JPH04362294A - ネジ形真空ポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置などに
使用されるネジ形真空ポンプに関する。

【０００２】

【従来技術】従来、ネジ形真空ポンプは、例えば実開昭
６３ー１１８３９２号公報に示されているように既に知
られている。この従来のネジ形真空ポンプは、図６に示
すように、上部に半導体製造室などに接続される吸気口
Ａを備え、また、中間部に排気口Ｂを備えたケーシング
Ｃ内上方に、円筒状のステータＳと、該ステータＳの内
周面に対向する外周面にネジ溝ｅを設けた円筒状のロー
タＥとから成るポンプ要素Ｍを内装し、前記ロータＥを
、前記ケーシングＣ内下方に配置するモータＧの駆動軸
Ｉに結合して、前記ロータＥを高速回転させることによ
り、前記吸気口ＡからロータＥ外周面とステータＳ内周
面との間の気体流路Ｊに流入された気体を前記排気口Ｂ
へと排出させて真空引きを行い、前記半導体製造室など
を真空に保持するように構成されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】所で、以上のような真
空ポンプにおいて、前記ロータＥは、前記吸気口Ａ側の
気体を排気口Ｂに排出させて目標の真空度に到達させる
仕事と、目標の真空度に到達後、定常運転で前記排気口
Ｂ側の気体が前記気体流路Ｊ側に逆流するのを阻止して
前記真空度を保持する仕事とを行なうことになる。即ち
、目標の真空度に到達した後では、前記気体流路Ｊの流
量は殆どなくなるため、真空にするための仕事量はなく
なるのであるが、前記排気口Ｂでは大気圧になっている
ため、この排気口Ｂ側の大気が前記気体流路Ｊに逆流す
るのを阻止して、目標の真空度に保持するための仕事が
必要になる。

【０００４】所が、前記した従来のネジ形真空ポンプに
おけるロータＥは、図６に示されているように同一径の
直円筒状に形成して、その外周面にネジ溝ｅを設けてい
るため、前記ロータＥの軸方向両端部における周方向長
さが同じになっており、前記気体流路Ｊの吸気口Ａへの
開口面積と排気口Ｂへの開口面積との面積差が殆どない
のである。従って、排気口Ｂから前記気体流路Ｊに逆流
する大気の逆流量が多くなるので、所定の真空度に到達
した後、前記大気の逆流を阻止して目標の真空度に保持
するのに大きな仕事量が必要であり、それだけロータＥ
を高速回転させる必要が生ずることになるから、定常運
転時の所要動力が増大することになる。また、同一径の
直円筒状に形成された前記ロータＥは、吸気口Ａ側端面
と排気口Ｂ側端面との受圧面積の差が殆どないので、前
記ロータＥに大きな軸方向の力Ｆ、即ち、Ｆ＝Ａ０　（
Ｐ２　−Ｐ１　）が作用することになる。尚、Ａ０　は
ロータＥの横断面積、Ｐ１　は吸気口Ａ側の圧力、Ｐ２
　は排気口Ｂ側の圧力である。従って、前記ロータＥに
結合した駆動軸Ｈを支持する軸受Ｋに過大の負荷が作用
することになるので、磁気軸受を用いた場合は、電磁石
が大形になると共に、磁気制御が行い難くなる問題があ
り、また、玉軸受を用いた場合は、この軸受の耐久性が
悪くなる問題がある。

【０００５】本発明は以上の問題点に鑑み発明したもの
で、その目的は、目標の真空度に達した後の定常運転時
における所要動力を減少できると共に、ロータに作用す
る軸方向の力を小さくすることができて、しかも、高真
空を可能とする点にある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
、本発明では、吸気口４と排気口５とをもったケーシン
グ１内にステータ２１と、該ステータ２１に対し回転可
能なロータ２２とから成るポンプ要素２を内装して成る
ネジ形真空ポンプにおいて、前記ロータ２２を、前記吸
気口４側が大径となる大径ロータ部２２ａと、前記排気
口５側が小径となる少なくとも一つの小径ロータ部２２
ｂとにより多段に形成すると共に、前記ステータ２１の
内周に、前記ロータ２２の各ロータ部２２ａ、２２ｂ外
周面に対向する大径内周面２１ａと小径内周面２１ｂと
を設けて、前記各ロータ部２２ａ、２２ｂの外周面と、
前記各内周面２１ａ、２１ｂとの一方にネジ溝２４を設
けたのである。

