JPH04351222A - ボンディングワイヤ巻線、ボンディングワイヤの巻取方法及びその巻取装置 - Google Patents
ボンディングワイヤ巻線、ボンディングワイヤの巻取方法及びその巻取装置Info
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- JPH04351222A JPH04351222A JP2401700A JP40170090A JPH04351222A JP H04351222 A JPH04351222 A JP H04351222A JP 2401700 A JP2401700 A JP 2401700A JP 40170090 A JP40170090 A JP 40170090A JP H04351222 A JPH04351222 A JP H04351222A
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- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H2701/00—Handled material; Storage means
- B65H2701/30—Handled filamentary material
- B65H2701/36—Wires
- B65H2701/361—Semiconductor bonding wires
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/075—Connecting or disconnecting of bond wires
- H10W72/07502—Connecting or disconnecting of bond wires using an auxiliary member
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- Filamentary Materials, Packages, And Safety Devices Therefor (AREA)
- Winding, Rewinding, Material Storage Devices (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体素子のボンディ
ングワイヤ、即ち半導体素子のチップ電極と外部リード
部とを接続するために使用されるワイヤをスプールへ巻
取って得られるボンディングワイヤ巻線、該ボンディン
グワイヤ巻線を製造するために用いられるボンディング
ワイヤの巻取方法、及び該ボンディングワイヤ巻線を製
造するために用いられる巻取装置に関する。
ングワイヤ、即ち半導体素子のチップ電極と外部リード
部とを接続するために使用されるワイヤをスプールへ巻
取って得られるボンディングワイヤ巻線、該ボンディン
グワイヤ巻線を製造するために用いられるボンディング
ワイヤの巻取方法、及び該ボンディングワイヤ巻線を製
造するために用いられる巻取装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体素子のボンディングワイヤ
（以下、「ワイヤ」と略称する。）をスプールに巻取る
場合には、一層状の整列巻きにしていた。
（以下、「ワイヤ」と略称する。）をスプールに巻取る
場合には、一層状の整列巻きにしていた。
【０００３】ところが、最近、ボンディング速度の増加
に伴い、ボンディング作業の作業性向上のため、スプー
ル巻線の長さを増加する必要が生じた。そのため、最近
、スプールにワイヤを往復して多層状に巻取る、往復多
層状の巻取方法が用いられている。
に伴い、ボンディング作業の作業性向上のため、スプー
ル巻線の長さを増加する必要が生じた。そのため、最近
、スプールにワイヤを往復して多層状に巻取る、往復多
層状の巻取方法が用いられている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記のようにスプール
にワイヤを往復多層状に巻取る場合、ワイヤを整列巻き
、即ち隣接するワイヤとワイヤの間隙が０となる巻き方
としたのでは巻線がほぐれにくくなり断線の原因となる
ため、ワイヤは所定のピッチを存して巻取られる。とこ
ろが、この場合、往側若しくは復側において、ｎ回目と
（ｎ＋１）回目の巻線を平行若しくは平行に近い状態と
なるようにすると、（ｎ＋１）回目の巻線がｎ回目の巻
線間にはさみ込まれてしまい、ボンディング作業時にく
