JPH04356981A - レーザ発振器 - Google Patents
レーザ発振器Info
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- JPH04356981A JPH04356981A JP11011191A JP11011191A JPH04356981A JP H04356981 A JPH04356981 A JP H04356981A JP 11011191 A JP11011191 A JP 11011191A JP 11011191 A JP11011191 A JP 11011191A JP H04356981 A JPH04356981 A JP H04356981A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ発振器に係り、
さらに詳しくは共振器ミラー等の結露を防止できるレー
ザ発振器に関するものである。
さらに詳しくは共振器ミラー等の結露を防止できるレー
ザ発振器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図５は特開平１ー２３２７７９号公報に
開示された従来の三軸直交型ＣＯ２レーザ発振器の一例
を示す模式図で、レーザ光の方向、放電の方向、ガス流
の方向が全て直角して交わっている。図において、１は
レ−ザ発振器、２はレ−ザ発振器１の真空容器、３は真
空容器２内に設けられた放電電極である。４は真空容器
２に取付けられた熱交換器、５は熱交換器４のブロア、
６は真空容器２内に密閉された励起媒質である。７は全
反射鏡、８は部分反射鏡で、これらの両反射鏡７，８に
より共振器ミラーが構成されている。９はレーザ発振器
１を覆う化粧用のカバーである。１０は安全上の理由で
カバー９に取付けられたダクトで、内部にレーザ光が通
るようになっている。１１はドライエア発生装置で発生
しドライエア入口１１ａから光路内に侵入したドライエ
アで、配管によってレーザ光の伝搬方向Ａにパージされ
、レーザパワーの減衰やレーザビームの特性が変化しな
いようにしてある。１２は全反射鏡７及び部分反射鏡８
を冷却する冷却水の温度調節装置で、外気温度の変化に
よって両反射鏡７，８の初期性能や特性等が変化してレ
ーザ光特性が変化しないように冷却水の温度を常に一定
温度に維持する。１３は冷却水を循環させるための冷却
水ポンプ、１４は冷却水の流れである。
開示された従来の三軸直交型ＣＯ２レーザ発振器の一例
を示す模式図で、レーザ光の方向、放電の方向、ガス流
の方向が全て直角して交わっている。図において、１は
レ−ザ発振器、２はレ−ザ発振器１の真空容器、３は真
空容器２内に設けられた放電電極である。４は真空容器
２に取付けられた熱交換器、５は熱交換器４のブロア、
６は真空容器２内に密閉された励起媒質である。７は全
反射鏡、８は部分反射鏡で、これらの両反射鏡７，８に
より共振器ミラーが構成されている。９はレーザ発振器
１を覆う化粧用のカバーである。１０は安全上の理由で
カバー９に取付けられたダクトで、内部にレーザ光が通
るようになっている。１１はドライエア発生装置で発生
しドライエア入口１１ａから光路内に侵入したドライエ
アで、配管によってレーザ光の伝搬方向Ａにパージされ
、レーザパワーの減衰やレーザビームの特性が変化しな
いようにしてある。１２は全反射鏡７及び部分反射鏡８
を冷却する冷却水の温度調節装置で、外気温度の変化に
よって両反射鏡７，８の初期性能や特性等が変化してレ
ーザ光特性が変化しないように冷却水の温度を常に一定
温度に維持する。１３は冷却水を循環させるための冷却
水ポンプ、１４は冷却水の流れである。
【０００３】図６、図７は特開昭６３ー７３５７５号公
報に開示された従来のレーザ発振器の鏡面保持部の一例
を示す縦断面図及びその正面図である。１５は全反射鏡
７又は部分反射鏡８を押圧するミラーホルダで、アルミ
ニウムのような熱伝導性の高い材料で作られ、冷却水の
温度がそのまま伝わるようになっている。１６は真空容
器２にミラーホルダ１５を支持する支持棒、１７は支持
棒１６の支持点、１８はミラーホルダ１５によって押え
付けられた全反射鏡７又は部分反射鏡８を反対方向で支
持するミラー押えである。１９はマイクロメ−タヘッド
で、これを回転させて支持棒１６と支持点１７によって
構成された支点を中心に全反射鏡７又は部分反射鏡８の
角度を変化させる。２０は温度調節された冷却水をミラ
ーホルダ１５内に流して全反射鏡７又は部分反射鏡８を
間接的に冷却する水経路である。２１はミラー押え１８
をミラーホルダ１５に固定する固定ネジ、２２は真空容
器２とミラー押さえ１８との間をシールするＯリング、
２３はレーザ光の通る穴部である。
報に開示された従来のレーザ発振器の鏡面保持部の一例
を示す縦断面図及びその正面図である。１５は全反射鏡
７又は部分反射鏡８を押圧するミラーホルダで、アルミ
ニウムのような熱伝導性の高い材料で作られ、冷却水の
温度がそのまま伝わるようになっている。１６は真空容
器２にミラーホルダ１５を支持する支持棒、１７は支持
