JPH04355374A - 電子回路基板の検査装置 - Google Patents
電子回路基板の検査装置Info
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- JPH04355374A JPH04355374A JP3157557A JP15755791A JPH04355374A JP H04355374 A JPH04355374 A JP H04355374A JP 3157557 A JP3157557 A JP 3157557A JP 15755791 A JP15755791 A JP 15755791A JP H04355374 A JPH04355374 A JP H04355374A
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- test pin
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- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims abstract description 221
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 36
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 9
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 7
- 230000005611 electricity Effects 0.000 claims description 5
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 6
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電子回路基板の検査装
置に係り、特にテストピンに磁力を作用させてテストピ
ンの先端部を電子回路基板の所定の部位に当接させるこ
とにより従来使用されていたコイルスプリングを不要と
してテストピンの小型化、特に小径化を可能とし、配線
間隔が極めて小さい電子部品の電気特性をテストするに
好適な電子回路基板の検査装置に関する。
置に係り、特にテストピンに磁力を作用させてテストピ
ンの先端部を電子回路基板の所定の部位に当接させるこ
とにより従来使用されていたコイルスプリングを不要と
してテストピンの小型化、特に小径化を可能とし、配線
間隔が極めて小さい電子部品の電気特性をテストするに
好適な電子回路基板の検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半田付けが完了した電子回路基板
の結線が正しく行われているか否かを検査する方法とし
て、図７から図９において、基台１に配設された複数の
テストピン２の上に電子部品を搭載した電子回路基板３
を載置して電子部品或いは回路パターン部にテストピン
２を接触させ、シリンダ４を作動させて押圧板５を介し
て電子回路基板３を矢印Ａ方向に押圧して接触力を高め
、該接触を確実なものにしてからテストピン２を通して
電子回路基板３に電圧を印加し、正規の動作をするか否
かを測定装置６によって判断していた。
の結線が正しく行われているか否かを検査する方法とし
て、図７から図９において、基台１に配設された複数の
テストピン２の上に電子部品を搭載した電子回路基板３
を載置して電子部品或いは回路パターン部にテストピン
２を接触させ、シリンダ４を作動させて押圧板５を介し
て電子回路基板３を矢印Ａ方向に押圧して接触力を高め
、該接触を確実なものにしてからテストピン２を通して
電子回路基板３に電圧を印加し、正規の動作をするか否
かを測定装置６によって判断していた。
【０００３】テストピン２の構成は、図９において、テ
ストピン２をパイプ７の内部に装着し、先端部２ａをそ
の一端７ａに形成された穴７ｂに挿通して突出させてい
る。テストピン２の後端部２ｂは、パイプ７の内部に固
定されたばね受け板８の穴に挿通され、矢印Ｂ又はＣ方
向に摺動するテストピン２を案内している。
ストピン２をパイプ７の内部に装着し、先端部２ａをそ
の一端７ａに形成された穴７ｂに挿通して突出させてい
る。テストピン２の後端部２ｂは、パイプ７の内部に固
定されたばね受け板８の穴に挿通され、矢印Ｂ又はＣ方
向に摺動するテストピン２を案内している。
【０００４】そしてテストピン２の略中央に形成された
大径部２ｃとばね受け板８との間には圧縮ばね９が配設
されていて、テストピン２を常に矢印Ｃ方向に押圧付勢
し、電子回路基板３に搭載した電子部品の高さの差、電
子回路基板３の反り等を圧縮ばね９で吸収すると共に圧
縮ばね９のばね力により接触を確実なものにしていた。
大径部２ｃとばね受け板８との間には圧縮ばね９が配設
されていて、テストピン２を常に矢印Ｃ方向に押圧付勢
し、電子回路基板３に搭載した電子部品の高さの差、電
子回路基板３の反り等を圧縮ばね９で吸収すると共に圧
縮ばね９のばね力により接触を確実なものにしていた。
【０００５】しかし該従来の電子回路基板の検査装置で
は、テストピン２の構造が複雑であり直径が最小でも１
ｍｍから１．２ｍｍと大型になってしまう欠点があり、
この結果、近年ますます小型化、高密度化されてリード
線の間隔が狭くなっているチップ部品等の電子部品が搭
載された電子回路基板３をテストすることは不可能とな
りつつある。
は、テストピン２の構造が複雑であり直径が最小でも１
ｍｍから１．２ｍｍと大型になってしまう欠点があり、
この結果、近年ますます小型化、高密度化されてリード
線の間隔が狭くなっているチップ部品等の電子部品が搭
載された電子回路基板３をテストすることは不可能とな
りつつある。
【０００６】また圧縮ばね９がパイプ７に内蔵されてい
るので、外から圧縮ばね９の様子を見ることができず、
ばねのへたり、折れ等が生じて所定の接触力が確保され
ていなくても発見することが困難であり、あたかも電子