【０００７】前記ロータ２２の大径ロータ部２２ａと小
径ロータ部２２ｂとは一体に形成することもできるし、
また、前記大径ロータ部２２ａと小径ロータ部２２ｂと
を別個に形成して、これら各ロータ部２２ａ、２２ｂの
外周面にネジ溝２４を設けることもできる。

【０００８】また、前記ステータ２１の大径内周面２１
ａ部と小径内周面２１ｂ部とを一体に形成することもで
きるし、又、前記大径内周面２１ａ部と小径内周面２１
ｂ部とは別個に形成して、各内周面２１ａ、２１ｂにネ
ジ溝２４を設けることもできる。

【０００９】また、前記ネジ溝２４は、溝深さＨ１　と
、溝ピッチＨ２　と、螺旋角Ｈ３　とを、大径側で大き
くし、小径側で小さくするのが好ましい。

【００１０】

【作用】ロータ２２を高速回転させて真空引きを行なう
場合、吸気口４に連通する半導体製造室などの室の気体
を、大径ロータ部２２ａと大径内周面２１ａとの間の気
体流路を経て、小径ロータ部２２ｂと小径内周面２１ｂ
との間の気体流路から排気口５に排出することができる
のであって、前記ロータ２２は、大径ロータ部２２ａと
小径ロータ部２２ｂとの多段に形成して、このロータ２
２の軸方向両端部における周方向長さを異ならせ、前記
気体流路の排気口５側への開口面積を、吸気口４側への
開口面積よりも小さくしているから、目標の真空度に到
達した後、排気口５から前記気体流路に逆流する大気の
逆流量を少なくできるのである。従って、目標の真空度
に到達した後、前記大気の逆流を阻止して目標の真空度
に保持するのに必要な仕事量を減少でき、それだけ定常
運転時の所要動力を減少できるのである。

【００１１】つまり、図５に示したように、形状が相似
している大きさの異なるロータを用いたポンプにおいて
、大径ロータを回転させるのに必要な動力をＬ１　とし
、小径ロータを回転させるのに必要な動力をＬ２　とし
た場合、Ｌ２　／Ｌ１　は、数１に示すように、相似則
の原理から気体圧力Ｐ１　とＰ２　との比と、ロータ外
径Ｄ１とＤ２　との比の５乗と、ロータ回転数Ｎ１　と
Ｎ２との比の３乗とに比例することが知られており、又
、大径ロータの気体入口圧と出口圧との差圧を△Ｐ１　
とし、小径ロータの気体入口圧と出口圧との差圧を△Ｐ
２　とした場合、△Ｐ２　／△Ｐ１　は、数２に示すよ
うに、ロータ外径Ｄ１　とＤ２　との比の２乗と、ロー
タ回転数Ｎ１　とＮ２　との比の２乗とに比例すること
が知られている。尚、数１において、大径ロータの気体
出口圧をＰ１　、小径ロータの気体出口圧をＰ２　とし
ている。

【００１２】

【数１】

【００１３】

【数２】

【００１４】しかして、ロータを回転させるのに必要な
動力Ｌは、気体圧力Ｐと、ロータ外径Ｄの５乗と、ロー
タ回転数Ｎの３乗とに比例するのであるから、動力Ｌを
減少するには、２乗の値で変動するロータ回転数Ｎを小
さくするよりは、５乗の値で変動するロータ外径Ｄを小
さくした方が大きく減少させることができるのであり、
しかも、ロータ２２を多段とし、その小径ロータ部２２
ｂを排気口５側に設けることにより、目標の真空度に到
達した後における大気の逆流量も少ないのであるから、
前記動力を減少させても真空能力のダウンもないのであ
る。

【００１５】また、多段に形成したロータ２２の小径ロ
ータ部２２ｂを排気口５側に設けているから、この排気
口５側端面の受圧面積を、吸気口４側受圧面積よりも小
さくできるのであり、このため、ロータ２２に作用する
軸方向の力を小さくでき、それだけ前記ロータ２２に結
合した駆動軸を支持する軸受の負荷を軽減できるのであ
る。