棒１６の支持点、１８はミラーホルダ１５によって押え
付けられた全反射鏡７又は部分反射鏡８を反対方向で支
持するミラー押えである。１９はマイクロメ−タヘッド
で、これを回転させて支持棒１６と支持点１７によって
構成された支点を中心に全反射鏡７又は部分反射鏡８の
角度を変化させる。２０は温度調節された冷却水をミラ
ーホルダ１５内に流して全反射鏡７又は部分反射鏡８を
間接的に冷却する水経路である。２１はミラー押え１８
をミラーホルダ１５に固定する固定ネジ、２２は真空容
器２とミラー押さえ１８との間をシールするＯリング、
２３はレーザ光の通る穴部である。
【０００４】次に上記のように構成したレーザ発振器の
作用を図５、図６及び図７を用いて説明する。冷却媒質
６がブロア５により放電電極３間に流されると、放電電
極３により発生した放電によって励起媒質６が励起され
光を発する。この光は全反射鏡７と部分反射鏡８で構成
された共振器ミラー間で発振して増幅され、部分反射鏡
８からダクト１０を通ってレーザ発振器１の外部Ａ方向
に取り出される。一方、ドライエア発生装置から発生し
たドライエア１１は配管によってレーザ光の伝搬方向Ａ
にパージされる。なお、放電で熱せられた励起媒質６は
熱交換器４で冷却され、再びブロア５により循環する。
作用を図５、図６及び図７を用いて説明する。冷却媒質
６がブロア５により放電電極３間に流されると、放電電
極３により発生した放電によって励起媒質６が励起され
光を発する。この光は全反射鏡７と部分反射鏡８で構成
された共振器ミラー間で発振して増幅され、部分反射鏡
８からダクト１０を通ってレーザ発振器１の外部Ａ方向
に取り出される。一方、ドライエア発生装置から発生し
たドライエア１１は配管によってレーザ光の伝搬方向Ａ
にパージされる。なお、放電で熱せられた励起媒質６は
熱交換器４で冷却され、再びブロア５により循環する。
【０００５】一方、冷却水は冷却水温度制御装置１２で
一定温度にコントロールされ、冷却水ポンプ１３により
冷却水の流れ１４となって循環され、水経路２０でミラ
ーホルダ１５を冷却し、間接的に全反射鏡７と部分反射
鏡８を冷却する。
一定温度にコントロールされ、冷却水ポンプ１３により
冷却水の流れ１４となって循環され、水経路２０でミラ
ーホルダ１５を冷却し、間接的に全反射鏡７と部分反射
鏡８を冷却する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記のように構成した
従来のレーザ発振器では、周囲の湿度が高い場合や外気
温度が冷却水の制御温度よりも高くなった場合は、レー
ザ光を発振させない状態すなわちレーザ光の発振停止時
において反射鏡が結露してしまうという問題があった。
従来のレーザ発振器では、周囲の湿度が高い場合や外気
温度が冷却水の制御温度よりも高くなった場合は、レー
ザ光を発振させない状態すなわちレーザ光の発振停止時
において反射鏡が結露してしまうという問題があった。
【０００７】上記のような問題点を解決するために、乾
燥した気体を出力鏡等に吹き付けることにより出力鏡等
の結露を防止する技術が、特開昭５８ー１２１６９２号
公報及び特開昭５８ー１０５５８５号公報に開示されて
いる。図８は特開昭５８ー１２１６９２号公報に開示さ
れたレーザ発振器の一例を示す縦断面図である。このレ
ーザ発振器は、混合ガス２４を充填した放電管本体２５
と、放電管本体２５の両端部と内部に設けた少なくとも
一対の反射鏡２６と、陰極２７Ａおよび陽極２７Ｂと、
両電極２７Ａ、２７Ｂ間でグロー放電をおこない、混合
ガス２４をレーザ光に変換させかつ両反射鏡２６間で共
振してレーザ光として外部に取り出す一方の出力鏡２９
と、出力鏡２９からのレーザ光を通過させ被加工物３０
と対応する焦点レンズ３１と、送出口との少なくとも一
方と出力鏡２９との間を包囲する包囲部３２とからなる
。さらに、包囲部３２に供給口３３と排気口３４とを設
け、供給口３３には除湿装置３５を設けてある。こうし
て、常時乾燥気体を出力鏡２９に吹き付けることにより
出力鏡２９の外表面に結露が発生するのを防止し、出力
鏡２９が割れるのを防ぐようにしている。
燥した気体を出力鏡等に吹き付けることにより出力鏡等
の結露を防止する技術が、特開昭５８ー１２１６９２号
公報及び特開昭５８ー１０５５８５号公報に開示されて
いる。図８は特開昭５８ー１２１６９２号公報に開示さ
れたレーザ発振器の一例を示す縦断面図である。このレ
ーザ発振器は、混合ガス２４を充填した放電管本体２５
と、放電管本体２５の両端部と内部に設けた少なくとも
一対の反射鏡２６と、陰極２７Ａおよび陽極２７Ｂと、
両電極２７Ａ、２７Ｂ間でグロー放電をおこない、混合
ガス２４をレーザ光に変換させかつ両反射鏡２６間で共
振してレーザ光として外部に取り出す一方の出力鏡２９
と、出力鏡２９からのレーザ光を通過させ被加工物３０
と対応する焦点レンズ３１と、送出口との少なくとも一
方と出力鏡２９との間を包囲する包囲部３２とからなる
。さらに、包囲部３２に供給口３３と排気口３４とを設
け、供給口３３には除湿装置３５を設けてある。こうし