回路基板３が不良である如く作用し、作業効率を低下さ
せるばかりでなく、テストの信頼性を低下させるおそれ
があるという欠点があった。
るので、外から圧縮ばね９の様子を見ることができず、
ばねのへたり、折れ等が生じて所定の接触力が確保され
ていなくても発見することが困難であり、あたかも電子
回路基板３が不良である如く作用し、作業効率を低下さ
せるばかりでなく、テストの信頼性を低下させるおそれ
があるという欠点があった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は，上記した従
来技術の欠点を除くためになされたものであって、その
目的とするところは、テストピンを磁力により駆動して
電子回路基板の測定部に接触させることにより、テスト
ピンの小型化、特に小径化を可能としてピン間隔を狭め
て配列し、高密度の電子部品も容易にテストできるよう
にすることである。また他の目的は、テストピンと電子
回路基板の測定部との接触を所定の接触力で確実に接触
させることであり、検査装置の保守作業を不要として作
業効率を向上させることである。
来技術の欠点を除くためになされたものであって、その
目的とするところは、テストピンを磁力により駆動して
電子回路基板の測定部に接触させることにより、テスト
ピンの小型化、特に小径化を可能としてピン間隔を狭め
て配列し、高密度の電子部品も容易にテストできるよう
にすることである。また他の目的は、テストピンと電子
回路基板の測定部との接触を所定の接触力で確実に接触
させることであり、検査装置の保守作業を不要として作
業効率を向上させることである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】要するに本発明（請求項
１）は、複数のテストピンをその軸線方向に摺動自在に
保持し該テストピンの先端部を電子回路基板の所定の部
位に当接させて該電子回路基板の電気特性をテストする
電子回路基板の検査装置において、前記電子回路基板の
所定の検査部位に対向する位置の基台にその軸線方向に
摺動自在に保持されかつ測定装置に夫々電気的に接続さ
れた複数のテストピンと、該テストピンに磁力を作用さ
せ該テストピンに吸引力又は反発力を付与して前記電子
回路基板の所定の部位に該テストピンの先端部を当接さ
せる磁力発生装置とを備え、該磁力発生装置からの磁力
によって前記テストピンと前記電子回路基板との必要接
触力を前記テストピンに付与するように構成したことを
特徴とするものである。また本発明（請求項２）は、複
数のテストピンをその軸線方向に摺動自在に保持し該テ
ストピンの先端部を電子回路基板の所定の部位に当接さ
せて該電子回路基板の電気特性をテストする電子回路基
板の検査装置において、前記電子回路基板の所定の検査
部位に対向する位置の基台にその軸線方向に摺動自在に
保持されかつ後端部に極性が揃った磁石が夫々固定され
測定装置に夫々電気的に接続された複数のテストピンと
、該テストピンの前記磁石に対向して配設され通電する
ことにより前記磁石と同極同士が対向して前記テストピ
ンに反発力を付与して前記先端部を前記電子回路基板の
所定の部位に当接させる電磁石とを備えたことを特徴と
するものである。また本発明（請求項３）は、複数のテ
ストピンをその軸線方向に摺動自在に保持し該テストピ
ンの先端部を電子回路基板の所定の部位に当接させて該
電子回路基板の電気特性をテストする電子回路基板の検
査装置において、後端部に夫々永久磁石が固定され前記
電子回路基板の所定の検査部位に対向する位置の基台に
その軸線方向に摺動自在に保持されると共に測定装置に
夫々電気的に接続された複数のテストピンと、該テスト
ピンの前記永久磁石と同極同士が対向するように配設さ
れた他の永久磁石とを備え、前記テストピンの永久磁石
と前記他の永久磁石との反発力により前記先端部を前記
電子回路基板の所定の部位に当接させるように構成した
ことを特徴とするものである。また本発明（請求項４）
は、複数のテストピンをその軸線方向に摺動自在に保持
し該テストピンの先端部を電子回路基板の所定の部位に
当接させて該電子回路基板の電気特性をテストする電子
回路基板の検査装置において、前記電子回路基板の所定
の検査部位に対向する位置の基台にその軸線方向に摺動
自在に保持され、かつ測定装置に夫々電気的に接続され
た磁性材料から成る複数のテストピンと、該テストピン
の前記先端部が当接する前記電子回路基板の裏面側に配
設され通電することにより前記テストピンに吸引力を付
与して前記先端部を前記電子回路基板の所定の部位に当
接させる電磁石とを備えたことを特徴とするものである
。また本発明（請求項５）は、複数のテストピンをその
軸線方向に摺動自在に保持し該テストピンの先端部を電
子回路基板の所定の部位に当接させて該電子回路基板の
電気特性をテストする電子回路基板の検査装置において
、前記電子回路基板の所定の検査部位に対向する位置の
基台にその軸線方向に摺動自在に保持されかつ測定装置
に夫々電気的に接続された磁性材料から成る複数のテス
トピンと、該テストピンの前記先端部が当接する前記電
子回路基板の裏面側に配設され磁力による吸引力を前記
テストピンに付与して前記先端部を前記電子回路基板の
所定の部位に当接させる永久磁石とを備えたことを特徴
とする複数のテストピンをその軸線方向に摺動自在に保
持し該テストピンの先端部を電子回路基板の所定の部位
に当接させて該電子回路基板の電気特性をテストする電
子回路基板の検査装置において、前記電子回路基板の所
定の検査部位に対向する位置の基台にその軸線方向に摺
動自在に保持されかつ測定装置に夫々電気的に接続され
た磁性材料から成る複数のテストピンと、該テストピン
の前記先端部が当接する前記電子回路基板の裏面側に配
設され磁力による吸引力を前記テストピンに付与して前
記先端部を前記電子回路基板の所定の部位に当接させる
永久磁石とを備えたことを特徴とするものである。 また本発明（請求項６）は、複数のテストピンをその軸
線方向に摺動自在に保持し該テストピンの先端部を電子
