JPH0435761Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0435761Y2 JPH0435761Y2 JP19301385U JP19301385U JPH0435761Y2 JP H0435761 Y2 JPH0435761 Y2 JP H0435761Y2 JP 19301385 U JP19301385 U JP 19301385U JP 19301385 U JP19301385 U JP 19301385U JP H0435761 Y2 JPH0435761 Y2 JP H0435761Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stylus
- measured
- ridgeline
- surface roughness
- roughness meter
- Prior art date
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- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Description
〔産業上の利用分野〕
本考案は金属、半導体、プラスチツク等の成形
物や紙、プラスチツクフイルム等の薄膜状物の表
面粗さを測定するための表面粗さ計に関する。特
に本考案被測定物の面上を触針ですり動かして、
表面の突起を測定するのに好適な表面粗さ計に関
する。 〔従来の技術〕 従来、金属・プラスチツク等の成形物、及びプ
ラスチツクフイルム等は、その用途により表面形
状の均一性、即ち表面性が厳しく問われることが
ある。 そこで、従来においては、これらの成形物の表
面性を測定するのに、被測定物を例えば基準ブロ
ツク上に固定し、その測定面に対して、触針の先
端が点接触タイプのダイヤモンド針（先端径は例
えば12μR程度のもの）を用いて接触走査する測
定機具が使用されている。 また、近年においては、高い表面性が要求され
るもので例えば半導体製造過程のシリコンウエハ
などの電子材料や磁気記録媒体用基板などにおい
ては、加工表面に不測に形成された凹凸のうち、
特に凸形状の突起が製品機能を大きく左右するこ
とから、表面突起物密度検査が重要な検査要素と
なつてきている。そして、この表面突起物密度検
査は一般にこの種の計測面積としては大きな面積
（１cm2以上）において計測をおこなう。 〔考案が解決しようとする課題〕 前述の如く１cm2以上の面積を前記ダイヤモンド
針のような点接触の測定針を用いた場合には、測
定面上の往復移を非常に多く移動させないと全面
積にわたつて表面粗さの測定が出来ない。したが
つて、その測定時間として膨大な時間を要求する
結果となつていた。 また、この測定結果は、製品の生産現場に迅速
にフイードバツクされることが品質管理上好まし
いが、測定時間が長くかかると、その時間ズレの
分だけ正確な品質管理ができないことになる。す
なわち、この測定時間の短縮は極めて大きな問題
であつた。 本考案の目的は、従来の問題点を解消し、測定
精度は維持しながらも、測定時間の短縮化のはか
れる表面粗さ計を提供することにある。 〔課題を解決するための手段〕 本考案の上記目的は、被測定物をほぼ水平に載
置可能な載物台と、該載物台の近傍に配置され上
下動可能な移動機と、該移動機に水平方向に移動
可能に取りつけられたアームと、該アームの先端
側に差動トランスを介して取りつけられ前記被測
定物の表面を接触走査する触針とを有した表面粗
さ計であつて、前記触針の先端は前記載物台の方
向へ向いており、触針走査移動方向に対して直交
しかつ前記アームの移動面に対して平行で特定の
走査幅を有した直線状の稜線形状に構成され、か
つ前記載物台が被測定面を前記稜線と平行にする
調節手段を備えたことを特徴とする表面粗さ計に
よつて達成される。 以下、添付図面を参照して本考案の実施態様に
ついて詳細に説明する。 第１図は本考案で用いるナイフウエツジ型の触
針の一例を示す拡大図、第２図は該触針を装着し
た表面粗さ計の概略側面図である。第３図は載物
台の部分の平面図及び中央断面図を示す。 第１図において、本考案で用いる触針１は被測
定面と接触する稜線を構成するウエツジ２を有
