JPH04349111A - 高純度リンの製造方法 - Google Patents
高純度リンの製造方法Info
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- JPH04349111A JPH04349111A JP15102491A JP15102491A JPH04349111A JP H04349111 A JPH04349111 A JP H04349111A JP 15102491 A JP15102491 A JP 15102491A JP 15102491 A JP15102491 A JP 15102491A JP H04349111 A JPH04349111 A JP H04349111A
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B25/00—Phosphorus; Compounds thereof
- C01B25/04—Purification of phosphorus
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- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は高純度リンの製造方法に
関する。さらに詳しくは、化合物半導体用原料として用
いられ、特に砒素の含有量の極めて少ない高純度リンの
製造方法に関する。
関する。さらに詳しくは、化合物半導体用原料として用
いられ、特に砒素の含有量の極めて少ない高純度リンの
製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】高純度リンは、ＩｎＰ、ＧａＰ、ＧａＡ
ｓｘＰ１−ｘ等の化合物半導体やシリコン半導体の添加
物として重要な材料である。特に最近、電子材料の高集
積化に伴い、リン中の不純物が一層問題となり、高純度
のリンが求められている。なかでも砒素は、リンと同族
であり、リン中の不純物のなかで最も除去しにくい元素
である。従来、リン中の砒素の除去法について種々検討
されており、酸、アルカリ洗浄法、蒸留精製法、合金減
圧蒸留法、水素処理精製法、硝酸洗浄法等が知られてい
る。 これらの諸方法のうち、合金減圧蒸留法は、リンから分
離除去され難い砒素やイオウをはじめ多くの不純物を除
去する方法として有力な方法であり、Ａｌ、Ｐｂ、Ｉｎ
、Ｔｌ等のように低融点でかつリン中の砒素やイオウと
合金化し易い金属の一種類もしくは二種類以上の混合物
をその金属の融点以上の温度で加熱して不純物と合金化
させ、次いで用いた金属の融点以下の温度でリンを減圧
蒸留する方法である（特公昭４４−１４６８５号）。
ｓｘＰ１−ｘ等の化合物半導体やシリコン半導体の添加
物として重要な材料である。特に最近、電子材料の高集
積化に伴い、リン中の不純物が一層問題となり、高純度
のリンが求められている。なかでも砒素は、リンと同族
であり、リン中の不純物のなかで最も除去しにくい元素
である。従来、リン中の砒素の除去法について種々検討
されており、酸、アルカリ洗浄法、蒸留精製法、合金減
圧蒸留法、水素処理精製法、硝酸洗浄法等が知られてい
る。 これらの諸方法のうち、合金減圧蒸留法は、リンから分
離除去され難い砒素やイオウをはじめ多くの不純物を除
去する方法として有力な方法であり、Ａｌ、Ｐｂ、Ｉｎ
、Ｔｌ等のように低融点でかつリン中の砒素やイオウと
合金化し易い金属の一種類もしくは二種類以上の混合物
をその金属の融点以上の温度で加熱して不純物と合金化
させ、次いで用いた金属の融点以下の温度でリンを減圧
蒸留する方法である（特公昭４４−１４６８５号）。
【０００３】
【発明の解決課題】従来の合金減圧蒸留法は、リンと金
属とを加熱処理する際に各金属の融点以上まで加熱する
必要があった。各金属の融点はＡｌが６６０℃、Ｐｂが
３２７℃、Ｉｎが１５７℃、Ｔｌが３０４℃、他にＢｉ
が２７１℃、Ｓｂが６３１℃等である。これらの金属の
なかでＡｌが最も砒素除去効果が高いが、Ａｌを用いる
場合には、約７００℃以上の温度で加熱処理するので、
リン化アルミニウムの生成や、高温によるリンの赤燐化
