JPH04359122A - 静電容量式液面計の計測精度検査方法 - Google Patents
静電容量式液面計の計測精度検査方法Info
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- JPH04359122A JPH04359122A JP3133932A JP13393291A JPH04359122A JP H04359122 A JPH04359122 A JP H04359122A JP 3133932 A JP3133932 A JP 3133932A JP 13393291 A JP13393291 A JP 13393291A JP H04359122 A JPH04359122 A JP H04359122A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、タンク内の液面位を
静電容量として検知することによりこれを測定する静電
容量式液面計の計測精度検査方法に関する。
静電容量として検知することによりこれを測定する静電
容量式液面計の計測精度検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】先ず、上述の静電容量式液面計について
、これを図１を用いて説明する。センサ部１０は、対向
する円筒電極１１と円筒電極１２とよりなるレベル・セ
ンサを必要個数例えば７個のセンサＳ１ ないしＳ７
を液体が貯蔵されるタンク１内にその高さ方向に配列し
たものである。ここで、一方の電極１２は共通に接続さ
れ、これには発振器３０の発振電圧が印加される。そし
て、他方の電極１１は各レベル・センサ毎に互いに独立
して各別にセンサ選択部２０に接続している。このセン
サ選択部２０によりレベル・センサＳ１ ないしＳ７
を選択してこれらの示す静電容量が容量測定部４０に導
入され、これら静電容量はここにおいてディジタルある
いはアナログの静電容量信号に変換され、出力される。 容量測定部４０の出力である静電容量信号はデータ記憶
部６０、データ演算部７０に転送される。データ演算部
７０においては、予めプログラム・メモリ部８０に入力
されているプログラムに従がって、各レベル・センサに
ついて上記静電容量信号測定、液面位演算がなされ、液
面位Ｈ出力は出力ＣＲＴ９０、出力プリンタ１００或は
その他の出力表示装置により読み取るようにしている。
、これを図１を用いて説明する。センサ部１０は、対向
する円筒電極１１と円筒電極１２とよりなるレベル・セ
ンサを必要個数例えば７個のセンサＳ１ ないしＳ７
を液体が貯蔵されるタンク１内にその高さ方向に配列し
たものである。ここで、一方の電極１２は共通に接続さ
れ、これには発振器３０の発振電圧が印加される。そし
て、他方の電極１１は各レベル・センサ毎に互いに独立
して各別にセンサ選択部２０に接続している。このセン
サ選択部２０によりレベル・センサＳ１ ないしＳ７
を選択してこれらの示す静電容量が容量測定部４０に導
入され、これら静電容量はここにおいてディジタルある
いはアナログの静電容量信号に変換され、出力される。 容量測定部４０の出力である静電容量信号はデータ記憶
部６０、データ演算部７０に転送される。データ演算部
７０においては、予めプログラム・メモリ部８０に入力
されているプログラムに従がって、各レベル・センサに
ついて上記静電容量信号測定、液面位演算がなされ、液
面位Ｈ出力は出力ＣＲＴ９０、出力プリンタ１００或は
その他の出力表示装置により読み取るようにしている。
【０００３】次に、上述のセンサ部１０を具備した静電
容量式液面計により液面位の計測が可能であるとの説明
をする。先ず、液面の存在している「液位センサＳｃ
」の静電容量は、下記のごとく、液位センサ電極の内の
液中に存在する部分の静電容量と空気中に存在する部分
の静電容量の和として表わされる（この詳細な導出の仕
方については当該特許出願人の出願に係わる、特願平１
−２００９８４号明細書を参照されたい）。
