JPH04355355A - 蛍光ｘ線分析装置における窓材の汚染検出方法 - Google Patents
蛍光ｘ線分析装置における窓材の汚染検出方法Info
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- JPH04355355A JPH04355355A JP15777991A JP15777991A JPH04355355A JP H04355355 A JPH04355355 A JP H04355355A JP 15777991 A JP15777991 A JP 15777991A JP 15777991 A JP15777991 A JP 15777991A JP H04355355 A JPH04355355 A JP H04355355A
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、石油のような液体の
分析試料を容器に充填して分析する蛍光Ｘ線分析装置に
おける窓材の汚染検出方法に関するものである。
分析試料を容器に充填して分析する蛍光Ｘ線分析装置に
おける窓材の汚染検出方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、液体の分析試料を容器に充填し
て蛍光Ｘ線分析を行う場合には、分析試料の下方にＸ線
源およびＸ線検出器を窓材を介挿して配置する。この種
の蛍光Ｘ線分析装置の一例を図１に示す。
て蛍光Ｘ線分析を行う場合には、分析試料の下方にＸ線
源およびＸ線検出器を窓材を介挿して配置する。この種
の蛍光Ｘ線分析装置の一例を図１に示す。
【０００３】図１において、軽油や重油のような分析試
料１は、容器２内に充填されて、試料載置窓３上に載置
されている。容器２の下部には、薄膜４を張った分析試
料１が充填されている。なお、薄膜４は、筒状の内容器
２ａと外容器２ｂとの間で挟持されている。
料１は、容器２内に充填されて、試料載置窓３上に載置
されている。容器２の下部には、薄膜４を張った分析試
料１が充填されている。なお、薄膜４は、筒状の内容器
２ａと外容器２ｂとの間で挟持されている。
【０００４】上記分析試料１を充填した容器２の下方に
は、窓材６が設けられており、さらに、その下方にＸ線
管（放射線源）７およびＸ線検出器８が配置されている
。上記Ｘ線検出器８の上方にはフィルタ１０が設けられ
ている。上記窓材６は、フィルタ１０、Ｘ線管７および
Ｘ線検出器８などが汚れるのを防止するためのものであ
る。
は、窓材６が設けられており、さらに、その下方にＸ線
管（放射線源）７およびＸ線検出器８が配置されている
。上記Ｘ線検出器８の上方にはフィルタ１０が設けられ
ている。上記窓材６は、フィルタ１０、Ｘ線管７および
Ｘ線検出器８などが汚れるのを防止するためのものであ
る。
【０００５】つぎに、分析方法について簡単に説明する
。上記Ｘ線管７から出射された一次Ｘ線（放射線）Ｂ１
は、窓材６を通して容器２内の分析試料１に照射される
。一次Ｘ線Ｂ１を受けた分析試料１は、原子が励起され
て、その元素固有の蛍光Ｘ線Ｂ２を発生する。蛍光Ｘ線
Ｂ２は、二次フィルタ１０でサルファ分以外による蛍光
Ｘ線Ｂ２が吸収されて、Ｘ線検出器８に入射して、Ｘ線
強度が検出される。この検出結果から、分析試料１のサ
ルファ分の濃度が決定される。
。上記Ｘ線管７から出射された一次Ｘ線（放射線）Ｂ１
は、窓材６を通して容器２内の分析試料１に照射される
。一次Ｘ線Ｂ１を受けた分析試料１は、原子が励起され
て、その元素固有の蛍光Ｘ線Ｂ２を発生する。蛍光Ｘ線
Ｂ２は、二次フィルタ１０でサルファ分以外による蛍光
Ｘ線Ｂ２が吸収されて、Ｘ線検出器８に入射して、Ｘ線