【００１６】又、多段に形成したロータ２２は、その小
径ロータ部２２ｂを排気口５側に設けているから、前記
大径ロータ部２２ａの気体入口圧と出口圧との差圧を△
Ｐ１とし、小径ロータ部２２ｂの気体入口圧と出口圧と
の差圧を△Ｐ２　とした場合、上記数２で明らかなよう
に、前記小径ロータ部２２ｂの外径Ｄ２　を小さくする
ことにより△Ｐ２　／△Ｐ１　を小さくでき、高真空に
できるのである。

【００１７】又、前記ロータ２２の大径ロータ部２２ａ
と小径ロータ部２２ｂとを一体に形成することにより、
各ロータ部２２ａ、２２ｂにおける芯振れを容易に少な
くできるのである。同様に、前記ステータ２１の大径内
周面２１ａ部と小径内周面２１ｂ部とを一体に形成する
ことにより、各内周面２１ａ、２１ｂ部における芯出し
を容易にできるのである。

【００１８】また、前記ロータ２２の大径ロータ部２２
ａと小径ロータ部２２ｂとを別個に形成してこれら各ロ
ータ部２２ａ、２２ｂの外周面にネジ溝２４を設けるこ
とにより、各ロータ部２２ａ、２２ｂのネジ溝２４の加
工が行ない易いのであり、それだけコストを低減できる
のである。同様に、前記ステータ２１の大径内周面２１
ａ部と小径内周面２１ｂ部とは別個に形成して、各内周
面２１ａ、２１ｂにネジ溝２４を設けることにより、各
内周面２１ａ、２１ｂのネジ溝２４の加工が行ない易い
のであり、それだけコストを低減できるのである。

【００１９】また、前記ネジ溝２４は、溝深さＨ１　と
、溝ピッチＨ２　と、螺旋角Ｈ３　とを、大径側で大き
くし、小径側で小さくすることにより、単位長さ当たり
の差圧を大きくできるので、より一層高真空にできるの
である。

【００２０】

【実施例】図１及び図２に示した真空ポンプは、隔壁１
ａを介して上下に区画したケーシング１の上部内側に円
筒状のステータ２１と、該ステータ２１に対し回転可能
なロータ２２とから成るポンプ要素２を内装すると共に
、前記ケーシング１の下部内側にモータ３を配置し、こ
のモータ３の駆動軸３１を、前記隔壁１ａを貫通して前
記ロータ２２に結合している。又、前記ケーシング１の
上端部に、半導体製造室などに接続される吸気口４を設
けると共に、前記隔壁１ａに、外部に開放される排気口
５を設けて、前記ロータ２２を高速回転させることによ
り、前記吸気口４からロータ２２とステータ２１との間
の気体流路２３に流入された気体を昇圧しながら前記排
気口５へと排出させて真空引きを行い、前記半導体製造
室などを高真空に保持するようにしている。

【００２１】しかして、前記ロータ２２を、図１に示す
ごとく前記吸気口４側が大径となる大径ロータ部２２ａ
と、前記排気口５側が段階的に小径となる三つの小径ロ
ータ部２２ｂ、２２ｂ、２２ｂとにより多段に形成する
と共に、前記ステータ２１の内周に、前記ロータ２２の
大径ロータ部２２ａ外周面に僅少間隔を置いて対向する
大径内周面２１ａと、前記各小径ロータ部２２ｂ、２２
ｂ、２２ｂの外周面と僅少間隔を置いて対向する三つの
小径内周面２１ｂ、２１ｂ、２１ｂとを段階的に設けて
、前記各ロータ部２２ａ、２２ｂの外周面にネジ溝２４
を設けたのである。

【００２２】このネジ溝２４は、図２に示すようにその
溝深さＨ１　と、溝ピッチＨ２　と、螺旋角Ｈ３　とを
、前記各ロータ部２２ａ、２２ｂの間で異ならせるのが
好ましい。即ち、大径ロータ部２２ａでは、溝深さＨ１
　と、溝ピッチＨ２　と、螺旋角Ｈ３　とを大きくして
、排出流量を多くできるようにし、また、最小径ロータ
部２２ｂでは、溝深さＨ１　と、溝ピッチＨ２　と、螺
旋角Ｈ３　とを他の小径ロータ部２２ｂより小さくして
単位長さ当たりの差圧を大きくできるようにするのが好
ましい。尚、前記ネジ溝２４は、前記溝深さＨ１　と、
溝ピッチＨ２　と、螺旋角Ｈ３　との何れか一つ或は二
つを各ロータ部２２ａ、２２ｂの間で前記したように異
ならせてもよいのである。