回路基板の所定の部位に当接させて該電子回路基板の電
気特性をテストする電子回路基板の検査装置において、
先端部が次第に細められると共に後端部に磁力が付与さ
れた着磁部が配設されたテストピンと、該テストピンを
その軸線方向に摺動自在に保持し前記着磁部の磁極と同
極同士が対向するように配設された永久磁石を固定して
支持するテストピンホルダとを備え、前記着磁部と前記
永久磁石との反発力により前記テストピンを突出させて
前記先端部を電子回路基板の所定の部位に当接させるよ
うに構成したことを特徴とするものである。
１）は、複数のテストピンをその軸線方向に摺動自在に
保持し該テストピンの先端部を電子回路基板の所定の部
位に当接させて該電子回路基板の電気特性をテストする
電子回路基板の検査装置において、前記電子回路基板の
所定の検査部位に対向する位置の基台にその軸線方向に
摺動自在に保持されかつ測定装置に夫々電気的に接続さ
れた複数のテストピンと、該テストピンに磁力を作用さ
せ該テストピンに吸引力又は反発力を付与して前記電子
回路基板の所定の部位に該テストピンの先端部を当接さ
せる磁力発生装置とを備え、該磁力発生装置からの磁力
によって前記テストピンと前記電子回路基板との必要接
触力を前記テストピンに付与するように構成したことを
特徴とするものである。また本発明（請求項２）は、複
数のテストピンをその軸線方向に摺動自在に保持し該テ
ストピンの先端部を電子回路基板の所定の部位に当接さ
せて該電子回路基板の電気特性をテストする電子回路基
板の検査装置において、前記電子回路基板の所定の検査
部位に対向する位置の基台にその軸線方向に摺動自在に
保持されかつ後端部に極性が揃った磁石が夫々固定され
測定装置に夫々電気的に接続された複数のテストピンと
、該テストピンの前記磁石に対向して配設され通電する
ことにより前記磁石と同極同士が対向して前記テストピ
ンに反発力を付与して前記先端部を前記電子回路基板の
所定の部位に当接させる電磁石とを備えたことを特徴と
するものである。また本発明（請求項３）は、複数のテ
ストピンをその軸線方向に摺動自在に保持し該テストピ
ンの先端部を電子回路基板の所定の部位に当接させて該
電子回路基板の電気特性をテストする電子回路基板の検
査装置において、後端部に夫々永久磁石が固定され前記
電子回路基板の所定の検査部位に対向する位置の基台に
その軸線方向に摺動自在に保持されると共に測定装置に
夫々電気的に接続された複数のテストピンと、該テスト
ピンの前記永久磁石と同極同士が対向するように配設さ
れた他の永久磁石とを備え、前記テストピンの永久磁石
と前記他の永久磁石との反発力により前記先端部を前記
電子回路基板の所定の部位に当接させるように構成した
ことを特徴とするものである。また本発明（請求項４）
は、複数のテストピンをその軸線方向に摺動自在に保持
し該テストピンの先端部を電子回路基板の所定の部位に
当接させて該電子回路基板の電気特性をテストする電子
回路基板の検査装置において、前記電子回路基板の所定
の検査部位に対向する位置の基台にその軸線方向に摺動
自在に保持され、かつ測定装置に夫々電気的に接続され
た磁性材料から成る複数のテストピンと、該テストピン
の前記先端部が当接する前記電子回路基板の裏面側に配
設され通電することにより前記テストピンに吸引力を付
与して前記先端部を前記電子回路基板の所定の部位に当
接させる電磁石とを備えたことを特徴とするものである
。また本発明（請求項５）は、複数のテストピンをその
軸線方向に摺動自在に保持し該テストピンの先端部を電
子回路基板の所定の部位に当接させて該電子回路基板の
電気特性をテストする電子回路基板の検査装置において
、前記電子回路基板の所定の検査部位に対向する位置の
基台にその軸線方向に摺動自在に保持されかつ測定装置
に夫々電気的に接続された磁性材料から成る複数のテス
トピンと、該テストピンの前記先端部が当接する前記電
子回路基板の裏面側に配設され磁力による吸引力を前記
テストピンに付与して前記先端部を前記電子回路基板の
所定の部位に当接させる永久磁石とを備えたことを特徴
とする複数のテストピンをその軸線方向に摺動自在に保
持し該テストピンの先端部を電子回路基板の所定の部位
に当接させて該電子回路基板の電気特性をテストする電
子回路基板の検査装置において、前記電子回路基板の所
定の検査部位に対向する位置の基台にその軸線方向に摺
動自在に保持されかつ測定装置に夫々電気的に接続され
た磁性材料から成る複数のテストピンと、該テストピン
の前記先端部が当接する前記電子回路基板の裏面側に配
設され磁力による吸引力を前記テストピンに付与して前
記先端部を前記電子回路基板の所定の部位に当接させる
永久磁石とを備えたことを特徴とするものである。 また本発明（請求項６）は、複数のテストピンをその軸
線方向に摺動自在に保持し該テストピンの先端部を電子
回路基板の所定の部位に当接させて該電子回路基板の電
気特性をテストする電子回路基板の検査装置において、
先端部が次第に細められると共に後端部に磁力が付与さ
れた着磁部が配設されたテストピンと、該テストピンを
その軸線方向に摺動自在に保持し前記着磁部の磁極と同
極同士が対向するように配設された永久磁石を固定して
支持するテストピンホルダとを備え、前記着磁部と前記
永久磁石との反発力により前記テストピンを突出させて
前記先端部を電子回路基板の所定の部位に当接させるよ
うに構成したことを特徴とするものである。
【０００９】
【実施例】以下本発明を図面に示す実施例に基いて説明
する。図１から図５において、本発明に係る電子回路基
板の検査装置１０は、テストピン１１と、磁力発生装置
１２の一例たる電磁石１３又は永久磁石１４と、テスト
ピンホルダ１５とを備えている。
する。図１から図５において、本発明に係る電子回路基
板の検査装置１０は、テストピン１１と、磁力発生装置
１２の一例たる電磁石１３又は永久磁石１４と、テスト
ピンホルダ１５とを備えている。
【００１０】まず本発明の第１実施例を図１により説明
する。テストピン１１は、電子部品１６が搭載された電