容量式液面計により液面位の計測が可能であるとの説明
をする。先ず、液面の存在している「液位センサＳｃ
」の静電容量は、下記のごとく、液位センサ電極の内の
液中に存在する部分の静電容量と空気中に存在する部分
の静電容量の和として表わされる（この詳細な導出の仕
方については当該特許出願人の出願に係わる、特願平１
−２００９８４号明細書を参照されたい）。
【０００４】
Ｃｓｃ＝Ｃｅｃ＋Ｃｅｃ（ε−１）ｈｃ ／ｌｃ
（１）但し、Ｃｓｃ
：液位センサの容量 Ｃｅｃ：液位センサ全体が気中にある場合の容量ε
：液の比誘電率 ｈｃ ：液位センサについての液位 ｌｃ ：液位センサ長或は高さ 液の比誘電率εはセンサの気中静電容量Ｃｅｎとこのセ
ンサが完全に液中に存在する場合の静電容量Ｃｆｎの比
として次のごとくに表わされる。
（１）但し、Ｃｓｃ
：液位センサの容量 Ｃｅｃ：液位センサ全体が気中にある場合の容量ε
：液の比誘電率 ｈｃ ：液位センサについての液位 ｌｃ ：液位センサ長或は高さ 液の比誘電率εはセンサの気中静電容量Ｃｅｎとこのセ
ンサが完全に液中に存在する場合の静電容量Ｃｆｎの比
として次のごとくに表わされる。
【０００５】
ε＝Ｃｆｎ／Ｃｅｎ
（
２）但し、ｎ ：レベル・センサのセンサ番号この場合
、εを測定するレベル・センサは液中に存在するもので
あればいずれでもよく、これをレベル・センサＳ１ と
することができる。 ε＝Ｃｆｎ／Ｃｅｎ＝Ｃｆｌ／Ｃｅｌ
（３）ここ
で、（１）、（３）式よりεを消去することにより液位
センサについての液位ｈｃ を求めることができる。
（
２）但し、ｎ ：レベル・センサのセンサ番号この場合
、εを測定するレベル・センサは液中に存在するもので
あればいずれでもよく、これをレベル・センサＳ１ と
することができる。 ε＝Ｃｆｎ／Ｃｅｎ＝Ｃｆｌ／Ｃｅｌ
（３）ここ
で、（１）、（３）式よりεを消去することにより液位
センサについての液位ｈｃ を求めることができる。
【０００６】
ｈｃ ＝ｌｃ ・Ｃｅｌ（Ｃｓｃ−Ｃｅｃ）／Ｃｅ
ｃ（Ｃｆｌ−Ｃｅｌ） （４）（４）式において、Ｃ
ｅｌ、Ｃｅｃ、ｌｃ はセンサの形状、寸法により定ま
る定数であるので、ＣｆｌとＣｓｃとを測定すれば液位
センサについての液位ｈｃ を求めることができる。そ
して、液位センサＳｃより下側の高さｌｘ は下側にあ
るレベル・センサの高さの総和に等しい。これらの高さ
ｌｘ はセンサの置台の高さＨｏ を含めて、予め実測
してその固定値をデータ記憶部６０に記憶しておく。 ところで、液位センサがＳｌ である場合、その下側に
は液の比誘電率を測定するレベル・センサがないのであ
るが、センサＳ１ が気中および液中にあったときのＣ
ｅｌおよびＣｆｌの値をデータ記憶部６０に記憶してお
けば、これらを用いて（３）式から比誘電率εを求める
ことができるし、また、これらＣｅｌ、Ｃｆｌを式（４
）に適用することにより上述と同様に液面位の計測と演
算を実行することができる。
ｃ（Ｃｆｌ−Ｃｅｌ） （４）（４）式において、Ｃ
ｅｌ、Ｃｅｃ、ｌｃ はセンサの形状、寸法により定ま
る定数であるので、ＣｆｌとＣｓｃとを測定すれば液位
センサについての液位ｈｃ を求めることができる。そ
して、液位センサＳｃより下側の高さｌｘ は下側にあ
るレベル・センサの高さの総和に等しい。これらの高さ
ｌｘ はセンサの置台の高さＨｏ を含めて、予め実測
してその固定値をデータ記憶部６０に記憶しておく。 ところで、液位センサがＳｌ である場合、その下側に
は液の比誘電率を測定するレベル・センサがないのであ
るが、センサＳ１ が気中および液中にあったときのＣ
ｅｌおよびＣｆｌの値をデータ記憶部６０に記憶してお
けば、これらを用いて（３）式から比誘電率εを求める
ことができるし、また、これらＣｅｌ、Ｃｆｌを式（４
）に適用することにより上述と同様に液面位の計測と演
算を実行することができる。
【０００７】タンク底から液面までの液面位Ｈは、結局
、（４）式により計測、演算して求めた液位ｈｃ と液