【００２３】また、前記大径ロータ部２２ａと大径内周
面２１ａとの間の気体流路２３と、各小径ロータ部２２
ｂと各小径内周面２１ｂとの間の気体流路２３とは、所
定の上下隙間Ｎを介してそれぞれ連通している。これら
上下隙間Ｎは、排出流量を確保すると共に、前記駆動軸
３１及びロータ２２と前記ステータ２１の熱膨張差によ
る前記ロータ２２とステータ２１との接触を回避するに
は１ｍｍ以上にするのが好ましい。

【００２４】又、前記ロータ２２は、各ロータ部２２ａ
、２２ｂを一体に形成するか、又は別個に形成して各ロ
ータ部２２ａ、２２ｂ同士或は前記駆動軸３１と一体回
転可能に連結するのである。

【００２５】尚、図１において、６は上部ラジアル磁気
軸受、７は下部ラジアル磁気軸受、８はスラスト磁気軸
受、９は上部タッチダウン軸受、１０は下部タッチダウ
ン軸受、１１は前記ポンプ要素２を冷却する冷却用配管
、１２は前記モータ３を冷却する冷却用配管である。

【００２６】以上のごとく構成したネジ形真空ポンプは
、前記モータ３の駆動により、ロータ２２が、例えば毎
分数万回程度の高速度で回転し、このロータ２２により
、吸気口４から気体流路２３に流入された気体が前記排
気口５へと排出されて、この排気口５では大気圧（７６
０Ｔ０　ｒｒ）に昇圧され、この大気圧の状態で排気口
５から外部に排出されるのである。そして、前記吸気口
４側が目標の真空度に到達した後では、前記気体流路２
３の流量は殆どなくなるため、真空にするための仕事量
は非常に少なくなるのであるが、前記排気口５では大気
圧になっているため、前記ロータ２２を継続回転させて
大気が前記気体流路２３に逆流するのを阻止して、目標
の真空度に保持する必要がある。

【００２７】しかして、前記ロータ２２は、大径ロータ
部２２ａと三つの小径ロータ部２２ｂとの多段に形成し
て、このロータ２２の排気口５側外径Ｄ２を、吸気口４
側外径Ｄ１　よりも小径に形成し、前記気体流路２３の
排気口５への開口面積を、吸気口４への開口面積よりも
小さくしているから、目標の真空度に到達した後、排気
口５から前記気体流路２３に逆流する大気の逆流量を少
なくできるのである。このため、目標の真空度に到達し
た後、大気の逆流を阻止するのに必要な仕事量を小さく
できるから、それだけ定常運転時の所要動力を減少でき
るのである。つまり、前記数式１中のＤ２　が小さくな
って、（Ｄ２　／Ｄ１　）５　が小となり、前記動力Ｌ
２　／Ｌ１　を減少できるのである。このため、前記モ
ータ３の発熱量を少なくできるから、モータ３を小形化
できると共に、モータ３などの発熱を抑制するための冷
却水の使用量を少なくでき、ランニングコストを低減で
きるのである。また、以上のようにロータ２２を多段に
形成して、大気の逆流量を少なくするようにしているか
ら、前記ロータ２２を駆動する動力を減少させても、目
標の真空度を保持できるのであり、真空能力がダウンす
ることはないのである。

【００２８】また、多段に形成したロータ２２の小径ロ
ータ部２２ｂを排気口５側に設けることにより、この排
気口５側端面の受圧面積を、吸気口４側端面の受圧面積
よりも小さくできるのであり、このため、ロータ２２に
作用する軸方向の力を小さくでき、それだけ前記ロータ
２２に結合した駆動軸３１を支持する軸受６〜８の負荷
を軽減でき、この軸受６〜８の電磁石を小形化できると
共に、磁気制御を一層容易にできるのである。