て、常時乾燥気体を出力鏡２９に吹き付けることにより
出力鏡２９の外表面に結露が発生するのを防止し、出力
鏡２９が割れるのを防ぐようにしている。
【０００８】また、ボンベから乾燥したガスをホースを
介して供給口に供給する技術が、特開昭５８ー１２８７
８１号公報で開示されており、さらに、同様の技術が、
特開昭５８ー２０５５１号公報にも開示されている。
介して供給口に供給する技術が、特開昭５８ー１２８７
８１号公報で開示されており、さらに、同様の技術が、
特開昭５８ー２０５５１号公報にも開示されている。
【０００９】しかしながら、上記のような従来のレーザ
発信器は、反射鏡等の結露を防止する技術が不十分で、
ドライエアを反射鏡等に吹き付ける際に反射鏡等に粉塵
等が付着してレーザ光の発振時に反射鏡等が焼損するお
それがあった。また、熱源がなくなるレーザ光の発振停
止時に反射鏡等が冷却過大になって反射鏡等に結露が発
生したり、レーザ発振器のシールが不十分のため外気の
湿った空気が内部に侵入し、反射鏡等に結露が発生した
りすることがあった。さらに、レーザ光発振中に反射鏡
等の付近でガスの対流が発生し、レーザ光の特性自体に
変化が生じたりするおそれもあった。
発信器は、反射鏡等の結露を防止する技術が不十分で、
ドライエアを反射鏡等に吹き付ける際に反射鏡等に粉塵
等が付着してレーザ光の発振時に反射鏡等が焼損するお
それがあった。また、熱源がなくなるレーザ光の発振停
止時に反射鏡等が冷却過大になって反射鏡等に結露が発
生したり、レーザ発振器のシールが不十分のため外気の
湿った空気が内部に侵入し、反射鏡等に結露が発生した
りすることがあった。さらに、レーザ光発振中に反射鏡
等の付近でガスの対流が発生し、レーザ光の特性自体に
変化が生じたりするおそれもあった。
【００１０】本発明は上記のような反射鏡等の結露を防
止する際に発生するさまざまの課題を解決するためにな
されたもので、反射鏡等に粉塵等が付着して反射鏡等が
焼損したり、レーザ光の発振停止時に反射鏡等に結露が
発生したり、外気の湿った空気が内部に侵入して反射鏡
等に結露が発生したり、ガスの対流が発生してレーザ光
の特性自体に変化が生じたりすることのないレーザ発振
器を得ることを目的とする。
止する際に発生するさまざまの課題を解決するためにな
されたもので、反射鏡等に粉塵等が付着して反射鏡等が
焼損したり、レーザ光の発振停止時に反射鏡等に結露が
発生したり、外気の湿った空気が内部に侵入して反射鏡
等に結露が発生したり、ガスの対流が発生してレーザ光
の特性自体に変化が生じたりすることのないレーザ発振
器を得ることを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明にかかるレーザ発
振器は、分岐装置やシャッタ等を設けて共振器ミラーや
検出装置等に吹き付けるドライエアを変化させるように
したものである。さらに本発明にかかるレーザ発振器は
、水流切替え装置を設けて共振器ミラーに流れる冷却水
の流れを変化させるようにしたものである。
振器は、分岐装置やシャッタ等を設けて共振器ミラーや
検出装置等に吹き付けるドライエアを変化させるように
したものである。さらに本発明にかかるレーザ発振器は
、水流切替え装置を設けて共振器ミラーに流れる冷却水
の流れを変化させるようにしたものである。
【００１２】
【作用】レーザ光発振中はドライエアを光路のパージ用
に流し、レーザ光発振停止中はドライエアを共振器ミラ
ー等にも流し、あるいはその流量を変化させる。レーザ
光発振中は温度調節された冷却水が共振器ミラーを冷却
し、レーザ光発振停止中は共振器ミラーに冷却水が流れ
ない。あるいはその流量を変化させる。
に流し、レーザ光発振停止中はドライエアを共振器ミラ
ー等にも流し、あるいはその流量を変化させる。レーザ
光発振中は温度調節された冷却水が共振器ミラーを冷却
し、レーザ光発振停止中は共振器ミラーに冷却水が流れ
ない。あるいはその流量を変化させる。
【００１３】
【実施例】図１は本発明の実施例を示す模式図である。
なお、図５の従来例と同一または相当部分には同じ符号
を付し、説明を省略する。４０は粉塵や水分を除去した
状態でドライエア１１を発生させるドライエアユニット
で、工場内で発生する有機物等を避けるため室外に置か
れている。。４１は全反射鏡７から出てくるレーザ光の
一部を検出して、部分反射鏡８より出力されるレーザ光
をモニタする出力検出装置である。４２はドライエアユ
ニット４０で発生したドライエアをドライエア入口１１
ａに送るための第１のドライエア通路、４３は第１のド
ライエア通路４２から分岐した第２のドライエア通路で
、ドライエアを部分反射鏡８に吹付け、外気と遮断させ
て部分反射鏡８に結露が生じるのを防止する。４４は第
２のドライエア通路４３から分岐した第３のドライエア
通路で、ドライエアを全反射鏡７と出力検出装置４１に
吹付け、これらを外気と遮断させて結露が生じるのを防
止する。
を付し、説明を省略する。４０は粉塵や水分を除去した
状態でドライエア１１を発生させるドライエアユニット