位センサＳｃ 迄の高さｌｘ の和として求めることが
できる。 Ｈ＝ｈｃ ＋ｌｘ
（
５）次に、液位センサＳｃ がいずれであるのかをどの
様に判定するかと言うと、次のごとくにする。センサＳ
１ から順次に、これらそれぞれについて（４）式を用
いて液位ｈｃ の計測、演算を実行する。レベル・セン
サが完全に液中にある場合はｈｃ ＝ｌｃ となり、そ
して液面の存在するセンサＳｃ については０＜ｈｃ
＜ｌｃ であり、またレベル・センサが完全に気中にあ
る場合はｈｃ ＝０となることは言うまでもない。これ
らのことから、いずれが液位センサＳｃ であるかを判
定することができる。一度、いずれが液面位センサＳｃ
であるかが判定されると、このセンサのセンサ番号を
データ記憶部６０に記憶しておくことにより、これを手
がかりとして次回からの液位センサの判定を効率よく実
施することができる。
、（４）式により計測、演算して求めた液位ｈｃ と液
位センサＳｃ 迄の高さｌｘ の和として求めることが
できる。 Ｈ＝ｈｃ ＋ｌｘ
（
５）次に、液位センサＳｃ がいずれであるのかをどの
様に判定するかと言うと、次のごとくにする。センサＳ
１ から順次に、これらそれぞれについて（４）式を用
いて液位ｈｃ の計測、演算を実行する。レベル・セン
サが完全に液中にある場合はｈｃ ＝ｌｃ となり、そ
して液面の存在するセンサＳｃ については０＜ｈｃ
＜ｌｃ であり、またレベル・センサが完全に気中にあ
る場合はｈｃ ＝０となることは言うまでもない。これ
らのことから、いずれが液位センサＳｃ であるかを判
定することができる。一度、いずれが液面位センサＳｃ
であるかが判定されると、このセンサのセンサ番号を
データ記憶部６０に記憶しておくことにより、これを手
がかりとして次回からの液位センサの判定を効率よく実
施することができる。
【０００８】この様な静電容量式液面計においてその計
測精度を検査する場合、従来は、先ず図１におけるセン
サ部１０を図２に示されるごとく精度検査用の可変バリ
コン１０′に置き換える。そして、このバリコン１０′
の設定容量に対応する理論的な液面位を予め計算により
求めておく。次に、バリコン１０′の上記の通りの設定
容量を図２に示されるごとくに容量測定部４０を介して
制御演算部５に現実の入力として供給し、これに対応す
る現実の液面位を実測する。ここで、上記の理論的な液
面位と現実の実測した液面位とを比較することにより液
面計の計測精度を求める様にしていた。
測精度を検査する場合、従来は、先ず図１におけるセン
サ部１０を図２に示されるごとく精度検査用の可変バリ
コン１０′に置き換える。そして、このバリコン１０′
の設定容量に対応する理論的な液面位を予め計算により
求めておく。次に、バリコン１０′の上記の通りの設定
容量を図２に示されるごとくに容量測定部４０を介して
制御演算部５に現実の入力として供給し、これに対応す
る現実の液面位を実測する。ここで、上記の理論的な液
面位と現実の実測した液面位とを比較することにより液
面計の計測精度を求める様にしていた。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上述の通りの計測精度
検査方法は、現実の測定用のセンサ部１０をセンサ選択
部２０から切り離して、その代わりに精度検査用の可変
バリコン１０′を接続することを含むものである。その
ために、その計測精度検査方法には次の様な欠点、或は
問題が存在していた。
検査方法は、現実の測定用のセンサ部１０をセンサ選択
部２０から切り離して、その代わりに精度検査用の可変
バリコン１０′を接続することを含むものである。その
ために、その計測精度検査方法には次の様な欠点、或は
問題が存在していた。
【００１０】ａ．精度検査の度毎にセンサ部を切り離す
必要がある。 ｂ．検査標準器として可変バリコンを予め準備しておか
なければならない。 ｃ．上記の可変バリコンは予め検定しておかなければな
らない。 ｄ．上述の通りの精度検査方法は、結局、静電容量式液