【００２９】又、前記小径ロータ部２２ｂの外径Ｄ２　
を小さくすることにより、上記数２中の△Ｐ２　／△Ｐ
１　を小さくできるので、高真空にできるのである。

【００３０】尚、以上説明した実施例では、ロータ２２
に、三つの小径ロータ部２２ｂを設けたが、この小径ロ
ータ部２２ｂは一つ或は二つであってもよいし、また、
四つ以上であってもよい。

【００３１】また、以上の実施例では、ロータ２２の各
ロータ部２２ａ、２２ｂ外周面にネジ溝２４を設けたが
、その他、図３のごとく前記ステータ２１の各内周面２
１ａ、２１ｂに前記ネジ溝２４を設けてもよいし、また
、図示していないが前記ロータ２２の各ロータ部２２ａ
、２２ｂ外周面と、前記ステータ２１の各内周面２１ａ
、２１ｂとに前記ネジ溝２４を設けて、単位長さ当たり
の差圧が増加するようにしてもよい。尚、ステータ２１
の各内周面２１ａ、２１ｂにネジ溝２４を設ける場合、
前記各内周面２１ａ、２１ｂを一体に形成するか、又は
別個に形成するのである。また、前記ロータ２２の各ロ
ータ部２２ａ、２２ｂ外周面に前記ネジ溝２４を設けた
場合、図４のごとく前記ステータ２１の各小径内周面２
１ｂに、複数本の円周溝２５を軸方向に所定間隔を置い
て設けて、単位長さ当たりの差圧が増加するようにして
もよいのであり、また、前記ステータ２１の各内周面２
１ａ、２１ｂに前記ネジ溝２４を設けた場合、図４と同
様、前記ロータ２２における各ロータ部２２ａ、２２ｂ
の外周面に、複数本の円周溝を軸方向に所定間隔を置い
て設けて、単位長さ当たりの差圧が増加するようにして
もよいのである。

【００３２】又、図１では、モータ３の駆動軸３１を磁
気軸受６〜８で支持した真空ポンプを示しているが、そ
の他、前記駆動軸３１を例えば玉軸受で支持した真空ポ
ンプであってもよい。

【００３３】

【発明の効果】以上のごとく本発明は、ステータ２１に
対し回転可能なロータ２２を、吸気口４側が大径となる
大径ロータ部２２ａと、排気口５側が小径となる少なく
とも一つの小径ロータ部２２ｂとにより多段に形成して
、前記ステータ２１の内周に、前記ロータ２２の各ロー
タ部２２ａ、２２ｂ外周面に対向する大径内周面２１ａ
と小径内周面２１ｂとを設け、前記各ロータ部２２ａ、
２２ｂの外周面と、前記各内周面２１ａ、２１ｂとの一
方にネジ溝２４を設けて、前記ロータ２２とステータ２
１との間の気体流路の排気口５側への開口面積を、吸気
口４側への開口面積よりも小さくできるようにしたから
、目標の真空度に到達した後、排気口５から前記気体流
路に逆流する大気の逆流量を少なくできるのである。従
って、目標の真空度に到達した後、前記大気の逆流を阻
止して目標の真空度に保持するのに必要な仕事量を減少
でき、それだけ定常運転時の所要動力を減少できるので
ある。そして、この所要動力の減少により、前記ロータ
２２を駆動するモータの発熱量を少なくできるから、モ
ータを小形化できできて、イニシャルコストを低減でき
るのであり、また、モータへの印加電圧を小さくできる
と共に、モータなどの発熱を抑制するための冷却水の使
用量を少なくできるから、ランニングコストを低減でき
るのである。

【００３４】しかも、多段に形成したロータ２２の小径
ロータ部２２ｂを排気口５側に設けているから、この排
気口５側端面の受圧面積を、吸気口４側端面の受圧面積
よりも小さくできるのであり、このため、ロータ２２に
作用する軸方向の力を小さくでき、それだけ前記ロータ
２２に結合した駆動軸を支持する軸受の負荷を軽減でき
るのである。従って、磁気軸受を用いた場合は、電磁石
を小形化できると共に、磁気制御を一層容易にできるの
であり、また、玉軸受を用いた場合は、この軸受の耐久
性を高めることができるのである。