し、従来の針状の点接触とは異なり一定の幅ｗを
有した構造である。 前記触針１はＺ軸方向に差動できるＺ軸差動ト
ランス５の先端アーム３に固定され、前記Ｚ軸差
動トランス５を介して前記移動機７のアーム６に
支持されている。そして、前記移動機７は、垂直
な支持部材４に上下方向（Ｚ方向）に摺動可能に
装着されている。 前記支持部材４は、ねじ軸８を有し、該ねじ軸
８に前記移動機７が螺合している。そして、前記
移動機７の位置は、被測定物１４（第３図参照）
に接した時の前記差動トランス５からの指令によ
り垂直方向に移動させることができる。これに
は、例えばねじ軸８の上端にＺ軸レベル調整部材
９が設けられ、このを回すことにより前記移動機
７の位置をあらかじめ調整することができる。 また、前記触針１のＸ方向及びＺ方向の移動は
それぞれコントロールボツクス（図示せず）から
の指令により行うことができる。 前記触針１は第２図に示すように、移動機７が
上下動することにより上下移動して位置決めさ
れ、測定時において前記移動機７内の図示しない
駆動手段により、前記アーム６が移動してＸ方向
に測定走査することができる。 載物台１０はＸ方向およびＹ方向（第２図の紙
面に対して垂直方向）の傾き、即ち被測定物の
XY方向（水平方向）に傾き調整可能になつてい
る。 ここで、特にＹ方向の傾き調整は、被測定物１
４の測定面を前記ウエツジ２に平行に当てるため
の調整なので、高度の調整精度を有する必要があ
る。このための調整手段は、例えばＹ方向におい
て前記載物台１０の両端を両持ち構造とし、その
一端側を軸支し、他端側をＺ方向（上下方向）に
移動可能の機構にすることができる。このＺ方向
への移動機構は、前記載物台１０を支持する前記
他端側において、Ｙ方向へ動くテーパ状物をはさ
み込む構成で、このテーパ状物Ｙ方向に移動させ
ることにより、Ｙ方向の移動をＺ方向の調整に変
換することができる。そして、使用するテーパ状
物の傾斜をごくゆるやかなものとすることによ
り、要求される傾き微調整が可能となる。 なお、本実施態様の表面粗さ計を用いて薄膜状
物の表面を測定する場合には、第２図に示す載物
台１０上に第３図に示す如き治具を設け薄膜状物
の表面測定を行うことができる。 第３図に示す治具は紙、プラスチツクフイルム
等の薄膜状の被測定物１４の表面状態を検査する
ために取付けるのに適した治具である。そして、
この構造は基準ブロツク１３、二枚の取り付けリ
ング板１１（以下、リング板と称す）及びリング
板１１を基準ブロツク１３に取り付ける３本のネ
ジ部材１５からなつている。前記基準ブロツク１
３の上表面にはリング状の凸縁部１６が設けら
れ、中央に凹部を形成し、フイルム等の前記被測
定物１４を前記基準ブロツク１３の表面と一定の
間隔くを保つように前記リング板１１ではさんで
張り付ける。 これは、２枚の前記リング板１１の間にＯリン
グが設けられて前記被測定物１４を確実に挟み込
むことができ、更に、前記基準ブロツク１３を下
方から支持する保持部材１７を前記ネジ部材１５
が貫通するようにし、且つ前記ネジ部材１５の下
方端の大径部分と前記保持部材１７との間に圧縮
ばね１２を設けることにより、前記リング板１１
を鉛直下方に押し下げ、前記被測定物１４に適当
なテンシヨンを与え、被測定面を平面状に保つこ
とができる。 なお、前記保持部材１７は前記載物台１０上に
適宜固定されている。また、前記基準ブロツク１
３の上面は研磨仕上げが施されていることが好ま
しい。 このような治具を用いることにより、紙、フイ
ルム等の薄膜状物の表面状態をより正確に測定す
ることができる。 本考案の表面粗さ計の原理を簡潔に述べると、
上述のように構成した表面粗さ計において、前記
ウエツジ２の具体的な幅ｗは実用上、0.05〜２mm
好ましくは0.1〜1.5mmの真直度が0.5μm以内とす
ることができる。そして、前記被測定物１４の被
測定面上を前記ウエツジ２の幅に対して直角方向
に走査する（表面を触針１ですり動かすようにす
る）と、該ウエツジの幅の間隔内にとらえられる
起伏の最高点のみを捕える、ということになる。
尚、前記ウエツジ２の幅が0.05mmより短いと、表
面の走査回数を増やさなければならず、前記ウエ
ツジ２を稜線形状にした効果が得られず、また２