で、工場内で発生する有機物等を避けるため室外に置か
れている。。４１は全反射鏡７から出てくるレーザ光の
一部を検出して、部分反射鏡８より出力されるレーザ光
をモニタする出力検出装置である。４２はドライエアユ
ニット４０で発生したドライエアをドライエア入口１１
ａに送るための第１のドライエア通路、４３は第１のド
ライエア通路４２から分岐した第２のドライエア通路で
、ドライエアを部分反射鏡８に吹付け、外気と遮断させ
て部分反射鏡８に結露が生じるのを防止する。４４は第
２のドライエア通路４３から分岐した第３のドライエア
通路で、ドライエアを全反射鏡７と出力検出装置４１に
吹付け、これらを外気と遮断させて結露が生じるのを防
止する。
【００１４】次に上記のように構成した本実施例の作用
を説明する。冷却媒質６がブロア５により放電電極３間
に流され、放電電極３により発生した放電によって励起
媒質６が励起され光を発する。この光は全反射鏡７と部
分反射鏡８で構成された共振器ミラー間で共振して増幅
され、部分反射鏡８からダクト１０を通ってレーザ発振
器１の外部Ａ方向に取り出される。一方、ドライエアユ
ニット４０で発生したドライエア１１は第１のドライエ
ア通路４２によってビームの伝搬方向Ａにパージされる
。また、ドライエアユニット４０で発生したドライエア
１１は、第１のドライエア通路４２から第２、第３のド
ライエア通路４３、４４に分岐され、部分反射鏡８、全
反射鏡７及び出力検出装置４１等に吹き付けられて外気
を遮断する。なお、放電で熱せられた励起媒質６は熱交
換器４で冷却され、再びブロア５により循環される。
を説明する。冷却媒質６がブロア５により放電電極３間
に流され、放電電極３により発生した放電によって励起
媒質６が励起され光を発する。この光は全反射鏡７と部
分反射鏡８で構成された共振器ミラー間で共振して増幅
され、部分反射鏡８からダクト１０を通ってレーザ発振
器１の外部Ａ方向に取り出される。一方、ドライエアユ
ニット４０で発生したドライエア１１は第１のドライエ
ア通路４２によってビームの伝搬方向Ａにパージされる
。また、ドライエアユニット４０で発生したドライエア
１１は、第１のドライエア通路４２から第２、第３のド
ライエア通路４３、４４に分岐され、部分反射鏡８、全
反射鏡７及び出力検出装置４１等に吹き付けられて外気
を遮断する。なお、放電で熱せられた励起媒質６は熱交
換器４で冷却され、再びブロア５により循環される。
【００１５】一方、冷却水は冷却水温度制御装置１２で
一定温度にコントロールされ、冷却水ポンプ１３により
冷却水の流れ１４となってレーザ発振器１内を循環し、
水経路２０によりミラーホルダ１５を冷却し、間接的に
全反射鏡７と部分反射鏡８を冷却する。
一定温度にコントロールされ、冷却水ポンプ１３により
冷却水の流れ１４となってレーザ発振器１内を循環し、
水経路２０によりミラーホルダ１５を冷却し、間接的に
全反射鏡７と部分反射鏡８を冷却する。
【００１６】上記の実施例では、ドライエアを部分反射
鏡７等に吹き付けて外気を遮断するようにしているので
、部分反射鏡７等に熱負荷がないとき、即ちレーザ光の
発振停止時に温度制御された冷却水によって過大冷却さ
れることがない。例えば、外気温が制御されている冷却
水温度より十分高い場合や湿度が高い場合、過大冷却す
ると露点温度以下となり、部分反射鏡７等の正面が結露
してしまうが、本実施例では、ドライエアを結露が発生
してはいけない箇所に吹き付けて外気にさらさないよう
にしているため、部分反射鏡７等の周辺部のみ相対的に
露点温度が低くなり、結露しにくくなる。こうして共振
器ミラーの外面に結露が発生せず、レーザ光発振中にレ
ーザ光が結露水に吸収されたり散乱したりしてレーザ光
特性が変化することなく、安定なビーム特性が得られる
。また、特に積分球方式等を採用した出力検出装置も結
露が生じることがなく正常な出力を検出できるので、安
全性が維持できる。
鏡７等に吹き付けて外気を遮断するようにしているので
、部分反射鏡７等に熱負荷がないとき、即ちレーザ光の
発振停止時に温度制御された冷却水によって過大冷却さ
れることがない。例えば、外気温が制御されている冷却
水温度より十分高い場合や湿度が高い場合、過大冷却す
ると露点温度以下となり、部分反射鏡７等の正面が結露
してしまうが、本実施例では、ドライエアを結露が発生
してはいけない箇所に吹き付けて外気にさらさないよう
にしているため、部分反射鏡７等の周辺部のみ相対的に
露点温度が低くなり、結露しにくくなる。こうして共振
器ミラーの外面に結露が発生せず、レーザ光発振中にレ
ーザ光が結露水に吸収されたり散乱したりしてレーザ光
特性が変化することなく、安定なビーム特性が得られる
。また、特に積分球方式等を採用した出力検出装置も結
露が生じることがなく正常な出力を検出できるので、安
全性が維持できる。
【００１７】また、ドライエアはドライエアユニット４
０によって粉塵や水分を取り除いてあるので、部分反射
鏡７等にごみが付着せず、部分反射鏡７等が発振中に焼
損することがなくなり、長寿化やビームの安定化がはか
