JPH0436116Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、例えば半導体装置の製造に用いられ
るフオトマスク用のガラス基板、フオトマスクブ
ランク等をその製造プロセス中に移動したり検査
したりする場合などのハンドリングに使用して好
適な基板保持具に関するものである。

〔従来の技術〕

この種の基板の製造は、そのプロセスの全般に
わたり一貫して表面の清浄化に格別の注意を払つ
て行なわれる必要がある。

従来この種の基板のハンドリングは、通常ゴム
手袋をはめた手で直接基板端面をもつようにして
行なわれているが、汚れが付着しやすく、また特
に基板の寸法サイズが大きくなると掴みにくく落
とすとおそれがあるため作業性が低下するという
問題があつた。

そこで、最近では第６図および第７図に示すよ
うに基板の互いに対向する２つの端面または３つ
の端面を保持するようにした基板保持具が提案実
施されるに至つている。これを概略説明すると、
第６図に示す基板保持具１は、丸棒状体からなる
把持部２と、把持部２の先端に取付けられた固定
アーム３および回動アーム４と、これらのアーム
３，４に設けられた複数個、例えば５つの保持部
５Ａ，５Ｂ，５Ｃ，５Ｄ，５Ｅと、回動アーム４
に閉じ方向、すなわち反時計方向の回動習性を付
与するばね６と、回動アーム４の把持部２側端に
取付けられた押釦７と、回動アーム４を軸支する
軸８等で構成されている。保持部５Ａと５Ｅとは
互いに対向し、その対向面（内側面）にはそれぞ
れ互いに直交する２つのＶ字状溝からなる基板保
持用溝９Ａ，９Ｂ，１０Ａ，１０Ｂが形成されて
いる。一方残り３つの保持部５Ｂ，５Ｃ，５Ｄに
は前記溝９Ａ，１０Ａと同一面をなす基板保持用
溝１１，１２，１３がそれぞれ形成されている。

把持部２を手で握つて親指で押釦７を押圧する
と、回動アーム４はばね６に抗して時計方向に回
動され、保持部５Ａと５Ｅの間隔が開く。この状
態で基板保持具１を下げていき、基板１４の一側
端１４ａを保持部５Ａの基板保持用溝９Ａに、ま
た基板１４の上端１４ｂを保持部５Ｂ，５Ｃの基
板保持用溝１１，１２にそれぞれ巻込み、しかる
後押釦７に対する押圧力を取り除くと、回動アー
ム４はばね６の力により回動復帰するため、保持
部５Ｄ，５Ｅの基板保持用溝１３，１０Ａが基板
１４の他側端１４Ｃと係合し、もつて前記ばね６
のばね力により基板１４を保持する。

この場合、図においては垂直に設置されている
基板１４を保持する際の様子を示したが、水平に
設置されている基板１４′を保持する場合には、
基板保持具１を垂直な基板１４を保持する時と同
じ状態で下げていき、相対向する一対の保持部５
Ａ，５Ｅの基板保持用溝９Ｂ，１０Ｂにより保持
する。

一方、第７図に示す基板保持具２０は、把持部
２１と、この把持部２１の先端から片側に一体に
突設され該把持部２１の長手方向と直交する方向
に延在する固定アーム２２と、固定アーム２２の
先端に取付けられた第１の保持部２３と、把持部
２１の先端部で前記固定アーム２２とは反対側に
左右方向に移動自在に配設された可動アーム２４
と、この可動アーム２４の先端に設けられ前記第
１の保持部２３と共に基板１４又は１４′を挟持
保持する第２の保持部２５と、前記把持部２１の
一方の側方に設けられた押釦２６と、把持部２１
内に配設されて前記可動アーム２４と押釦２６と
を連結する連結板２７と、連結板２７を押釦２６
方向に押圧するばね２８等で構成され、このばね
２８に抗して押釦２６を押圧すると連結板２７
が、左方に移動するため、可動アーム２４が左方
に移動し、第１および第２の保持部２３と２５の
間隔が拡大する。

〔考案が解決しようとする問題点〕

しかしながら、第６図に示した基板保持具１は
親指で押釦７を押下しなければならないため、大
きな操作力が得られず、そのためばね６のばね力
を小さくせざるを得ないが、そうすると回動アー
ム４がガタ付き易くなり、基板１４，１４′を安
定かつ確実に保持し得ないという問題があつた。
また、把持部２の把持状態も親指が浮いているた
め不安定である。

