JPH04359839A - マイクロ波管 - Google Patents
マイクロ波管Info
- Publication number
- JPH04359839A JPH04359839A JP13455691A JP13455691A JPH04359839A JP H04359839 A JPH04359839 A JP H04359839A JP 13455691 A JP13455691 A JP 13455691A JP 13455691 A JP13455691 A JP 13455691A JP H04359839 A JPH04359839 A JP H04359839A
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- JP
- Japan
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- collector
- collector electrode
- electrode
- tube
- microwave tube
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 9
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Landscapes
- Microwave Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、マイクロ波管に関し、
特にそのコレクタ部の構造に関する。
特にそのコレクタ部の構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のマイクロ波管は、例えばシングル
コレクタ形の進行波管を例に取ると、図３に示すような
コレクタ部の構造を有している。真空外囲器を兼ねるコ
レクタ電極１８は銅からなり、アルミナセラミックスか
らなる絶縁石２によって遅波回路部１と電気的に絶縁さ
れている。そして、遅波回路部１と同電位であり、かつ
コバーからなる封入皿２０の上にバルクゲッタポンプま
たはイオンポンプ１９を取り付けている。
コレクタ形の進行波管を例に取ると、図３に示すような
コレクタ部の構造を有している。真空外囲器を兼ねるコ
レクタ電極１８は銅からなり、アルミナセラミックスか
らなる絶縁石２によって遅波回路部１と電気的に絶縁さ
れている。そして、遅波回路部１と同電位であり、かつ
コバーからなる封入皿２０の上にバルクゲッタポンプま
たはイオンポンプ１９を取り付けている。
【０００３】次に、動作について説明する。増幅に寄与
した電子ビーム７はコレクタ電極１８の内壁に衝突し、
コレクタ電極１８の温度を上昇させる。その結果、コレ
クタ電極１８の内壁表面に吸着していたガス分子あるい
はコレクタ電極１８を構成する銅の内部に吸収されてい
たガス分子が時間とともに放出される。コレクタ内部に
放出されたガス分子は初めは電気的に中性なガス分子９
であるが、電子ビーム７と衝突して正イオン１０に変化
する。
した電子ビーム７はコレクタ電極１８の内壁に衝突し、
コレクタ電極１８の温度を上昇させる。その結果、コレ
クタ電極１８の内壁表面に吸着していたガス分子あるい
はコレクタ電極１８を構成する銅の内部に吸収されてい
たガス分子が時間とともに放出される。コレクタ内部に
放出されたガス分子は初めは電気的に中性なガス分子９
であるが、電子ビーム７と衝突して正イオン１０に変化
する。
【０００４】通常、コレクタ電位は遅波回路側に比べて
４０〜６０％程度の範囲で電位を低く設定しているため
、コレクタ電極１８と遅波回路部１との間に生じている
電位障壁により正イオン１０はコレクタ電極１８の内部
に閉じ込められているが、ガス放出が進むにつれて正イ
オンの量が増加し圧力が高くなると電位障壁を越えて遅
波回路部１に正イオン１０が流出しイオンノイズ、ビー
ム透過不良等の不安定動作の原因となる。従って、従来
のマイクロ波管では、遅波回路部１に流出してきた正イ
オン１０を取り除き管球の不安定動作を防ぐためにバル
クゲッタポンプまたはイオンポンプ１９により排気を行
うようになっている。
４０〜６０％程度の範囲で電位を低く設定しているため
、コレクタ電極１８と遅波回路部１との間に生じている
電位障壁により正イオン１０はコレクタ電極１８の内部
に閉じ込められているが、ガス放出が進むにつれて正イ
オンの量が増加し圧力が高くなると電位障壁を越えて遅
波回路部１に正イオン１０が流出しイオンノイズ、ビー
ム透過不良等の不安定動作の原因となる。従って、従来
のマイクロ波管では、遅波回路部１に流出してきた正イ
オン１０を取り除き管球の不安定動作を防ぐためにバル
クゲッタポンプまたはイオンポンプ１９により排気を行
うようになっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】この従来のマイクロ波
管のコレクタ部構造では、バルクゲッタポンプまたはイ
オンポンプが管球から突き出しているために、管球全体
の外径が大形化すること、また使用中の管球について定
期的に例えば一年に一回ポンプを動作させコレクタから
放出されたガスの正イオンを排気してやる必要があり、
しかも誰れでも簡単にできる作業ではないためユーザに
とって管理，取り扱いの点で非常に面倒であるという問
題点があった。
管のコレクタ部構造では、バルクゲッタポンプまたはイ
オンポンプが管球から突き出しているために、管球全体
の外径が大形化すること、また使用中の管球について定
期的に例えば一年に一回ポンプを動作させコレクタから
放出されたガスの正イオンを排気してやる必要があり、
しかも誰れでも簡単にできる作業ではないためユーザに