mmより長いと、測定誤差が多くなり実用上好まし
くない。 なお、ここで真直度とは前記ウエツジ２の使用
精度に関する尺度であつて、数値はウエツジ２に
生じている凹凸の高さをいう。また、垂直度と
は、前記ウエツジ２と被測定面との接触の状態を
示す尺度であつて、その数値は前記ウエツジ２の
一端が被測定面に接触しているときの他端と被測
定面との距離を表している。 このように、本考案の表面粗さ計から得られる
情報は、線走査する従来の表面粗さ計から得られ
る情報と等価ではなく、比較的大きな凸起に敏感
で、凹部には鈍感なデータ、つまり、大面積の中
の凸部の検出が中心となつたデータを提供するこ
とになる。 本考案の表面粗さ計においては、前記ウエツジ
２がその全幅にわたり、被測定物に密着している
ことが必要である。そのため、被測定物自身も、
平面が出されるものであることが必要であるし、
前記載物台１０も、測定物平面と、前記ウエツジ
２とを密着させるに足る垂直度調整能力を持つた
ものが必要である。この垂直度は、ウエツジ幅方
向に対し、その測定で要求される分解能以内に誤
差範囲がおさまる程度が必要である。 本考案が対象とする大面積測定の場合の必要性
からみると一般的に、粗大突起が幾つあるかとい
うことが問題になるので、その点より前記垂直度
はウエツジ幅方向に対し±0.5μm以内、好ましく
は±0.1μm以内がよい。 また、測定範囲は、細長い長方形よりも正方形
に近い方が、平面を出し易く、平行度チエツクも
容易であるから、Ｘ・Ｙ駆動系を備えておいた方
が良い。通常の表面祖さ計は、触針にＸ方向の移
動とＺ方向の移動のみを可能とする移動機構が着
いている事が多く、この場合、本実施態様のごと
くＹ軸駆動テーブルを載物台１０とすれば良い。 本実施態様においては、前記触針１は水平方向
ではＸ軸方向のみに移動するので、前記載物台１
０はＹ軸方向（図面で紙面に直角方向）に移動す
る。したがつて、前記載物台１０に置かれた被測
定物の被測定面全体を前記触針１で走査できるよ
うになつている。 本考案では、このような態様に限られず、前記
触針１ほＸ軸方向とＹ軸方向とに移動可能にして
もよい。 〔考案の効果〕 以上述べたように、本考案の表面祖さ計は、触
針の先端が触針走査移動方向に対して直交しかつ
アームの移動面に対して平行で特定の走査幅を有
した直線状の稜線を有した形状に構成され、かつ
前記載物台が被測定面を前記稜線と平行にする調
節手段を備えた構成である。 したがつて、従来のダイヤモンド針のような線走
査でなく、前記稜線を使つた面走査が出来るの
で、前記触針の走査回数を飛躍的に少なくでき
て、測定時間の短縮化を図ることができる。この
結果、例えば、測定結果を製品の生産現場に迅速
にフイードバツクでき、測定時間の少ない分だけ
正確な品質管理ができる。 以下、実施例により、本考案の効果をさらに明
確にすることができる。 〔実施例〕 第１図に示したナイフウエツジ型の触針１を備
えて第２図に示す構造の表面祖さ計を使用した。
また、第３図に示す治具に厚さ30μmのプラスチ
ツクフイルムを張り付け、この治具を載物台１０
に載せてフイルムの表面祖さ計を測定した。この
場合、触針１の幅ｗは１mm、真直度は±0.1μmで
あり、また治具の基準ブロツクの直径は110mmで
あつた。 Ｘ駆動長 75mm Ｙ方向送りピツチ １mm Ｚ倍率 10.000X 触針スピード 0.6mm／sec の条件で40本の粗さ曲線をとり、その三次元粗さ
チヤヘトから粗大突起物の高さヒストグラムを作
成した。なお、ここに云う粗大突起物とは、粗さ
曲線上でＰ／Ｖ値（Peak to Valley：底から突
起迄の高さ）にして0.05μm以上となつて現れる
突起をさす。 〔比較例〕 第２図に示す構造の装置で、ナイフウエツジ型
の触針１の替りに、通常の表面粗さ計に用いられ
ているダイヤモンド針を用いた表面粗さ計を使用
した。このダイヤモンド針の先端は12μRの触針
を取り付け、前記実施例と同じ測定面積で、粗大
突起を検査するため、方向送りピツチを2μmと
し、20000本の粗さ曲線をとり、その他の条件は
前記実施例と同様とした。この結果を表１に示
す。
物や紙、プラスチツクフイルム等の薄膜状物の表
面粗さを測定するための表面粗さ計に関する。特
に本考案被測定物の面上を触針ですり動かして、