強度が検出される。この検出結果から、分析試料１のサ
ルファ分の濃度が決定される。
【０００６】ところで、蛍光Ｘ線分析では、分析装置自
体の経時的変化により生じるＸ線強度の変化（装置ドリ
フト）を校正して、分析精度の向上を図っている。校正
を行うには、次の様な２種類の校正試料を用意する。第
１校正試料１Ｈは、分析試料１よりも検出すべき元素（
サルファ）の蛍光Ｘ線またはそれに近似したエネルギの
Ｘ線強度が大きく、一方、第２校正試料１Ｌは、分析試
料１よりも、検出すべき元素（サルファ）の蛍光Ｘ線ま
たはそれに近似したエネルギのＸ線強度が小さく設定さ
れている。両校正試料１Ｈ，１Ｌは必ずしも分析試料１
と同じ材質である必要はない。
体の経時的変化により生じるＸ線強度の変化（装置ドリ
フト）を校正して、分析精度の向上を図っている。校正
を行うには、次の様な２種類の校正試料を用意する。第
１校正試料１Ｈは、分析試料１よりも検出すべき元素（
サルファ）の蛍光Ｘ線またはそれに近似したエネルギの
Ｘ線強度が大きく、一方、第２校正試料１Ｌは、分析試
料１よりも、検出すべき元素（サルファ）の蛍光Ｘ線ま
たはそれに近似したエネルギのＸ線強度が小さく設定さ
れている。両校正試料１Ｈ，１Ｌは必ずしも分析試料１
と同じ材質である必要はない。
【０００７】装置ドリフトを校正した分析試料１のＸ線
強度Ｉは、下記の（１）式〜（３）式に基づいて求めら
れる。 Ｉ＝Ｉｍ ・α＋β
…（１）α＝（ＩＨ０−ＩＬ０）／（ＩＨ１−
ＩＬ１） …（２）β＝ＩＨ０−ＩＨ１・α
…（３）Ｉｍ ：分析試
料の測定強度 α，β：ドリフト補正係数 ＩＨ０：第１校正試料の基準強度 ＩＬ０：第２校正試料の基準強度 ＩＨ１：第１校正試料の測定強度 ＩＬ１：第２校正試料の測定強度
強度Ｉは、下記の（１）式〜（３）式に基づいて求めら
れる。 Ｉ＝Ｉｍ ・α＋β
…（１）α＝（ＩＨ０−ＩＬ０）／（ＩＨ１−
ＩＬ１） …（２）β＝ＩＨ０−ＩＨ１・α
…（３）Ｉｍ ：分析試
料の測定強度 α，β：ドリフト補正係数 ＩＨ０：第１校正試料の基準強度 ＩＬ０：第２校正試料の基準強度 ＩＨ１：第１校正試料の測定強度 ＩＬ１：第２校正試料の測定強度
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところで、この種の液
体試料の蛍光Ｘ線分析においては、図１の窓材６が液体
試料で汚染される場合がある。たとえば、図１の容器２
内の分析試料１が薄膜４に沿って滲み出て、窓材６に付
着する場合がある。このような場合、この窓材６に付着
した汚染物からも蛍光Ｘ線Ｂ２が発生するとともに、分
析試料１から発生した蛍光Ｘ線Ｂ２が汚染物によって吸
収されるので、校正を行っても、正確な分析ができなく
なる。したがって、上記窓材６を適宣交換する必要があ
る。
体試料の蛍光Ｘ線分析においては、図１の窓材６が液体
試料で汚染される場合がある。たとえば、図１の容器２
内の分析試料１が薄膜４に沿って滲み出て、窓材６に付
着する場合がある。このような場合、この窓材６に付着
した汚染物からも蛍光Ｘ線Ｂ２が発生するとともに、分
析試料１から発生した蛍光Ｘ線Ｂ２が汚染物によって吸
収されるので、校正を行っても、正確な分析ができなく
なる。したがって、上記窓材６を適宣交換する必要があ
る。
【０００９】ここで、上記窓材６の汚染が目視で発見す
ることができない程度でも、分析誤差としては無視でき
ない場合がある。そこで、上記窓材６の汚染を検出し、
判定する必要が生じる。この発明は上記従来の問題に鑑
みてなされたもので、液体からなる分析試料の分析を行
う蛍光Ｘ線分析装置において、窓材の汚染を検出する検
出方法を提供することを目的とする。
