JPH04360767A - 表面処理方法及びその装置 - Google Patents
表面処理方法及びその装置Info
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- JPH04360767A JPH04360767A JP10457391A JP10457391A JPH04360767A JP H04360767 A JPH04360767 A JP H04360767A JP 10457391 A JP10457391 A JP 10457391A JP 10457391 A JP10457391 A JP 10457391A JP H04360767 A JPH04360767 A JP H04360767A
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- Japan
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- mixing chamber
- fine particles
- workpiece
- mixture
- pressure gas
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、被加工物の表面をブ
ラスト（研削）加工したり、或は、被加工物の表面をデ
ポジション（堆積）加工するようにした表面処理方法及
び該方法に用いる表面処理装置に関する。
ラスト（研削）加工したり、或は、被加工物の表面をデ
ポジション（堆積）加工するようにした表面処理方法及
び該方法に用いる表面処理装置に関する。
【０００２】
【先行技術】本出願人は、特願平２−２３２５９３号に
おいて、被加工物の表面をブラスト加工したりデポジシ
ョン加工したりするようにした表面処理方法及びその装
置を開示した。この表面処理方法及びその装置では、軸
芯方向に流れる高圧気体に対し斜めに、即ち、回転噴射
ノズルの円筒状混合室の内壁に斜めに微粒子を噴射して
、スパイラル状の微粒子の流れとし、更にこの流れを円
筒状回転混合室からテーパ状回転混合室に導くことによ
り、微粒子と高圧気体とを混合して絞り込み、固気２相
の混合物としてノズル噴射孔より被加工物に噴射して、
被加工物の表面をブラスト加工したり、デポジション加
工するようにしたものである。この表面処理方法及びそ
の装置によれば、微粒子を軸芯方向に流れる高圧気体に
対して斜めに供給するようにしたので、上記微粒子と高
圧気体の混合物のノズルへの集束性を向上させ、被加工
物の表面処理の加工効率を高めることができるようにな
っている。
おいて、被加工物の表面をブラスト加工したりデポジシ
ョン加工したりするようにした表面処理方法及びその装
置を開示した。この表面処理方法及びその装置では、軸
芯方向に流れる高圧気体に対し斜めに、即ち、回転噴射
ノズルの円筒状混合室の内壁に斜めに微粒子を噴射して
、スパイラル状の微粒子の流れとし、更にこの流れを円
筒状回転混合室からテーパ状回転混合室に導くことによ
り、微粒子と高圧気体とを混合して絞り込み、固気２相
の混合物としてノズル噴射孔より被加工物に噴射して、
被加工物の表面をブラスト加工したり、デポジション加
工するようにしたものである。この表面処理方法及びそ
の装置によれば、微粒子を軸芯方向に流れる高圧気体に
対して斜めに供給するようにしたので、上記微粒子と高
圧気体の混合物のノズルへの集束性を向上させ、被加工
物の表面処理の加工効率を高めることができるようにな
っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記先
行する表面処理方法及びその装置では、ブラスト加工用
の微粒子を供給する供給管と、デポジション加工用の微
粒子を供給する供給管とを兼用しているので、ブラスト
加工とデポジション加工のいずれにも最適な微粒子の流