表面の突起を測定するのに好適な表面粗さ計に関
する。 〔従来の技術〕 従来、金属・プラスチツク等の成形物、及びプ
ラスチツクフイルム等は、その用途により表面形
状の均一性、即ち表面性が厳しく問われることが
ある。 そこで、従来においては、これらの成形物の表
面性を測定するのに、被測定物を例えば基準ブロ
ツク上に固定し、その測定面に対して、触針の先
端が点接触タイプのダイヤモンド針（先端径は例
えば12μR程度のもの）を用いて接触走査する測
定機具が使用されている。 また、近年においては、高い表面性が要求され
るもので例えば半導体製造過程のシリコンウエハ
などの電子材料や磁気記録媒体用基板などにおい
ては、加工表面に不測に形成された凹凸のうち、
特に凸形状の突起が製品機能を大きく左右するこ
とから、表面突起物密度検査が重要な検査要素と
なつてきている。そして、この表面突起物密度検
査は一般にこの種の計測面積としては大きな面積
（１cm2以上）において計測をおこなう。 〔考案が解決しようとする課題〕 前述の如く１cm2以上の面積を前記ダイヤモンド
針のような点接触の測定針を用いた場合には、測
定面上の往復移を非常に多く移動させないと全面
積にわたつて表面粗さの測定が出来ない。したが
つて、その測定時間として膨大な時間を要求する
結果となつていた。 また、この測定結果は、製品の生産現場に迅速
にフイードバツクされることが品質管理上好まし
いが、測定時間が長くかかると、その時間ズレの
分だけ正確な品質管理ができないことになる。す
なわち、この測定時間の短縮は極めて大きな問題
であつた。 本考案の目的は、従来の問題点を解消し、測定
精度は維持しながらも、測定時間の短縮化のはか
れる表面粗さ計を提供することにある。 〔課題を解決するための手段〕 本考案の上記目的は、被測定物をほぼ水平に載
置可能な載物台と、該載物台の近傍に配置され上
下動可能な移動機と、該移動機に水平方向に移動
可能に取りつけられたアームと、該アームの先端
側に差動トランスを介して取りつけられ前記被測
定物の表面を接触走査する触針とを有した表面粗
さ計であつて、前記触針の先端は前記載物台の方
向へ向いており、触針走査移動方向に対して直交
しかつ前記アームの移動面に対して平行で特定の
走査幅を有した直線状の稜線形状に構成され、か
つ前記載物台が被測定面を前記稜線と平行にする
調節手段を備えたことを特徴とする表面粗さ計に
よつて達成される。 以下、添付図面を参照して本考案の実施態様に
ついて詳細に説明する。 第１図は本考案で用いるナイフウエツジ型の触
針の一例を示す拡大図、第２図は該触針を装着し
た表面粗さ計の概略側面図である。第３図は載物
台の部分の平面図及び中央断面図を示す。 第１図において、本考案で用いる触針１は被測
定面と接触する稜線を構成するウエツジ２を有
し、従来の針状の点接触とは異なり一定の幅ｗを
有した構造である。 前記触針１はＺ軸方向に差動できるＺ軸差動ト
ランス５の先端アーム３に固定され、前記Ｚ軸差
動トランス５を介して前記移動機７のアーム６に
支持されている。そして、前記移動機７は、垂直
な支持部材４に上下方向（Ｚ方向）に摺動可能に
装着されている。 前記支持部材４は、ねじ軸８を有し、該ねじ軸
８に前記移動機７が螺合している。そして、前記
移動機７の位置は、被測定物１４（第３図参照）
に接した時の前記差動トランス５からの指令によ
り垂直方向に移動させることができる。これに
は、例えばねじ軸８の上端にＺ軸レベル調整部材
９が設けられ、このを回すことにより前記移動機
７の位置をあらかじめ調整することができる。 また、前記触針１のＸ方向及びＺ方向の移動は
それぞれコントロールボツクス（図示せず）から
の指令により行うことができる。 前記触針１は第２図に示すように、移動機７が
上下動することにより上下移動して位置決めさ
れ、測定時において前記移動機７内の図示しない
駆動手段により、前記アーム６が移動してＸ方向
に測定走査することができる。 載物台１０はＸ方向およびＹ方向（第２図の紙
面に対して垂直方向）の傾き、即ち被測定物の
XY方向（水平方向）に傾き調整可能になつてい
る。 ここで、特にＹ方向の傾き調整は、被測定物１
４の測定面を前記ウエツジ２に平行に当てるため
の調整なので、高度の調整精度を有する必要があ