ることができない程度でも、分析誤差としては無視でき
ない場合がある。そこで、上記窓材６の汚染を検出し、
判定する必要が生じる。この発明は上記従来の問題に鑑
みてなされたもので、液体からなる分析試料の分析を行
う蛍光Ｘ線分析装置において、窓材の汚染を検出する検
出方法を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明は、予め、図１の上記第１および第２校正
試料１Ｈ，１ＬについてＸ線強度を測定して、図２に示
す先の第１および第２測定値ＩＨ０，ＩＬ０を求める。 この後に、上記第１および第２校正試料１Ｈ，１Ｌにつ
いてＸ線強度を測定して、後の第１および第２測定値Ｉ
Ｈ１，ＩＬ１を求める。図２（ｂ）のように、上記後の
第１測定値ＩＨ１が先の第１測定値ＩＨ０よりも小さく
、かつ、上記後の第２測定値ＩＬ１が先の第２測定値Ｉ
Ｌ０よりも大きくなったとき、上記窓材６が分析試料に
より汚染されていると判定する。
に、この発明は、予め、図１の上記第１および第２校正
試料１Ｈ，１ＬについてＸ線強度を測定して、図２に示
す先の第１および第２測定値ＩＨ０，ＩＬ０を求める。 この後に、上記第１および第２校正試料１Ｈ，１Ｌにつ
いてＸ線強度を測定して、後の第１および第２測定値Ｉ
Ｈ１，ＩＬ１を求める。図２（ｂ）のように、上記後の
第１測定値ＩＨ１が先の第１測定値ＩＨ０よりも小さく
、かつ、上記後の第２測定値ＩＬ１が先の第２測定値Ｉ
Ｌ０よりも大きくなったとき、上記窓材６が分析試料に
より汚染されていると判定する。
【００１１】
【作用】この発明の原理を図１および図２を用いて説明
する。窓材６が汚染されていない場合において、装置ド
リフトが生じたときは、第１および第２校正試料１Ｈ，
１Ｌの後の測定値ＩＨ１，ＩＬ１は、図２（ａ）に示す
ように、共に、同一方向にドリフトする。
する。窓材６が汚染されていない場合において、装置ド
リフトが生じたときは、第１および第２校正試料１Ｈ，
１Ｌの後の測定値ＩＨ１，ＩＬ１は、図２（ａ）に示す
ように、共に、同一方向にドリフトする。
【００１２】一方、窓材６が分析試料の成分で汚染され
ていると、Ｘ線強度が強い第１校正試料１Ｈの場合は、
付着物から発生する蛍光Ｘ線Ｂ２の強度のほうが、第１
校正試料１Ｈから発生した蛍光Ｘ線Ｂ２が付着物におい
て吸収される蛍光Ｘ線の強度よりも小さいので、図２（
ｂ）のように、後の第１測定値ＩＨ１が低下する。逆に
、Ｘ線強度が低い第２校正試料１Ｌの場合は、付着物か
ら発生する蛍光Ｘ線Ｂ２の強度のほうが、第２校正試料
１Ｌから発生した蛍光Ｘ線Ｂ２が付着物において吸収さ
れる蛍光Ｘ線の強度よりも大きいので、後の第２測定値
ＩＬ１が大きくなる。
ていると、Ｘ線強度が強い第１校正試料１Ｈの場合は、
付着物から発生する蛍光Ｘ線Ｂ２の強度のほうが、第１
校正試料１Ｈから発生した蛍光Ｘ線Ｂ２が付着物におい
て吸収される蛍光Ｘ線の強度よりも小さいので、図２（
ｂ）のように、後の第１測定値ＩＨ１が低下する。逆に
、Ｘ線強度が低い第２校正試料１Ｌの場合は、付着物か
ら発生する蛍光Ｘ線Ｂ２の強度のほうが、第２校正試料
１Ｌから発生した蛍光Ｘ線Ｂ２が付着物において吸収さ
れる蛍光Ｘ線の強度よりも大きいので、後の第２測定値
ＩＬ１が大きくなる。
【００１３】したがって、後の第１測定値ＩＨ１が先の
第１測定値ＩＨ０よりも小さく、かつ、後の第２測定値
ＩＬ１が先の第２測定値ＩＬ０よりも大きい場合に、窓
材６が汚染されていると判定することができる。
第１測定値ＩＨ０よりも小さく、かつ、後の第２測定値
ＩＬ１が先の第２測定値ＩＬ０よりも大きい場合に、窓
材６が汚染されていると判定することができる。
【００１４】
【実施例】以下、この発明方法の一実施例を図面にした