れる。特に、ドライエアユニット４０を室外に置いたと
きは、工場内で発生する有機物等によってビーム特性が
歪められることもない。また、本実施例では従来光路の
パージに使用していたドライエアをそのまま使用するの
で、新しくドライエアユニットを置く必要がない。
０によって粉塵や水分を取り除いてあるので、部分反射
鏡７等にごみが付着せず、部分反射鏡７等が発振中に焼
損することがなくなり、長寿化やビームの安定化がはか
れる。特に、ドライエアユニット４０を室外に置いたと
きは、工場内で発生する有機物等によってビーム特性が
歪められることもない。また、本実施例では従来光路の
パージに使用していたドライエアをそのまま使用するの
で、新しくドライエアユニットを置く必要がない。
【００１８】なお、上記の説明では従来光路パージに使
用していたドライエアをそのまま使用したが、新らたな
ドライエアユニットからドライエアを引張ってきてもよ
い。また、上記の説明ではガスとしてドライエアを使用
した場合について示したが、レーザ光を吸収したりビー
ム特性を変化させない窒素ガスのような乾燥したガスな
らばどのようなガスであってもよい。さらに、反射鏡８
、全反射鏡７及び出力検出装置４１にドライエアを吹き
付ける場合について示したが、温度制御された冷却水で
冷却され外気と接しているもの、例えば光路鏡、フェー
ズリターダ、レンズ等にドライエアを吹き付けてもよい
。
用していたドライエアをそのまま使用したが、新らたな
ドライエアユニットからドライエアを引張ってきてもよ
い。また、上記の説明ではガスとしてドライエアを使用
した場合について示したが、レーザ光を吸収したりビー
ム特性を変化させない窒素ガスのような乾燥したガスな
らばどのようなガスであってもよい。さらに、反射鏡８
、全反射鏡７及び出力検出装置４１にドライエアを吹き
付ける場合について示したが、温度制御された冷却水で
冷却され外気と接しているもの、例えば光路鏡、フェー
ズリターダ、レンズ等にドライエアを吹き付けてもよい
。
【００１９】図２は本発明の他の実施例を示す模式図で
ある。４５は光路ダクト１０にドライエアを流す第１の
ドライエア通路４２と、結露防止装置である第１，第２
のドライエア通路４３，４４に流れるドライエアの流量
比を切替えるガス流方向切替え装置で、ドライエア１１
を光路パージ方向Ｂと反射鏡７，８の結露防止に吹きか
ける方向Ｃとに分岐している。
ある。４５は光路ダクト１０にドライエアを流す第１の
ドライエア通路４２と、結露防止装置である第１，第２
のドライエア通路４３，４４に流れるドライエアの流量
比を切替えるガス流方向切替え装置で、ドライエア１１
を光路パージ方向Ｂと反射鏡７，８の結露防止に吹きか
ける方向Ｃとに分岐している。
【００２０】上記のように構成した本実施例においては
、レーザ光発振中は、ドライエアをガス流方向切替え装
置４５により光路パージ方向Ｂ、すなわち第１のドライ
エア通路４２方向にのみに流し、レーザ光の発振が停止
されたときは、ドライエアを光路パージ方向Ｂのみなら
ず反射鏡の結露を防止する方向Ｃ、すなわち第１、第２
のドライエア通路４３，４４方向にも流す。
、レーザ光発振中は、ドライエアをガス流方向切替え装
置４５により光路パージ方向Ｂ、すなわち第１のドライ
エア通路４２方向にのみに流し、レーザ光の発振が停止
されたときは、ドライエアを光路パージ方向Ｂのみなら
ず反射鏡の結露を防止する方向Ｃ、すなわち第１、第２
のドライエア通路４３，４４方向にも流す。
【００２１】このように、本実施例においては、レーザ
光を発振しているときはドライエアが結露を防止する方
向Ｃに流れないので、ドライエアがレーザ光を横切るこ
とによって発生するレーザ光の移送の乱れによる伝搬特
性の変化が起こらず、安定な伝搬特性が得られる。
光を発振しているときはドライエアが結露を防止する方
向Ｃに流れないので、ドライエアがレーザ光を横切るこ
とによって発生するレーザ光の移送の乱れによる伝搬特
性の変化が起こらず、安定な伝搬特性が得られる。
【００２２】上記の実施例では、ガス流方向切替え装置
４５はドライエアの流れる方向を切り換えるだけであっ
たが、光路パージ方向Ｂまたは反射鏡７，８の結露防止
に吹きかける方向Ｃのドライエアの流量を変化させても
よい。また、レーザ光の特性を安定させるようにしたが
、用途によってはわざと伝搬特性を変化させてもよい。
４５はドライエアの流れる方向を切り換えるだけであっ
たが、光路パージ方向Ｂまたは反射鏡７，８の結露防止
に吹きかける方向Ｃのドライエアの流量を変化させても
よい。また、レーザ光の特性を安定させるようにしたが
、用途によってはわざと伝搬特性を変化させてもよい。
【００２３】図３は本発明のさらに他の実施例を示す模
式図である。４６はレーザ発振器１を密閉して覆った密
閉カバー、４７はダクト１０のドライエア入口１１ａよ
りも外側に取り付けられダクト１０の通路を開閉するシ
ャッタである。４８はレーザ発振器１と密閉カバー４６
内に密閉されたドライエアの出口で、ドライエアが反射
鏡８，７の両方に流れるようにカバー４６の全反射鏡７
