JPH04351232A - 多孔質金属フィルムおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、多数の微細な貫通孔ま
たは未貫通孔を有する多孔質金属フィルム及びその製造
方法に関する。

【０００２】

【従来の技術および課題】近年、各種の産業分野におい
てフィルタが使用されている。例えば、有機化学薬品、
水、油などの流体中の不純物の除去、気体中の不純物の
除去、流体中への微細なガスの導入、ガスセンサ、排水
処理、スラッジの水分除去等にフィルタが使用されてい
る。

【０００３】ところで、前記フィルタは使用環境の多様
化により高温雰囲気中で使用可能なものが要望されてい
る。かかる要望に対して、従来より積層金属不織布焼結
フィルタが知られている。しかしながら、かかるフィル
タは製造工程が煩雑であるため、高価となる。しかも、
孔寸法が不揃いであるため、例えば目的の粒径の不純物
粒子を精度よく除去できないという問題がある。

【０００４】本発明の目的は、孔径の揃った多数の貫通
孔または未貫通孔を有し、高温雰囲気下でも良好なフィ
ルタ性能等を有する多孔質金属フィルムを提供するもの
である。本発明の別の目的は、前記多孔質金属フィルム
を簡単かつ量産的に製造し得る方法を提供するものであ
る。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明に係わる多孔質金
属フィルムは、金属フィルムに６０μｍ以下の貫通孔が
５００個／ｃｍ２　以上の密度で多数かつ一様に穿孔し
てなることを特徴とするものである。

【０００６】前記金属フィルムとしては、フィルム化が
可能なものであればいかなるものでよく、例えばＡｌ箔
、Ａｌ−ＭｇなどのＡｌ合金箔、Ｃｕ箔もしその合金箔
箔、軟鉄箔、ステンレス箔、金箔またはＴｉ、Ｔａ、Ｗ
などの高融点金属箔等を挙げることができる。前記金属
フィルムに穿孔される貫通孔は、６０μｍ以下の孔径を
有し、用途等により前記６０μｍ以下において任意に選
択される。

【０００７】前記金属フィルムに穿孔される貫通孔の密
度を限定した理由は、５００個／ｃｍ２　未満にすると
フィルタ等と使用した際の濾過効率を十分向上できなく
なるからである。このような金属フィルムに占める貫通
孔の密度は、後述する方法により最大で２０００００個
／ｃｍ２　まで高くすることが可能である。このため、
前記金属フィルムに占める貫通孔の密度は前記貫通孔の
孔径との関係や用途等により５００個／ｃｍ２　〜２０
００００個／ｃｍ２　の範囲で任意に選択することが可
能である。

【０００８】このような多孔質金属フィルムは、鋭い角
部を有する多数のモース硬度５以上の粒子が表面に付着
された第１ロールと硬質材料からなる第２ロールとの間
に長尺金属フィルムを通過させると共に、前記各ロール
間を通過する前記長尺金属フィルムへの押圧力を前記各
ロールと接触するフィルム面全体に亘って均一となるよ
うに調節することにより前記第１ロール表面の多数の粒
子の鋭い角部で前記長尺金属フィルムに６０μｍ以下の
貫通孔を５００個／ｃｍ２　以上の密度で多数穿孔する
ことにより製造される。

【０００９】前記第１ロールは、金属製ロール本体の表
面に鋭い角部を有する多数のモース硬度５以上の粒子を
電着、または有機系もしくは無機系の結合剤により付着
させた構造を有する。前記モース硬度５以上の粒子とし
ては、例えばタングテンカーバイトなどの超硬合金粒子
、または炭化ケイ素粒子、炭化ホウ素粒子、サファイア
粒子、立方晶窒化ホウ素（ＣＢＮ）粒子、天然又は合成
のダイヤモンド粒子等を挙げることができる。特に、硬
度、強度等が大きい合成ダイヤモンド粒子が望ましい。 前記粒子は、粒径が１０〜１００μｍで粒径のばらつき
が５％以下のものを用いることが望ましい。前記多数の
粒子は、長尺金属フィルムに貫通孔を５００個／ｃｍ２
　以上の密度で形成する観点から、前記ロール本体表面
に５０％以上付着させることが望ましい。

【００１０】前記硬質材料からなる第２ロールとしては
、例えば鉄ロール、鉄系合金ロール、表面にＮｉメッキ
処理、Ｃｒメッキ処理を施した鉄ロール等を用いること
ができる。本発明に係わる別の多孔質金属フィルムは、
金属フィルムに多数の微細な未貫通孔を一様に穿孔して
なることを特徴とするものである。前記金属フィルムと
しては、前述したのと同様なものが用いられる。

【００１１】前記金属フィルムに穿孔される未貫通孔の
孔径は、用途等により任意に選択される。例えば、急速
な圧力変化を緩和するフィルタや消音フィルタとして用
いる場合には前記未貫通孔の開口径は、８０μｍ以下に
することが望ましい。