によって減圧蒸留時の回収率が低下する。また、装置も
耐熱性の機器が必要であり処理操作も繁雑で困難である
。本発明は、このような従来法の課題を解決した高純度
リンの製造方法を提供することを目的とする。
属とを加熱処理する際に各金属の融点以上まで加熱する
必要があった。各金属の融点はＡｌが６６０℃、Ｐｂが
３２７℃、Ｉｎが１５７℃、Ｔｌが３０４℃、他にＢｉ
が２７１℃、Ｓｂが６３１℃等である。これらの金属の
なかでＡｌが最も砒素除去効果が高いが、Ａｌを用いる
場合には、約７００℃以上の温度で加熱処理するので、
リン化アルミニウムの生成や、高温によるリンの赤燐化
によって減圧蒸留時の回収率が低下する。また、装置も
耐熱性の機器が必要であり処理操作も繁雑で困難である
。本発明は、このような従来法の課題を解決した高純度
リンの製造方法を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題の解決手段：発明の構成】本発明によれば、（イ
）非酸化性雰囲気で、粗製リンに金属を添加して加熱し
、不純物と合金化した後に、添加金属の融点以下の温度
に加熱してリンを減圧蒸留して高純度リンを得るリンの
減圧蒸留法において、金属と共に金属塩化物を触媒とし
て添加し、３００℃以下の温度に加熱して合金化した後
に減圧蒸留することを特徴とする高純度リンの製造方法
が提供される。また、本発明によれば、（ロ）非酸化性
雰囲気で、粗製リンに金属を添加して加熱し、不純物と
合金化した後に、添加金属の融点以下の温度に加熱して
リンを減圧蒸留して精製するリンの減圧蒸留法において
、金属に代えて金属塩化物を粗製リンに添加し、３００
℃以下の温度に加熱して合金化した後に減圧蒸留するこ
とを特徴とする高純度リンの製造方法が提供される。
）非酸化性雰囲気で、粗製リンに金属を添加して加熱し
、不純物と合金化した後に、添加金属の融点以下の温度
に加熱してリンを減圧蒸留して高純度リンを得るリンの
減圧蒸留法において、金属と共に金属塩化物を触媒とし
て添加し、３００℃以下の温度に加熱して合金化した後
に減圧蒸留することを特徴とする高純度リンの製造方法
が提供される。また、本発明によれば、（ロ）非酸化性
雰囲気で、粗製リンに金属を添加して加熱し、不純物と
合金化した後に、添加金属の融点以下の温度に加熱して
リンを減圧蒸留して精製するリンの減圧蒸留法において
、金属に代えて金属塩化物を粗製リンに添加し、３００
℃以下の温度に加熱して合金化した後に減圧蒸留するこ
とを特徴とする高純度リンの製造方法が提供される。
【０００５】本発明は合金減圧蒸留法によるリンの精製
において、リンの合金化反応の触媒として金属塩化物を
使用する。金属塩化物としては塩化ナトリウム（ＮａＣ
ｌ）、塩化第一銅（ＣｕＣｌ）、塩第二銅（ＣｕＣｌ２
）、塩化アルミニウム（ＡｌＣｌ３）、塩化亜鉛（Ｚｎ
Ｃｌ２）、塩化鉛（ＰｂＣｌ２）からなる群から選ばれ
る一種または二種以上の混合物が用いられる。反応触媒
として添加される金属塩化物は、例えば添加金属として
銅、金属塩化物として塩化第一銅を用いた場合、次式に
示すように、銅とリン中の砒素とによる砒化銅の生成が
促進される。
において、リンの合金化反応の触媒として金属塩化物を
使用する。金属塩化物としては塩化ナトリウム（ＮａＣ
ｌ）、塩化第一銅（ＣｕＣｌ）、塩第二銅（ＣｕＣｌ２
）、塩化アルミニウム（ＡｌＣｌ３）、塩化亜鉛（Ｚｎ
Ｃｌ２）、塩化鉛（ＰｂＣｌ２）からなる群から選ばれ
る一種または二種以上の混合物が用いられる。反応触媒
として添加される金属塩化物は、例えば添加金属として
銅、金属塩化物として塩化第一銅を用いた場合、次式に
示すように、銅とリン中の砒素とによる砒化銅の生成が
促進される。
【化１】Ａｓ＋３ＣｕＣｌ→ＡｓＣｌ３＋Ｃｕ６Ｃｕ＋
ＡｓＣｌ３→Ｃｕ３Ａｓ＋３ＣｕＣｌ↑反応触媒として
添加される金属塩化物は、添加金属と同一金属の塩化物
であることが不純物の混入を避ける点から好ましい。金
属塩化物の添加量は、リン１００重量部に対して０．０
０１％〜１０％重量部であるのが好ましい。金属塩化物
が０．００１重量部未満では触媒効果が発現し難く、一
方１０重量部を越えても触媒効果は変わらない。
