JPH04360768A - パウダービーム加工方法及びその装置 - Google Patents

パウダービーム加工方法及びその装置

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JPH04360768A
JPH04360768A JP13250491A JP13250491A JPH04360768A JP H04360768 A JPH04360768 A JP H04360768A JP 13250491 A JP13250491 A JP 13250491A JP 13250491 A JP13250491 A JP 13250491A JP H04360768 A JPH04360768 A JP H04360768A
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JP
Japan
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gas
nozzle
solid
flow
phase
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JP13250491A
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English (en)
Inventor
Masayuki Kuroda
正幸 黒田
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、パウダービームを高
速、高圧で噴射して加工する加工方法及びその加工装置
に関する。
【0002】
【従来の技術】従来技術の一例としてサンドブラスト装
置があり、その代表例を図3を用いて説明する。101
は研磨材のような粒体を供給する粒体供給管、102は
圧縮空気供給管、103 はこの装置全体をノズルとし
た場合のノズルの噴孔である。粒体供給管101から粒
体を供給し、圧縮空気供給管102から圧縮空気を供給
すると圧縮空気供給管102の先端部付近の周囲Sに負
圧が生じ、粒体が吸収され、攪拌されて噴孔部103か
ら加速噴射され、被加工物を切削、切断したり、穿孔し
、或いは装飾を施すことに使用されている。このような
現在用いられているサンドブラスト装置は、■粉体とし
て25〜100μm程度の粒径を使用することが多く、
噴射ムラも目立ち、粉体を均一に分散化して噴射するこ
とに難がある。 ■粉体か1μm程度になると安定した管路内の輸送が困
難となり、管路が狭くなると目詰まりを起こしたり、ま
た、気体のみが噴射されることがある。■粉体が微粒子
である場合、帯電、凝縮、付着で微粒子が固型化する場
合が多く、僅かな微粒子量を気体に均一に分散化して、
輸送して、噴射することが難しい。■このため、サンド
ブラスト装置は微細加工に適しない。■ノズルの噴孔1
03からの噴射流の乱れが大きいため、被加工物の端面
にダレが出る。また、表面構造、表面性状が悪い。等々
の欠点があった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、このよう
な従来の欠点を解消するためになされたものであって、
粉体がたとえ微粒子であっても、均一に分散化させ、噴
射ノズルの噴孔から被加工面に高速で噴射して、研削、
研磨のみならず、被着もでき、更に、微細加工もできる
パウダービーム加工方法とその装置を提供することを課
題にしている。
【0004】
【課題を解決するための手段】この発明は、第1の管路
内ノズルから高圧ガスを流し、前記第1の管路内ノズル
近傍の絞り機構部に環状溝を配し、この環状溝内部に第
2の管路内ノズルを配設し、この第2の管路内ノズルか
ら微粒子を含む固気2相流を供給するパウダービーム加
工方法において、前記高圧ガスを第1の管路内ノズルか
ら流すと、前記環状溝で負圧化され、第2の管路内ノズ
ルから微粒子をを含む固気2相流を吸引して前記高圧ガ
スと混合し、固気2相混合流と成し、この固気2相混合
流を次の膨張管で自然に膨張させ、次の平行管で均一、
分散化して、固気2相混合流の平行流を生成し、この固
気2相混合流の平行流を加速して、パウダービームを形
成し、このパウダービームを噴射ノズルの噴孔より高速
で噴射させることにより、被加工物の表面加工、表面改
質を行うことを特徴とする。
【0005】及び、第1の管路内ノズルから高圧ガスを
供給し、前記第1の管路内ノズルの後流近傍の絞り機構
部に環状溝を配し、この環状溝部に第2の管路内ノズル
を配設し、この第2の管路内ノズルから微粒子を含む固
気2相流を吸引して、前記第1の管路内ノズルの高圧ガ