【００１２】前記金属フィルムに穿孔される未貫通孔の
密度は、通常、５００個／ｃｍ２　以上にすることが望
ましい。このような前記金属フィルムに占める未貫通孔
の密度は、その孔径にもよるが、後述する方法により最
大で２０００００個／ｃｍ２　まで高くすることが可能
である。このため、前記金属フィルムに占める未貫通孔
の密度は前記未貫通孔の孔径との関係や用途等により５
００個／ｃｍ２　〜２０００００個／ｃｍ２　の範囲で
任意に選択することが可能である。

【００１３】このような多孔質金属フィルムは、鋭い角
部を有する多数のモース硬度５以上の粒子が表面に付着
された第１ロールと表面が軟質材料からなる第２ロール
との間に長尺金属フィルムを通過させると共に、前記各
ロール間を通過する前記長尺金属フィルムへの押圧力を
前記各ロールと接触するフィルム面全体に亘って均一と
なるように調節することにより前記第１ロール表面の多
数の粒子の鋭い角部を前記長尺金属フィルムに喰い込ま
せて多数の微細な未貫通孔を一様に穿孔することにより
製造される。前記第１ロールは、前述したのと同様な構
成のものが用いられる。

【００１４】前記表面が軟質材料からなる第２ロールと
しては、例えば真鍮、アルミニウム、銅からなるロール
、または金属製ロール本体の表面に高分子樹脂層を被覆
したものを用いることができる。前記高分子樹脂として
は、各種の樹脂を用いることができるが、特に前記長尺
金属フィルムに対する緩衝作用の高いウレタン樹脂、シ
リコンゴム等が好適である。

【００１５】

【作用】本発明に係わる多孔質金属フィルムは、金属フ
ィルムに６０μｍ以下の貫通孔を５００個／ｃｍ２　以
上の密度で多数かつ一様に穿孔され、貫通孔の孔径が揃
っているため、以下に列挙するように高温雰囲気中で高
精度のフィルタ性能を有する各種のフィルタに利用でき
る。 （１）前記貫通孔の孔径を１０〜５０μｍの範囲内とす
ることにより、室温より高い温度の排水処理の浮遊物の
除去フィルタに利用できる。 （２）前記貫通孔の孔径を０．１〜１μｍの範囲とする
ことにより、高温のオイルミストの濾過フィルタ等に利
用できる。 （３）前記貫通孔の孔径を０．０１〜０．１μｍの範囲
とすることにより、高温のガス分離用フィルムに利用で
きる。

【００１６】また、本発明に係わる多孔質フィルムはそ
の貫通孔を電解液の通過を許容する３０〜５０μｍとす
ることによって、一次電池、二次電池の正極や負極に用
いられる集電板として利用できる。

【００１７】本発明に係わる方法によれば、鋭い角部を
有する多数のモース硬度５以上の粒子が表面に付着され
た第１ロールと硬質材料からなる第２ロールとの間に長
尺金属フィルムを通過させると共に、前記各ロール間を
通過する前記長尺金属フィルムへの押圧力を前記各ロー
ルと接触するフィルム面全体に亘って均一となるように
調節することにより、前記長尺金属フィルム本来の特性
を殆ど損うことなく、前記第１ロール表面の多数の粒子
の鋭い角部で前記長尺金属フィルムに６０μｍ以下の貫
通孔が５００個／ｃｍ２　以上の密度で多数かつ一様に
穿孔でき、前述した各種のフィルタ等に有用な多孔質金
属フィルムを量産的に製造することができる。

【００１８】また、本発明に係わる別の多孔質金属フィ
ルムは金属フィルムに微細な未貫通孔を多数かつ一様に
穿孔され、前記多数の未貫通孔の孔径が揃っているため
、急速な圧力変化を緩和するフィルタや消音フィルタと
して利用できる。

【００１９】本発明に係わる別の方法によれば、鋭い角
部を有する多数のモース硬度５以上の粒子が表面に付着
された第１ロールと表面が軟質材料からなる第２ロール
との間に長尺金属フィルムを通過させると共に、前記各
ロール間を通過する前記長尺金属フィルムへの押圧力を
前記各ロールと接触するフィルム面全体に亘って均一と
なるように調節することによって、前記長尺金属フィル
ム本来の特性を殆ど損うことなく、前記第１ロール表面
の多数の粒子の鋭い角部を前記長尺金属フィルムに喰い
込ませて微細な未貫通孔を多数かつ一様に穿孔でき、前
述した各種のフィルタ等に有用な多孔質金属フィルムを
量産的に製造することができる。

【００２０】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して詳細
に説明する。

【００２１】図１は、本実施例に用いられる多孔質フィ
ルムの製造装置を示す正面図、図２は図１の製造装置の
要部を示す側面図、図３は図２のＩＩＩ　−ＩＩＩ　線
に沿う断面図である。