とって管理，取り扱いの点で非常に面倒であるという問
題点があった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明のマイクロ波管は
、そのコレクタ部が少くとも２個以上のコレクタ電極を
有し、そのうちの１個はカソードと同電位が印加され、
しかもその電極の全体または一部がチタンまたはタンタ
ルからなる部品によって構成されていることを特徴とす
る。
、そのコレクタ部が少くとも２個以上のコレクタ電極を
有し、そのうちの１個はカソードと同電位が印加され、
しかもその電極の全体または一部がチタンまたはタンタ
ルからなる部品によって構成されていることを特徴とす
る。
【０００７】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明する
。図１は本発明の第１の実施例の進行波管の断面図であ
る。第２コレクタ電極６は銅からなり、真空外囲器を兼
ねている。チタン又はタンタルからなる電極部品５がろ
う付けまたは溶接により第２コレクタ電極６に接合され
ている。第２コレクタ電極６は、アルミナセラミックス
からなる絶縁石４によって銅からなる第１コレクタ電極
３と電気的に絶縁されている。第２コレクタ電極６には
カソード電位を印加する。カソード電位を基準に取ると
、例えば遅波回路部１は１０ＫＶ、第１コレクタ電極３
は５ＫＶ、第２コレクタ電極６と電極部品５はＯＶとい
う電圧配分となる。
。図１は本発明の第１の実施例の進行波管の断面図であ
る。第２コレクタ電極６は銅からなり、真空外囲器を兼
ねている。チタン又はタンタルからなる電極部品５がろ
う付けまたは溶接により第２コレクタ電極６に接合され
ている。第２コレクタ電極６は、アルミナセラミックス
からなる絶縁石４によって銅からなる第１コレクタ電極
３と電気的に絶縁されている。第２コレクタ電極６には
カソード電位を印加する。カソード電位を基準に取ると
、例えば遅波回路部１は１０ＫＶ、第１コレクタ電極３
は５ＫＶ、第２コレクタ電極６と電極部品５はＯＶとい
う電圧配分となる。
【０００８】増幅に寄与した電子ビーム７はＯＶの電極
部品５には衝突せずに電位の高い第１コレクタ電極３に
衝突する。第１コレクタ電極３の温度上昇の結果として
発生する放出ガスの正イオン１０はＯＶの電極部品５に
衝突することによって捕捉される。このとき、チタンま
たはタンタルが衝突の衝撃によりスパッタし、第１コレ
クタ電極３の内壁にゲッタ膜８を生成し、ゲッタ作用に
より電気的に中性なガス分子９を吸着する。このように
して、管球が動作している間中放出ガスの排気が行なわ
れるため、放出ガスによって発生する管球の不安定動作
を防止することができる。
部品５には衝突せずに電位の高い第１コレクタ電極３に
衝突する。第１コレクタ電極３の温度上昇の結果として
発生する放出ガスの正イオン１０はＯＶの電極部品５に
衝突することによって捕捉される。このとき、チタンま
たはタンタルが衝突の衝撃によりスパッタし、第１コレ
クタ電極３の内壁にゲッタ膜８を生成し、ゲッタ作用に
より電気的に中性なガス分子９を吸着する。このように
して、管球が動作している間中放出ガスの排気が行なわ
れるため、放出ガスによって発生する管球の不安定動作
を防止することができる。
【０００９】図２は、本発明の第２の実施例を示す断面
図である。第１コレクタ電極１２と第２コレクタ電極１
４はグラファイトからなり、アルミナセラミックスから
なる絶縁石１１と絶縁石１３に夫々ろう付けされ、更に
各絶縁石はコバーからなる真空外囲器１５にろう付けさ
れている。第３コレクタ電極１７はチタンまたはタンタ
ルからなり、アルミナセラミックスからなる真空外囲器
を兼ねる絶縁石１６にろう付けされている。
図である。第１コレクタ電極１２と第２コレクタ電極１
４はグラファイトからなり、アルミナセラミックスから
なる絶縁石１１と絶縁石１３に夫々ろう付けされ、更に
各絶縁石はコバーからなる真空外囲器１５にろう付けさ
れている。第３コレクタ電極１７はチタンまたはタンタ
ルからなり、アルミナセラミックスからなる真空外囲器
を兼ねる絶縁石１６にろう付けされている。
【００１０】カソード電位を基準にして、例えば遅波回
路部１は１０ＫＶ、第１コレクタ電極１２は５ＫＶ、第
２コレクタ電極１４は２ＫＶ、第３コレクタ電極は０Ｖ
という電圧配分となっている。第１コレクタ電極１２、
第２コレクタ電極１４から放出するガス分子は電子ビー
ム７と衝突し正イオン１０となり０Ｖの第３コレクタ電
極１７に衝突捕捉される。このときスパッタしたチタン
またはタンタルのゲッタ膜８がゲッタ作用により電気的
に中性なガス分子９を吸着する。こうして、図１に示し
た第１の実施例と同様に放出ガスの排気が行なわれる。
路部１は１０ＫＶ、第１コレクタ電極１２は５ＫＶ、第
２コレクタ電極１４は２ＫＶ、第３コレクタ電極は０Ｖ
という電圧配分となっている。第１コレクタ電極１２、
第２コレクタ電極１４から放出するガス分子は電子ビー
ム７と衝突し正イオン１０となり０Ｖの第３コレクタ電
極１７に衝突捕捉される。このときスパッタしたチタン
またはタンタルのゲッタ膜８がゲッタ作用により電気的
に中性なガス分子９を吸着する。こうして、図１に示し
た第１の実施例と同様に放出ガスの排気が行なわれる。
【００１１】なお、上記説明は進行波管を例にして行っ
たが、クライストロン等にも有効である。
たが、クライストロン等にも有効である。
【００１２】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、複数のコ
レクタ電極のうちの１個にカソード電位を印加し、しか
もその１個の電極の全体または一部をチタンまたはタン
タルによって構成することにより、管球の動作中にコレ
クタ内の放出ガスを自動的に排気することができる。そ