一方、第７図の基板保持具２０は押釦２６を人
差指で操作するため、親指に比して大きな操作力
が得られる利点を有する反面、上記基板保持具１
と同様、第１および第２の保持部２３，２５の把
持部２１に対する取付け角度が調整不能であるた
め、基板１４の設置状況等によつては手の角度が
変り、最良の保持角にて操作できない、換言すれ
ば最も作業しやすい角度で基板を取り出せないと
いう問題を有している。

また、いずれの保持具も保持部５Ａと５Ｅ，２
３と２５の間隔を基板のサイズに応じて変更し得
ず、唯一つのサイズの基板にしか使用できないと
いう欠点を有している。

〔問題点を解決するための手段〕

本考案に係る基板保持具は上述したような問題
点を解決すべくなされたもので、支軸を有する把
持部と、支軸に回動自在に配設された連続的もし
くは段階的に長さ調整自在な支持アームと、支持
アームの一端に固定され基板保持用溝を有する第
１の保持部と、支持アームの他端に設けられた回
動アームと、回動アームの一端に取付けられて基
板保持用溝を有し、前記第１の保持部と共に基板
を保持する第２の保持部と、前記支持アームと略
平行に配設されて一端が前記回動アームの他端に
連結され、他端が前記支軸の中心孔によつて摺動
自在に保持された連結杆と、連結杆に移動調整自
在にかつ回動可能に取付けられた操作レバーと、
前記回動アームに閉方向の復帰習性を付与するば
ねとで構成したものである。

〔作用〕

本考案においては支持アームの把持部に対する
取付角度を自由に変更し得るため、ケースより基
板を取り出すとき、最も作業しやすい角度で基板
を取り出すことができる。また、操作レバーは移
動調整自在でしかも回動可能であるため、基板サ
イズ、手の大きさにあわせて操作しやすい位置
に、また支持アームの回動角に応じて操作しやす
い角度位置に設定し得る。さらに、支持アームは
長さ調整自在で各種寸法サイズの基板に対して使
用し得る。

〔実施例〕

以下、本考案を図面に示す実施例に基づい詳細
に説明する。

第１図は本考案に係る基板保持具の一実施例を
示す基板を保持した状態の正面図、第２図は平面
図、第３図は右側面図、第４図は第１図−線
拡大断面図である。これらの図において、基板保
持具４０は合成樹脂によつて平板状に形成された
把持部４１を備えている。把持部４１の先端部中
央部分には切欠凹部４２が形成され、また該先端
部には把持部４１の両側面に開口することにより
該把持部４１の長手方向と直交し前記切欠凹部４
２に連通する貫通孔４３が形成されており、この
貫通孔４３には四弗化エチレン等によつて中空状
に形成された支軸４４が嵌合されており、その中
心孔４５により後述する連結杆７０の一端部を摺
動自在に保持している。

前記支軸４４の前記切欠凹部４２に露呈する軸
部分の外周には支持アーム４７を保持するアーム
保持用金具４６が回動自在に嵌合されている。ア
ーム保持用金具４６は略Ｕ字状に形成されて、そ
の両端部には六角穴付ボルト４８がねじ込まれて
おり、このボルト４８を締付けたり緩めたりする
と前記支軸４４と金具４６との間の摩擦力が調整
され、支持アーム４７の回動を可能にしている。
そして、アーム保持用金具４６の両端部内側面に
は該金具４６の幅方向に延在する山形の突状体４
９Ａ，４９Ｂがそれぞれ一体に突設されている。
なお、アーム保持用金具４６は把持部４１の表裏
面側にそれぞれ略90°回動可能とされる。