子回路基板１８の所定の部位に接触させて電気抵抗、電
圧等を測定するためのものであって、例えば接触部の電
気抵抗を小さくして電子回路基板１８の電気特性の測定
値に影響を与えないようにその表面には、例えば金メッ
キが施された直径０．３ｍｍの鉄で製作されており、基
台１９に植設されたガイドピン２０に嵌合して配設され
たテストピン保持プレート２１の所定の（電子回路基板
１８の測定部位に対応する）位置に形成された穴２１ａ
に図中上下方向に摺動自在に複数本嵌合している。
する。テストピン１１は、電子部品１６が搭載された電
子回路基板１８の所定の部位に接触させて電気抵抗、電
圧等を測定するためのものであって、例えば接触部の電
気抵抗を小さくして電子回路基板１８の電気特性の測定
値に影響を与えないようにその表面には、例えば金メッ
キが施された直径０．３ｍｍの鉄で製作されており、基
台１９に植設されたガイドピン２０に嵌合して配設され
たテストピン保持プレート２１の所定の（電子回路基板
１８の測定部位に対応する）位置に形成された穴２１ａ
に図中上下方向に摺動自在に複数本嵌合している。
【００１１】先端部１１ａは次第に細められており、電
子回路基板１８のどの様な狭い部位にも接触できるよう
に、また接触したとき接触圧を十分高くして接触抵抗を
小さくするような形状になっている。後端部１１ｂは、
磁化され又は永久磁石１７が固定されていて、例えば開
放端にＮ極が構成されている。そして各テストピン１１
には、電気コード２２が接続され、測定装置２３に信号
を伝達するようになっている。
子回路基板１８のどの様な狭い部位にも接触できるよう
に、また接触したとき接触圧を十分高くして接触抵抗を
小さくするような形状になっている。後端部１１ｂは、
磁化され又は永久磁石１７が固定されていて、例えば開
放端にＮ極が構成されている。そして各テストピン１１
には、電気コード２２が接続され、測定装置２３に信号
を伝達するようになっている。
【００１２】電磁石１３は、磁化された後端部１１ｂの
永久磁石１７に磁力を作用させてテストピン１１を電子
回路基板１８に確実に接触させるためのものであって、
テストピン保持プレート２１の上方にスタッド２４を介
して固定されている支持板２５の下面にテストピン１１
の永久磁石１７に対向して配設されている導電体２６が
コイル状に巻かれた公知の電磁石であり、該導電体２６
は電源部２８に接続され、電源部２８から電流を流して
磁力を発生させるようになっている。
永久磁石１７に磁力を作用させてテストピン１１を電子
回路基板１８に確実に接触させるためのものであって、
テストピン保持プレート２１の上方にスタッド２４を介
して固定されている支持板２５の下面にテストピン１１
の永久磁石１７に対向して配設されている導電体２６が
コイル状に巻かれた公知の電磁石であり、該導電体２６
は電源部２８に接続され、電源部２８から電流を流して
磁力を発生させるようになっている。
【００１３】そして本発明においては、電源部２８から
テストピン１１の後端部１１ｂに対向する側にＮ極を生
じさせるように電流を流して磁化し、永久磁石１７のＮ
極と電磁石１３のＮ極同士の反発力によってテストピン
１１を電子回路基板１８に接近させる方向に移動させる
ようになっている。また電源部２８から電流の方向を上
記したと逆方向に流してテストピン１１の後端部１１ｂ
に対向する側にＳ極を生じさせ、テストピン１１を吸引
して電子回路基板１８から離脱させるようになっている
。
テストピン１１の後端部１１ｂに対向する側にＮ極を生
じさせるように電流を流して磁化し、永久磁石１７のＮ
極と電磁石１３のＮ極同士の反発力によってテストピン
１１を電子回路基板１８に接近させる方向に移動させる
ようになっている。また電源部２８から電流の方向を上
記したと逆方向に流してテストピン１１の後端部１１ｂ
に対向する側にＳ極を生じさせ、テストピン１１を吸引
して電子回路基板１８から離脱させるようになっている
。
【００１４】次に、本発明の第２実施例を図２により説
明する。本実施例は第１実施例の電磁石１３の代りに永
久磁石１４が用いられているだけであるので、同じ部品
には同じ番号を付して詳細な説明は省略する。
明する。本実施例は第１実施例の電磁石１３の代りに永
久磁石１４が用いられているだけであるので、同じ部品
には同じ番号を付して詳細な説明は省略する。
【００１５】開放端がＮ極に磁化されているテストピン
１１の永久磁石１７に他の永久磁石１４のＮ極を矢印Ｄ
方向に接近させることによりテストピン１１に反発力を
作用させて矢印Ｆ方向に移動させ、電子回路基板１８に
接触させるようになっている。また永久磁石１４のＳ極
を永久磁石１７に対向させれば、テストピン１１は吸引
されて電子回路基板１８から離脱することは明らかであ
る。
１１の永久磁石１７に他の永久磁石１４のＮ極を矢印Ｄ
方向に接近させることによりテストピン１１に反発力を
作用させて矢印Ｆ方向に移動させ、電子回路基板１８に
接触させるようになっている。また永久磁石１４のＳ極
を永久磁石１７に対向させれば、テストピン１１は吸引
されて電子回路基板１８から離脱することは明らかであ
る。
【００１６】次に、本発明の第３実施例を図３により説
明すると、テストピン１１の先端部１１ａは、第１実施
例のものと同様に次第に細められて形成され、後端部１
１ｂは、テストピン１１の太さよりも更に太く形成され
ており、開放端にＮ極が構成されるように永久磁石１７
が固定されている。テストピンホルダ１５は、テストピ
ン１１を収納し、矢印Ｈ又はＩ方向に案内しながら摺動
させるためのものであって、中心部には軸方向に大径穴
１５ａと小径穴１５ｂとが形成されており、小径穴１５
ｂにはテストピン１１の小径部が矢印Ｈ又はＩ方向に摺
動自在に嵌合し、大径穴１５ａ中には永久磁石１７が固
定された後端部１１ｂが収納されている。更に大径穴１
５ａの端部には他の永久磁石１４のＮ極がテストピン１
１の後端部１１ｂのＮ極と対向して固定されていて、テ
ストピン１１の後端部１１ｂの永久磁石１７のＮ極と永
久磁石１４のＮ極との反発力によりテストピン１１を常