り出し不良が生ずるという欠陥が生じた。本発明は、上
記欠陥を除去することを目的とするものである。
にワイヤを往復多層状に巻取る場合、ワイヤを整列巻き
、即ち隣接するワイヤとワイヤの間隙が０となる巻き方
としたのでは巻線がほぐれにくくなり断線の原因となる
ため、ワイヤは所定のピッチを存して巻取られる。とこ
ろが、この場合、往側若しくは復側において、ｎ回目と
（ｎ＋１）回目の巻線を平行若しくは平行に近い状態と
なるようにすると、（ｎ＋１）回目の巻線がｎ回目の巻
線間にはさみ込まれてしまい、ボンディング作業時にく
り出し不良が生ずるという欠陥が生じた。本発明は、上
記欠陥を除去することを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
スプールにボンディングワイヤを一端から他端へ、さら
に他端から一端へと往復させて巻取り、これを繰り返し
て多層状にしたボンディングワイヤ巻線において、往復
各側のｎ回目と（ｎ＋１）回目のボンディングワイヤの
交差角を０．０３度以上としたボンディングワイヤ巻線
である。
スプールにボンディングワイヤを一端から他端へ、さら
に他端から一端へと往復させて巻取り、これを繰り返し
て多層状にしたボンディングワイヤ巻線において、往復
各側のｎ回目と（ｎ＋１）回目のボンディングワイヤの
交差角を０．０３度以上としたボンディングワイヤ巻線
である。
【０００６】請求項２記載の発明は、前記交差角を０．
０３度以上の一定値とした請求項１記載のボンディング
ワイヤ巻線である。
０３度以上の一定値とした請求項１記載のボンディング
ワイヤ巻線である。
【０００７】請求項３記載の発明は、前記交差角を０．
０３度以上の不定値とした請求項１記載のボンディング
ワイヤ巻線である。
０３度以上の不定値とした請求項１記載のボンディング
ワイヤ巻線である。
【０００８】請求項４記載の発明は、スプールにボンデ
ィングワイヤを一端から他端へ、さらに他端から一端へ
と往復させて巻取り、これを繰り返して多層状にするボ
ンディングワイヤの巻取方法において、往復各側のｎ回
目と（ｎ＋１）回目のボンディングワイヤの交差角を０
．０３度以上とするボンディングワイヤの巻取方法であ
る。
ィングワイヤを一端から他端へ、さらに他端から一端へ
と往復させて巻取り、これを繰り返して多層状にするボ
ンディングワイヤの巻取方法において、往復各側のｎ回
目と（ｎ＋１）回目のボンディングワイヤの交差角を０
．０３度以上とするボンディングワイヤの巻取方法であ
る。
【０００９】請求項５記載の発明は、前記交差角を０．
０３度以上の一定値とする請求項４記載のボンディング
ワイヤの巻取方法である。
０３度以上の一定値とする請求項４記載のボンディング
ワイヤの巻取方法である。
【００１０】請求項６記載の発明は、前記交差角を０．
０３度以上の不定値とする請求項４記載のボンディング
ワイヤの巻取方法である。
０３度以上の不定値とする請求項４記載のボンディング
ワイヤの巻取方法である。
【００１１】請求項７記載の発明は、スプールを該スプ
ールの軸回りに回転可能に支持するスプール支持部と、
前記スプールの近傍において、ボンディングワイヤを通
過可能に支持するワイヤ支持部と、前記スプールを回転
駆動する回転駆動部と、前記ワイヤ支持部と前記スプー
ルのうちの少なくとも一方を、スプールの軸方向に、他
方に対して接近又は離隔せしめるように横送り移動させ
る横送り駆動部と、前記回転駆動部の回転運動及び前記
横送り駆動部の横送り運動を制御する制御部とを備え、
前記回転駆動部及び前記横送り駆動部を駆動制御しつつ
スプールにワイヤを往復させて巻取るようにしたボンデ
ィングワイヤ巻取装置において、前記制御部は、前記横
送り駆動部の横送り移動速度を調整して、往復各側のｎ
回目と（ｎ＋１）回目のボンディングワイヤの交差角を
０．０３度以上とする半導体素子のボンディングワイヤ
の巻取装置である。
ールの軸回りに回転可能に支持するスプール支持部と、
前記スプールの近傍において、ボンディングワイヤを通
過可能に支持するワイヤ支持部と、前記スプールを回転
駆動する回転駆動部と、前記ワイヤ支持部と前記スプー
ルのうちの少なくとも一方を、スプールの軸方向に、他
方に対して接近又は離隔せしめるように横送り移動させ
る横送り駆動部と、前記回転駆動部の回転運動及び前記
横送り駆動部の横送り運動を制御する制御部とを備え、
前記回転駆動部及び前記横送り駆動部を駆動制御しつつ
スプールにワイヤを往復させて巻取るようにしたボンデ
ィングワイヤ巻取装置において、前記制御部は、前記横