がって説明する。なお、用いる分析装置および校正試料
１Ｈ，１Ｌは、従来例において説明したものと同じであ
る。
がって説明する。なお、用いる分析装置および校正試料
１Ｈ，１Ｌは、従来例において説明したものと同じであ
る。
【００１５】予め、図１の両校正試料１Ｈ，１Ｌを照射
位置Ｐに交互にセットし、両校正試料１Ｈ， １Ｌに一
次Ｘ線Ｂ１を照射して、その蛍光Ｘ線Ｂ２の第１および
第２基準強度（先の第１および第２測定値）ＩＨ０、Ｉ
Ｌ０を測定する。ついで、当日の分析試料１の分析前に
、両校正試料１Ｈ，１Ｌに一次Ｘ線Ｂ１を照射して、蛍
光Ｘ線Ｂ２の第１および第２測定強度（後の第１および
第２測定値）ＩＨ１，ＩＬ１を測定する。
位置Ｐに交互にセットし、両校正試料１Ｈ， １Ｌに一
次Ｘ線Ｂ１を照射して、その蛍光Ｘ線Ｂ２の第１および
第２基準強度（先の第１および第２測定値）ＩＨ０、Ｉ
Ｌ０を測定する。ついで、当日の分析試料１の分析前に
、両校正試料１Ｈ，１Ｌに一次Ｘ線Ｂ１を照射して、蛍
光Ｘ線Ｂ２の第１および第２測定強度（後の第１および
第２測定値）ＩＨ１，ＩＬ１を測定する。
【００１６】その後、上記各強度ＩＨ０，ＩＨ１，ＩＬ
０，ＩＬ１を用いて、上記第１測定強度ＩＨ１を第１基
準強度ＩＨ０で除した値が第１の閾値Ａ（Ａは１．０
よりも小さい値）よりも小さく、かつ、上記第２測定強
度ＩＬ１を第２基準強度ＩＬ０で除した値が第２の閾値
Ｂ（Ｂは１．０ よりも大きい値）よりも大きい場合に
は、窓材６が分析試料により汚染されていると判定する
。つまり、下記の（４），（５）式を満足する場合には
、窓材６が汚染されていると判定する。 ＩＨ１／ＩＨ０＜Ａ …（４）ＩＬ１／ＩＬ０＞Ｂ
…（５）
０，ＩＬ１を用いて、上記第１測定強度ＩＨ１を第１基
準強度ＩＨ０で除した値が第１の閾値Ａ（Ａは１．０
よりも小さい値）よりも小さく、かつ、上記第２測定強
度ＩＬ１を第２基準強度ＩＬ０で除した値が第２の閾値
Ｂ（Ｂは１．０ よりも大きい値）よりも大きい場合に
は、窓材６が分析試料により汚染されていると判定する
。つまり、下記の（４），（５）式を満足する場合には
、窓材６が汚染されていると判定する。 ＩＨ１／ＩＨ０＜Ａ …（４）ＩＬ１／ＩＬ０＞Ｂ
…（５）
【００１７】上記、両閾値Ａ，Ｂは、分析装
置ごとに設定するが、精度の高い分析が必要な場合ほど
、１．０ に近い値を用いる。一般には、第１の閾値Ａ
はＸ線強度の統計的なばらつきによる変動率よりも充分
小さい、たとえば０．９５とし、第２の閾値Ｂは充分大
きい、たとえば１．０５程度の値を用いる。なお、窓材
６が汚染されていると判断した場合には、アラームメッ
セージを出して、オペレータに知らせる。
置ごとに設定するが、精度の高い分析が必要な場合ほど
、１．０ に近い値を用いる。一般には、第１の閾値Ａ
はＸ線強度の統計的なばらつきによる変動率よりも充分
小さい、たとえば０．９５とし、第２の閾値Ｂは充分大
きい、たとえば１．０５程度の値を用いる。なお、窓材
６が汚染されていると判断した場合には、アラームメッ
セージを出して、オペレータに知らせる。
【００１８】上記判定方法において、第１校正試料１Ｈ
は、分析試料１よりもＸ線強度が強い。そのため、窓材
６が分析試料１で汚染されている場合は、作用の項で説
明したように、図２（ｂ）の第１測定強度ＩＨ１が第１
基準強度ＩＨ０よりも小さくなる。一方、第２校正試料
１Ｌは分析試料１よりもＸ線強度分が弱い。そのため、
窓材６が分析試料１で汚染されている場合は、逆に、第
２測定強度ＩＬ１が第２基準強度ＩＬ０よりも大きくな
る。したがって、上記（４），（５）式をともに満足す
る場合には、窓材６が汚染されていると判断できる。
は、分析試料１よりもＸ線強度が強い。そのため、窓材