【００２２】図中の１０１は、ベッドである。前記ベッ
ド１０１の右端付近を除く上面には、テーブル１０２が
設けられている。前記テーブル１０２上には、２つのカ
ギ型のフレーム１０３が前記テーブル１０２の幅方向に
それぞれ所定の間隔をあけて設置されている。前記フレ
ーム１０３は、下板１０３ａ、側板１０３ｂ及び上板１
０３ｃから形成されでいる。前記各フレーム１０３の側
板１０３ｂの中間付近には、軸受１０４を内蔵した第１
ボックス１０５がそれぞれ固定されている。前記各フレ
ーム１０３間には、第１ロール１０６が配置されている
。前記第１ロール１０６は、図２に示すように例えば７
０〜８５μｍの粒径で鋭い角部を有する多数のモース硬
度５以上の粒子（例えば合成ダイヤモンド粒子）１０７
が表面に７０％以上の面積率で電着された鉄製のロール
本体１０８と、前記本体１０８の中心を貫通して前記本
体１０８の両端面から突出された軸１０９とから構成さ
れている。前記軸１０９の突出した両端部は、前記第１
ボックス１０５内の軸受１０４にそれぞれ軸支されてい
る。前記第１ロール１０６の一端側（例えば左端側）の
軸１０９は、前記ボックス１０５を貫通しており、かつ
前記軸１０９の突出部分には図示しないモータの駆動軸
の歯車と噛合する歯車１１１が軸着されている。したが
って、前記モータの駆動により前記第１ロール１０６が
例えば時計回り方向に回転されるようになっている。 また、前記歯車１１１と前記ボックス１０５の左側面の
間に位置する前記軸１０９の突出部分には、歯車１１０
が軸着されている。

【００２３】前記第１ボックス１０５の下方および上方
に位置する前記各フレーム１０３の側板１０３ｂ部分に
は、レール１１２、１１３がそれぞれ形成されている。 前記下方の各レール１１２には、図３に示すようにスラ
イダー１１４（他方のスライダーは図示せず）が上下動
自在にそれぞれ配置されている。前記各スライダー１１
４には、軸受１１５を内蔵した第２ボックス１１６がそ
れぞれ固定され、前記レール１１２に沿って上下動でき
るようになっている。また、前記各フレーム１０３間に
は第２ロール１１７が前記第１ロール１０６の下方に位
置するように対向して配置されている。前記第２ロール
１１７は、例えばステンレスからなる表面が硬質のロー
ル本体１１８と、前記本体１１８の中心を貫通して前記
本体１１８の両端面から突出された軸１１９とから構成
されている。前記軸１１９の突出した両端部は、前記第
２ボックス１１６内の軸受１１５にそれぞれ軸支されて
いる。前記第２ロール１１７の一端側（例えば左端側）
の軸１１９部分は、前記第２ボックス１１６を貫通して
突出しており、かつ前記軸１１９の突出部分には前記第
１ロール１０６の軸１０９の歯車１１０と噛合する歯車
１２０が軸着されている。したがって、前記第２ロール
１１７は前記第２ボックス１１６及び前記スライダー１
１４により前記レール１１２に沿って上下動自在に配置
される。また、前記モータにより前記第１ロール１０６
の軸１０９を時計回り方向に回転することによって、前
記軸１０９の歯車１１０と噛合する前記歯車１２０を有
する前記軸１１９が反時計回り方向に回転し、結果的に
は前記第２ロール１１７が反時計回り方向に回転するよ
うになっている。

【００２４】前記上方の各レール１１３には、図３に示
すようにスライダー１２１（他方のスライダーは図示せ
ず）が上下動自在にそれぞれ配置されている。前記各ス
ライダー１２１には、軸受１２２を内蔵した第３ボック
ス１２３がそれぞれ固定され、前記レール１１３に沿っ
て上下動できるようになっている。また、前記各フレー
ム１０３間には第３ロール１２４が前記第１ロール１０
６の上方に位置するように対向して配置されている。前
記第３ロール１２４は、例えばウレタン樹脂などの高分
子樹脂層１２５が表面に被覆された鉄製のロール本体１
２６と、前記本体１２６の中心を貫通して前記本体１２
６の両端面から突出された軸１２７とから構成されてい
る。前記軸１２７の突出した両端部は、前記第３ボック
ス１２３内の軸受１２２にそれぞれ軸支されている。前
記第３ロール１２４の一端側（例えば左端側）の軸１２
７部分は、前記第３ボックス１２３を貫通して突出して
おり、かつ前記軸１２７の突出部分には前記第１ロール
１０６の軸１０９の歯車１１０と噛合する歯車１２８が
軸着されている。従って、前記第３ロール１２４は前記
第３ボックス１２３及び前記スライダー１２１により前
記レール１１３に沿って上下動自在に配置される。また
、前記モータにより前記第１ロール１０６の軸１０９を
時計回り方向に回転することによって、前記軸１０９の
歯車１１０と噛合する前記歯車１２８を有する前記軸１
２７が反時計回り方向に回転し、結果的には前記第３ロ
ール１２４が反時計回り方向に回転するようになってい
る。

【００２５】前記２つのフレーム１０３、前記２つの第
１ボックス１０５、前記第１ロール１０６、前記２つの
各スライダー１１２、１１３、前記２つの第２ボックス
１１６、前記第２ロール１１７、前記２つの第３ボック
ス１２３、前記第３ロール１２４により穿孔用ユニット
１２９を構成している。