る。このための調整手段は、例えばＹ方向におい
て前記載物台１０の両端を両持ち構造とし、その
一端側を軸支し、他端側をＺ方向（上下方向）に
移動可能の機構にすることができる。このＺ方向
への移動機構は、前記載物台１０を支持する前記
他端側において、Ｙ方向へ動くテーパ状物をはさ
み込む構成で、このテーパ状物Ｙ方向に移動させ
ることにより、Ｙ方向の移動をＺ方向の調整に変
換することができる。そして、使用するテーパ状
物の傾斜をごくゆるやかなものとすることによ
り、要求される傾き微調整が可能となる。 なお、本実施態様の表面粗さ計を用いて薄膜状
物の表面を測定する場合には、第２図に示す載物
台１０上に第３図に示す如き治具を設け薄膜状物
の表面測定を行うことができる。 第３図に示す治具は紙、プラスチツクフイルム
等の薄膜状の被測定物１４の表面状態を検査する
ために取付けるのに適した治具である。そして、
この構造は基準ブロツク１３、二枚の取り付けリ
ング板１１（以下、リング板と称す）及びリング
板１１を基準ブロツク１３に取り付ける３本のネ
ジ部材１５からなつている。前記基準ブロツク１
３の上表面にはリング状の凸縁部１６が設けら
れ、中央に凹部を形成し、フイルム等の前記被測
定物１４を前記基準ブロツク１３の表面と一定の
間隔くを保つように前記リング板１１ではさんで
張り付ける。 これは、２枚の前記リング板１１の間にＯリン
グが設けられて前記被測定物１４を確実に挟み込
むことができ、更に、前記基準ブロツク１３を下
方から支持する保持部材１７を前記ネジ部材１５
が貫通するようにし、且つ前記ネジ部材１５の下
方端の大径部分と前記保持部材１７との間に圧縮
ばね１２を設けることにより、前記リング板１１
を鉛直下方に押し下げ、前記被測定物１４に適当
なテンシヨンを与え、被測定面を平面状に保つこ
とができる。 なお、前記保持部材１７は前記載物台１０上に
適宜固定されている。また、前記基準ブロツク１
３の上面は研磨仕上げが施されていることが好ま
しい。 このような治具を用いることにより、紙、フイ
ルム等の薄膜状物の表面状態をより正確に測定す
ることができる。 本考案の表面粗さ計の原理を簡潔に述べると、
上述のように構成した表面粗さ計において、前記
ウエツジ２の具体的な幅ｗは実用上、0.05〜２mm
好ましくは0.1〜1.5mmの真直度が0.5μm以内とす
ることができる。そして、前記被測定物１４の被
測定面上を前記ウエツジ２の幅に対して直角方向
に走査する（表面を触針１ですり動かすようにす
る）と、該ウエツジの幅の間隔内にとらえられる
起伏の最高点のみを捕える、ということになる。
尚、前記ウエツジ２の幅が0.05mmより短いと、表
面の走査回数を増やさなければならず、前記ウエ
ツジ２を稜線形状にした効果が得られず、また２
mmより長いと、測定誤差が多くなり実用上好まし
くない。 なお、ここで真直度とは前記ウエツジ２の使用
精度に関する尺度であつて、数値はウエツジ２に
生じている凹凸の高さをいう。また、垂直度と
は、前記ウエツジ２と被測定面との接触の状態を
示す尺度であつて、その数値は前記ウエツジ２の
一端が被測定面に接触しているときの他端と被測
定面との距離を表している。 このように、本考案の表面粗さ計から得られる
情報は、線走査する従来の表面粗さ計から得られ
る情報と等価ではなく、比較的大きな凸起に敏感
で、凹部には鈍感なデータ、つまり、大面積の中
の凸部の検出が中心となつたデータを提供するこ
とになる。 本考案の表面粗さ計においては、前記ウエツジ
２がその全幅にわたり、被測定物に密着している
ことが必要である。そのため、被測定物自身も、
平面が出されるものであることが必要であるし、
前記載物台１０も、測定物平面と、前記ウエツジ
２とを密着させるに足る垂直度調整能力を持つた
ものが必要である。この垂直度は、ウエツジ幅方
向に対し、その測定で要求される分解能以内に誤
差範囲がおさまる程度が必要である。 本考案が対象とする大面積測定の場合の必要性
からみると一般的に、粗大突起が幾つあるかとい
うことが問題になるので、その点より前記垂直度
はウエツジ幅方向に対し±0.5μm以内、好ましく
は±0.1μm以内がよい。 また、測定範囲は、細長い長方形よりも正方形
に近い方が、平面を出し易く、平行度チエツクも