６が分析試料１で汚染されている場合は、作用の項で説
明したように、図２（ｂ）の第１測定強度ＩＨ１が第１
基準強度ＩＨ０よりも小さくなる。一方、第２校正試料
１Ｌは分析試料１よりもＸ線強度分が弱い。そのため、
窓材６が分析試料１で汚染されている場合は、逆に、第
２測定強度ＩＬ１が第２基準強度ＩＬ０よりも大きくな
る。したがって、上記（４），（５）式をともに満足す
る場合には、窓材６が汚染されていると判断できる。
【００１９】ところで、Ｘ線強度は窓材６の汚染以外に
経時変化によっても変動する。したがって基準強度と今
回の測定強度を比較する方法では、経時変化による変動
の影響を受けて窓材６の汚染を正しく判断することがで
きない場合が生じる。このようなことから、各校正試料
１Ｈ，１Ｌの基準強度ＩＨ０，ＩＬ０と、測定強度ＩＨ
１，ＩＬ１とを比較するよりも、各校正試料１Ｈ，１Ｌ
の前回の測定強度ＩＨ１，ＩＬ１と今回の測定強度ＩＨ
２，ＩＬ２とを比較するのが好ましい。
経時変化によっても変動する。したがって基準強度と今
回の測定強度を比較する方法では、経時変化による変動
の影響を受けて窓材６の汚染を正しく判断することがで
きない場合が生じる。このようなことから、各校正試料
１Ｈ，１Ｌの基準強度ＩＨ０，ＩＬ０と、測定強度ＩＨ
１，ＩＬ１とを比較するよりも、各校正試料１Ｈ，１Ｌ
の前回の測定強度ＩＨ１，ＩＬ１と今回の測定強度ＩＨ
２，ＩＬ２とを比較するのが好ましい。
【００２０】たとえば、今回の第１測定強度ＩＨ２を直
前回の第１測定強度ＩＨ１で除した値が第１の閾値Ａ１
よりも小さく、かつ、今回の第２測定値ＩＬ２を直前
回の第２測定強度ＩＬ１で除した値が第２の閾値Ｂ１
よりも大きい場合には、窓材６に分析試料が付着してい
ると判断する。つまり、前述の（４），（５）式に代え
て、下記の（６），（７）式を満足する場合には、窓材
６が汚染されていると判断する。 ＩＨ２／ＩＨ１＜Ａ１ …（６） ＩＬ２／ＩＬ１＞Ｂ１ …（７） Ａ１ ：１．０ よりも小さい値 Ｂ１ ：１．０ よりも大きい値
前回の第１測定強度ＩＨ１で除した値が第１の閾値Ａ１
よりも小さく、かつ、今回の第２測定値ＩＬ２を直前
回の第２測定強度ＩＬ１で除した値が第２の閾値Ｂ１
よりも大きい場合には、窓材６に分析試料が付着してい
ると判断する。つまり、前述の（４），（５）式に代え
て、下記の（６），（７）式を満足する場合には、窓材
６が汚染されていると判断する。 ＩＨ２／ＩＨ１＜Ａ１ …（６） ＩＬ２／ＩＬ１＞Ｂ１ …（７） Ａ１ ：１．０ よりも小さい値 Ｂ１ ：１．０ よりも大きい値
【００２１】なお、分析装置が直前回の第１および第２
測定強度ＩＨ１，ＩＬ１を記憶していない場合は、下記
の（８），（９）式から直前回の第１および第２測定強
度ＩＨ１，ＩＬ１を求める。 ＩＨ１＝（ＩＨ０−β）／αＩＬ１＝（ＩＬ０−β）／
αα，β：直前回のドリフト補正係数
測定強度ＩＨ１，ＩＬ１を記憶していない場合は、下記
の（８），（９）式から直前回の第１および第２測定強
度ＩＨ１，ＩＬ１を求める。 ＩＨ１＝（ＩＨ０−β）／αＩＬ１＝（ＩＬ０−β）／
αα，β：直前回のドリフト補正係数
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれば
、Ｘ線強度が分析試料１よりも強い第１校正試料１Ｈと
、Ｘ線強度が分析試料１よりも低い第２校正試料１Ｌと
を用いて、後の第１測定値ＩＨ１が先の第１測定値ＩＨ
０よりも小さく、かつ、後の第２測定値ＩＬ１が先の第
２測定値ＩＬ０よりも大きくなったときに、窓材６が汚
れていると判定するので、微量の分析試料１による窓材
６の汚染を検出することができる。