れにして加工効率，加工品質を更に高めることが難しい
と共に、ブラスト加工とデポジション加工との相互の切
り換え作業に時間がかかった。また、ブラスト加工の場
合にスパイラル状の流れを生じさせると混合物の高速噴
射に難が生じる。さらに、デポジション加工の場合には
微粒子に熱エネルギーを蓄積させて混合した方が加工効
率を高め且つ表面処理を良好にすることができるが、軸
芯方向に流れる高圧気体に対して斜めに微粒子を流した
スパイラル状の流れでは微粒子と混合室の内壁の摩擦抵
抗が小さく微粒子を加熱して高圧気体と混合するに至ら
ず、デポジション加工の加工精度をより一段と向上させ
ることが難しかった。そこで、この発明は、上記問題点
を解決することができる表面処理方法及びその装置を提
供するものである。
行する表面処理方法及びその装置では、ブラスト加工用
の微粒子を供給する供給管と、デポジション加工用の微
粒子を供給する供給管とを兼用しているので、ブラスト
加工とデポジション加工のいずれにも最適な微粒子の流
れにして加工効率，加工品質を更に高めることが難しい
と共に、ブラスト加工とデポジション加工との相互の切
り換え作業に時間がかかった。また、ブラスト加工の場
合にスパイラル状の流れを生じさせると混合物の高速噴
射に難が生じる。さらに、デポジション加工の場合には
微粒子に熱エネルギーを蓄積させて混合した方が加工効
率を高め且つ表面処理を良好にすることができるが、軸
芯方向に流れる高圧気体に対して斜めに微粒子を流した
スパイラル状の流れでは微粒子と混合室の内壁の摩擦抵
抗が小さく微粒子を加熱して高圧気体と混合するに至ら
ず、デポジション加工の加工精度をより一段と向上させ
ることが難しかった。そこで、この発明は、上記問題点
を解決することができる表面処理方法及びその装置を提
供するものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この発明の表面処理方法
は、被加工物の表面に微粒子と高圧気体の混合物を高速
噴射して、上記被加工物の表面を上記混合物で研削して
ブラスト加工したり、或は被加工物の表面に混合物の微
粒子を堆積させてデポジション加工するようにした表面
処理方法において、ブラスト加工用の供給管、或はデポ
ジション加工用の供給管より粒径の異なる微粒子を混合
室内に供給して高圧気体と混合し、ブラスト加工時には
粒径の粗い微粒子を上記混合室内にストレート状に供給
して高圧気体と混合させた混合物を用い、或はデポジシ
ョン加工時には粒径の細かい微粒子を上記混合室内にス
パイラル状に供給して高圧気体と加熱混合させた混合物
を用いて、上記被加工物の表面をブラスト加工、或はデ
ポジション加工するようにしてある。
は、被加工物の表面に微粒子と高圧気体の混合物を高速
噴射して、上記被加工物の表面を上記混合物で研削して
ブラスト加工したり、或は被加工物の表面に混合物の微
粒子を堆積させてデポジション加工するようにした表面
処理方法において、ブラスト加工用の供給管、或はデポ
ジション加工用の供給管より粒径の異なる微粒子を混合
室内に供給して高圧気体と混合し、ブラスト加工時には
粒径の粗い微粒子を上記混合室内にストレート状に供給
して高圧気体と混合させた混合物を用い、或はデポジシ
ョン加工時には粒径の細かい微粒子を上記混合室内にス
パイラル状に供給して高圧気体と加熱混合させた混合物
を用いて、上記被加工物の表面をブラスト加工、或はデ
ポジション加工するようにしてある。
【０００５】また、この発明の表面処理装置は、被加工
物の表面に微粒子と高圧気体の混合物を高速噴射して、
上記被加工物の表面を上記混合物で研削してブラスト加
工したり、或は被加工物の表面に混合物の微粒子を堆積
させてデポジション加工するようにした表面処理方法に
用いる表面処理装置において、円周面状の内壁とこの内
壁の下側に連続した逆円錐底面を有して上記微粒子と高
圧気体を混合する混合室と、この混合室内の上面側に接