送り駆動部の横送り移動速度を調整して、往復各側のｎ
回目と（ｎ＋１）回目のボンディングワイヤの交差角を
０．０３度以上とする半導体素子のボンディングワイヤ
の巻取装置である。
【００１２】請求項８記載の発明は、前記制御部は、前
記交差角を０．０３度以上の一定値とするように前記横
送り駆動部の横送り移動速度を調整する請求項７記載の
ボンディングワイヤの巻取装置である。
記交差角を０．０３度以上の一定値とするように前記横
送り駆動部の横送り移動速度を調整する請求項７記載の
ボンディングワイヤの巻取装置である。
【００１３】請求項９記載の発明は、前記制御部は、前
記交差角を０．０３度以上の不定値とするように前記横
送り駆動部の横送り移動速度を調整する請求項７記載の
ボンディングワイヤの巻取装置である。
記交差角を０．０３度以上の不定値とするように前記横
送り駆動部の横送り移動速度を調整する請求項７記載の
ボンディングワイヤの巻取装置である。
【００１４】
【作用】本発明では、スプールにワイヤを巻取る際、往
側若しくは復側において、ｎ回目と（ｎ＋１）回目の巻
線の交差角が０．０３度以上となっているため、（ｎ＋
１）回目の巻線がｎ回目の巻線間にはさまれることが防
止される。
側若しくは復側において、ｎ回目と（ｎ＋１）回目の巻
線の交差角が０．０３度以上となっているため、（ｎ＋
１）回目の巻線がｎ回目の巻線間にはさまれることが防
止される。
【００１５】
（第１実施例） 以下に本発明の第１実施例を添付図
面を参照して説明する。まず、ワイヤをスプールに巻取
る巻取装置の基本構成について説明する。
面を参照して説明する。まず、ワイヤをスプールに巻取
る巻取装置の基本構成について説明する。
【００１６】図２において、符号２は回転駆動軸であり
、巻取装置本体４の内部に配設されたサーボモータの出
力軸に連結されている。この回転駆動軸２の端部には、
スプール６が装着され、前記サーボモータの回転により
、スプール６が回転駆動されるようになっている。
、巻取装置本体４の内部に配設されたサーボモータの出
力軸に連結されている。この回転駆動軸２の端部には、
スプール６が装着され、前記サーボモータの回転により
、スプール６が回転駆動されるようになっている。
【００１７】前記巻取装着本体４の内部には、往復駆動
機構（サーボ機構）が配設され、該往復駆動機構には、
軸８の基端部が連結されている。また、軸８の先端部に
は、ワイヤ１４を通過可能に支持するローラ１０が回転
自在に取着されている。そして該軸８は、前記往復駆動
機構により、スプール６の軸方向（図２の矢印ａ方向及
び矢印ｂ方向）に往復運動を行うように構成されている
。
機構（サーボ機構）が配設され、該往復駆動機構には、
軸８の基端部が連結されている。また、軸８の先端部に
は、ワイヤ１４を通過可能に支持するローラ１０が回転
自在に取着されている。そして該軸８は、前記往復駆動
機構により、スプール６の軸方向（図２の矢印ａ方向及
び矢印ｂ方向）に往復運動を行うように構成されている
。
【００１８】そして、前記巻取装置本体４の内部に配設
された、マイクロコンピュータよりなる制御部１２が、
スプール６の回転運動と軸８の往復運動とを連動すべく
制御することにより、スプール６の一端部（フランジ部
）にその巻始部を止着されたワイヤ１４は、該スプール
６に往復多層状に巻取られてゆく。
された、マイクロコンピュータよりなる制御部１２が、
スプール６の回転運動と軸８の往復運動とを連動すべく
制御することにより、スプール６の一端部（フランジ部
）にその巻始部を止着されたワイヤ１４は、該スプール
６に往復多層状に巻取られてゆく。
【００１９】次に、上記巻取装置によるワイヤ１４の巻
線形態の一例を図１を参照して説明する。
線形態の一例を図１を参照して説明する。
【００２０】ワイヤ１４は、その巻始部をスプール６の
一端部に止着された後、スプール６が等速回転しながら
軸８がスプール６の軸方向に往復運動することにより、
スプール６に巻き込まれる。
一端部に止着された後、スプール６が等速回転しながら
軸８がスプール６の軸方向に往復運動することにより、
スプール６に巻き込まれる。
【００２１】ここで、軸８が一方の側（図２の矢印ａ方
向）に送られるときにスプール６に巻取られたワイヤを
往側巻線とし、逆に、軸８が他方の側（図２の矢印ｂ方
向）に送られるときにスプール６に巻取られたワイヤを
復側巻線とし、また、平面視したときに往側若しくは復
側の巻線がなす直線と、スプール６の軸方向の直線とが
成す鋭角θ（図２参照）を巻角と定義する。