に矢印Ｈ方向に付勢するようになっている。
明すると、テストピン１１の先端部１１ａは、第１実施
例のものと同様に次第に細められて形成され、後端部１
１ｂは、テストピン１１の太さよりも更に太く形成され
ており、開放端にＮ極が構成されるように永久磁石１７
が固定されている。テストピンホルダ１５は、テストピ
ン１１を収納し、矢印Ｈ又はＩ方向に案内しながら摺動
させるためのものであって、中心部には軸方向に大径穴
１５ａと小径穴１５ｂとが形成されており、小径穴１５
ｂにはテストピン１１の小径部が矢印Ｈ又はＩ方向に摺
動自在に嵌合し、大径穴１５ａ中には永久磁石１７が固
定された後端部１１ｂが収納されている。更に大径穴１
５ａの端部には他の永久磁石１４のＮ極がテストピン１
１の後端部１１ｂのＮ極と対向して固定されていて、テ
ストピン１１の後端部１１ｂの永久磁石１７のＮ極と永
久磁石１４のＮ極との反発力によりテストピン１１を常
に矢印Ｈ方向に付勢するようになっている。
【００１７】本発明の第４実施例を図４により説明する
と、基台１９に図１のものについての説明において述べ
たと同様に導電体２６がコイル状に巻かれ電源部２８に
接続された電磁石１３が配設されている。電磁石１３の
上方にはわずかな隙間を保って回路基板支持台２９が基
台１９に植設されたガイドピン２０に嵌合して配設され
ている。
と、基台１９に図１のものについての説明において述べ
たと同様に導電体２６がコイル状に巻かれ電源部２８に
接続された電磁石１３が配設されている。電磁石１３の
上方にはわずかな隙間を保って回路基板支持台２９が基
台１９に植設されたガイドピン２０に嵌合して配設され
ている。
【００１８】回路基板支持台２９の更に上方には、ガイ
ドピン２０に矢印Ｊ又はＫ方向に摺動自在に嵌合するテ
ストピン保持プレート２１が配設されており、該テスト
ピン保持プレート２１の所定の（電子回路基板１８の測
定部位に対応する）位置に形成された穴２１ａに図中上
下方向に摺動自在に複数本のテストピン１１が嵌合して
いる。
ドピン２０に矢印Ｊ又はＫ方向に摺動自在に嵌合するテ
ストピン保持プレート２１が配設されており、該テスト
ピン保持プレート２１の所定の（電子回路基板１８の測
定部位に対応する）位置に形成された穴２１ａに図中上
下方向に摺動自在に複数本のテストピン１１が嵌合して
いる。
【００１９】テストピン１１の先端部１１ａは次第に細
められており、電子回路基板１８のどの様な狭い部位に
も接触できるように、また接触したとき接触圧を十分高
くして接触抵抗が小さくなるような形状になっている。 後端部１１ｂは、大径部として形成されていて、テスト
ピン保持プレート２１を矢印Ｋ方向に移動させると大径
の後端部１１ｂが穴２１ａに係合してテストピン保持プ
レート２１と共に矢印Ｋ方向に移動し、テストピン１１
を電子回路基板１８から離脱させるようになっている。
められており、電子回路基板１８のどの様な狭い部位に
も接触できるように、また接触したとき接触圧を十分高
くして接触抵抗が小さくなるような形状になっている。 後端部１１ｂは、大径部として形成されていて、テスト
ピン保持プレート２１を矢印Ｋ方向に移動させると大径
の後端部１１ｂが穴２１ａに係合してテストピン保持プ
レート２１と共に矢印Ｋ方向に移動し、テストピン１１
を電子回路基板１８から離脱させるようになっている。
【００２０】また各テストピン１１には、測定装置２３
との間に電気コード２２が接続されていて測定装置２３
に信号を伝達するようになっている。そして電源部２８
から電磁石１３に電流を流して磁力を発生させることに
より電子回路基板１８を介して磁力をテストピン１１に
作用させて吸引し、テストピン１１と電子回路基板１８
の測定部位とを確実に接触させるようになっている。
との間に電気コード２２が接続されていて測定装置２３
に信号を伝達するようになっている。そして電源部２８
から電磁石１３に電流を流して磁力を発生させることに
より電子回路基板１８を介して磁力をテストピン１１に
作用させて吸引し、テストピン１１と電子回路基板１８
の測定部位とを確実に接触させるようになっている。
【００２１】次に、本発明の第５実施例を図５により説
明すると、図４に示す第４実施例の電磁石１３の代りに
永久磁石１４が用いられており、該永久磁石１４を矢印
Ｌ方向に移動させると、永久磁石１４の磁力が電子回路
基板１８を介してテストピン１１に作用して、該テスト
ピン１１を吸引（矢印Ｏ方向）し、テストピン１１と電
子回路基板１８の測定部位とを確実に接触させるように
したものであるから、第４実施例と同一の部品には図面
に同一の符号を付して説明を省略する。
明すると、図４に示す第４実施例の電磁石１３の代りに
永久磁石１４が用いられており、該永久磁石１４を矢印
Ｌ方向に移動させると、永久磁石１４の磁力が電子回路
基板１８を介してテストピン１１に作用して、該テスト
ピン１１を吸引（矢印Ｏ方向）し、テストピン１１と電
子回路基板１８の測定部位とを確実に接触させるように
したものであるから、第４実施例と同一の部品には図面
に同一の符号を付して説明を省略する。
【００２２】本発明は、上記のように構成されており、
以下その作用について説明する。本発明の第１実施例に
おいては、図１及び図６において、電子回路基板１８を
テストするには、まず電磁石１３に電源部２８から電流
を流して後端部１１ｂに対向する側にＳ極を生じさせて
開放端がＮ極に磁化されたテストピン１１を吸引し、図
中上方に移動させてテストピン１１の先端部１１ａを電
子回路基板１８の装着の支障とならない程度まで退避さ
せる。
以下その作用について説明する。本発明の第１実施例に
おいては、図１及び図６において、電子回路基板１８を
テストするには、まず電磁石１３に電源部２８から電流
を流して後端部１１ｂに対向する側にＳ極を生じさせて
開放端がＮ極に磁化されたテストピン１１を吸引し、図
中上方に移動させてテストピン１１の先端部１１ａを電
子回路基板１８の装着の支障とならない程度まで退避さ
せる。
【００２３】次いで、電子回路基板１８を基台１９の所