続されて該混合室内に高圧気体を供給する第１の供給管
と、上記混合室の内壁に対して垂直になるように接続さ
れて該混合室内の軸芯方向にブラスト加工用の粒径の粗
い微粒子を供給する第２の供給管と、上記混合室の内壁
に対して斜めに接続されて該混合室の内壁に沿う周面方
向にデポジション加工用の粒径の細かい微粒子を供給す
る第３の供給管と、上記第２，第３の供給管にそれぞれ
取付けられて各供給管内を開閉して上記粒径の異なる微
粒子の上記混合室への供給をそれぞれ切り換える各バル
ブと、上記混合室の逆円錐底面に接続されて上記粒径の
異なるいずれか一方の微粒子を混合した混合物を上記被
加工物の表面に噴射させる噴射ノズルとを備えている。
物の表面に微粒子と高圧気体の混合物を高速噴射して、
上記被加工物の表面を上記混合物で研削してブラスト加
工したり、或は被加工物の表面に混合物の微粒子を堆積
させてデポジション加工するようにした表面処理方法に
用いる表面処理装置において、円周面状の内壁とこの内
壁の下側に連続した逆円錐底面を有して上記微粒子と高
圧気体を混合する混合室と、この混合室内の上面側に接
続されて該混合室内に高圧気体を供給する第１の供給管
と、上記混合室の内壁に対して垂直になるように接続さ
れて該混合室内の軸芯方向にブラスト加工用の粒径の粗
い微粒子を供給する第２の供給管と、上記混合室の内壁
に対して斜めに接続されて該混合室の内壁に沿う周面方
向にデポジション加工用の粒径の細かい微粒子を供給す
る第３の供給管と、上記第２，第３の供給管にそれぞれ
取付けられて各供給管内を開閉して上記粒径の異なる微
粒子の上記混合室への供給をそれぞれ切り換える各バル
ブと、上記混合室の逆円錐底面に接続されて上記粒径の
異なるいずれか一方の微粒子を混合した混合物を上記被
加工物の表面に噴射させる噴射ノズルとを備えている。
【０００６】
【作用】ブラスト加工時には粒径の粗い微粒子をブラス
ト加工用の供給管により混合室内にストレート状に供給
して、高圧気体と混合させた混合物を噴射ノズルより被
加工物の表面に高速噴射させ、また、デポジション加工
時には粒径の細かい微粒子をデポジション加工用の供給
管により混合室内にスパイラル状に供給して、高圧気体
と加熱混合させた混合物を噴射ノズルより上記被加工物
の表面に噴射させることにより、被加工物の表面をブラ
スト加工、またはデポジション加工するようにしたので
、被加工物の表面のブラスト加工およびデポジション加
工の加工効率，加工品質は共に高められ、また、ブラス
ト加工とデポジション加工の相互の切り換え作業は各バ
ルブの開閉操作により容易且つ短時間で行われる。
ト加工用の供給管により混合室内にストレート状に供給
して、高圧気体と混合させた混合物を噴射ノズルより被
加工物の表面に高速噴射させ、また、デポジション加工
時には粒径の細かい微粒子をデポジション加工用の供給
管により混合室内にスパイラル状に供給して、高圧気体
と加熱混合させた混合物を噴射ノズルより上記被加工物
の表面に噴射させることにより、被加工物の表面をブラ
スト加工、またはデポジション加工するようにしたので
、被加工物の表面のブラスト加工およびデポジション加
工の加工効率，加工品質は共に高められ、また、ブラス
ト加工とデポジション加工の相互の切り換え作業は各バ
ルブの開閉操作により容易且つ短時間で行われる。
【０００７】
【実施例】以下、この発明の一実施例を図面と共に詳述
する。図１〜図４において、１は表面処理装置であり、
被加工物６０の感光性合成樹脂マスクから成る表面６１
にブラスト加工用の粒径の粗い微粒子７０と高圧気体７
２の混合物７３を高速噴射して、上記被加工物６０及び
その表面６１を上記混合物７３で研削（ブラスト加工）
したり、或は、デポジション加工用の粒径の細かい微粒
子７１と高圧気体７２の混合物７４を被加工物６０の表
面６１のマスクされていない部分６１ａに噴射して該混
合物７４の微粒子７１を堆積（デポジション加工）する