【００３５】更に、以上のごとく所要動力を減少できる
と共に、軸方向の力を小さくできながら、前記小径ロー
タ部２２ｂの外径Ｄ２　を小さくすることにより数２中
の△Ｐ２　／△Ｐ１　を小さくできて、高真空が可能と
なるのである。

【００３６】又、前記ロータ２２の各ロータ部２２ａ、
２２ｂを一体に形成すれば、各ロータ部２２ａ、２２ｂ
における芯振れを容易に少なくできるのであり、また、
各ロータ部２２ａ、２２ｂを別個に形成して、これら各
ロータ部２２ａ、２２ｂの外周面にネジ溝２４を設けれ
ば、各ロータ部２２ａ、２２ｂのネジ溝２４の加工が行
ない易いのであり、それだけコストを低減できるのであ
る。

【００３７】同様に、前記ステータ２１の各内周面２１
ａ、２１ｂ部を一体に形成すれば、各内周面２１ａ、２
１ｂ部における芯出しを容易にできるのであり、また、
各内周面２１ａ、２１ｂ部を別個に形成して、これら各
内周面２１ａ、２１ｂにネジ溝２４を設ければ、各内周
面２１ａ、２１ｂのネジ溝２４の加工が行ない易いので
あり、それだけコストを低減できるのである。

【００３８】また、前記ネジ溝２４は、溝深さＨ１　と
、溝ピッチＨ２　と、螺旋角Ｈ３　とを、大径側で大き
くし、小径側で小さくすることにより、単位長さ当たり
の差圧を大きくできるので、より一層高真空にできるの
である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明真空ポンプの縦断面図である。

【図２】同要部のみの部分断面図である。

【図３】別の実施例を示す要部のみの部分断面図である
。

【図４】同別の実施例を示す要部のみの部分断面図であ
る。

【図５】数式１、２を説明するための説明図である。

【図６】従来例の断面図である。

【符号の説明】

１　　　　　　ケーシング ２　　　　　　ポンプ要素 ２１　　　　ステータ ２１ａ　　大径内周面 ２１ｂ　　小径内周面 ２２　　　　ロータ ２２ａ　　大径ロータ部 ２２ｂ　　小径ロータ部 ２４　　　　ネジ溝 ４　　　　　　吸気口 ５　　　　　　排気口

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】吸気口４と排気口５とをもったケーシング
   １内にステータ２１と、該ステータ２１に対し回転可能
   なロータ２２とから成るポンプ要素２を内装して成るネ
   ジ形真空ポンプにおいて、前記ロータ２２を、前記吸気
   口４側が大径となる大径ロータ部２２ａと、前記排気口
   ５側が小径となる少なくとも一つの小径ロータ部２２ｂ
   とにより多段に形成すると共に、前記ステータ２１の内
   周に、前記ロータ２２の各ロータ部２２ａ、２２ｂ外周
   面に対向する大径内周面２１ａと小径内周面２１ｂとを
   設けて、前記各ロータ部２２ａ、２２ｂの外周面と、前
   記各内周面２１ａ、２１ｂとの一方にネジ溝２４を設け
   たことを特徴とするネジ形真空ポンプ。
2. 【請求項２】ロータ２２の大径ロータ部２２ａと小径ロ
   ータ部２２ｂとは一体に形成されている請求項１記載の
   ネジ形真空ポンプ。
3. 【請求項３】ロータ２２の大径ロータ部２２ａと小径ロ
   ータ部２２ｂとは別個に形成されて一体回転可能に連結
   されていると共に、これら各ロータ部２２ａ、２２ｂの
   外周面にネジ溝２４が設けられている請求項１記載のネ
   ジ形真空ポンプ。
4. 【請求項４】ステータ２１の大径内周面２１ａ部と小径
   内周面２１ｂ部とは一体に形成されている請求項１記載
   のネジ形真空ポンプ。
5. 【請求項５】ステータ２１の大径内周面２１ａ部と小径
   内周面２１ｂ部とは別個に形成されて、各内周面２１ａ
   、２１ｂにネジ溝２４が設けられている請求項１記載の
   ネジ形真空ポンプ。
6. 【請求項６】ネジ溝２４は、溝深さＨ１　と、溝ピッチ
   Ｈ２　と、螺旋角Ｈ３　とを、大径側で大きくし、小径
   側で小さくしている請求項１記載のネジ形真空ポンプ。