ＡｓＣｌ３→Ｃｕ３Ａｓ＋３ＣｕＣｌ↑反応触媒として
添加される金属塩化物は、添加金属と同一金属の塩化物
であることが不純物の混入を避ける点から好ましい。金
属塩化物の添加量は、リン１００重量部に対して０．０
０１％〜１０％重量部であるのが好ましい。金属塩化物
が０．００１重量部未満では触媒効果が発現し難く、一
方１０重量部を越えても触媒効果は変わらない。
【０００６】本発明において脱砒剤等として使用される
添加金属は従来の合金減圧蒸留法で用いられるものであ
り、リンと合金化し易く、かつ融点の低いものが好まし
い。例えば銅、アルミニウム、亜鉛、インジウム、鉛、
アンチモン、ビスマス、タリウム等であり、これらの金
属は単独でもよく、また二種以上の混合物であってもよ
い。上記金属の添加量は、リン中の砒素の含有量にもよ
るが、通常、重量比でリン１００に対して１〜１０００
の範囲、好ましくは１０〜１００の範囲である。リン１
００に対する金属の重量比が１未満では砒化金属の生成
に不十分で砒素の除去率が低下して好ましくない。また
リン１００に対する金属の重量比が１０００を越えると
黄リンの収率が低下するので好ましくない。
添加金属は従来の合金減圧蒸留法で用いられるものであ
り、リンと合金化し易く、かつ融点の低いものが好まし
い。例えば銅、アルミニウム、亜鉛、インジウム、鉛、
アンチモン、ビスマス、タリウム等であり、これらの金
属は単独でもよく、また二種以上の混合物であってもよ
い。上記金属の添加量は、リン中の砒素の含有量にもよ
るが、通常、重量比でリン１００に対して１〜１０００
の範囲、好ましくは１０〜１００の範囲である。リン１
００に対する金属の重量比が１未満では砒化金属の生成
に不十分で砒素の除去率が低下して好ましくない。また
リン１００に対する金属の重量比が１０００を越えると
黄リンの収率が低下するので好ましくない。
【０００７】粗製リンに金属と金属塩化物を添加した後
に、３００℃以下に加熱してリン中の砒素や硫黄と添加
金属とを合金化する。金属塩化物を添加しない従来の合
金減圧蒸留法においては、添加した金属の融点以上の高
い温度（４００〜１０００℃）まで加熱して反応させる
必要があったが、本発明においては、金属塩化物を合金
化反応触媒として使用することにより、３００℃以下の
比較的低い温度で合金化させることができる。本発明の
方法において好ましい温度は５０〜３００℃の範囲であ
る。反応温度が５０℃より低くなると砒素等の合金化が
不充分となり砒素の除去率が低下するため好ましくない
。また３００℃を越えると、反応途中で黄リンの赤リン
化が進み、減圧蒸留の際の黄リンの回収率が低下するの
で好ましくない。
に、３００℃以下に加熱してリン中の砒素や硫黄と添加
金属とを合金化する。金属塩化物を添加しない従来の合
金減圧蒸留法においては、添加した金属の融点以上の高
い温度（４００〜１０００℃）まで加熱して反応させる
必要があったが、本発明においては、金属塩化物を合金
化反応触媒として使用することにより、３００℃以下の
比較的低い温度で合金化させることができる。本発明の
方法において好ましい温度は５０〜３００℃の範囲であ
る。反応温度が５０℃より低くなると砒素等の合金化が
不充分となり砒素の除去率が低下するため好ましくない
。また３００℃を越えると、反応途中で黄リンの赤リン
化が進み、減圧蒸留の際の黄リンの回収率が低下するの
で好ましくない。
【０００８】次に、本発明の他の製造方法において、金
属塩化物自身が脱砒剤等として利用できることが見い出
された。本願の第二発明は、金属に代えて金属塩化物を
添加し、リン中の砒素と反応させて砒化金属等を生成さ
せた後、減圧蒸留して砒素等を除去する方法に関する。 金属塩化物としては、砒素と合金化しやすい金属の塩化
物が用いられる。具体的には、塩化ナトリウム（ＮａＣ
ｌ）、塩化第一銅（ＣｕＣｌ）、塩第二銅（ＣｕＣｌ２
）、塩化アルミニウム（ＡｌＣｌ３）、塩化亜鉛（Ｚｎ
Ｃｌ２）等が用いられる。これらの金属塩化物はそれぞ
れ単独で使用してもよく、また二種以上の混合物で使用
してもよい。これらの金属塩化物を金属の代わりに使用
して反応させることにより３００℃以下の低い温度でリ