前記支持アーム４７は、略コ字状に形成され前
記支軸４４と平行なアーム保持部材５０と、一端
部がそれぞれアーム保持部材５０の溝５１にそれ
ぞれ摺動自在に挿入された一対のアーム５２Ａ，
５２Ｂとで構成され、前記アーム保持部材５０の
下面中央部には前記アーム保持用金具４６の両端
部によつて挟持される突状体５３が一体に突設さ
れている。この突状体５３の前後面には該突状体
５３の長手方向に延在するＶ字状の溝５４，５
５、がそれぞれ形成されており、これらの溝５
４、５５に前記アーム保持用金具４６の突状体４
９Ａ，４９Ｂがそれぞれ嵌合している。前記一対
のアーム５２Ａ，５２Ｂは前記アーム保持部材５
０に止めねじ５７，５８によつてそれぞれ基板１
４の寸法サイズ、例えば４インチと５インチの基
板に対して対応し得るように段階的に長さ調整自
在に取付けられるもので、そのため前記アーム保
持部材５０には各アーム５２Ａ，５２Ｂに対して
２個ずつ、合計４個のねじ取付用孔６０が該アー
ム保持部材５０の長手方向に所要の間隔をおいて
設けられている。アーム５２Ａは先端部に上方に
向つて折曲された折曲部ａを有し、またこの折曲
部ａには内側面に形成されたＶ字状の基板保持用
溝６に有する第１の保持部６１が設けられてい
る。またアーム５２Ａの折曲部ａの直前部には上
面にＶ字状の基板保持用溝６３を有する保持部６
４が設けられている。

一方、アーム５２Ｂはストレートに形成され、
その先端に略逆Ｌ字状に折曲された回動アーム６
５がその中間部を連結ピン６６によつて軸支され
ることにより第１図矢印Ａ，Ｂ方向に回動自在に
配設されており、このアーム６５の折曲端６５ａ
には前記第１の保持部６１と対向する第２の保持
部６７が設けられている。この保持部６７の内側
面、すなわち前記第１の保持部６１と対向する面
にもＶ字状の基板保持用溝６８が形成されてい
る。一方、回動アーム６５の他端には連結杆７０
の一端が連結ピン７１によつて連結されている。
また、回動アーム６５は一端が前記アーム５２Ｂ
に係止されたばね７３によつて閉方向、すなわち
矢印Ｂ方向の回動習性が付与されている。なお、
前記アーム５２Ｂの中間部には上面にＶ字状の基
板保持用溝７５を有する保持部７４が固定されて
いる。

前記連結杆７０は前記支持アーム４７と略平行
に配設されて、その他端部が前記支軸４４の中心
孔４５に摺動自在に挿入されている。また、連結
杆７０には前記回動アーム６５をばね７３に抗し
て回動させる操作レバー７７が取付けられてい
る。この操作レバー７７は連結杆７０に対して摺
動自在にかつ回動自在に配設され、止めねじ７８
によつて適宜位置に固定されている。この固定位
置は把持部４１を把持している手の人差指が操作
レバー７７を最も操作しやすい位置とされる。

この場合、支持アーム４７を第４図一点鎖線で
示すように把持部４１の前後方向に回動させる
と、操作レバー７７は連結杆７０と共に回動する
ため、把持部４１と同一平面内に位置しなくな
り、該レバー７７の操作性が低下するという問題
が生じる。そこで、このような問題を解決するた
め止めねじ７８を一旦緩めて操作レバー７７を回
動させ、把持部４１と同一平面になるようにその
取付角度を調整する。

前記把持部４１の内部には前記アーム保持用金
具４６の角度設定機構８０が配設されている。こ
の角度設定機構８０は、把持部４１の内部に形成
され前記切欠凹部４２に開口するボール収納部８
１内に抜けを防止されて収納された鋼球８２およ
びこの鋼球８２を突出方向に付勢しその一部周面
を前記切欠凹部４２内に突出させるばね８３とで
構成され、前記アーム保持用金具４６の彎曲部外
周面には複数個の半球状凹部８５が前記鋼球８２
に対応して設けられている。アーム保持用金具４
６を回動させると鋼球８２が凹部８５に順次嵌合
するため、節度感が得られる。

この場合、角度設定機構８０としてはこれに限
らず、第５図に示すように把持部４１内にビス８
６をねじ込み、このビス８６をアーム保持用金具
４６の彎曲部外周面に押し付けるようにしたもの
であつてもよい。但し、この場合には把持部４１
内に工具挿入用孔８７と、この孔８７と切欠凹部
４２とを連通させるねじ孔８８とを形成する必要
がある。