面計からセンサ部を除いた残余の部分のみの検査をして
いるに過ぎない。
必要がある。 ｂ．検査標準器として可変バリコンを予め準備しておか
なければならない。 ｃ．上記の可変バリコンは予め検定しておかなければな
らない。 ｄ．上述の通りの精度検査方法は、結局、静電容量式液
面計からセンサ部を除いた残余の部分のみの検査をして
いるに過ぎない。
【００１１】この発明は、上述の通りの欠点、問題を解
消、除去した静電容量式液面計の計測精度検査方法を提
供しようとするものである。
消、除去した静電容量式液面計の計測精度検査方法を提
供しようとするものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上述した通りの静電容量
式液面計の計測精度検査方法において、全体が液中にあ
るレベル・センサおよび全体が気中にあるレベル・セン
サそれぞれについて液位ｈｃｎの測定を実行し、これら
測定結果を対応するレベル・センサの基準値とそれぞれ
比較することにより上記液面計の計測精度を検査する様
にした。
式液面計の計測精度検査方法において、全体が液中にあ
るレベル・センサおよび全体が気中にあるレベル・セン
サそれぞれについて液位ｈｃｎの測定を実行し、これら
測定結果を対応するレベル・センサの基準値とそれぞれ
比較することにより上記液面計の計測精度を検査する様
にした。
【００１３】
【実施例】この発明は、対向する電極対より成るレベル
・センサの複数対を液体が貯蔵されるタンク内にその高
さ方向に配列して構成したセンサ部を具備し、上記レベ
ル・センサを順次に選択するセンサ選択部を具備し、静
電容量測定部を具備し、内部に各レベル・センサについ
て上記静電容量信号測定、液面位演算を実行するプログ
ラム・メモリを有する制御演算部を具備し、液面が存在
するレベル・センサについてその液位を測定することに
より液面位を測定する静電容量式液面計の計測精度検査
方法において、全体が液中にあるレベル・センサおよび
全体が気中にあるレベル・センサのそれぞれについて上
記液位の測定を実行し、これら測定結果を対応するレベ
ル・センサの基準値とそれぞれ比較することにより計測
精度を検査するものである。
・センサの複数対を液体が貯蔵されるタンク内にその高
さ方向に配列して構成したセンサ部を具備し、上記レベ
ル・センサを順次に選択するセンサ選択部を具備し、静
電容量測定部を具備し、内部に各レベル・センサについ
て上記静電容量信号測定、液面位演算を実行するプログ
ラム・メモリを有する制御演算部を具備し、液面が存在
するレベル・センサについてその液位を測定することに
より液面位を測定する静電容量式液面計の計測精度検査
方法において、全体が液中にあるレベル・センサおよび
全体が気中にあるレベル・センサのそれぞれについて上
記液位の測定を実行し、これら測定結果を対応するレベ
ル・センサの基準値とそれぞれ比較することにより計測
精度を検査するものである。
【００１４】実際の計測精度の検査は、予めプログラム
されてプログラム・メモリ部８０にメモリされている精
度検査用プログラムにより、下記のごとくに実施するこ
とができる。また、手動のセンサ選択部を具備して手動
的に精度検査をする様にしてもよい。 第１：レベル・センサＳｎ をＳ１ から順次に全レベ
ル・センサを選択してこれらの液位ｈｃｎ（但し、ｎ
はセンサ番号）を求める。
されてプログラム・メモリ部８０にメモリされている精
度検査用プログラムにより、下記のごとくに実施するこ
とができる。また、手動のセンサ選択部を具備して手動
的に精度検査をする様にしてもよい。 第１：レベル・センサＳｎ をＳ１ から順次に全レベ
ル・センサを選択してこれらの液位ｈｃｎ（但し、ｎ
はセンサ番号）を求める。
【００１５】第２：第１において求めた液位ｈｃｎに基
づいて液位センサＳｃ がいずれであるかを判定する。 第３：液位センサＳｃ より下側の完全に液中にあるレ
ベル・センサすべてについてこれらの液位ｈｃｎを式（
３）、（４）を用いて求める。液位ｈｃｎとして第１に