向）に送られるときにスプール６に巻取られたワイヤを
往側巻線とし、逆に、軸８が他方の側（図２の矢印ｂ方
向）に送られるときにスプール６に巻取られたワイヤを
復側巻線とし、また、平面視したときに往側若しくは復
側の巻線がなす直線と、スプール６の軸方向の直線とが
成す鋭角θ（図２参照）を巻角と定義する。
【００２２】図１において、二点鎖線２０はスプール６
に巻取られたｎ回目の往側巻線を、破線２２は同じくｎ
回目の復側巻線を、実線２４は（ｎ＋１）回目の往側巻
線を、それぞれ示すものとする。
に巻取られたｎ回目の往側巻線を、破線２２は同じくｎ
回目の復側巻線を、実線２４は（ｎ＋１）回目の往側巻
線を、それぞれ示すものとする。
【００２３】本実施例にかかるワイヤの巻取方法は、初
期ピッチとして、１回目の往側巻線のピッチＰ１及び１
回目の復側巻線のピッチＰ２を与えた後、ｎ回目（ｎは
自然数）の往側巻線と（ｎ＋１）回目の往側巻線の交差
角（図１のω）が０．０３度以上の一定値（例えば０．
１度）となり、同様にｎ回目の復側巻線と（ｎ＋１）回
目の復側巻線の交差角も０．０３度以上の一定値となる
ように順次巻取っていくものである。
期ピッチとして、１回目の往側巻線のピッチＰ１及び１
回目の復側巻線のピッチＰ２を与えた後、ｎ回目（ｎは
自然数）の往側巻線と（ｎ＋１）回目の往側巻線の交差
角（図１のω）が０．０３度以上の一定値（例えば０．
１度）となり、同様にｎ回目の復側巻線と（ｎ＋１）回
目の復側巻線の交差角も０．０３度以上の一定値となる
ように順次巻取っていくものである。
【００２４】上記において、交差角を一定にするとは、
往側及び復側の、（ｎ＋１）回目の巻線の巻角をｎ回目
の巻線の巻角より、（イ）交差角度分常に増加させる場
合と、（ロ）交差角度分常に減少させる場合と、（ハ）
交差角度分の増加、減少を交互に繰り返す場合とがある
が、いずれであってもよい。
往側及び復側の、（ｎ＋１）回目の巻線の巻角をｎ回目
の巻線の巻角より、（イ）交差角度分常に増加させる場
合と、（ロ）交差角度分常に減少させる場合と、（ハ）
交差角度分の増加、減少を交互に繰り返す場合とがある
が、いずれであってもよい。
【００２５】上記の如くワイヤを巻取ることにより、往
側若しくは復側において、（ｎ＋１）回目の巻線がｎ回
目の巻線間にはさみ込まれることを防止することができ
、ワイヤの送りを円滑にして、従来以上のスプール巻線
の長さの増長が可能となる。
側若しくは復側において、（ｎ＋１）回目の巻線がｎ回
目の巻線間にはさみ込まれることを防止することができ
、ワイヤの送りを円滑にして、従来以上のスプール巻線
の長さの増長が可能となる。
【００２６】なお、上記（イ）、（ロ）、（ハ）の各設
定において、交差角を変化させてワイヤを巻取った場合
の、巻きほどき試験の結果を、表１に示す。表１は、直
径５０．８のスプールに各条件において長さ１０００
のワイヤを巻き取った後、該スプールを、ボンディング
時におけるスプールの繰り出し速度とほぼ同一の速度（
周速約０．０１５ｍ／ｓ）でワイヤがほどける方向に回
転させ、これにより巻きほどき性の有無を目視により判
定したものである。また、目視による判定は、ワイヤが
、図３における状態Ｘのように垂下した状態のときを正
常と、同図における状態Ｙのようにワイヤの巻きほどき
端が回転方向に引きずられた状態を異常と、それぞれ判
定する。
定において、交差角を変化させてワイヤを巻取った場合
の、巻きほどき試験の結果を、表１に示す。表１は、直
径５０．８のスプールに各条件において長さ１０００
のワイヤを巻き取った後、該スプールを、ボンディング
時におけるスプールの繰り出し速度とほぼ同一の速度（
周速約０．０１５ｍ／ｓ）でワイヤがほどける方向に回
転させ、これにより巻きほどき性の有無を目視により判
定したものである。また、目視による判定は、ワイヤが
、図３における状態Ｘのように垂下した状態のときを正
常と、同図における状態Ｙのようにワイヤの巻きほどき
端が回転方向に引きずられた状態を異常と、それぞれ判
定する。
【００２７】
【表１】
【００２８】なお、表１において、（イ）の場合の初期
ピッチＰ１、Ｐ２は、１回目の往側巻線の巻角（以下、
「初期往側巻角」という。）が３．５度、同復側巻線の
巻角（以下、「初期復側巻角」という。）が３．５度と
なるように与えている。同様に、（ロ）の場合の初期往
側巻角は３．５度、初期復側巻角は３．５度であり、（
ハ）の場合の初期往側巻角は３．５度、初期復側巻角は
３．５度である。
ピッチＰ１、Ｐ２は、１回目の往側巻線の巻角（以下、