側下部に設けられている。
式図である。４６はレーザ発振器１を密閉して覆った密
閉カバー、４７はダクト１０のドライエア入口１１ａよ
りも外側に取り付けられダクト１０の通路を開閉するシ
ャッタである。４８はレーザ発振器１と密閉カバー４６
内に密閉されたドライエアの出口で、ドライエアが反射
鏡８，７の両方に流れるようにカバー４６の全反射鏡７
側下部に設けられている。
【００２４】上記のように構成した本実施例の作用を説
明する。まず、ドライエア発生装置から発生したドライ
エアは配管によってビームの伝搬方向Ａにパージされる
。次に、レーザ光の発振停止時にはシャッタ４７が閉じ
、ダクト１０が密閉されてドライエアはレーザ発振器１
側に流れる。このときレーザ発振器１は、密閉カバー４
６により一部開放状態で密封されているので、ドライエ
アにより陽圧になり、密閉カバー４６内に外気が侵入し
ない。このため本実施例では図１、図２で示した結露防
止装置４３，４４を特に設けなくても外部の湿った空気
を侵入させずに反射鏡７，８近傍の露点温度を上昇させ
るので、結露が発生せず、安定なビーム特性が得られる
。
明する。まず、ドライエア発生装置から発生したドライ
エアは配管によってビームの伝搬方向Ａにパージされる
。次に、レーザ光の発振停止時にはシャッタ４７が閉じ
、ダクト１０が密閉されてドライエアはレーザ発振器１
側に流れる。このときレーザ発振器１は、密閉カバー４
６により一部開放状態で密封されているので、ドライエ
アにより陽圧になり、密閉カバー４６内に外気が侵入し
ない。このため本実施例では図１、図２で示した結露防
止装置４３，４４を特に設けなくても外部の湿った空気
を侵入させずに反射鏡７，８近傍の露点温度を上昇させ
るので、結露が発生せず、安定なビーム特性が得られる
。
【００２５】なお、上記の実施例において、図２に示し
たガス流方向切替え装置をさらに設けてもよい。こうし
て、レーザ光の発信中または停止中にドライエアの流量
を変化させ、レーザビーム特性が変化しないようにした
り、あるいは逆にわざと変化させるようにすることもで
きる。
たガス流方向切替え装置をさらに設けてもよい。こうし
て、レーザ光の発信中または停止中にドライエアの流量
を変化させ、レーザビーム特性が変化しないようにした
り、あるいは逆にわざと変化させるようにすることもで
きる。
【００２６】図４は本発明の別の実施例を示す模式図で
ある。４９はレーザ光を発振中に閉じるＢ接点による第
１の水流切替え装置、５０はレーザ光を発振中に開くＡ
接点による第２の水流切替え装置である。
ある。４９はレーザ光を発振中に閉じるＢ接点による第
１の水流切替え装置、５０はレーザ光を発振中に開くＡ
接点による第２の水流切替え装置である。
【００２７】上記のように構成した本実施例において、
レーザ光の発振中は、第１の水流切替え装置４９が閉じ
、第２の水流切替え装置５０が開き、冷却水が反射鏡７
，８に流れる。レーザ光の発振停止時は、第１の水流切
替え装置４９が開き、第２の水流切替え装置５０が閉じ
て冷却水は反射鏡７，８に流れず、冷却水温度調節装置
１２の周りを回るだけの閉回路となる。こうしてレーザ
光の発振停止時は冷却水が反射鏡７，８に流れず、反射
鏡７，８は外気温に追従するので、冷却過大とならず結
露が発生しないので、安定なレーザビーム特性が得られ
る。
レーザ光の発振中は、第１の水流切替え装置４９が閉じ
、第２の水流切替え装置５０が開き、冷却水が反射鏡７
，８に流れる。レーザ光の発振停止時は、第１の水流切
替え装置４９が開き、第２の水流切替え装置５０が閉じ
て冷却水は反射鏡７，８に流れず、冷却水温度調節装置
１２の周りを回るだけの閉回路となる。こうしてレーザ
光の発振停止時は冷却水が反射鏡７，８に流れず、反射
鏡７，８は外気温に追従するので、冷却過大とならず結
露が発生しないので、安定なレーザビーム特性が得られ
る。
【００２８】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
は、反射鏡等にドライエアを流して外気と遮断し、また
はその流量を変化させ、あるいはレーザ光の発振時及び
発振停止時で流れる冷却水の量を変化させるようにした
ので、反射鏡等に結露が発生しない。さらに、ドライエ
アはドライエアユニットで粉塵等を除去されているので
、反射鏡等にゴミが付着して焼損することがない。
は、反射鏡等にドライエアを流して外気と遮断し、また
はその流量を変化させ、あるいはレーザ光の発振時及び
発振停止時で流れる冷却水の量を変化させるようにした
ので、反射鏡等に結露が発生しない。さらに、ドライエ
アはドライエアユニットで粉塵等を除去されているので
、反射鏡等にゴミが付着して焼損することがない。
【図１】本発明の実施例を示す模式図。
【図２】本発明の他の実施例を示す模式図。
【図３】本発明のさらに他の実施例を示す模式図。
【図４】本発明の別の実施例を示す模式図。
【図５】従来のレーザ発振器の一例を示す模式図。
【図６】従来のレーザ発振器の鏡面保持部の一例を示す
縦断面図。
縦断面図。
【図７】図６の正面図。