なお、このような角度設定機構８０はかならず
しも必要ではなく、アーム保持用金具４６を所定
方向に所要角度回動させて、把持部４１に対する
取付角度を調整した後、六角穴付ボルト４８によ
り該金具４６を支軸４４に締着するようにしても
よいことは勿論である。

このような構成からなる基板保持具４０におい
て、基板１４を保持する場合は、先ず把持部４１
を把持している手の人差指を操作レバー７７に掛
けて引き寄せる。すると、連結杆７０が第１図右
方に移動するため、回動アーム６５はばね７３に
抗して反時計方向（Ａ方向）に回動し、第１およ
び第２の保持部６１と６７との間隔を拡大させ
る。そして、この状態を維持しつつ基板１４の隣
り合つた２つの端縁を保持部６１，６４，７４の
基板保持用溝６２，６３，７５に挿入し、操作レ
バー７７から外力を取り除くと、ばね７３の力に
より回動アーム６５が回動復帰するため、第２の
保持部６７の基板保持用溝６８も基板１４に係合
し、もつて前記ばね７３の力により基板１４を保
持する。

ここで、本実施例構造においては支持アーム４
７が支軸４４に対してアーム保持用金具４６を介
して回動自在に配設され、把持部４１に対する取
付角度を自由に調整できるため、ケースより基板
１４を取り出す際、自分の作業しやすい角度で基
板１４を取り出すことができ、操作性が向上す
る。また、基板保持具４０は支持アーム４７が長
さ調整自在に設けられ、操作レバー７７が移動調
整自在に設けられているため、異なつた寸法サイ
ズ（例えば４インチと５インチ）の基板に対して
共通に使用することができる。さらに、操作レバ
ー７７は連結杆７０に対して回動可能に設けられ
ているので、支持アーム４７を傾動させて使用す
る場合においても、把持部４１と同一平面になる
ように設定され、良好な操作性を維持し得るもの
である。

なお、上記実施例は第１および第２の保持部６
１，６７にそれぞれ１つの基板保持用溝６２，６
８を設けた場合について説明したが、本考案はこ
れに何ら特定されるものではなく、保持方向の自
由度を増大させるため第６図に示した従来の保持
具と同様、２つの基板保持用溝を十字状に設けて
もよいことは勿論である。

〔考案の効果〕

以上説明したように本考案に係る基板保持具は
把持部に対して支持アームを角度調整自在に配設
しているので、最も操作しやすい角度で基板を保
持でき、手首、腕等の疲労を軽減させることがで
きる。また、支持アームを長さ調整自在に設け、
操作レバーを移動調整自在に設けているので、各
種寸法サイズの基板に対して共通に使用でき、保
持具の数を減少させ得る。さらに、操作レバーは
回動可能で支持アームとは無関係に把持部に対し
て角度調整されるため、該レバーの操作性も良好
である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係る基板保持具の一実施例を
示す正面図、第２図は平面図、第３図は右側面
図、第４図は第１図−線拡大断面図、第５図
は角度設定機構の他の実施例を示す要部断面図、
第６図および第７図はそれぞれ基板保持具の従来
例を示す正面図および一部破断正面図である。 １４，１４′……基板、４０……基板保持具、
４１……把持部、４４……支軸、４５……中心
孔、４６……アーム保持用金具、４７……支持ア
ーム、６１……第１の保持部、６２……基板保持
用溝、６５……回動アーム、６７……第２の保持
部、６８……基板保持用溝、７０……連結杆、７
３……ばね、７７……操作レバー。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 先端部に長手方向と直交する支軸を有する把持
   部と、前記支軸に回動可能に配設され連続的もし
   くは段階的に長さ調整自在な支持アームと、この
   支持アームの一端に設けられ基板保持用溝を内側
   面に有する第１の保持部と、前記支持アームの他
   端に配設された回動アームと、この回動アームの
   一端に設けられて内側面に基板保持用溝を有し前
   記第１の保持部と共に基板を保持する第２の保持
   部と、前記支持アームと略平行に配設されて一端
   が前記回動アームの他端に連結され、他端が前記
   支軸の中心孔に摺動自在に挿入された連結杆と、
   この連結杆に移動調整自在にかつ回動可能に取付
   けられた操作レバーと、前記回動アームに閉方向
   の回動習性を付与するばねとを備えたことを特徴
   とする基板保持具。