の結果、イオン化した放出ガスの遅波回路側への流出に
よるイオンノイズ、ビーム透過不良などの不安定動作を
防止することができるほか、従来のようにイオンポンプ
やバルクゲッタポンプを取り付ける必要がないため、管
球の小型化、取り扱いの容易さの点でもすぐれていると
いう効果を有している。
レクタ電極のうちの１個にカソード電位を印加し、しか
もその１個の電極の全体または一部をチタンまたはタン
タルによって構成することにより、管球の動作中にコレ
クタ内の放出ガスを自動的に排気することができる。そ
の結果、イオン化した放出ガスの遅波回路側への流出に
よるイオンノイズ、ビーム透過不良などの不安定動作を
防止することができるほか、従来のようにイオンポンプ
やバルクゲッタポンプを取り付ける必要がないため、管
球の小型化、取り扱いの容易さの点でもすぐれていると
いう効果を有している。
【図１】本発明の第１の実施例である進行波管のコレク
タ部断面図である。
タ部断面図である。
【図２】本発明の第２の実施例のコレクタ部断面図であ
る。
る。
【図３】従来例を示す進行波管のコレクタ部断面図であ
る。
る。
１ 遅波回路部
２，４，１１，１３，１６ 絶縁石３，１２
第１コレクタ電極 ５ 電極部品 ６，１４ 第２コレクタ電極 ７ 電子ビーム ８ ゲッタ膜 ９ 電気的に中性なガス分子 １０ 正イオン １５ 真空外囲器 １７ 第３コレクタ電極 １８ コレクタ電極 １９ バルクゲッタポンプまたはイオンポンプ２
０ 封入皿
第１コレクタ電極 ５ 電極部品 ６，１４ 第２コレクタ電極 ７ 電子ビーム ８ ゲッタ膜 ９ 電気的に中性なガス分子 １０ 正イオン １５ 真空外囲器 １７ 第３コレクタ電極 １８ コレクタ電極 １９ バルクゲッタポンプまたはイオンポンプ２
０ 封入皿
Claims (1)
- 【請求項１】 電子ビームを取り出す電子銃部と、マ
イクロ波の増幅・発振を行う相互作用部と、増幅・発振
に寄与した電子ビームを捕獲するコレクタ部と、電子ビ
ームを集束する磁気集束装置を有するマイクロ波管にお
いて、前記コレクタ部は、少くとも２個以上のコレクタ
電極を有し、そのうちの１個はカソードと同電位が印加
され、しかもその電極の全体または一部がチタンまたは
タンタルからなる部品によって構成されていることを特
徴とするマイクロ波管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13455691A JPH04359839A (ja) | 1991-06-06 | 1991-06-06 | マイクロ波管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13455691A JPH04359839A (ja) | 1991-06-06 | 1991-06-06 | マイクロ波管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04359839A true JPH04359839A (ja) | 1992-12-14 |
Family
ID=15131089
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13455691A Pending JPH04359839A (ja) | 1991-06-06 | 1991-06-06 | マイクロ波管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04359839A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6607417B2 (en) * | 2001-11-05 | 2003-08-19 | Air Asia Technology Inc. | Suction device used in aging process of a microwave tube |
| US6727651B2 (en) * | 2001-12-14 | 2004-04-27 | Nec Microwave Tube, Ltd | Traveling wave tube |
| GB2411517A (en) * | 2004-02-27 | 2005-08-31 | E2V Tech Uk Ltd | Collector arrangement |
-
1991
- 1991-06-06 JP JP13455691A patent/JPH04359839A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6607417B2 (en) * | 2001-11-05 | 2003-08-19 | Air Asia Technology Inc. | Suction device used in aging process of a microwave tube |
| US6727651B2 (en) * | 2001-12-14 | 2004-04-27 | Nec Microwave Tube, Ltd | Traveling wave tube |
| GB2411517A (en) * | 2004-02-27 | 2005-08-31 | E2V Tech Uk Ltd | Collector arrangement |
| US7230385B2 (en) | 2004-02-27 | 2007-06-12 | E2V Technologies (Uk) Limited | Collector arrangement |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19991214 |