おいて求めた値を採用することもできる。
づいて液位センサＳｃ がいずれであるかを判定する。 第３：液位センサＳｃ より下側の完全に液中にあるレ
ベル・センサすべてについてこれらの液位ｈｃｎを式（
３）、（４）を用いて求める。液位ｈｃｎとして第１に
おいて求めた値を採用することもできる。
【００１６】第４：第３において求めた液位ｈｃｎと予
め精密測定してデータ記憶部６０に記憶しておいた対応
するレベル・センサの高さｌｃｎ（基準値）との間の差
δｎ （計測誤差）を求める。 δｎ ＝ｈｃｎ−ｌｃｎ 第５：液位センサＳｃ より上側の完全に気中にあるレ
ベル・センサについても第３と同様にこれらの液位ｈｃ
ｎを求める。ここで、液位ｈｃｎとして第１において求
めた値を採用することができる点についても同様である
。
め精密測定してデータ記憶部６０に記憶しておいた対応
するレベル・センサの高さｌｃｎ（基準値）との間の差
δｎ （計測誤差）を求める。 δｎ ＝ｈｃｎ−ｌｃｎ 第５：液位センサＳｃ より上側の完全に気中にあるレ
ベル・センサについても第３と同様にこれらの液位ｈｃ
ｎを求める。ここで、液位ｈｃｎとして第１において求
めた値を採用することができる点についても同様である
。
【００１７】この時、式（３）により液の比誘電率を測
定するに際しては上述の通り完全に液中にあるレベル・
センサを必要とするのであるが、タンク内に液がなくて
レベル・センサのＣｆｎの実測ができない場合は、液が
あってＣｆｎの実測ができた時の値をデータ記憶部６０
に記憶して置いてこれを使用する様にすることができる
。 第６：第５における液位ｈｃｎと予め記憶しておいた零
値（基準値）との間の差δｎ （計測誤差）を求める。
定するに際しては上述の通り完全に液中にあるレベル・
センサを必要とするのであるが、タンク内に液がなくて
レベル・センサのＣｆｎの実測ができない場合は、液が
あってＣｆｎの実測ができた時の値をデータ記憶部６０
に記憶して置いてこれを使用する様にすることができる
。 第６：第５における液位ｈｃｎと予め記憶しておいた零
値（基準値）との間の差δｎ （計測誤差）を求める。
【００１８】この場合は、液がない場合のｈｃｎである
から、これらは零を示す筈であり、従って値があればこ
れらはそのまま計測誤差を示すこととなる。 δｎ ＝ｈｃｎ−０＝ｈｃｎ 第７：液位センサＳｃの計測誤差についてであるが、タ
ンク内の液面が低下または上昇して下位または上位のレ
ベル・センサが液位センサとなった時に先に液位センサ
であったものの計測誤差を測定する様にすればよい。
から、これらは零を示す筈であり、従って値があればこ
れらはそのまま計測誤差を示すこととなる。 δｎ ＝ｈｃｎ−０＝ｈｃｎ 第７：液位センサＳｃの計測誤差についてであるが、タ
ンク内の液面が低下または上昇して下位または上位のレ
ベル・センサが液位センサとなった時に先に液位センサ
であったものの計測誤差を測定する様にすればよい。
【００１９】レベル・センサは一般にその電極は同軸円
筒状或は平行板状に構成されるので、容量信号は図３に
示される通り零液位から満液位にいたる迄リニアに増加
する特性を有している。図３において鎖線は誤差零の理
想レベル・センサ電極の示す液位一容量信号理想直線を
示している。実線ａ、ｂはそれぞれ各別の現実のレベル
・センサ電極の示す液位一容量信号直線を示す。電極を
製造するに際しては、電極の形状、構造、使用材料、製
造工程その他、すべてを同一にするよう極力努力しても
特性の多少異なる電極ができてしまうのは致し方のない
事なのである。ここで、鎖線と実線ａとについて見るに
、両者の間の縦軸方向の差は測定誤差を示すが、これは
液位が零のところから両直線の交点のところ迄単調に減
少して行き、次いでそこから満液位のところ迄は単調に
増大していく。測定誤差の大きさは、この場合は液位零
のところが最大である。今度は、鎖線と実線ｂとについ
て見るに、この場合は測定誤差は単調に増大して行き、
満液位のところで最大となっている。従って、いずれに