スと前記第2の管路内ノズルの微粒子を含む固気2相流
を混合するパウダービーム加工装置において、前記微粒
子を含む固気2相流と高圧ガスを混合部にて混合し、固
気2相混合流と成した後に、膨張管部、平行管部、ノズ
ル噴射孔部を設けることにより、前記固気2相混合流か
らパウダービームを生成するようにし、噴射ノズルの噴
孔より、高速で前記パウダービームを噴射させ、被加工
物の表面加工、表面改質を行うことを特徴とする。
【0006】
【作用】このように、この発明のパウダービーム加工方
法とその装置は、特に絞り機構部に環状溝を配し、この
環状溝内部に微粒子供給用の第2の管路内ノズルを配設
し、本流でもある第1の管路内ノズルから高圧ガスを流
すことにより環状溝で流れは負圧化され、第2の管路内
ノズルから微粒子を吸引して、乱れのない、渦のない固
気2相混合流を生成し、後流で加速してパウダービーム
を生成し、このパウダービームを利用して被加工物の質
の高い表面加工、表面改質を行うことができる。
【0007】
【実施例】以下、この発明の一実施例を図1と図2の図
面を参照して説明する。まず、図1はこの発明の一実施
例に係わるパウダービーム加工方法及びその装置を示す
断面図であり、図2は図1のA−A断面図である。図1
と図2において、1は高圧ガス供給部、2は高圧ガスと
微粒子との混合部、3はパウダービーム生成部である。 4は高圧ガス輸送管で円形中空5となっている細長い輸
送管で、材料はステンレス鋼管である。次に、2は高圧
ガスと微粒子との混合部であるが、これについて説明す
ると、6は第1の管路内ノズルである。第1の管路内ノ
ズル6はR面7とそれに連続している円形中空8から成
る。円形中空8と固気2相混合絞り管10とは、同一の
直径 (内径) をしており、円形中空8と固気2相混
合絞り管10との間には、絞り機構部の環状溝9を配し
ている。
【0008】即ち、円形中空8と固気2相混合絞り管1
0の内径が管路内の絞ったところに当たり、ここを絞り
機構部と称する。環状溝9の側面の幅中央に設けた通し
孔部25を通して、この環状溝9に垂直に位置するよう
に固気2相混合管16の他の側面に設けたネジ部26に
微粒子を含んだ固気2相流22を供給する固気2相流微
粒子供給管15のネジ部26をねじ込み接続する。ここ
で、通し孔部25を第2の管路内ノズルと称する。
【0009】固気2相混合管16及び固気2相流微粒子
供給管15の材料は、ステンレス鋼を用いるが、セラミ
ックスでも良い。次に、固気2相混合管16の説明に戻
す。固気2相混合管16の固気2相混合流絞り管10と
連続して固気2相混合流23の膨張管11が構成されて
いる。3はパウダービーム生成部であり、17はパウダ
ービーム生成管である。パウダー生成管17は固気2相
混合流23の平行管12とテーパ管13、噴射ノズルの
噴孔14とから成り、平行管12は円形断面、テーパ管
13テーパ断面、噴射ノズルの噴孔14は円形断面を有
する。24はパウダービームを示す。
【0010】また、前述の高圧ガス輸送管4と固気2相
混合管16、パウダービーム生成管17は、各々フラン
ジ部をパッキングを介してネジ18、19により管路軸
芯が同軸となるように調整後、締結されている。次に、
このような構成のパウダービーム加工装置の動作を説明
する。高圧ガス輸送管4の上流から例えば1〜10kg
/cm2の空気またはドライ窒素のような高圧ガス21
を流すと、第1の管路内ノズル6から高圧ガス21は絞
り機構部の環状溝9に流れ込むが、この場合、第1の管
路内ノズル6はR面7と円形中空8から成り、高圧ガス
21の流れを急に絞らないようにしてあるので、乱れが
少なく渦流が起きにくいので、圧力損失は非常に小さく
なる。このように理想的な高圧ガス21を第1の管路内
ノズル6から流すと環状溝9に絞り効果のため負圧が発
生し、第2の管路内ノズル25から、微粒子を含む固気
2相流22を吸引して、高圧ガス21と混合する。
【0011】この場合、第1の管路内ノズル6から流れ
る高圧ガス21と第2の管路内ノズル25から固気2相
流22の微粒子を吸引して、固気2相混合流23を生成
するが、絞り機構部(8→9→10の管路部)の環状溝
9で混合を行うため、乱れがすくなく、渦流が起きにく
いので、その混合状態は良質である。このような固気2
相混合流23を次の膨張管11に流すが、固気2相混合
流23が絞り機構部で自然に絞られ、また、自然に膨張
するため圧力損失は極めて小さいし、微粒子を含む固気
2相混合流23の流れに無理がなく、固気2相混合流2
3は微粒子を含んでいるが、固気2相混合管16の磨耗
による形状の変化なども少なく耐久性がある。この効果
は加工装置としては実に重大であり、信頼性、量産性等
従来技術と比較してすぐれている。