定の位置に載置した後、電磁石１３への通電を遮断する
とテストピン１１は、自重によりテストピン保持プレー
ト２１の穴２１ａに案内されながら下降して電子回路基
板１８の測定すべき所定の位置に軽く接触する。
定の位置に載置した後、電磁石１３への通電を遮断する
とテストピン１１は、自重によりテストピン保持プレー
ト２１の穴２１ａに案内されながら下降して電子回路基
板１８の測定すべき所定の位置に軽く接触する。
【００２４】しかしこの状態ではテストピン１１と電子
回路基板１８の接触力は弱く、電気特性を測定するには
不十分である。ここで、図６をも参照して、電磁石１３
の後端部１１ｂに対向する側にＮ極を生じさせるように
電磁石１３に電源部２８から上記とは逆方向の電流を時
間Ｔ１ において、次第に磁力Ｇが強くなるように流す
（即ち電流値を次第に大きくする）と、開放端がＮ極に
磁化された永久磁石１７が固定されたテストピン１１と
電磁石１３のＮ極との間に磁力による反発力が発生し、
テストピン１１は押圧されて接触力が徐々に強まる。
回路基板１８の接触力は弱く、電気特性を測定するには
不十分である。ここで、図６をも参照して、電磁石１３
の後端部１１ｂに対向する側にＮ極を生じさせるように
電磁石１３に電源部２８から上記とは逆方向の電流を時
間Ｔ１ において、次第に磁力Ｇが強くなるように流す
（即ち電流値を次第に大きくする）と、開放端がＮ極に
磁化された永久磁石１７が固定されたテストピン１１と
電磁石１３のＮ極との間に磁力による反発力が発生し、
テストピン１１は押圧されて接触力が徐々に強まる。
【００２５】所定の接触力が得られるまで磁界を強めた
後、時間Ｔ２ において該電流値を一定に保って接触力
を一定に保持し、この間に電子回路基板１８の電気特性
を測定装置２３により測定する。その後電源部２８から
電磁石１３への電流を次第に弱め（時間Ｔ３ ）、次い
で先に述べた如く電流を逆方向に流し電磁石１３の極性
を反転させて電磁石１３の後端部１１ｂに対向する側に
Ｓ極を生じさせてテストピン１１を電磁石１３で吸引し
て引き上げ、電子回路基板１８の取り出しを容易にする
。
後、時間Ｔ２ において該電流値を一定に保って接触力
を一定に保持し、この間に電子回路基板１８の電気特性
を測定装置２３により測定する。その後電源部２８から
電磁石１３への電流を次第に弱め（時間Ｔ３ ）、次い
で先に述べた如く電流を逆方向に流し電磁石１３の極性
を反転させて電磁石１３の後端部１１ｂに対向する側に
Ｓ極を生じさせてテストピン１１を電磁石１３で吸引し
て引き上げ、電子回路基板１８の取り出しを容易にする
。
【００２６】上記した如く、テストピン１１の形状は後
端部１１ｂが磁化された１本のピンであればよく、また
テストピン１１の作動はすべて磁力によって行われるの
で、周囲にばね等を配設する必要がなく、直径約０．３
ｍｍと極めて小径化することができるので、複数のテス
トピン１１を高密度電子部品のリードに合わせて極めて
小さいピッチで配列することができる。
端部１１ｂが磁化された１本のピンであればよく、また
テストピン１１の作動はすべて磁力によって行われるの
で、周囲にばね等を配設する必要がなく、直径約０．３
ｍｍと極めて小径化することができるので、複数のテス
トピン１１を高密度電子部品のリードに合わせて極めて
小さいピッチで配列することができる。
【００２７】本発明の第２実施例においては、図２を参
照して、開放端がＮ極に磁化されているテストピン１１
に永久磁石１４のＮ極を矢印Ｄ方向に接近させることに
よりテストピン１１に反発力を作用させて矢印Ｆ方向に
移動させ、電子回路基板１８に確実に接触させ、測定装
置２３により電子回路基板１８の電気特性を測定するよ
うにしたものであって、第１実施例における電磁石１３
の代りに永久磁石１４が用いられている点が異なるのみ
であるので、詳細な作用の説明は省略する。
照して、開放端がＮ極に磁化されているテストピン１１
に永久磁石１４のＮ極を矢印Ｄ方向に接近させることに
よりテストピン１１に反発力を作用させて矢印Ｆ方向に
移動させ、電子回路基板１８に確実に接触させ、測定装
置２３により電子回路基板１８の電気特性を測定するよ
うにしたものであって、第１実施例における電磁石１３
の代りに永久磁石１４が用いられている点が異なるのみ
であるので、詳細な作用の説明は省略する。
【００２８】本発明の第３実施例においては、図３を参
照して、テストピンホルダ１５に摺動自在に保持されて
いるテストピン１１は、後端部１１ｂのＮ極と対向させ
てＮ極が配設されている永久磁石１４によりテストピン
１１に反発力が付与され、常に矢印Ｈ方向に付勢されて
いるので、永久磁石１４は、あたかも図９に示す圧縮ば
ね９と同様に作用し、従来の電子回路基板の検査装置の
テストピン２の代りとして使用することができ、かつ細
径化されているので、ピッチをつめて配設することがで
きる。またテストピン１１は、測定装置２３との間に図
示しない電気コードで接続されていて、測定装置２３に
信号を伝達するようになっていることはいうまでもない
。
照して、テストピンホルダ１５に摺動自在に保持されて
いるテストピン１１は、後端部１１ｂのＮ極と対向させ
てＮ極が配設されている永久磁石１４によりテストピン
１１に反発力が付与され、常に矢印Ｈ方向に付勢されて
いるので、永久磁石１４は、あたかも図９に示す圧縮ば
ね９と同様に作用し、従来の電子回路基板の検査装置の
テストピン２の代りとして使用することができ、かつ細
径化されているので、ピッチをつめて配設することがで
きる。またテストピン１１は、測定装置２３との間に図
示しない電気コードで接続されていて、測定装置２３に
信号を伝達するようになっていることはいうまでもない
。
【００２９】本発明の第４実施例においては、図４を参
照して、テストピン保持プレート２１を矢印Ｋ方向に上
昇させて、大径部として形成されているテストピン１１
の後端部１１ｂを穴２１ａと係合させて電子回路基板１
８の挿入に支障とならないようにテストピン１１を上方
に移動させておき、電子回路基板１８を回路基板支持台