、Ｘ線強度が分析試料１よりも強い第１校正試料１Ｈと
、Ｘ線強度が分析試料１よりも低い第２校正試料１Ｌと
を用いて、後の第１測定値ＩＨ１が先の第１測定値ＩＨ
０よりも小さく、かつ、後の第２測定値ＩＬ１が先の第
２測定値ＩＬ０よりも大きくなったときに、窓材６が汚
れていると判定するので、微量の分析試料１による窓材
６の汚染を検出することができる。
【図１】一般的な蛍光Ｘ線分析装置を示す概略構成図で
ある。
ある。
【図２】（ａ）は窓材が分析試料で汚染されていない場
合の基準強度と測定強度との関係を示す特性図、（ｂ）
は窓材が分析試料で汚染されている場合の基準強度と測
定強度との関係を示す特性図である。
合の基準強度と測定強度との関係を示す特性図、（ｂ）
は窓材が分析試料で汚染されている場合の基準強度と測
定強度との関係を示す特性図である。
１…分析試料、１Ｈ…第１校正試料、１Ｌ…第２校正試
料、６…窓材、７…放射線源（Ｘ線管）、８…Ｘ線検出
器、Ｂ１…放射線（一次Ｘ線）、Ｂ２…蛍光Ｘ線、ＩＨ
０…先の第１測定値（第１基準強度）、ＩＨ１…後の第
１測定値（第１測定強度）、ＩＬ０…先の第２測定値（
第２基準強度）、ＩＬ１…後の第２測定値（第２測定強
度）。
料、６…窓材、７…放射線源（Ｘ線管）、８…Ｘ線検出
器、Ｂ１…放射線（一次Ｘ線）、Ｂ２…蛍光Ｘ線、ＩＨ
０…先の第１測定値（第１基準強度）、ＩＨ１…後の第
１測定値（第１測定強度）、ＩＬ０…先の第２測定値（
第２基準強度）、ＩＬ１…後の第２測定値（第２測定強
度）。
Claims (1)
- 【請求項１】 液体からなる分析試料の下方に、放射
線源およびＸ線検出器を窓材を介挿して配置し、上記放
射線源から上記窓材を通して上記分析試料に放射線を照
射し、この放射線を受けた分析試料からのＸ線強度を上
記Ｘ線検出器で検出することにより分析試料の元素分析
を行う蛍光Ｘ線分析装置における窓材の汚染検出方法で
あって、検出すべき元素の蛍光Ｘ線またはそれに近似し
たエネルギのＸ線強度が分析試料よりも大きい第１校正
試料と、検出すべき元素の蛍光Ｘ線またはそれに近似し
たエネルギのＸ線強度が分析試料よりも小さい第２校正
試料とを用意し、予め、上記第１および第２校正試料に
ついてＸ線強度を測定して、先の第１および第２測定値
を求め、後に、上記第１および第２校正試料についてＸ
線強度を測定して、後の第１および第２測定値を求め、
上記後の第１測定値が先の第１測定値よりも小さく、か
つ、上記後の第２測定値が先の第２測定値よりも大きく
なったとき上記窓材が汚れていると判定する蛍光Ｘ線分
析装置における窓材の汚染検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15777991A JP2615279B2 (ja) | 1991-05-31 | 1991-05-31 | 蛍光ｘ線分析装置における窓材の汚染検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15777991A JP2615279B2 (ja) | 1991-05-31 | 1991-05-31 | 蛍光ｘ線分析装置における窓材の汚染検出方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04355355A true JPH04355355A (ja) | 1992-12-09 |
| JP2615279B2 JP2615279B2 (ja) | 1997-05-28 |
Family
ID=15657115
Family Applications (1)
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