【００２６】前記２つの第２ボックス１１６の下壁には
、上下にフランジ１３０、１３１を有する円筒体１３２
がそれぞれ配置されている。前記各円筒体１３２は、図
３に示すように前記上部フランジ１３０から前記第２ボ
ックス１１６の下壁に螺着された複数のネジ１３３によ
り前記第２ボックス１１６にそれぞれ固定されている。 前記各円筒体１３２の下部フランジ１３１には、中央に
穴１３４を有する円板１３５がそれぞれ配置され、かつ
前記各円板１３５は前記各円板１３５から前記下部フラ
ンジ１３１に螺着された複数のネジ１３６によりそれぞ
れ固定されている。前記各円筒体１３２内には、コイル
バネ１３７がそれぞれ上下方向に弾性力を付与するよう
に収納されている。前記各円筒体１３２内には、上端に
圧力センサ１３８を取着したロッド１３９がそれぞれ前
記円板１３５の穴１３４を通して挿入されている。 前記各圧力センサ１３８は、前記各コイルバネ１３７の
下端に当接され、前記各ロッド１３９の上昇による前記
コイルスバネ１３７への押圧力を検出できるようになっ
ている。前記各センサ１３８下方の前記ロッド１３９部
分には、前記ロッド１３９を円滑に上下動させるための
円板状ガイド１４０がそれぞれ取り付けられている。前
記各ロッド１３９の下端部には、ボールスクリュー１４
１それぞれ挿着されている。前記各ボールスクリュー１
４１は、前記フレーム１０３の下板１０３ａを貫通して
前記ベッド１０２の窪み部（図示せず）にそれぞれ突出
している。前記窪み部内には、ネジ加工された係合板（
図示せず）を内蔵したケーシング（他方のケーシングは
図示せず）１４２がそれぞれ設けられている。前記各ケ
ーシング１４２内の前記係合板には、前記ボールスクリ
ュー１４１の下端突出部が螺合されている。前記各ケー
シング１４２内には、前記ボールスクリュー１４１の下
端突出部と係合するウォーム軸（図示せず）が水平方向
からそれぞれ挿入され、かつ前記各ウォーム軸の一端に
ハンドル（他方のハンドルは図示せず）１４３がそれぞ
れ設けられている。従って、前記ハンドル１４３を回転
することにより前記ハンドル１４３のウォーム軸と係合
する前記ボールスクリュー１４１が回転し、前記ボール
スクリュー１４１が挿着された前記ロッド１３９を上昇
（または下降）するようになっている。この場合、前記
ロッド１３９をある距離以上に下降させると、前記ロッ
ド１３９に取り付けられた前記円板状ガイド１４０が前
記円筒体１３２下部の円板１３５内面に当接して前記円
筒体１３２自体を下降させる。このため、前記円筒体１
３２の上端に固定された前記第２ボックス１１６が前記
スライダー１１４により前記レール下方の１１２に沿っ
て下降される。

【００２７】前記２つの円筒体１３２、前記２つの円板
１３５、前記２つのコイルバネ１３７、前記２つの圧力
センサ１３８、前記２つのロッド１３９、前記２つの円
板状カイド１４０、前記２つのボールスクリュー１４１
、前記２つのケーシング１４２、前記２つのウォーム軸
（図示せず）および前記２つのハンドル１４３により前
記第１、第２ロール１０６、１１７間を通過するフィル
ムへの押圧力を調節する第１圧力調節手段１４４を構成
している。

【００２８】前記２つの第３ボックス１２３の上壁には
、上下にフランジ１４５、１４６を有する円筒体１４７
がそれぞれ配置されている。前記各円筒体１４７は、図
３に示すように前記下部フランジ１４６から前記第３ボ
ックス１２３の上壁に螺着された複数のネジ１４８によ
り前記第３ボックス１２３にそれぞれ固定されている。 前記各円筒体１４７の上部フランジ１４５には、中央に
穴１４９を有する円板１５０がそれぞれ配置され、かつ
前記各円板１５０は前記各円板１５０から前記上部フラ
ンジ１４５に螺着された複数のネジ１５１によりそれぞ
れ固定されている。前記各円筒体１４７内には、コイル
バネ１５２がそれぞれ上下方向に弾性力を付与するよう
に収納されており、かつ前記各コイルバネ１５２の下端
は前記第３ボックス１２３の上壁にそれぞれ当接されて
いる。前記各円筒体１４７内には、下端に圧力センサ１
５３を取着したロッド１５４がそれぞれ前記円板１５０
の穴１４９を通して挿入されている。前記各圧力センサ
１５３は、前記各コイルバネ１５２の上端に当接され、
前記各ロッド１５４の下降によるコイルバネ１５２への
押圧力を検出できるようになっている。前記各センサ１
５３上方の前記ロッド１５４部分には、前記ロッド１５
４を円滑に上下動させるための円板状ガイド１５５がそ
れぞれ取り付けられている。前記各ロッド１５４の上端
部には、ボールスクリュー１５６がそれぞれ挿着されて
いる。前記各ボールスクリュー１５６は、前記フレーム
１０３の上板１０３ｃを貫通して前記上板１０３ｃの上
方にそれぞれ突出している。前記各上板１０３ｃの上面
には、ネジ加工された係合板（図示せず）を内蔵したケ
ーシング（他方のケーシングは図示せず）１５７がそれ
ぞれ設けられている。前記各ケーシング１５７内の前記
係合板には、前記ボールスクリュー１５６の上端突出部
が螺合されている。前記各ケーシング１５７内には、前
記ボールスクリュー１５６の上端突出部と係合するウォ
ーム軸（図示せず）が水平方向からそれぞれ挿入され、
かつ前記各ウォーム軸の一端にハンドル（他方のハンド
ルは図示せず）１５８がそれぞれ設けられている。従っ
て、前記ハンドル１５８を回転することにより前記ハン
ドル１５８のウォーム軸と係合する前記ボールスクリュ
ー１５６が回転し、前記ボールスクリュー１５６が挿着
された前記ロッド１５４を下降（または上昇）するよう
になっている。この場合、前記ロッド１５４をある距離
以上に上昇させると、前記ロッド１５４に取り付けられ
た前記円板状ガイド１５５が前記円筒体１４７上部の円
板１５０内面に当接して前記円筒体１４７自体を上昇さ
せる。このため、前記円筒体１４７の下端に固定された
前記第３ボックス１２３が前記スライダー１２１により
前記レール１１３に沿って上昇される。