しても、測定誤差は零液位のところ或は満液位のところ
において最大となることが図３から読み取ることができ
る。この発明においては、上記理想の容量信号に対応す
る零液位および満液位における容量信号を既知の基準値
として各レベル・センサ電極毎にデータ記憶部６０に内
部メモリ化しておいて、これら既知容量信号メモリの基
準値と上記最大測定誤差を示すところの実測値とを比較
すれば、これらを液位センサの測定誤差としてレベル・
センサ毎に、或は静電容量式液面計全体としての計測精
度の検査に使用することができる。容量測定部の誤差特
性は一般にリニアであり、そして零液位および満液位時
の精度検査を実施しているところから、この発明におい
ては結局、装置全体の精度の検査がなされたものと考え
てよいことになる。
筒状或は平行板状に構成されるので、容量信号は図３に
示される通り零液位から満液位にいたる迄リニアに増加
する特性を有している。図３において鎖線は誤差零の理
想レベル・センサ電極の示す液位一容量信号理想直線を
示している。実線ａ、ｂはそれぞれ各別の現実のレベル
・センサ電極の示す液位一容量信号直線を示す。電極を
製造するに際しては、電極の形状、構造、使用材料、製
造工程その他、すべてを同一にするよう極力努力しても
特性の多少異なる電極ができてしまうのは致し方のない
事なのである。ここで、鎖線と実線ａとについて見るに
、両者の間の縦軸方向の差は測定誤差を示すが、これは
液位が零のところから両直線の交点のところ迄単調に減
少して行き、次いでそこから満液位のところ迄は単調に
増大していく。測定誤差の大きさは、この場合は液位零
のところが最大である。今度は、鎖線と実線ｂとについ
て見るに、この場合は測定誤差は単調に増大して行き、
満液位のところで最大となっている。従って、いずれに
しても、測定誤差は零液位のところ或は満液位のところ
において最大となることが図３から読み取ることができ
る。この発明においては、上記理想の容量信号に対応す
る零液位および満液位における容量信号を既知の基準値
として各レベル・センサ電極毎にデータ記憶部６０に内
部メモリ化しておいて、これら既知容量信号メモリの基
準値と上記最大測定誤差を示すところの実測値とを比較
すれば、これらを液位センサの測定誤差としてレベル・
センサ毎に、或は静電容量式液面計全体としての計測精
度の検査に使用することができる。容量測定部の誤差特
性は一般にリニアであり、そして零液位および満液位時
の精度検査を実施しているところから、この発明におい
ては結局、装置全体の精度の検査がなされたものと考え
てよいことになる。
【００２０】
【発明の効果】この発明は、上述の通り、全体が液中に
あるレベル・センサおよび全体が気中にあるレベル・セ
ンサそれぞれについて液位ｈｃｎの測定を実行し、これ
ら測定結果をデータ記憶部に記憶している対応するレベ
ル・センサの基準値とそれぞれ比較することにより上記
液面計の計測精度を検査する様にしたので、検査標準器
として可変バリコンを予め準備しておくこと、およびそ
の検定が不要であることは言うまでもない。そして、こ
の発明は、精度検査とは言えセンサ部を切り離さずその
ままにして現実の測定そのものを実施しているので、セ
ンサ部を含み静電容量式液面計全体の精度を検査するこ
とができるものである。
あるレベル・センサおよび全体が気中にあるレベル・セ
ンサそれぞれについて液位ｈｃｎの測定を実行し、これ
ら測定結果をデータ記憶部に記憶している対応するレベ
ル・センサの基準値とそれぞれ比較することにより上記
液面計の計測精度を検査する様にしたので、検査標準器
として可変バリコンを予め準備しておくこと、およびそ
の検定が不要であることは言うまでもない。そして、こ
の発明は、精度検査とは言えセンサ部を切り離さずその
ままにして現実の測定そのものを実施しているので、セ
ンサ部を含み静電容量式液面計全体の精度を検査するこ
とができるものである。
【図１】この発明の一実施例を説明するための図。
【図２】この発明の従来例を説明するための図。