「初期往側巻角」という。）が３．５度、同復側巻線の
巻角（以下、「初期復側巻角」という。）が３．５度と
なるように与えている。同様に、（ロ）の場合の初期往
側巻角は３．５度、初期復側巻角は３．５度であり、（
ハ）の場合の初期往側巻角は３．５度、初期復側巻角は
３．５度である。
【００２９】表１より、上記（イ）、（ロ）、（ハ）の
場合共に交差角を０．０３度以上とすることにより、巻
きほどき性が正常となることがわかる。
場合共に交差角を０．０３度以上とすることにより、巻
きほどき性が正常となることがわかる。
【００３０】（第２実施例） 以下に本発明の第２実
施例を添付図面を参照して説明する。なお、上述の第１
実施例と同一の構成要素には同一の番号を付したので、
その説明を省略する。
施例を添付図面を参照して説明する。なお、上述の第１
実施例と同一の構成要素には同一の番号を付したので、
その説明を省略する。
【００３１】図４に示す巻取装置が図２のものと異なる
点は、乱数発生手段として巻取装置本体４の内部に乱数
発生装置１６が配設されている点である。この乱数発生
装置１６は、制御部１２に乱数データを与えるためのも
のであり、これにより制御部１２は後述の乱数を用いた
制御が可能となる。
点は、乱数発生手段として巻取装置本体４の内部に乱数
発生装置１６が配設されている点である。この乱数発生
装置１６は、制御部１２に乱数データを与えるためのも
のであり、これにより制御部１２は後述の乱数を用いた
制御が可能となる。
【００３２】本実施例に係るワイヤの巻取方法も、初期
ピッチとしてＰ１及びＰ２を与えて、ワイヤを往復多層
状に巻取っていく点では上記第１実施例と同様である。 但し、本実施例に係る巻取方法では、ｎ回目の往側巻線
と（ｎ＋１）回目の往側巻線の交差角を０．０３度以上
の不定値（但し、スプールの形状等により、自ずと上限
値が存在する。）とし、同様にｎ回目の復側巻線と（ｎ
＋１）回目の復側巻線の交差角も０．０３度以上の不定
値にするものである。上記０．０３度以上の不定値（以
下、「不定値」と略称する。）は、前述の乱数発生装置
１６より送られる乱数データを基にして制御部１２によ
り造られるものである。
ピッチとしてＰ１及びＰ２を与えて、ワイヤを往復多層
状に巻取っていく点では上記第１実施例と同様である。 但し、本実施例に係る巻取方法では、ｎ回目の往側巻線
と（ｎ＋１）回目の往側巻線の交差角を０．０３度以上
の不定値（但し、スプールの形状等により、自ずと上限
値が存在する。）とし、同様にｎ回目の復側巻線と（ｎ
＋１）回目の復側巻線の交差角も０．０３度以上の不定
値にするものである。上記０．０３度以上の不定値（以
下、「不定値」と略称する。）は、前述の乱数発生装置
１６より送られる乱数データを基にして制御部１２によ
り造られるものである。
【００３３】上記において、交差角を不定値にするとは
、往側及び復側の、（ｎ＋１）回目の巻線の巻角をｎ回
目の巻線の巻角より、（ニ）不定値分常に増加させる場
合と、（ホ）不定値分常に減少させる場合と、（ヘ）不
定値分をランダムに増加及び減少させる場合とがあるが
、いずれであってもよい。
、往側及び復側の、（ｎ＋１）回目の巻線の巻角をｎ回
目の巻線の巻角より、（ニ）不定値分常に増加させる場
合と、（ホ）不定値分常に減少させる場合と、（ヘ）不
定値分をランダムに増加及び減少させる場合とがあるが
、いずれであってもよい。
【００３４】上記の如くワイヤを巻取ることにより、第
１実施例と同様に、往側若しくは復側において、（ｎ＋
１）回目の巻線がｎ回目の巻線間にはさみ込まれること
を防止することができ、ワイヤの送りを円滑にして、従
来以上のスプール巻線の長さの増長が可能となる。
１実施例と同様に、往側若しくは復側において、（ｎ＋
１）回目の巻線がｎ回目の巻線間にはさみ込まれること
を防止することができ、ワイヤの送りを円滑にして、従
来以上のスプール巻線の長さの増長が可能となる。
【００３５】
【表２】
【００３６】なお、上記（ニ）、（ホ）、（へ）の各設
定において、上記表１と同一の条件で巻きほどき試験を
行った場合の結果を表２に示す。表２において、（ニ）
の場合の初期往側巻角は３．５度、初期復側巻角は３．
５度、（ホ）の場合の初期往側巻角は３．５度、初期復
側巻角は３．５度、（ヘ）の場合の初期往側巻角は３．
５度、初期復側巻角は３．５度である。
定において、上記表１と同一の条件で巻きほどき試験を
行った場合の結果を表２に示す。表２において、（ニ）
の場合の初期往側巻角は３．５度、初期復側巻角は３．