ようにしたものである。この微粒子７１の堆積部分を図
１中符号７５で示し、上記ブラスト加工の研削部分を図
３中符号６２で示す。また、図１，３中符号８０は上記
被加工物６０を載置して前後，左右及び上下に移動する
可動台である。
する。図１〜図４において、１は表面処理装置であり、
被加工物６０の感光性合成樹脂マスクから成る表面６１
にブラスト加工用の粒径の粗い微粒子７０と高圧気体７
２の混合物７３を高速噴射して、上記被加工物６０及び
その表面６１を上記混合物７３で研削（ブラスト加工）
したり、或は、デポジション加工用の粒径の細かい微粒
子７１と高圧気体７２の混合物７４を被加工物６０の表
面６１のマスクされていない部分６１ａに噴射して該混
合物７４の微粒子７１を堆積（デポジション加工）する
ようにしたものである。この微粒子７１の堆積部分を図
１中符号７５で示し、上記ブラスト加工の研削部分を図
３中符号６２で示す。また、図１，３中符号８０は上記
被加工物６０を載置して前後，左右及び上下に移動する
可動台である。
【０００８】この表面処理装置１は、円周面状の内壁１
０ａとこの内壁１０ａの下側に連続した逆円錐底面１０
ｂを有して微粒子７０，７１と高圧気体７２を混合する
略円筒状の混合室１０と、この混合室１０内の上面開口
部１０ｃを閉塞する円板状の上蓋１１の中央に接続され
て該混合室１０内に高圧気体７２を供給する第１の供給
管２０と、上記混合室１０の内壁１０ａに対して垂直に
なるように接続されて該混合室１０内の軸芯方向にブラ
スト加工用の粒径の粗い微粒子７０を供給する第２の供
給管３０と、上記混合室１０の内壁１０ａに対して斜め
に接続されて該混合室１０の内壁１０ａに沿う周面方向
にデポジション加工用の粒径の細かい微粒子７１を供給
する第３の供給管４０と、上記第１の供給管２０に取付
けられて該供給管２０を開閉するバルブ２２と、上記第
２，第３の供給管３０，４０にそれぞれ取付けられて各
供給管３０，４０内を開閉して上記粒径の異なる微粒子
７０，７１の上記混合室１０への供給をそれぞれ切換え
る各バルブ３２，４２と、上記混合室１０の逆円錐底面
１０ｂより下方に一体成形されて上記粒径の異なるいず
れか一方の微粒子７０（７１）を混合した混合物７３（
７４）を上記被加工物６０の表面６１に噴射させる円筒
状の噴射ノズル５０とを備えている。
０ａとこの内壁１０ａの下側に連続した逆円錐底面１０
ｂを有して微粒子７０，７１と高圧気体７２を混合する
略円筒状の混合室１０と、この混合室１０内の上面開口
部１０ｃを閉塞する円板状の上蓋１１の中央に接続され
て該混合室１０内に高圧気体７２を供給する第１の供給
管２０と、上記混合室１０の内壁１０ａに対して垂直に
なるように接続されて該混合室１０内の軸芯方向にブラ
スト加工用の粒径の粗い微粒子７０を供給する第２の供
給管３０と、上記混合室１０の内壁１０ａに対して斜め
に接続されて該混合室１０の内壁１０ａに沿う周面方向
にデポジション加工用の粒径の細かい微粒子７１を供給
する第３の供給管４０と、上記第１の供給管２０に取付
けられて該供給管２０を開閉するバルブ２２と、上記第
２，第３の供給管３０，４０にそれぞれ取付けられて各
供給管３０，４０内を開閉して上記粒径の異なる微粒子
７０，７１の上記混合室１０への供給をそれぞれ切換え
る各バルブ３２，４２と、上記混合室１０の逆円錐底面
１０ｂより下方に一体成形されて上記粒径の異なるいず
れか一方の微粒子７０（７１）を混合した混合物７３（
７４）を上記被加工物６０の表面６１に噴射させる円筒
状の噴射ノズル５０とを備えている。
【０００９】上記第１の供給管２０は円筒状に形成して
あり、その先端の噴射口２１は上記混合室１０内の中央
に突出して上記噴射ノズル５０の噴射口５１と同芯に位
置している。また、上記第２，第３の供給管３０，４０
は四角筒状に形成してあり、図２，４に示すように、こ
れら供給管３０，４０は水平方向に直角にクロスするよ
うに配置してある。この第２の供給管３０の先端の矩形