【0012】次に、ステンレス鋼又はセラミックス材の
パウダービーム生成管17の固気2相混合流平行管12
で、固気2相混合流23は均一に分散され、平行管12
により平行流となる。テーパ管13で固気2相混合流2
3を加速して、噴射ノズルの噴孔14でパウダービーム
24を生成し、このパウダービーム24が噴孔14から
噴射され、被加工面を加工する。この場合、パウダービ
ーム24の速度は研削、研磨加工の場合は40〜80m
/s、堆積、付着加工の場合は80m/s以上が望まし
い。例えば研削、研磨加工の場合は、Al2 O3 、
SiCの粒径1μm以上のものを、また、堆積、付着加
工の場合は、Al2 O3 、SiCの粒径1μm以下
のものを使用すれば良い。
【0013】
【発明の効果】以上説明したように、この発明のパウダ
ービーム加工方法とその装置は、特に絞り機構部に環状
溝を配し、この環状溝内部に微粒子供給用の第2の管路
内ノズルを配設し、本流でもある第1の管路内ノズルか
ら高圧ガスを流すことにより環状溝で流れは負圧化され
、第2の管路内ノズルから微粒子を吸引して、乱れのな
い、渦のない固気2相混合流を生成し、後流で加速して
パウダービームを生成し、このパウダービームを利用し
て被加工物の表面加工、表面改質を行うので、■均一に
分散化したパウダービームを生成し、これを噴射して被
加工物を加工するため、表面加工、表面改質の質が高く
、高信頼性、量産性も大きい。■微粒子の静電気の影響
、付着の影響による微粒子の噴射ムラ、噴射ノズル等の
ノズルの目詰まりをなくすことができる。■微細加工が
可能となる。■表面構造、表面性状が良好になる。■均
一、分散化ができるので、希薄微粒子を含むパウダービ
ームの生成が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例に係わるパウダービーム加
工方法とその装置を示す断面図
【図2】図1のA−A断面図
【図3】従来の一例としてのサンドブラスト装置の断面
【符号の説明】
1  高圧ガス供給部 2  高圧ガスと微粒子の混合部 3  パウダービーム生成部 4  高圧ガス輸送管 5  円形中空 6  第1の管路内ノズル 7  R面 8  円形中空 9  環状溝 10  固気2相混合絞り管 11  膨張管 12  平行管 13  テーパ管 14  噴射ノズルの噴孔 15  固気2相流 16  固気2相混合管 17  パウダービーム生成管 18、19  ネジ 21  高圧ガス 22  微粒子を含む固気2相流 23  固気2相混合流 24  パウダービーム

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  第1の管路内ノズルから高圧ガスを流
    し、前記第1の管路内ノズル近傍の絞り機構部に環状溝
    を配し、この環状溝内部に第2の管路内ノズルを配設し
    、この第2の管路内ノズルから微粒子を含む固気2相流
    を供給するパウダービーム加工方法において、前記高圧
    ガスを第1の管路内ノズルから流すと、前記環状溝で負
    圧化され、第2の管路内ノズルから微粒子を含む固気2
    相流を吸引して前記高圧ガスと混合し、固気2相混合流
    と成し、この固気2相混合流を次の膨張管で自然に膨張
    させ、次の平行管で均一、分散化して、固気2相混合流
    の平行流を生成し、この固気2相混合流の平行流を加速
    して、パウダービームを形成し、このパウダービームを
    噴射ノズルの噴孔より高速で噴射させることにより、被
    加工物の表面加工、表面改質を行うことを特徴とするパ
    ウダービーム加工方法。
  2. 【請求項2】  第1の管路内ノズルから高圧ガスを供
    給し、前記第1の管路内ノズルの後流近傍の絞り機構部
    に環状溝を配し、この環状溝部に第2の管路内ノズルを
    配設し、この第2の管路内ノズルから微粒子を含む固気
    2相流を吸引して、前記第1の管路内ノズルの高圧ガス
    と前記第2の管路内ノズルの微粒子を含む固気2相流を
    混合するパウダービーム加工装置において、前記微粒子
    を含む固気2相流と高圧ガスを混合部にて混合し、固気
    2相混合流と成した後に、膨張管部、平行管部、ノズル
    噴射孔部を設けることにより、前記固気2相混合流から
    パウダービームを生成するようにし、噴射ノズルの噴孔
    より、高速で前記パウダービームを噴射させ、被加工物
    の表面加工、表面改質を行うことを特徴とするパウダー
    ビーム加工装置。
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