ン中の砒素を除去することができる。
属塩化物自身が脱砒剤等として利用できることが見い出
された。本願の第二発明は、金属に代えて金属塩化物を
添加し、リン中の砒素と反応させて砒化金属等を生成さ
せた後、減圧蒸留して砒素等を除去する方法に関する。 金属塩化物としては、砒素と合金化しやすい金属の塩化
物が用いられる。具体的には、塩化ナトリウム（ＮａＣ
ｌ）、塩化第一銅（ＣｕＣｌ）、塩第二銅（ＣｕＣｌ２
）、塩化アルミニウム（ＡｌＣｌ３）、塩化亜鉛（Ｚｎ
Ｃｌ２）等が用いられる。これらの金属塩化物はそれぞ
れ単独で使用してもよく、また二種以上の混合物で使用
してもよい。これらの金属塩化物を金属の代わりに使用
して反応させることにより３００℃以下の低い温度でリ
ン中の砒素を除去することができる。
【０００９】金属塩化物の添加量は重量比でリン１００
に対して０．１〜１０００、好ましくは１〜１００の範
囲である。金属塩化物の量がリン１００に対して０．１
未満では砒化金属の生成が十分でなく、砒素の除去率が
低下して好ましくない。またリン１００に対する重量比
が１０００を越えると収率が悪く、砒素の除去率も上が
らない。金属塩化物をリンに添加して反応させるときの
好ましい温度は３００℃以下、特に５０〜３００℃の範
囲が好適である。反応温度が５０℃より低いと砒素の除
去率が低下するため好ましくない。また３００℃を越え
ると、反応途中で黄リンの赤リン化が進み、減圧蒸留に
おいて黄リンの回収率が低下するので好ましくない。
に対して０．１〜１０００、好ましくは１〜１００の範
囲である。金属塩化物の量がリン１００に対して０．１
未満では砒化金属の生成が十分でなく、砒素の除去率が
低下して好ましくない。またリン１００に対する重量比
が１０００を越えると収率が悪く、砒素の除去率も上が
らない。金属塩化物をリンに添加して反応させるときの
好ましい温度は３００℃以下、特に５０〜３００℃の範
囲が好適である。反応温度が５０℃より低いと砒素の除
去率が低下するため好ましくない。また３００℃を越え
ると、反応途中で黄リンの赤リン化が進み、減圧蒸留に
おいて黄リンの回収率が低下するので好ましくない。
【００１０】本発明において、金属および金属塩化物触
媒を添加する方法と金属塩化物のみを脱砒剤等として添
加する方法の何れの方法においても非酸化性雰囲気中で
加熱される。加熱反応時間は１０時間以内で十分である
。 反応終了後減圧蒸留によりリンを留出させて回収する。 蒸留条件は従来の合金減圧蒸留法を適用することができ
、例えば１００℃、０．１ｍｍＨｇの減圧下で高純度の
リンが留出される。
媒を添加する方法と金属塩化物のみを脱砒剤等として添
加する方法の何れの方法においても非酸化性雰囲気中で
加熱される。加熱反応時間は１０時間以内で十分である
。 反応終了後減圧蒸留によりリンを留出させて回収する。 蒸留条件は従来の合金減圧蒸留法を適用することができ
、例えば１００℃、０．１ｍｍＨｇの減圧下で高純度の
リンが留出される。
【００１１】
【実施例１〜２１】５１ｐｐｍの砒素を含む粗製黄リン
１００ｇに表１に掲げた添加金属１００ｇと金属塩化物
１０ｇとを加え、非酸化性雰囲気中で２００℃、５時間
反応させた後放冷し、０．１ｍｍＨｇの減圧下で蒸留し
て１００℃でリンを回収した。得られた精製リン中の砒
素含有量（ｐｐｍ）およびこの処理による砒素除去率（
％）を表１に示した。
１００ｇに表１に掲げた添加金属１００ｇと金属塩化物
１０ｇとを加え、非酸化性雰囲気中で２００℃、５時間
反応させた後放冷し、０．１ｍｍＨｇの減圧下で蒸留し
て１００℃でリンを回収した。得られた精製リン中の砒
素含有量（ｐｐｍ）およびこの処理による砒素除去率（
％）を表１に示した。
【００１２】
【比較例１〜５】金属塩化物を添加せず、添加金属だけ
を上記実施例と同一の粗製リンに加え、他の条件は実施
例１〜２１と同様にしてリンを回収した。得られたリン
の砒素含有量と砒素除去率とを表１に併せて示した。
を上記実施例と同一の粗製リンに加え、他の条件は実施
例１〜２１と同様にしてリンを回収した。得られたリン
の砒素含有量と砒素除去率とを表１に併せて示した。
【００１３】