の噴射口３１は上記混合室１０の内壁１０ａに対して垂
直になるように開口している。また、上記第３の供給管
４０の先端の矩形の噴射口４１は上記混合室１０の内壁
１０ａの接線方向に斜めに開口している。
あり、その先端の噴射口２１は上記混合室１０内の中央
に突出して上記噴射ノズル５０の噴射口５１と同芯に位
置している。また、上記第２，第３の供給管３０，４０
は四角筒状に形成してあり、図２，４に示すように、こ
れら供給管３０，４０は水平方向に直角にクロスするよ
うに配置してある。この第２の供給管３０の先端の矩形
の噴射口３１は上記混合室１０の内壁１０ａに対して垂
直になるように開口している。また、上記第３の供給管
４０の先端の矩形の噴射口４１は上記混合室１０の内壁
１０ａの接線方向に斜めに開口している。
【００１０】また、上記ブラスト加工用の粒径の粗い微
粒子７０としては、１〜１５μｍのＡｌ２Ｏ３，ＳｉＣ
等を用い、その時の高圧気体７２はバルブ２２の開口度
により３〜１０ｋｇ／ｃｍ２に調整した圧縮空気，ドラ
イ窒素等の高圧ガスを用いるようになっている。さらに
、上記デポジション加工用の粒径の細かい微粒子７１と
しては、０．０１〜１μｍのＡｌ２Ｏ３，ＳｉＣ等を用
い、その時の高圧気体７２はバルブ２２の開口度により
２〜３ｋｇ／ｃｍ２に調整した圧縮空気，ドライ窒素等
の高圧ガスを用いるようになっている。
粒子７０としては、１〜１５μｍのＡｌ２Ｏ３，ＳｉＣ
等を用い、その時の高圧気体７２はバルブ２２の開口度
により３〜１０ｋｇ／ｃｍ２に調整した圧縮空気，ドラ
イ窒素等の高圧ガスを用いるようになっている。さらに
、上記デポジション加工用の粒径の細かい微粒子７１と
しては、０．０１〜１μｍのＡｌ２Ｏ３，ＳｉＣ等を用
い、その時の高圧気体７２はバルブ２２の開口度により
２〜３ｋｇ／ｃｍ２に調整した圧縮空気，ドライ窒素等
の高圧ガスを用いるようになっている。
【００１１】以上の実施例によれば、表面処理装置１を
用いてブラスト加工する場合には、図３の矢印で示すよ
うに、第１の供給管２０のバルブ２２を開いてその噴射
口２１より高圧気体７２を混合室１０に流す。次に、図
４に示すように、第３の供給管４０のバルブ４２を閉じ
た状態で第２の供給管３０のバルブ３２を開いてその噴
射口３１より粒径の粗い微粒子７０を上記混合室１０に
流す。この微粒子７０は上記噴射口３１が混合室１０内
の半径方向に開口しているため高圧気体７２は混合室１
０の軸芯に向かってストレート状に最短距離で流れる。 このため、上記微粒子７０は混合室１０内で圧力損失の
少ない渦の発生しない状態で高圧気体７２と混合される
。この微粒子７０と高圧気体７２の混合物７３は噴射ノ
ズル５０よりストレート状に流れ、噴射ノズル５０の噴
射口５１より高速噴流となって被加工物６０の被加工面
である表面６１に噴射され、この表面６１を研削する。 このように、上記混合室１０内に供給される微粒子７０
は圧力損失が少ないので、該微粒子７０と高圧気体７２
とは混合室１０内に瞬時に混同されて混合物７３が生成
され、噴射ノズル５０にストレートに流される。また、
上記微粒子７０の混合室１０内での圧力損失が少なく、
該混合室１０内の圧力抵抗による微粒子７０の熱発生が
少ないため、混合物７３による被加工物６０の表面６１
の切削加工等の加工効率を上げることができると共に、
加工形状を良好にできて加工精度をより一層高めること
ができる。
用いてブラスト加工する場合には、図３の矢印で示すよ
うに、第１の供給管２０のバルブ２２を開いてその噴射
口２１より高圧気体７２を混合室１０に流す。次に、図
４に示すように、第３の供給管４０のバルブ４２を閉じ
た状態で第２の供給管３０のバルブ３２を開いてその噴
射口３１より粒径の粗い微粒子７０を上記混合室１０に
流す。この微粒子７０は上記噴射口３１が混合室１０内
の半径方向に開口しているため高圧気体７２は混合室１
０の軸芯に向かってストレート状に最短距離で流れる。 このため、上記微粒子７０は混合室１０内で圧力損失の