【００２９】前記２つの円筒体１４７、前記２つの円板
１５０、前記２つのコイルバネ１５２、前記２つの圧力
センサ１５３、前記２つのロッド１５４、前記２つの円
板状カイド１５５、前記２つのボールスクリュー１５６
、前記２つのケーシング１５７、前記２つのウォーム軸
（図示せず）および前記２つのハンドル１５８により前
記第１、第３ロール１０６、１２４間を通過するフィル
ムへの押圧力を調節する第２圧力調節手段１５９を構成
している。

【００３０】前記穿孔用ユニット１２９の前段には、長
尺金属フィルムの巻回ロール（図示せず）が配置され、
前記巻回ロールの長尺金属フィルム１６０は２つの送り
ロール１６１を経由して前記ユニット１２９の前記第１
、第２のロール１０６、１１７間および第１、第３のロ
ール１０６、１２４間に供給される。前記ユニット１２
９の後段には、穿孔屑除去手段１６２が配置されている
。前記穿孔屑除去手段１６２は、前記テーブル１０２上
に設置され、純水を収容した容器１６３と、前記純水に
超音波を付与するための超音波発生部材（図示せず）と
から構成されている。前記ユニット１２９と前記穿孔屑
除去手段１６２の間、前記容器１６３内および前記容器
１６３の後段には、前記第１、第３のロール１０６、１
２４間を通過した前記長尺フィルムを搬送するための５
つの送りロール１６１がそれぞれ配置されている。なお
、前記容器１６３の前後段に位置する前記２つの送りロ
ール１６１には当てロール１６４がそれぞれ配置されて
いる。前記穿孔屑除去手段１６２の後段には、前記送り
ロール１６１、前記当てロール１６４間を通過した前記
フィルムを乾燥するための複数の熱風噴射部材および巻
取ロール（いずれも図示せず）が順次配置されている。 実施例１

【００３１】前述した構成の多孔質フィルムの製造装置
における前記穿孔用ユニット１２９の第１、第２ロール
１０６、１１７間でＡｌ−Ｍｇ合金からなる長尺フィル
ムを穿孔して多孔質Ａｌ合金フィルムを製造する方法を
図１〜図３および図４を参照して説明する。

【００３２】まず、第１圧力調節手段１４４の２つのハ
ンドル１４３を例えば反時計回り方向に回転させること
により、各円筒体１３２の上端に連結された穿孔用ユニ
ット１２９の各第２ボックス１１６をスライダー１１４
により各フレーム１０３の各レール１１２に沿ってそれ
ぞれ下降させ、前記各第２ボックス１１６内の軸受１１
５に軸支された第２ロール１１７をその上の第１ロール
１０６から十分な間隔をあけて離なす。また、第２圧力
調節手段１５９の２つのハンドル１５８を例えば時計回
り方向に回転させることにより、各円筒体１４７の下端
に連結された各第３ボックス１２３をスライダー１２１
により各フレーム１０３の各レール１１３に沿ってそれ
ぞれ上昇させ、前記各第３ボックス１２３内の軸受１２
２に軸支された第３ロール１２４をその下の第１ロール
１０６から十分な間隔をあけて離なす。かかる状態にお
いて、巻回ロール（図示せず）から厚さ３０μｍのＡｌ
−Ｍｇ系のＡｌ合金からなる長尺フィルム１６０を２つ
の送りロール１６１により前記ユニット１２９の前記第
１、第２ロール１０６、１１７間、送りロール１６１及
び第１、第３ロール１０６、１２４間を通過させた後、
前記４つの送りロール１６１により穿孔屑除去手段１６
２の容器内１６３内を通過させて巻取ロール（図示せず
）に前記長尺フィルム１６０の先端を巻く。なお、前記
工程において前記長尺フィルム１６０を前記第１、第３
ロール１０６、１２４間を通過させる場合には、図５に
示すように前記長尺フィルム１６０が前記第１ロール１
０６表面に接触させないようする。