【表１】
【００１４】
【実施例２２〜２４】添加金属として銅、金属塩化物と
して塩化第一銅を実施例１〜２１と同一の粗製リンに表
２に掲げた量を添加して、非酸化性雰囲気中、１００、
２００、３００℃の温度でそれぞれ５時間反応させて放
冷し、実施例１〜２１と同一の条件で減圧蒸留してリン
を回収した。 得られた精製リンの砒素含有量と砒素除去率を表２に併
せて示した。
して塩化第一銅を実施例１〜２１と同一の粗製リンに表
２に掲げた量を添加して、非酸化性雰囲気中、１００、
２００、３００℃の温度でそれぞれ５時間反応させて放
冷し、実施例１〜２１と同一の条件で減圧蒸留してリン
を回収した。 得られた精製リンの砒素含有量と砒素除去率を表２に併
せて示した。
【００１５】
【比較例６】塩化第一銅を添加しないこと以外は実施例
２３と全く同様にしてリンを得た。そのリンの砒素含有
量と砒素除去率を表２に併せて示した。
２３と全く同様にしてリンを得た。そのリンの砒素含有
量と砒素除去率を表２に併せて示した。
【００１６】
【比較例７】反応温度を８００℃としたほかは比較例６
と同一条件でリンを得た。この精製リンの砒素分析結果
を表２に併記した。この例は８００℃という高い温度で
脱砒素を行なう従来法である。
と同一条件でリンを得た。この精製リンの砒素分析結果
を表２に併記した。この例は８００℃という高い温度で
脱砒素を行なう従来法である。
【００１７】
【表２】
【００１８】
【実施例２５〜２８】砒素の含有量が５１ｐｐｍの粗成
黄リン１００ｇに表３に表示した金属塩化物１００ｇを
脱砒剤として添加し、非酸化性雰囲気中 ２００℃で５
時間加熱した後、１００ ℃、０．１ｍｍＨｇで減圧蒸
留して精製リンを得た。この精製リンの砒素含有量と砒
素除去率とを表３に示した。
黄リン１００ｇに表３に表示した金属塩化物１００ｇを
脱砒剤として添加し、非酸化性雰囲気中 ２００℃で５
時間加熱した後、１００ ℃、０．１ｍｍＨｇで減圧蒸
留して精製リンを得た。この精製リンの砒素含有量と砒
素除去率とを表３に示した。
【００１９】
【比較例８〜１１】実施例２５〜２８で使用した粗製リ
ン１００ｇに表３に表示した金属を脱砒剤として添加し
、実施例２５〜２８と同一条件で加熱、減圧蒸留を行な
って精製リンを得た。この精製リンの砒素含有量および
砒素除去率を表３に併記した。実施例２５〜２８と比較
例８〜１１との結果を比較すれば、脱砒剤として金属塩
化物が金属より優れていることが確認される。
ン１００ｇに表３に表示した金属を脱砒剤として添加し
、実施例２５〜２８と同一条件で加熱、減圧蒸留を行な
って精製リンを得た。この精製リンの砒素含有量および
砒素除去率を表３に併記した。実施例２５〜２８と比較
例８〜１１との結果を比較すれば、脱砒剤として金属塩
化物が金属より優れていることが確認される。
【００２０】
【表３】
【００２１】
【発明の効果】本発明は、リンの合金化蒸留法において
、リンの合金化の反応触媒として金属塩化物を添加する
ことにより、あるいは金属塩化物を脱砒剤等として用い
ることにより、合金化の反応効率を高め、従来の添加金
属の融点以上（４００〜１０００℃）を要した反応温度
を３００℃以下の低い温度で可能とし、且つ砒素除去効
率を向上させ、化合物半導体に好適な高純度リンを効率
よく得ることができる。
、リンの合金化の反応触媒として金属塩化物を添加する
ことにより、あるいは金属塩化物を脱砒剤等として用い
ることにより、合金化の反応効率を高め、従来の添加金
属の融点以上（４００〜１０００℃）を要した反応温度
を３００℃以下の低い温度で可能とし、且つ砒素除去効
率を向上させ、化合物半導体に好適な高純度リンを効率
よく得ることができる。
Claims (3)
- 【請求項１】非酸化性雰囲気で、粗製リンに金属を添加
して加熱し、不純物と合金化した後に、添加金属の融点
以下の温度に加熱してリンを減圧蒸留して高純度リンを
得るリンの減圧蒸留法において、金属と共に金属塩化物
を触媒として添加し、３００℃以下の温度に加熱して合
金化した後に減圧蒸留することを特徴とする高純度リン
の製造方法。 - 【請求項２】非酸化性雰囲気で、粗製リンに金属を添加
