリニアガイドであり、
スリット板２の上に互いに平行な位置に固定されている
。４はスライダであり、リニアガイド３に嵌合して（一
方に２台で計４台）走行する。５はムーバであり、スラ
イダ４に固定され、スリット板２とはエアギャップｇ２
にて対向している。５−１はコイルであり、ムーバ５に
複数個具備され、それらを順序よく励磁することにより
、ムーバ５はスリット板２との間に推力を発生し、リニ
アガイド３にガイドされて走行する。
しながら説明する。図２は図１における矢視図である。 図１および図２において、２はスリット板であり、長手
方向に一定のピッチで溝状の磁極歯が形成され、ステー
タ基台１に固定されている。３はリニアガイドであり、
スリット板２の上に互いに平行な位置に固定されている
。４はスライダであり、リニアガイド３に嵌合して（一
方に２台で計４台）走行する。５はムーバであり、スラ
イダ４に固定され、スリット板２とはエアギャップｇ２
にて対向している。５−１はコイルであり、ムーバ５に
複数個具備され、それらを順序よく励磁することにより
、ムーバ５はスリット板２との間に推力を発生し、リニ
アガイド３にガイドされて走行する。
【０００８】スリット板２の板厚ｔ３が変化しても（±
３０μｍ程度）、その他の部品の精度は数μｍであるた
め、エアギャップｇ２は５０〜６０μｍ程度確保され、
その結果推力の安定した（ばらつき±１０％程度）リニ
アパルスモータを得ることができる。
３０μｍ程度）、その他の部品の精度は数μｍであるた
め、エアギャップｇ２は５０〜６０μｍ程度確保され、
その結果推力の安定した（ばらつき±１０％程度）リニ
アパルスモータを得ることができる。
【０００９】以上のように本実施例によれば、スリット
板２を介してリニアガイド３をステータ基台１に固定す
ることにより、エアギャップｇ２のばらつきがきわめて
少なく、したがって推力のばらつきをきわめて少なくす
ることができる。
板２を介してリニアガイド３をステータ基台１に固定す
ることにより、エアギャップｇ２のばらつきがきわめて
少なく、したがって推力のばらつきをきわめて少なくす
ることができる。
【００１０】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明は
、エアギャップのばらつきがきわめて少なく、したがっ
て推力のばらつきがきわめて少ない優れたリニアパルス
モータを実現できるものである。
、エアギャップのばらつきがきわめて少なく、したがっ
て推力のばらつきがきわめて少ない優れたリニアパルス
モータを実現できるものである。
【図１】本発明の一実施例におけるリニアパルスモータ
斜視図
斜視図
【図２】図１における矢視図
【図３】従来のリニアパルスモータの斜視図
【図４】図
３における矢視図
３における矢視図
１ ステータ基台
２ スリット板
３ リニアガイド
４ スライダ
５ ムーバ
５−１ コイル
Claims (1)
- 【請求項１】ステータ基台と、このステータ基台上に固
定されている長手方向に一定のピッチで溝状の磁極歯が
形成されたスリット板と、このスリット板の上に固定さ
れたリニアガイドと、このリニアガイドに嵌合して長手
方向に走行可能なスライダと、このスライダに固定され
、前記スリット板と空隙をはさんで対向し、スリット板
の磁極歯との間に推力を発生するムーバとを備えたリニ
アパルスモータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3120966A JPH04347571A (ja) | 1991-05-27 | 1991-05-27 | リニアパルスモータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3120966A JPH04347571A (ja) | 1991-05-27 | 1991-05-27 | リニアパルスモータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04347571A true JPH04347571A (ja) | 1992-12-02 |
Family
ID=14799422
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3120966A Pending JPH04347571A (ja) | 1991-05-27 | 1991-05-27 | リニアパルスモータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04347571A (ja) |
-
1991
- 1991-05-27 JP JP3120966A patent/JPH04347571A/ja active Pending
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