５度、（ホ）の場合の初期往側巻角は３．５度、初期復
側巻角は３．５度、（ヘ）の場合の初期往側巻角は３．
５度、初期復側巻角は３．５度である。
【００３７】表２より、上記（ニ）、（ホ）、（ヘ）の
場合共に不定値を０．０３度以上の不定値とすることに
より巻きほどき性が正常となることがわかる。
場合共に不定値を０．０３度以上の不定値とすることに
より巻きほどき性が正常となることがわかる。
【００３８】なお、上述した図２及び図４の巻取装置に
おいて、軸８を固定し、回転駆動軸２をスプール６の軸
方向に往復移動させてもよく、又、軸８と回転駆動軸２
の双方を往復移動させる構成としてもよい。また、軸８
の往復移動速度を一定とし、回転駆動軸の回転速度を調
整することにより巻き角を調整するような構成としても
よい。
おいて、軸８を固定し、回転駆動軸２をスプール６の軸
方向に往復移動させてもよく、又、軸８と回転駆動軸２
の双方を往復移動させる構成としてもよい。また、軸８
の往復移動速度を一定とし、回転駆動軸の回転速度を調
整することにより巻き角を調整するような構成としても
よい。
【００３９】
【発明の効果】本発明に係る巻取方法若しくは巻取装置
によれば、往側若しくは復側において、（ｎ＋１）回目
の巻線がｎ回目の巻線間にはさみ込まれることを防止す
ることができ、ワイヤの送りを円滑にして、従来以上の
スプール巻線の長さの増長を図ることが可能となる。従
って、本発明に係るスプール巻線を用いることにより、
ボンディング速度の高速化に対応することができ、ボン
ディング作業の作業性を向上させることができる効果が
存する。
によれば、往側若しくは復側において、（ｎ＋１）回目
の巻線がｎ回目の巻線間にはさみ込まれることを防止す
ることができ、ワイヤの送りを円滑にして、従来以上の
スプール巻線の長さの増長を図ることが可能となる。従
って、本発明に係るスプール巻線を用いることにより、
ボンディング速度の高速化に対応することができ、ボン
ディング作業の作業性を向上させることができる効果が
存する。
【図１】スプールの巻線形態に係る説明図である。
【図２】本発明の第１実施例に係る巻取装置の平面図で
ある。
ある。
【図３】巻きほどき試験の説明図である。
【図４】本発明の第２実施例に係る巻取装置の平面図で
ある。
ある。
２ 回転駆動軸
４ 巻取装置本体
６ スプール
８ 軸
１０ ローラ
１２ 制御部
１４ ワイヤ
１６ 乱数発生装置
Claims (9)
- 【請求項１】 スプールにボンディングワイヤを一端
から他端へ、さらに他端から一端へと往復させて巻取り
、これを繰り返して多層状にしたボンディングワイヤ巻
線において、往復各側のｎ回目と（ｎ＋１）回目のボン
ディングワイヤの交差角を０．０３度以上としたことを
特徴とするボンディングワイヤ巻線。 - 【請求項２】 前記交差角を０．０３度以上の一定値
とした請求項１記載のボンディングワイヤ巻線。 - 【請求項３】 前記交差角を０．０３度以上の不定値
とした請求項１記載のボンディングワイヤ巻線。 - 【請求項４】 スプールにボンディングワイヤを一端
から他端へ、さらに他端から一端へと往復させて巻取り
、これを繰り返して多層状にするボンディングワイヤの
巻取方法において、往復各側のｎ回目と（ｎ＋１）回目
のボンディングワイヤの交差角を０．０３度以上とする
ことを特徴とするボンディングワイヤの巻取方法。 - 【請求項５】 前記交差角を０．０３度以上の一定値
とする請求項４記載のボンディングワイヤの巻取方法。 - 【請求項６】 前記交差角を０．０３度以上の不定値
とする請求項４記載のボンディングワイヤの巻取方法。 - 【請求項７】 スプールを該スプールの軸回りに回転
可能に支持するスプール支持部と、前記スプールの近傍
において、ボンディングワイヤを通過可能に支持するワ
イヤ支持部と、前記スプールを回転駆動する回転駆動部
と、前記ワイヤ支持部と前記スプールのうちの少なくと
も一方を、スプールの軸方向に、他方に対して接近又は
離隔せしめるように横送り移動させる横送り駆動部と、
前記回転駆動部の回転運動及び前記横送り駆動部の横送
り運動を制御する制御部とを備え、前記回転駆動部及び
前記横送り駆動部を駆動制御しつつスプールにワイヤを
往復させて巻取るようにしたボンディングワイヤ巻取装
置において、 前記制御部は、前記横送り駆動部の横
送り移動速度を調整して、往復各側のｎ回目と（ｎ＋１
）回目のボンディングワイヤの交差角を０．０３度以上
とすることを特徴とする半導体素子のボンディングワイ
ヤの巻取装置。 - 【請求項８】 前記制御部は、前記交差角を０．０３