して加熱し、不純物と合金化した後に、添加金属の融点
以下の温度に加熱してリンを減圧蒸留し精製するリンの
減圧蒸留法において、金属に代えて金属塩化物を粗製リ
ンに添加し、３００℃以下の温度に加熱して合金化した
後に減圧蒸留することを特徴とする高純度リンの製造方
法。 - 【請求項３】金属塩化物が、塩化ナトリウム、塩化第一
銅、塩化アルミニウム、塩化亜鉛、塩化鉛の群から選ば
れる一種または二種以上の混合物である請求項１又は２
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15102491A JP3206018B2 (ja) | 1991-05-27 | 1991-05-27 | 高純度リンの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15102491A JP3206018B2 (ja) | 1991-05-27 | 1991-05-27 | 高純度リンの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04349111A true JPH04349111A (ja) | 1992-12-03 |
| JP3206018B2 JP3206018B2 (ja) | 2001-09-04 |
Family
ID=15509638
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15102491A Expired - Fee Related JP3206018B2 (ja) | 1991-05-27 | 1991-05-27 | 高純度リンの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3206018B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6146610A (en) * | 1998-06-05 | 2000-11-14 | Fmc Corporation | Process for removal of arsenic from elemental phosphorus |
| WO2009117583A3 (en) * | 2008-03-20 | 2009-11-19 | Sigma-Aldrich, Co | Purification and preparation of phosphorus-containing compounds |
| CN116946988A (zh) * | 2023-09-05 | 2023-10-27 | 昆明理工大学 | 一种真空制备红磷的方法 |
-
1991
- 1991-05-27 JP JP15102491A patent/JP3206018B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6146610A (en) * | 1998-06-05 | 2000-11-14 | Fmc Corporation | Process for removal of arsenic from elemental phosphorus |
| WO2009117583A3 (en) * | 2008-03-20 | 2009-11-19 | Sigma-Aldrich, Co | Purification and preparation of phosphorus-containing compounds |
| CN101977920A (zh) * | 2008-03-20 | 2011-02-16 | 西格玛-奥吉奇公司 | 含磷化合物的纯化和制备 |
| CN116946988A (zh) * | 2023-09-05 | 2023-10-27 | 昆明理工大学 | 一种真空制备红磷的方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3206018B2 (ja) | 2001-09-04 |
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