【００３３】次いで、前記長尺フィルム１６０の先端を
巻取ロールに巻き取った後、前記第１圧力調節手段１４
４の２つのハンドル１４３を時計回り方向に回転させる
ことにより、各円筒体１３２の上端に連結された各第２
ボックス１１６をスライダー１１４により各フレーム１
０３の各レール１１２に沿ってそれぞれ上昇させ、前記
各第２ボックス１１６内の軸受１１５に軸支された第２
ロール１１７をその上の第１ロール１０６と当接させる
。更に、前記各ハンドル１４３を同方向に回転させるこ
とにより、各ロッド１３９上端の各センサ１３８により
その上の各コイルバネ１３７を圧縮させる。かかる前記
各コイルバネ１３７の圧縮により、前記各第２ボックス
１１６の下壁に押圧力が付与され、前記第２ボックス１
１６内の軸受１１５に軸支された前記第２ロール１１７
と前記第１ロール１０６間の押圧力が上昇する。この際
、前記各圧力センサ１３８により前記第２ロール１１７
と前記第１ロール１０６間の押圧力（圧縮力）を検出し
て、前記各ハンドル１４３を正逆方向に回転を調節する
ことにより、前記第２、第１のロール１１７、１０６間
に位置する前記長尺フィルム１６０への押圧力が調節さ
れる。このような前記第１圧力調節手段１４４による前
記ユニット１２９への押圧調節により、前記第２、第１
のロール１１７、１０６と接触する前記フィルム１６０
面全体に亘って均一な押圧力が付与され、穿孔操作の準
備が完了する。

【００３４】穿孔操作の準備が完了した後、前記穿孔屑
除去手段１６２の容器１６３に収容された純水に図示し
ない超音波発生部材により超音波を付与する。つづいて
、前記巻取ロールを回転させると同時に、図示しないモ
ータの駆動軸を回転させることにより、前記駆動軸の歯
車、前記第１ロール１０６における軸１０９の歯車１１
１の回転伝達により前記第１ロール１０６が時計回り方
向に回転される。前記第１ロール１０６が回転すると、
前記軸１０９の歯車１１０と前記第２ロール１１７にお
ける軸１１９の歯車１２０の回転伝達により前記第２ロ
ール１１７が反時計回り方向に回転される。この場合、
前記第３ロール１２４は前記第１ロール１０６の上方に
十分離して配置されているため、前記第３ロール１２４
における軸１２７の歯車１２８と前記第１ロール１０６
における軸１０９の歯車１１０の噛合が解除され、前記
第３ロール１２４はモータの回転による駆動はなされれ
ず、フリーな回転となる。このように第１、第２のロー
ル１０６、１１７が回転されることにより、これらロー
ル１０６、１１７間を通過する前記長尺フィルム１６０
が穿孔される。

【００３５】すなわち、前記第１ロール１０６は図２に
示すように鋭い角部を有する多数の合成ダイヤモンド粒
子１０７が表面に７０％以上の面積率で電着された鉄製
のロール本体１０８を備えた構造になっており、かつ前
記第２ロール１１７は例えばステンレスのように表面が
硬質なロール本体１１８を備えた構造になっている。ま
た、前記第１圧力調節手段１４４による前記ユニット１
２９への押圧調節により、第１、第２のロール１０６、
１１７間を通過する前記長尺フィルム１６０の前記ロー
ル１０６、１１７との接触面全体に亘って均一な押圧力
が付与される。このため、前記Ａｌ合金からなる長尺フ
ィルム１６０が前記第１、第２のロール１０６、１１７
間を通過する時に、前記第１ロール１０６表面の多数の
合成ダイヤモンド粒子１０７の鋭い角部によりＡｌ合金
フィルム本来の特性を殆ど損なうことなく、その幅方向
に一様に穿孔される。

【００３６】次いで、前記ユニット１２９による穿孔が
なされた長尺多孔質Ａｌ合金フィルム１６５を５つの送
りロール１６１および２つの当てロール１６４により前
記穿孔屑除去手段１６２の容器１６３内に通過、搬送す
る。前記ユニット１２９による前記長尺フィルム１６０
への穿孔は、前記第１、第２のロール１０６、１１７の
摩擦を主体としたものであるため、穿孔処理後の前記長
尺多孔質Ａｌ合金フィルム１６５表面に穿孔屑等が付着
される。穿孔処理後の前記長尺多孔質Ａｌ合金フィルム
１６５を前記穿孔屑除去手段１６２の純水が収容された
容器１６３を通過させると共に、図示しない超音波発生
部材により前記純水に超音波を付与することにより、前
記長尺多孔質Ａｌ合金フィルム１６５に付着した穿孔屑
を洗い流す。つづいて、前記長尺多孔質Ａｌ合金フィル
ム１６５を図示しない複数の熱風噴射部材に通過させて
表面の水を揮散除去した後、巻取ロール巻き取る。

【００３７】以上のような本実施例１の方法により製造
された厚さ３０μｍの長尺多孔質Ａｌ合金フィルム１６
５は、図６に示すように５０〜６０μｍの微細寸法の貫
通孔１６６が７００個／ｃｍ２　の密度で多数かつ一様
に穿孔されていた。

【００３８】本実施例１の長尺多孔質Ａｌ合金フィルム
を所望寸法に切断し、微細な浮遊物を有する温度８０℃
の廃液のフィルタとして用いたところ、長期間に亘って
良好な浮遊物の濾過性能を有することが確認された。 実施例２