容易であるから、Ｘ・Ｙ駆動系を備えておいた方
が良い。通常の表面祖さ計は、触針にＸ方向の移
動とＺ方向の移動のみを可能とする移動機構が着
いている事が多く、この場合、本実施態様のごと
くＹ軸駆動テーブルを載物台１０とすれば良い。 本実施態様においては、前記触針１は水平方向
ではＸ軸方向のみに移動するので、前記載物台１
０はＹ軸方向（図面で紙面に直角方向）に移動す
る。したがつて、前記載物台１０に置かれた被測
定物の被測定面全体を前記触針１で走査できるよ
うになつている。 本考案では、このような態様に限られず、前記
触針１ほＸ軸方向とＹ軸方向とに移動可能にして
もよい。 〔考案の効果〕 以上述べたように、本考案の表面祖さ計は、触
針の先端が触針走査移動方向に対して直交しかつ
アームの移動面に対して平行で特定の走査幅を有
した直線状の稜線を有した形状に構成され、かつ
前記載物台が被測定面を前記稜線と平行にする調
節手段を備えた構成である。 したがつて、従来のダイヤモンド針のような線走
査でなく、前記稜線を使つた面走査が出来るの
で、前記触針の走査回数を飛躍的に少なくでき
て、測定時間の短縮化を図ることができる。この
結果、例えば、測定結果を製品の生産現場に迅速
にフイードバツクでき、測定時間の少ない分だけ
正確な品質管理ができる。 以下、実施例により、本考案の効果をさらに明
確にすることができる。 〔実施例〕 第１図に示したナイフウエツジ型の触針１を備
えて第２図に示す構造の表面祖さ計を使用した。
また、第３図に示す治具に厚さ30μmのプラスチ
ツクフイルムを張り付け、この治具を載物台１０
に載せてフイルムの表面祖さ計を測定した。この
場合、触針１の幅ｗは１mm、真直度は±0.1μmで
あり、また治具の基準ブロツクの直径は110mmで
あつた。 Ｘ駆動長 75mm Ｙ方向送りピツチ １mm Ｚ倍率 10.000X 触針スピード 0.6mm／sec の条件で40本の粗さ曲線をとり、その三次元粗さ
チヤヘトから粗大突起物の高さヒストグラムを作
成した。なお、ここに云う粗大突起物とは、粗さ
曲線上でＰ／Ｖ値（Peak to Valley：底から突
起迄の高さ）にして0.05μm以上となつて現れる
突起をさす。 〔比較例〕 第２図に示す構造の装置で、ナイフウエツジ型
の触針１の替りに、通常の表面粗さ計に用いられ
ているダイヤモンド針を用いた表面粗さ計を使用
した。このダイヤモンド針の先端は12μRの触針
を取り付け、前記実施例と同じ測定面積で、粗大
突起を検査するため、方向送りピツチを2μmと
し、20000本の粗さ曲線をとり、その他の条件は
前記実施例と同様とした。この結果を表１に示
す。
【表】
表１において本考案の実施例の方が高さ0.05〜
0.5μmの突起密度が少なめに数として出ている理
由は下記のとおりである。ナイフウエツジ型の触
針で測ると、複数の突起がウエツジ幅方向と全く
平行に並んでいる場合は、一個の突起としてカウ
ントしてしまうので突起密度の高い所でこの誤差
が出る。一般にプラスチツクフイルムの突起高さ
分布は二項分布になつており、0.05〜0.5μmとい
う低い突起は密度が大きいため誤差がでる確立が
ふえたと思われる。ただ10％以内の誤差なので工
業的使用には何ら悪影響はない。 表１を見ると、明らかに本考案により、フイル
ム面上の粗大突起検査が測定精度を維持しながら
も、比較例に比べると圧倒的な短時間で行なえる
ことが判る。
0.5μmの突起密度が少なめに数として出ている理
由は下記のとおりである。ナイフウエツジ型の触
針で測ると、複数の突起がウエツジ幅方向と全く
平行に並んでいる場合は、一個の突起としてカウ
ントしてしまうので突起密度の高い所でこの誤差
が出る。一般にプラスチツクフイルムの突起高さ
分布は二項分布になつており、0.05〜0.5μmとい
う低い突起は密度が大きいため誤差がでる確立が
ふえたと思われる。ただ10％以内の誤差なので工
業的使用には何ら悪影響はない。 表１を見ると、明らかに本考案により、フイル
ム面上の粗大突起検査が測定精度を維持しながら
も、比較例に比べると圧倒的な短時間で行なえる
ことが判る。
第１図は本考案に用いる触針の形状の一実施態
様を示す拡大図、第２図は本考案の表面粗さ計の
一実施態様を示す側面図、第３図は薄膜状物の表