少ない渦の発生しない状態で高圧気体７２と混合される
。この微粒子７０と高圧気体７２の混合物７３は噴射ノ
ズル５０よりストレート状に流れ、噴射ノズル５０の噴
射口５１より高速噴流となって被加工物６０の被加工面
である表面６１に噴射され、この表面６１を研削する。 このように、上記混合室１０内に供給される微粒子７０
は圧力損失が少ないので、該微粒子７０と高圧気体７２
とは混合室１０内に瞬時に混同されて混合物７３が生成
され、噴射ノズル５０にストレートに流される。また、
上記微粒子７０の混合室１０内での圧力損失が少なく、
該混合室１０内の圧力抵抗による微粒子７０の熱発生が
少ないため、混合物７３による被加工物６０の表面６１
の切削加工等の加工効率を上げることができると共に、
加工形状を良好にできて加工精度をより一層高めること
ができる。
【００１２】また、上記表面処理装置１を用いてデポジ
ション加工する場合には、図１の矢印で示すように、第
１の供給管２０のバルブ２２を開いてその噴射口２１よ
り高圧気体７２を混合室１０に流す。次に、図２に示す
ように、第２の供給管３０のバルブ３２を閉じた状態で
第３の供給管４０のバルブ４２を開いてその噴射口４１
より粒径の細かい微粒子７１を上記混合室１０に流す。 この微粒子７１は上記噴射口４１が混合室１０の内壁１
０ａの接線方向に斜めに開口しているため該内壁１０ａ
に沿ってスパイラル状に流れ、この流れは段々に高圧気
体７２の軸芯に向かって進む。このため、上記微粒子７
１は混合室１０内で圧力損失が大きく、この圧力損失に
より摩擦熱が発生して微粒子７１は加熱される。第１の
供給管２０の噴射口２１が混合室１０内に突出している
ことも上記微粒子７１の圧力損失を大きくする要因の一
つになっている。これにより、上記微粒子７１は加熱さ
れて高圧気体７２と加熱混合されて混合物７４になる。 そして、この加熱された混合物７４が噴射ノズル５０の
噴射口５１より被加工物６０の表面６１のマスクされて
いない部分６１ａに噴射されることにより、密着性及び
緻密性の良好な高品質の皮膜７５を短時間で容易に形成
することができ、加工効率及び加工品質をより一段と高
めることができる。
ション加工する場合には、図１の矢印で示すように、第
１の供給管２０のバルブ２２を開いてその噴射口２１よ
り高圧気体７２を混合室１０に流す。次に、図２に示す
ように、第２の供給管３０のバルブ３２を閉じた状態で
第３の供給管４０のバルブ４２を開いてその噴射口４１
より粒径の細かい微粒子７１を上記混合室１０に流す。 この微粒子７１は上記噴射口４１が混合室１０の内壁１
０ａの接線方向に斜めに開口しているため該内壁１０ａ
に沿ってスパイラル状に流れ、この流れは段々に高圧気
体７２の軸芯に向かって進む。このため、上記微粒子７
１は混合室１０内で圧力損失が大きく、この圧力損失に
より摩擦熱が発生して微粒子７１は加熱される。第１の
供給管２０の噴射口２１が混合室１０内に突出している
ことも上記微粒子７１の圧力損失を大きくする要因の一
つになっている。これにより、上記微粒子７１は加熱さ
れて高圧気体７２と加熱混合されて混合物７４になる。 そして、この加熱された混合物７４が噴射ノズル５０の
噴射口５１より被加工物６０の表面６１のマスクされて
いない部分６１ａに噴射されることにより、密着性及び
緻密性の良好な高品質の皮膜７５を短時間で容易に形成
することができ、加工効率及び加工品質をより一段と高
めることができる。
【００１３】このように、第２，第３の供給管３０，４
０の各バルブ３２，４２を開閉操作するだけで、ブラス
ト加工とデポジション加工との相互の切り換え作業を容
易且つ短時間で行うことができる。
０の各バルブ３２，４２を開閉操作するだけで、ブラス
ト加工とデポジション加工との相互の切り換え作業を容
易且つ短時間で行うことができる。
【００１４】尚、前記実施例によれば、第２，第３の供