【００３９】前述した構成の多孔質フィルムの製造装置
における前記穿孔用ユニット１２９の第１、第３ロール
１０６、１２４間でＡｌ−Ｍｇ合金からなる長尺フィル
ムを穿孔して多孔質Ａｌ合金フィルムを製造する方法を
図１〜図３および図５を参照して説明する。

【００４０】まず、前述した実施例１と同様に第１圧力
調節手段１４４の２つのハンドル１４３を例えば反時計
回り方向に回転させることにより、第２ロール１１７を
その上の第１ロール１０６から十分な間隔をあけて離な
し、かつ第２圧力調節手段１５９の２つのハンドル１５
８を例えば時計回り方向に回転させることにより、第３
ロール１２４をその下の第１ロール１０６から十分な間
隔をあけて離なし、さらに巻回ロール（図示せず）から
厚さ３０μｍのＡｌ−Ｍｇ系合金からなる長尺フィルム
１６０の先端を実施例１と同様に各部材を通過させて巻
取ロール（図示せず）に巻く。なお、前記長尺フィルム
１６０を前記第１、第２ロール１０６、１１７間を通過
させる場合には、図６に示すように前記長尺フィルム１
６０が前記第１ロール１０６表面に接触させないようす
る。

【００４１】次いで、前記長尺フィルム１６０の先端を
巻取ロールに巻き取った後、前記第２圧力調節手段１５
９の２つのハンドル１５８を反時計回り方向に回転させ
ることにより、各円筒体１４７の下端に連結された各第
３ボックス１２３をスライダー１２１により各フレーム
１０３の各レール１１３に沿ってそれぞれ下降させ、前
記各第３ボックス１２３内の軸受１２２に軸支された第
３ロール１２４をその下の第１ロール１０６と当接させ
る。更に、前記各ハンドル１５８を同方向に回転させる
ことにより、各ロッド１５４下端の各センサ１５２によ
りその下の各コイルバネ１５２を圧縮させる。かかる前
記各コイルバネ１５２の圧縮により、前記各第３ボック
ス１２４の上壁に押圧力が付与され、前記第３ボックス
１２３内の軸受１２２に軸支された前記第３ロール１２
４と前記第１ロール１０６間の押圧力が上昇する。この
際、前記各圧力センサ１５２により前記第３ロール１２
４と前記第１ロール１０６間の押圧力（圧縮力）を検出
して、前記各ハンドル１５８を正逆方向に回転を調節す
ることにより、前記第３、第１のロール１２４、１０６
間に位置する前記長尺フィルム１６０への押圧力が調節
される。このような前記第２圧力調節手段１５９による
前記ユニット１２９への押圧調節により、前記第３、第
１のロール１２４、１０６間に位置する前記長尺フィル
ム１６０の幅方向全体に亘って均一な押圧力が付与され
、穿孔操作の準備が完了する。

【００４２】穿孔操作の準備が完了した後、前記穿孔屑
除去手段１６２の容器１６３に収容された純水に図示し
ない超音波発生部材により超音波を付与する。つづいて
、前記巻取ロールを回転させると同時に、図示しないモ
ータの駆動軸を回転させることにより、前記駆動軸の歯
車、前記第１ロール１０６における軸１０９の歯車１１
１の回転伝達により前記第１ロール１０６が時計回り方
向に回転される。前記第１ロール１０６が回転すると、
前記軸１０９の歯車１１０と前記第３ロール１２４にお
ける軸１２７の歯車１２８の回転伝達により前記第３ロ
ール１２４が反時計回り方向に回転される。この場合、
前記第２ロール１１７は前記第１ロール１０６の上方に
十分離して配置されているため、前記第２ロール１１７
における軸１１９の歯車１２０と前記第１ロール１０６
における軸１０９の歯車１１０の噛合が解除され、前記
第２ロール１１７はモータの回転による駆動はなされれ
ず、フリーな回転となる。このように第１、第３のロー
ル１０６、１２４が回転されることにより、これらロー
ル１０６、１２４間を通過する前記長尺フィルム１６０
が穿孔される。

【００４３】すなわち、前記第１ロール１０６は図２に
示すように鋭い角部を有する多数の合成ダイヤモンド粒
子１０７が表面に７０％以上の面積率で電着された鉄製
のロール本体１０８を備えた構造になっていおり、かつ
前記第３ロール１２４は例えばウレタン樹脂などの高分
子樹脂層１２５が表面に被覆されたロール本体１２６を
備えた構造になっている。また、前記第２圧力調節手段
１５９による前記ユニット１２９への押圧調節により、
第１、第３のロール１０６、１２４間を通過する前記長
尺フィルム１６０の前記ロール１０６、１２４との接触
面全体に亘って均一な押圧力が付与される。このため、
前記Ａｌ合金からなる長尺フィルム１６０が前記第１、
第３のロール１０６、１２４間を通過する時に、前記第
１ロール１０６表面の多数の合成ダイヤモンド粒子１０
７の鋭い角部による前記フィルム１６０への押圧力が前
記高分子樹脂層１２５で緩和されて喰い込み、前記Ａｌ
合金フィルム本来の特性を殆ど損なうことなく未貫通孔
が一様に穿孔される。