【図３】レベル・センサの特性を示す図。
１ タンク
２ 液体
２ａ 液面
Ｈ 液面位
１０ センサ部
１０′ 可変バリコン
Ｓ１ 〜７ レベル・センサ
１１ レベル・センサ電極
１２ レベル・センサ電極
Ｓｃ 液位センサ
ｌｃ 液位センサの高さ
ｌｘ 液位センサ迄の高さｈｃ
液位 Ｈｏ センサ置き台の高さ２０
センサ選択部 ５ 制御演算部 ４０ 容量測定部 ５０ 制御部 ６０ データ記憶部 ７０ データ演算部 ８０ プログラム・メモリ部ａ
実線 ｂ 実線
液位 Ｈｏ センサ置き台の高さ２０
センサ選択部 ５ 制御演算部 ４０ 容量測定部 ５０ 制御部 ６０ データ記憶部 ７０ データ演算部 ８０ プログラム・メモリ部ａ
実線 ｂ 実線
Claims (1)
- 【請求項１】 対向する電極対より成るレベル・セン
サの複数対を液体が貯蔵されるタンク内にその高さ方向
に配列して構成したセンサ部を具備し、上記レベル・セ
ンサを順次に選択するセンサ選択部を具備し、静電容量
測定部を具備し、内部に各レベル・センサについて上記
静電容量信号測定、液面位演算を実行するプログラム・
メモリを有する制御演算部を具備し、液面が存在するレ
ベル・センサについてその液位を測定することにより液
面位を測定する静電容量式液面計の計測精度検査方法に
おいて、全体が液中にあるレベル・センサおよび全体が
気中にあるレベル・センサについて上記液位の測定を実
行し、これら測定結果を対応するレベル・センサの基準
値と比較することにより計測精度を検査する静電容量式
液面計の計測精度検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3133932A JP2511334B2 (ja) | 1991-06-05 | 1991-06-05 | 静電容量式液面計の計測精度検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3133932A JP2511334B2 (ja) | 1991-06-05 | 1991-06-05 | 静電容量式液面計の計測精度検査方法 |
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|---|---|
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| JP2511334B2 JP2511334B2 (ja) | 1996-06-26 |
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ID=15116447
Family Applications (1)
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|---|---|
| JP (1) | JP2511334B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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1991
- 1991-06-05 JP JP3133932A patent/JP2511334B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| CN111879378B (zh) * | 2020-07-24 | 2022-03-25 | 广州能源检测研究院 | 一种在不同高度往标准金属量器注入介质的量计算方法 |
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| KR20240153719A (ko) * | 2023-04-17 | 2024-10-24 | 한라아이엠에스 주식회사 | 정전용량식 레벨 측정장치 |
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