面状態を第２図に示す載物台にセツトするのに適
した治具を示す平面図及び中央の垂直断面図であ
る。 図中符号、１……触針、２……ウエツジ、３…
…先端アーム、４……支持部材、５……差動トラ
ンス、６……アーム、７……移動機、８……ねじ
軸、９……レベル調整部材、１０……載物台、１
１……リング板、１２……圧縮ばね、１３……基
準ブロツク、１４……被測定物、１５……ネジ、
１６……凸縁部、１７……保持部材。
様を示す拡大図、第２図は本考案の表面粗さ計の
一実施態様を示す側面図、第３図は薄膜状物の表
面状態を第２図に示す載物台にセツトするのに適
した治具を示す平面図及び中央の垂直断面図であ
る。 図中符号、１……触針、２……ウエツジ、３…
…先端アーム、４……支持部材、５……差動トラ
ンス、６……アーム、７……移動機、８……ねじ
軸、９……レベル調整部材、１０……載物台、１
１……リング板、１２……圧縮ばね、１３……基
準ブロツク、１４……被測定物、１５……ネジ、
１６……凸縁部、１７……保持部材。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 被測定物をほぼ水平に載置可能な載物台と、
該載物台の近傍に配置され上下動可能な移動機
と、該移動機に水平方向に移動可能に取りつけ
られたアームと、該アームと先端側に差動トラ
ンスを介して取りつけられ前記被測定物の表面
を接触走査する触針とを有した表面粗さ計であ
つて、前記触針の先端は前記載物台の方向へ向
いており、触針走査移動方向に対して直交しか
つ前記アームの移動面に対して平行で特定の走
査幅を有した直線状の稜線形状に構成され、か
つ前記載物台が被測定面を前記稜線と平行にす
る調節手段を備えたことを特徴とする表面粗さ
計。 (2) 前記触針の稜線は長さが0.05〜2.00mm、該稜
線の真直度が±0.5μm以内に構成され、更に前
記調節手段が前記稜線の長さにおいて稜線長さ
方向の被測定面の垂直度を±0.5μm以内に調整
できるように構成された請求項１の表面粗さ
計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19301385U JPH0435761Y2 (ja) | 1985-12-17 | 1985-12-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19301385U JPH0435761Y2 (ja) | 1985-12-17 | 1985-12-17 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62102106U JPS62102106U (ja) | 1987-06-29 |
| JPH0435761Y2 true JPH0435761Y2 (ja) | 1992-08-25 |
Family
ID=31148635
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19301385U Expired JPH0435761Y2 (ja) | 1985-12-17 | 1985-12-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0435761Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07113523B2 (ja) * | 1990-06-19 | 1995-12-06 | 日本碍子株式会社 | ハニカムの表面粗度測定法及びそれに用いる表面粗度測定用測定子 |
| JP2004177192A (ja) * | 2002-11-26 | 2004-06-24 | Dainippon Printing Co Ltd | 欠陥高さ検査装置及び欠陥高さ検査方法 |
-
1985
- 1985-12-17 JP JP19301385U patent/JPH0435761Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62102106U (ja) | 1987-06-29 |
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