給管を四角筒状に形成したものを用いたが、各供給管を
円筒状としてもよい。また、混合室と噴射ノズルとを一
体成形したが、混合室と噴射ノズルとを別々に形成して
混合室に噴射ノズルを螺着等により取付けるようにして
もよい。
給管を四角筒状に形成したものを用いたが、各供給管を
円筒状としてもよい。また、混合室と噴射ノズルとを一
体成形したが、混合室と噴射ノズルとを別々に形成して
混合室に噴射ノズルを螺着等により取付けるようにして
もよい。
【００１５】
【発明の効果】以上のように、この発明の表面処理方法
及びその装置によれば、ブラスト加工時には粒径の粗い
微粒子をブラスト加工用の供給管により混合室内にスト
レート状に供給して、高圧気体と混合させた混合物を噴
射ノズルより被加工物の表面に高速噴射させ、また、デ
ポジション加工時には粒径の細かい微粒子をデポジショ
ン加工用の供給管により混合室内にスパイラル状に供給
して、高圧気体と加熱混合させた混合物を噴射ノズルよ
り上記被加工物の表面に噴射させることにより、被加工
物の表面をブラスト加工、またはデポジション加工する
ようにしたので、被加工物の表面のブラスト加工及びデ
ポジション加工の加工効率，加工品質を共に高めること
ができるとともに、ブラスト加工とデポジション加工と
の相互の切り換え作業を各バルブの開閉操作により容易
且つ短時間で行うことができる。
及びその装置によれば、ブラスト加工時には粒径の粗い
微粒子をブラスト加工用の供給管により混合室内にスト
レート状に供給して、高圧気体と混合させた混合物を噴
射ノズルより被加工物の表面に高速噴射させ、また、デ
ポジション加工時には粒径の細かい微粒子をデポジショ
ン加工用の供給管により混合室内にスパイラル状に供給
して、高圧気体と加熱混合させた混合物を噴射ノズルよ
り上記被加工物の表面に噴射させることにより、被加工
物の表面をブラスト加工、またはデポジション加工する
ようにしたので、被加工物の表面のブラスト加工及びデ
ポジション加工の加工効率，加工品質を共に高めること
ができるとともに、ブラスト加工とデポジション加工と
の相互の切り換え作業を各バルブの開閉操作により容易
且つ短時間で行うことができる。
【図１】この発明の一実施例を示す表面処理装置の断面
図。
図。
【図２】図１のＸ−Ｘ線に沿う断面図。
【図３】図２のＹ−Ｙ線に沿う断面図。
【図４】上記表面処理装置の底面図。
１…表面処理装置、１０…混合室、１０ａ…内壁、１０
ｂ…逆円錐底面、２０…第１の供給管、３０…第２の供
給管（ブラスト加工用の供給管）、４０…第３の供給管
（デポジション加工用の供給管）、６０…被加工物、６
１…表面、７０…粗い微粒子、７１…細かい微粒子、７
２…高圧気体、７３，７４…混合物。
ｂ…逆円錐底面、２０…第１の供給管、３０…第２の供
給管（ブラスト加工用の供給管）、４０…第３の供給管
（デポジション加工用の供給管）、６０…被加工物、６
１…表面、７０…粗い微粒子、７１…細かい微粒子、７
２…高圧気体、７３，７４…混合物。
Claims (2)
- 【請求項１】 被加工物の表面に微粒子と高圧気体の
混合物を高速噴射して、上記被加工物の表面を上記混合
物で研削してブラスト加工したり、或は被加工物の表面
に混合物の微粒子を堆積させてデポジション加工するよ
うにした表面処理方法において、ブラスト加工用の供給
管、或はデポジション加工用の供給管より粒径の異なる
微粒子を混合室内に供給して高圧気体と混合し、ブラス
ト加工時には粒径の粗い微粒子を上記混合室内にストレ
ート状に供給して高圧気体と混合させた混合物を用い、
或はデポジション加工時には粒径の細かい微粒子を上記
混合室内にスパイラル状に供給して高圧気体と加熱混合
させた混合物を用いて、上記被加工物の表面をブラスト
加工、或はデポジション加工するようにしたことを特徴
とする表面処理方法。 - 【請求項２】 被加工物の表面に微粒子と高圧気体の
混合物を高速噴射して、上記被加工物の表面を上記混合