度以上の一定値とするように前記横送り駆動部の横送り
移動速度を調整する請求項７記載のボンディングワイヤ
の巻取装置。 - 【請求項９】 前記制御部は、前記交差角を０．０３
度以上の不定値とするように前記横送り駆動部の横送り
移動速度を調整する請求項７記載のボンディングワイヤ
の巻取装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2401700A JP2827512B2 (ja) | 1990-12-12 | 1990-12-12 | ボンディングワイヤ巻線、ボンディングワイヤの巻取方法及びその巻取装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2401700A JP2827512B2 (ja) | 1990-12-12 | 1990-12-12 | ボンディングワイヤ巻線、ボンディングワイヤの巻取方法及びその巻取装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04351222A true JPH04351222A (ja) | 1992-12-07 |
| JP2827512B2 JP2827512B2 (ja) | 1998-11-25 |
Family
ID=18511537
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2401700A Expired - Fee Related JP2827512B2 (ja) | 1990-12-12 | 1990-12-12 | ボンディングワイヤ巻線、ボンディングワイヤの巻取方法及びその巻取装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2827512B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0999317A (ja) * | 1995-10-04 | 1997-04-15 | Nittoku Eng Co Ltd | 線条部材の巻取装置 |
| JP2002134548A (ja) * | 2000-10-24 | 2002-05-10 | Tanaka Electronics Ind Co Ltd | ボンディングワイヤの巻替ガイド及びそれを用いた巻替方法 |
| US7926478B2 (en) | 2003-12-25 | 2011-04-19 | A.L.M.T. Corp. | Super abrasive grain wire saw winding structure, super abrasive grain wire saw cutting device, and super abrasive grain wire saw winding method |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57116218U (ja) * | 1981-01-12 | 1982-07-19 | ||
| JPS57190496U (ja) * | 1981-05-28 | 1982-12-02 | ||
| JPS58133836U (ja) * | 1982-03-03 | 1983-09-09 | 日本電気株式会社 | 入出力機器の固定機構 |
| JPH01138422U (ja) * | 1988-03-15 | 1989-09-21 |
-
1990
- 1990-12-12 JP JP2401700A patent/JP2827512B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| US7926478B2 (en) | 2003-12-25 | 2011-04-19 | A.L.M.T. Corp. | Super abrasive grain wire saw winding structure, super abrasive grain wire saw cutting device, and super abrasive grain wire saw winding method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2827512B2 (ja) | 1998-11-25 |
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