【図８】従来のレーザ発振器の他の一例を示す縦断面図
。
。
１ レ−ザ発振器
２ 真空容器
３ 放電電極
４ 熱交換器
５ ブロア
６ 励起媒質
７ 全反射鏡
８ 部分反射鏡
９ カバー
１０ ダクト
１１ ドライエア
１１ａドライエア入口
１２ 温度調節装置
１３ 冷却水ポンプ
１４ 冷却水の流れ
４０ ドライエアユニット
４１ 出力検出装置
４２ 第１のドライエア通路
４３ 第２のドライエア通路
４４ 第３のドライエア通路
４５ ガス流方向切替え装置
４６ 密閉カバー
４７ シャッタ
４８ 出口
４９ 第１の水流切替え装置
５０ 第２の水流切替え装置
Claims (5)
- 【請求項１】 共振器ミラー、該共振器ミラーを冷却
する冷却水を流す水経路等からなるレーザ発振器におい
て、該レーザ発振器にドライエアを発生させるドライエ
アユニットを設けると共に、該ドライエアユニットに接
続されレザー光の光路ダクト内にパージ用の前記ドライ
エアを送るドライエア通路と、前記ドライエアユニット
に接続され検出装置や前記共振器ミラー等に前記ドライ
エアを吹き付ける結露防止装置とを設けたことを特徴と
するレーザ発振器。 - 【請求項２】 光路ダクトと結露防止装置に流れるド
ライエアの流量比を切替えるガス流方向切替え装置を設
けたことを特徴とする請求項１記載のレーザ発振器。 - 【請求項３】 共振器ミラー、該共振器ミラーを冷却
する冷却水を流す水経路等からなるレーザ発振器におい
て、該レーザ発振器を密閉カバーにより密閉し該密閉カ
バーにドライエアユニットで発生したドライエアの入口
部及び出口部を設けると共に、前記密閉カバーと接続し
たレーザ光の光路ダクト内に光路ダクトを開閉するシャ
ッタを設けたことを特徴とするレーザ発振器。 - 【請求項４】 ドライエアの流量を変化させるガス流
量切替え装置を設けたことを特徴とする請求項３記載の
レーザ発振器。 - 【請求項５】 共振器ミラー、該共振器ミラーを冷却
する冷却水を流す水経路等からなるレーザ発振器におい
て、前記冷却水の温度を制御する温度制御装置を設ける
と共に、前記共振器ミラーを冷却する温度調節された冷
却水がレーザ光発振中とレーザ光発振停止中でその流量
を変化させる水流切替え装置を設けたことを特徴とする
レーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3110111A JP2741433B2 (ja) | 1991-05-15 | 1991-05-15 | レーザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3110111A JP2741433B2 (ja) | 1991-05-15 | 1991-05-15 | レーザ発振器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04356981A true JPH04356981A (ja) | 1992-12-10 |
| JP2741433B2 JP2741433B2 (ja) | 1998-04-15 |
Family
ID=14527323
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3110111A Expired - Fee Related JP2741433B2 (ja) | 1991-05-15 | 1991-05-15 | レーザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2741433B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003030313A1 (en) * | 2001-09-28 | 2003-04-10 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Gas laser transmitter |
| JP2010212565A (ja) * | 2009-03-12 | 2010-09-24 | Panasonic Corp | レーザ発振装置とレーザ加工機 |
| WO2012053297A1 (ja) * | 2010-10-19 | 2012-04-26 | 三菱電機株式会社 | レーザ加工機制御装置およびレーザ加工機制御方法 |
| JP2017045753A (ja) * | 2015-08-24 | 2017-03-02 | ファナック株式会社 | 保守作業用の温度管理機能を有するレーザ装置 |
| US10461488B2 (en) | 2015-05-14 | 2019-10-29 | Fanuc Corporation | Laser device provided with function of predicting occurrence of condensation |
| WO2020004288A1 (ja) | 2018-06-29 | 2020-01-02 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | レーザ装置及びレーザ装置の除湿管理方法 |