物で研削してブラスト加工したり、或は被加工物の表面
に混合物の微粒子を堆積させてデポジション加工するよ
うにした表面処理方法に用いる表面処理装置において、
円周面状の内壁とこの内壁の下側に連続した逆円錐底面
を有して上記微粒子と高圧気体を混合する混合室と、こ
の混合室内の上面側に接続されて該混合室内に高圧気体
を供給する第１の供給管と、上記混合室の内壁に対して
垂直になるように接続されて該混合室内の軸芯方向にブ
ラスト加工用の粒径の粗い微粒子を供給する第２の供給
管と、上記混合室の内壁に対して斜めに接続されて該混
合室の内壁に沿う周面方向にデポジション加工用の粒径
の細かい微粒子を供給する第３の供給管と、上記第２，
第３の供給管にそれぞれ取付けられて各供給管内を開閉
して上記粒径の異なる微粒子の上記混合室への供給をそ
れぞれ切り換える各バルブと、上記混合室の逆円錐底面
に接続されて上記粒径の異なるいずれか一方の微粒子を
混合した混合物を上記被加工物の表面に噴射させる噴射
ノズルとを備えたことを特徴とする表面処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10457391A JPH04360767A (ja) | 1991-05-10 | 1991-05-10 | 表面処理方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10457391A JPH04360767A (ja) | 1991-05-10 | 1991-05-10 | 表面処理方法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04360767A true JPH04360767A (ja) | 1992-12-14 |
Family
ID=14384184
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10457391A Pending JPH04360767A (ja) | 1991-05-10 | 1991-05-10 | 表面処理方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04360767A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102581771A (zh) * | 2012-02-23 | 2012-07-18 | 上海超日(洛阳)太阳能有限公司 | 一种硅棒表面处理方法 |
| JP2013050378A (ja) * | 2011-08-31 | 2013-03-14 | Palmeso Co Ltd | 被験体評価に用いられるスラリ噴射装置 |
| JP2015223767A (ja) * | 2014-05-28 | 2015-12-14 | 日本特殊陶業株式会社 | 成形体の製造方法、スパークプラグの製造方法、センサの製造方法 |
-
1991
- 1991-05-10 JP JP10457391A patent/JPH04360767A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013050378A (ja) * | 2011-08-31 | 2013-03-14 | Palmeso Co Ltd | 被験体評価に用いられるスラリ噴射装置 |
| CN102581771A (zh) * | 2012-02-23 | 2012-07-18 | 上海超日(洛阳)太阳能有限公司 | 一种硅棒表面处理方法 |
| JP2015223767A (ja) * | 2014-05-28 | 2015-12-14 | 日本特殊陶業株式会社 | 成形体の製造方法、スパークプラグの製造方法、センサの製造方法 |
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