２９の所定の位置に固定した後、テストピン保持プレー
ト２１を矢印Ｊ方向に下降させると、テストピン１１も
これに伴なって自重により降下し、先端部１１ａが電子
回路基板１８の測定部位に接触する。
照して、テストピン保持プレート２１を矢印Ｋ方向に上
昇させて、大径部として形成されているテストピン１１
の後端部１１ｂを穴２１ａと係合させて電子回路基板１
８の挿入に支障とならないようにテストピン１１を上方
に移動させておき、電子回路基板１８を回路基板支持台
２９の所定の位置に固定した後、テストピン保持プレー
ト２１を矢印Ｊ方向に下降させると、テストピン１１も
これに伴なって自重により降下し、先端部１１ａが電子
回路基板１８の測定部位に接触する。
【００３０】次いで図６の説明において述べた如く、電
磁石１３に電源部２８から電流を流して磁力を電子回路
基板１８を介してテストピン１１に作用させて吸引する
。そして電流値を一定に保って接触力を確保する時間Ｔ
２ において、電子回路基板１８の電気特性を測定装置
２３により測定する。
磁石１３に電源部２８から電流を流して磁力を電子回路
基板１８を介してテストピン１１に作用させて吸引する
。そして電流値を一定に保って接触力を確保する時間Ｔ
２ において、電子回路基板１８の電気特性を測定装置
２３により測定する。
【００３１】本発明の第５実施例においては、図５を参
照して、テストピン１１に永久磁石１４を電子回路基板
１８の裏面から接近させる（矢印Ｌ方向）ことによりテ
ストピン１１に吸引力を作用させて矢印Ｏ方向に移動さ
せ電子回路基板１８に確実に接触させ、測定装置２３に
より電子回路基板１８の電気特性を測定するようにした
ものであって、その他は第４実施例における電磁石１３
の代りに永久磁石１４が用いられている点が異なるだけ
であるので、作用の詳細な説明は省略する。
照して、テストピン１１に永久磁石１４を電子回路基板
１８の裏面から接近させる（矢印Ｌ方向）ことによりテ
ストピン１１に吸引力を作用させて矢印Ｏ方向に移動さ
せ電子回路基板１８に確実に接触させ、測定装置２３に
より電子回路基板１８の電気特性を測定するようにした
ものであって、その他は第４実施例における電磁石１３
の代りに永久磁石１４が用いられている点が異なるだけ
であるので、作用の詳細な説明は省略する。
【００３２】
【発明の効果】本発明は、上記のようにテストピンを磁
力により駆動して電子回路基板の測定部に接触させるよ
うにしたので、テストピンの小型化、特に小径化が可能
となり、ピン間隔を狭めて配列し、高密度の電子部品も
容易にテストできるという効果がある。またテストピン
と電子回路基板の測定部との接触を所定の接触力で確実
に接触させることができ、検査装置の保守作業を不要と
して作業効率を向上させることができる効果がある。
力により駆動して電子回路基板の測定部に接触させるよ
うにしたので、テストピンの小型化、特に小径化が可能
となり、ピン間隔を狭めて配列し、高密度の電子部品も
容易にテストできるという効果がある。またテストピン
と電子回路基板の測定部との接触を所定の接触力で確実
に接触させることができ、検査装置の保守作業を不要と
して作業効率を向上させることができる効果がある。
【図１】図１から図６は本発明の実施例に係り、図１は
第１実施例の電子回路基板の検査装置の部分縦断面正面
図である。
第１実施例の電子回路基板の検査装置の部分縦断面正面
図である。
【図２】第２実施例の電子回路基板の検査装置の要部部
分縦断面正面図である。
分縦断面正面図である。
【図３】第３実施例の電子回路基板の検査装置のテスト
ピンの縦断面図である。
ピンの縦断面図である。
【図４】第４実施例の電子回路基板の検査装置の部分縦
断面正面図である。
断面正面図である。
【図５】第５実施例の電子回路基板の検査装置の要部部
分縦断面正面図である。
分縦断面正面図である。
【図６】テストピンに作用する磁力の変化の状態を示す
線図である。
線図である。
【図７】図７から図９は従来例に係り、図７は電子回路
基板の検査装置の正面図である。
基板の検査装置の正面図である。
【図８】電子回路基板の検査装置のテストピンの作動状
態を示す部分縦断面正面図である。
態を示す部分縦断面正面図である。
【図９】電子回路基板の検査装置のテストピンの縦断面
図である。
図である。
１０ 電子回路基板の検査装置
１１ テストピン
１１ａ 先端部
１１ｂ 後端部
１３ 磁力発生装置の一例たる電磁石１４
磁力発生装置の一例たる永久磁石１５ テスト
ピンホルダ １７ 永久磁石 １８ 電子回路基板 １９ 基台 ２２ 電気コード ２３ 測定装置
磁力発生装置の一例たる永久磁石１５ テスト
ピンホルダ １７ 永久磁石 １８ 電子回路基板 １９ 基台 ２２ 電気コード ２３ 測定装置
Claims (6)
- 【請求項１】 複数のテストピンをその軸線方向に摺
動自在に保持し該テストピンの先端部を電子回路基板の
所定の部位に当接させて該電子回路基板の電気特性をテ
ストする電子回路基板の検査装置において、前記電子回
路基板の所定の検査部位に対向する位置の基台にその軸
線方向に摺動自在に保持されかつ測定装置に夫々電気的
に接続された複数のテストピンと、該テストピンに磁力
を作用させ該テストピンに吸引力又は反発力を付与して
前記電子回路基板の所定の部位に該テストピンの先端部
を当接させる磁力発生装置とを備え、該磁力発生装置か
らの磁力によって前記テストピンと前記電子回路基板と
の必要接触力を前記テストピンに付与するように構成し
たことを特徴とする電子回路基板の検査装置。 - 【請求項２】 複数のテストピンをその軸線方向に摺
動自在に保持し該テストピンの先端部を電子回路基板の
所定の部位に当接させて該電子回路基板の電気特性をテ
ストする電子回路基板の検査装置において、前記電子回
路基板の所定の検査部位に対向する位置の基台にその軸
線方向に摺動自在に保持されかつ後端部に極性が揃った
磁石が夫々固定され測定装置に夫々電気的に接続された
複数のテストピンと、該テストピンの前記磁石に対向し
て配設され通電することにより前記磁石と同極同士が対