| JPWO2020054593A1 (ja) * | 2018-09-13 | 2021-08-30 | パナソニック株式会社 | 光学装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3504163B2 (ja) | 1998-10-28 | 2004-03-08 | 横河電機株式会社 | 積雪深計 |
Citations (5)
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| JPS57154171U (ja) * | 1981-03-20 | 1982-09-28 | ||
| JPS58105585A (ja) * | 1981-12-18 | 1983-06-23 | Hitachi Ltd | レ−ザ発生装置 |
| JPS58128781A (ja) * | 1982-01-27 | 1983-08-01 | Hitachi Ltd | レ−ザ発生装置 |
| JPS62243382A (ja) * | 1986-04-15 | 1987-10-23 | Komatsu Ltd | レ−ザ発振器 |
| JPH01286377A (ja) * | 1988-05-12 | 1989-11-17 | Toshiba Corp | レーザ発振器の冷却装置 |
-
1991
- 1991-05-15 JP JP3110111A patent/JP2741433B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
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| CN103167928A (zh) * | 2010-10-19 | 2013-06-19 | 三菱电机株式会社 | 激光加工机控制装置及激光加工机控制方法 |
| JP5301039B2 (ja) * | 2010-10-19 | 2013-09-25 | 三菱電機株式会社 | レーザ加工機制御装置およびレーザ加工機制御方法 |
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| US10461488B2 (en) | 2015-05-14 | 2019-10-29 | Fanuc Corporation | Laser device provided with function of predicting occurrence of condensation |
| DE102016010197A1 (de) | 2015-08-24 | 2017-03-02 | Fanuc Corporation | Laservorrichtung mit Temperatursteuerfunktion für Wartungsarbeiten |
| CN106486881A (zh) * | 2015-08-24 | 2017-03-08 | 发那科株式会社 | 具有维护作业用温度管理功能的激光装置 |
| US9899790B2 (en) | 2015-08-24 | 2018-02-20 | Fanuc Corporation | Laser apparatus having temperature control function for maintenance work |
| JP2017045753A (ja) * | 2015-08-24 | 2017-03-02 | ファナック株式会社 | 保守作業用の温度管理機能を有するレーザ装置 |
| WO2020004288A1 (ja) | 2018-06-29 | 2020-01-02 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | レーザ装置及びレーザ装置の除湿管理方法 |
| US11896929B2 (en) | 2018-06-29 | 2024-02-13 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Laser device and dehumidification management method for laser device |
| JPWO2020054593A1 (ja) * | 2018-09-13 | 2021-08-30 | パナソニック株式会社 | 光学装置 |
| JP2023145805A (ja) * | 2018-09-13 | 2023-10-11 | パナソニックホールディングス株式会社 | 光学装置 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2741433B2 (ja) | 1998-04-15 |
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