【００４４】次いで、前記ユニット１２９による穿孔が
なされた長尺多孔質Ａｌ合金フィルム１６７を５つの送
りロール１６１および２つの当てロール１６４により前
記穿孔屑除去手段１６２の容器１６３内に通過、搬送す
る。前記ユニット１２９による前記長尺多孔質Ａｌ合金
フィルム１６７への穿孔は、前記第１、第２のロール１
０６、１１７の摩擦を主体としたものであるため、穿孔
処理後の前記長尺多孔質Ａｌ合金フィルム１６７表面に
穿孔屑等が付着される。穿孔処理後の前記長尺多孔質Ａ
ｌ合金フィルム１６７を前記穿孔屑除去手段１６２の純
水が収容された容器１６３を通過させると共に、図示し
ない超音波発生部材により前記純水に超音波を付与する
ことにより、前記長尺多孔質Ａｌ合金フィルム１６７に
付着した穿孔屑等を洗い流す。つづいて、前記長尺多孔
質Ａｌ合金フィルム１６７を図示しない複数の熱風噴射
部材に通過させて表面の水を揮散除去した後、図示しな
い巻取ロールに巻き取る。

【００４５】以上のような本実施例２の方法により製造
された厚さ３０μｍの長尺多孔質Ａｌ合金フィルム１６
７は、図７に示すように開口径７０〜８０μｍの微細寸
法の未貫通孔１６８が５００個／ｃｍ２　の密度で多数
かつ一様に穿孔されていた。本実施例２の長尺多孔質Ａ
ｌ合金フィルムを所望寸法に切断して室内の壁に敷設し
たところは、良好な遮音特性を有することが確認された
。

【００４６】なお、前記実施例１、２では多孔質金属フ
ィルムをＡｌ−Ｍｇ系合金で形成したが、銅箔、真鍮箔
などの他の金属からなるものを用いても実施例１、２と
同様な優れた特性のフィルタを得ることができる。

【００４７】

【発明の効果】以上詳述し如く、本発明によれば孔径の
揃った多数の貫通孔または未貫通孔を有し、高温雰囲気
下でも良好なフィルタ性能等を有する多孔質金属フィル
ム、並びにかかる多孔質金属フィルムを簡単かつ量産的
に製造し得る方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例に用いられる多孔質フィルムの
製造装置を示す正面図。

【図２】図１の製造装置の要部を示す側面図。

【図３】図２のＩＩＩ　−ＩＩＩ　線に沿う断面図。

【図４】実施例１の製造工程を説明するための正面図。

【図５】実施例２の製造工程を説明するための正面図。

【図６】実施例１により製造された長尺多孔質Ａｌ合金
フィルムを示す断面図。

【図７】実施例２により製造された長尺多孔質Ａｌ合金
フィルムを示す断面図。

【符号の説明】

１０１…ベッド、１０２…テーブル、１０３…フレーム
、１０５…第１ボックス、１０６…第１ロール、１１６
…第２ボックス、１１７…第２ロール、１２３…第３ボ
ックス、１２４…第３ロール、１２９…穿孔用ユニット
、１３２、１４７…円筒体、１３７、１５２…コイルバ
ネ、１５１、１４３、１５８、１７５…ハンドル、１４
４、１５９…圧力調節手段、、１６０…長尺フィルム、
１６２…穿孔屑除去手段、１６５、１６７…長尺多孔質
Ａｌ合金フィルム、１６６…貫通孔、１６８…未貫通孔
。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　金属フィルムに６０μｍ以下の貫通孔
   を５００個／ｃｍ２　以上の密度で多数かつ一様に穿孔
   してなる多孔質金属フィルム。
2. 【請求項２】　　鋭い角部を有する多数のモース硬度５
   以上の粒子が表面に付着された第１ロールと硬質材料か
   らなる第２ロールとの間に長尺金属フィルムを通過させ
   ると共に、前記各ロール間を通過する前記長尺金属フィ
   ルムへの押圧力を前記各ロールと接触するフィルム面全
   体に亘って均一となるように調節することにより前記第
   １ロール表面の多数の粒子の鋭い角部で前記長尺金属フ
   ィルムに６０μｍ以下の貫通孔を５００個／ｃｍ２　以
   上の密度で多数穿孔することを特徴とする請求項１記載
   の多孔質金属フィルムの製造方法。
3. 【請求項３】　　金属フィルムに多数の微細な未貫通孔
   を一様に穿孔してなる多孔質金属フィルム。
4. 【請求項４】　　鋭い角部を有する多数のモース硬度５
   以上の粒子が表面に付着された第１ロールと表面が軟質
   材料からなる第２ロールとの間に長尺金属フィルムを通
   過させると共に、前記各ロール間を通過する前記長尺金
   属フィルムへの押圧力を前記各ロールと接触するフィル
   ム面全体に亘って均一となるように調節することにより
   前記第１ロール表面の多数の粒子の鋭い角部を前記長尺
   金属フィルムに喰い込ませて多数の微細な未貫通孔を一
   様に穿孔することを特徴とする請求項３記載の多孔質金
   属フィルムの製造方法。