向して前記テストピンに反発力を付与して前記先端部を
前記電子回路基板の所定の部位に当接させる電磁石とを
備えたことを特徴とする電子回路基板の検査装置。 - 【請求項３】 複数のテストピンをその軸線方向に摺
動自在に保持し該テストピンの先端部を電子回路基板の
所定の部位に当接させて該電子回路基板の電気特性をテ
ストする電子回路基板の検査装置において、後端部に夫
々永久磁石が固定され前記電子回路基板の所定の検査部
位に対向する位置の基台にその軸線方向に摺動自在に保
持されると共に測定装置に夫々電気的に接続された複数
のテストピンと、該テストピンの前記永久磁石と同極同
士が対向するように配設された他の永久磁石とを備え、
前記テストピンの永久磁石と前記他の永久磁石との反発
力により前記先端部を前記電子回路基板の所定の部位に
当接させるように構成したことを特徴とする電子回路基
板の検査装置。 - 【請求項４】 複数のテストピンをその軸線方向に摺
動自在に保持し該テストピンの先端部を電子回路基板の
所定の部位に当接させて該電子回路基板の電気特性をテ
ストする電子回路基板の検査装置において、前記電子回
路基板の所定の検査部位に対向する位置の基台にその軸
線方向に摺動自在に保持され、かつ測定装置に夫々電気
的に接続された磁性材料から成る複数のテストピンと、
該テストピンの前記先端部が当接する前記電子回路基板
の裏面側に配設され通電することにより前記テストピン
に吸引力を付与して前記先端部を前記電子回路基板の所
定の部位に当接させる電磁石とを備えたことを特徴とす
る電子回路基板の検査装置。 - 【請求項５】 複数のテストピンをその軸線方向に摺
動自在に保持し該テストピンの先端部を電子回路基板の
所定の部位に当接させて該電子回路基板の電気特性をテ
ストする電子回路基板の検査装置において、前記電子回
路基板の所定の検査部位に対向する位置の基台にその軸
線方向に摺動自在に保持されかつ測定装置に夫々電気的
に接続された磁性材料から成る複数のテストピンと、該
テストピンの前記先端部が当接する前記電子回路基板の
裏面側に配設され磁力による吸引力を前記テストピンに
付与して前記先端部を前記電子回路基板の所定の部位に
当接させる永久磁石とを備えたことを特徴とする複数の
テストピンをその軸線方向に摺動自在に保持し該テスト
ピンの先端部を電子回路基板の所定の部位に当接させて
該電子回路基板の電気特性をテストする電子回路基板の
検査装置において、前記電子回路基板の所定の検査部位
に対向する位置の基台にその軸線方向に摺動自在に保持
されかつ測定装置に夫々電気的に接続された磁性材料か
ら成る複数のテストピンと、該テストピンの前記先端部
が当接する前記電子回路基板の裏面側に配設され磁力に
よる吸引力を前記テストピンに付与して前記先端部を前
記電子回路基板の所定の部位に当接させる永久磁石とを
備えたことを特徴とする電子回路基板の検査装置。 - 【請求項６】 複数のテストピンをその軸線方向に摺
動自在に保持し該テストピンの先端部を電子回路基板の
所定の部位に当接させて該電子回路基板の電気特性をテ
ストする電子回路基板の検査装置において、先端部が次
第に細められると共に後端部に磁力が付与された着磁部
が配設されたテストピンと、該テストピンをその軸線方
向に摺動自在に保持し前記着磁部の磁極と同極同士が対
向するように配設された永久磁石を固定して支持するテ
ストピンホルダとを備え、前記着磁部と前記永久磁石と
の反発力により前記テストピンを突出させて前記先端部
を電子回路基板の所定の部位に当接させるように構成し
たことを特徴とする電子回路基板の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3157557A JPH04355374A (ja) | 1991-05-31 | 1991-05-31 | 電子回路基板の検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3157557A JPH04355374A (ja) | 1991-05-31 | 1991-05-31 | 電子回路基板の検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04355374A true JPH04355374A (ja) | 1992-12-09 |
Family
ID=15652289
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3157557A Pending JPH04355374A (ja) | 1991-05-31 | 1991-05-31 | 電子回路基板の検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04355374A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11347747A (ja) * | 1998-06-06 | 1999-12-21 | Yoshitaka Aoyama | 部品供給装置およびその供給方法 |
| JP2020190473A (ja) * | 2019-05-22 | 2020-11-26 | 花王株式会社 | センサー付き吸収性物品の検査方法及び製造方法 |
-
1991
- 1991-05-31 JP JP3157557A patent/JPH04355374A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11347747A (ja) * | 1998-06-06 | 1999-12-21 | Yoshitaka Aoyama | 部品供給装置およびその供給方法 |
| JP2020190473A (ja) * | 2019-05-22 | 2020-11-26 | 花王株式会社 | センサー付き吸収性物品の検査方法及び製造方法 |
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