JPH04362505A - 薄膜磁気読み出し／書き込みヘッド及び磁気記録システム - Google Patents
薄膜磁気読み出し／書き込みヘッド及び磁気記録システムInfo
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- JPH04362505A JPH04362505A JP31749291A JP31749291A JPH04362505A JP H04362505 A JPH04362505 A JP H04362505A JP 31749291 A JP31749291 A JP 31749291A JP 31749291 A JP31749291 A JP 31749291A JP H04362505 A JPH04362505 A JP H04362505A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/313—Disposition of layers
-
- G—PHYSICS
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- G—PHYSICS
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- G11B5/3109—Details
- G11B5/312—Details for reducing flux leakage between the electrical coil layers and the magnetic cores or poles or between the magnetic cores or poles
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は磁気記録媒体に書き込ん
だり、また、それから読み出したりするための磁気ヘッ
ドに関する。
だり、また、それから読み出したりするための磁気ヘッ
ドに関する。
【０００２】
【従来の技術】薄膜誘導磁気読み出し／書き込みヘッド
については、従来技術で周知の多くの代替設計がある。 例えば、アメリカ特許第３３４４２３７号で教示されて
いる薄膜磁気ヘッドにおいて、コイルは磁気ヨークの第
１の脚部の周囲に巻かれているが、磁気ヨークの第２の
脚部は磁気ヨークの第１の脚部よりも上にある。
については、従来技術で周知の多くの代替設計がある。 例えば、アメリカ特許第３３４４２３７号で教示されて
いる薄膜磁気ヘッドにおいて、コイルは磁気ヨークの第
１の脚部の周囲に巻かれているが、磁気ヨークの第２の
脚部は磁気ヨークの第１の脚部よりも上にある。
【０００３】アメリカ特許第３９８６２１０号では、磁
気ヨークが矩形囲い状に形成される薄膜磁気ヘッドが示
されている。コイルは矩形の長い脚部の一つの周囲に巻
かれている。
気ヨークが矩形囲い状に形成される薄膜磁気ヘッドが示
されている。コイルは矩形の長い脚部の一つの周囲に巻
かれている。
【０００４】アメリカ特許第３６６２１１９号で教示さ
れている薄膜磁気ヘッドにおいて、オープン磁気ヨーク
はその外側脚部の各々に巻線を備えているものとして提
供されている。しかしながら、磁極片には、層を形成す
るギャップ以外に垂直方向分離はない。
れている薄膜磁気ヘッドにおいて、オープン磁気ヨーク
はその外側脚部の各々に巻線を備えているものとして提
供されている。しかしながら、磁極片には、層を形成す
るギャップ以外に垂直方向分離はない。
【０００５】オープン磁気ヨークを備えた従来技術の薄
膜磁気ヘッドは、読み出し／書き込み効率がともに高く
なるような設計は今まで行なわれていなかった。
膜磁気ヘッドは、読み出し／書き込み効率がともに高く
なるような設計は今まで行なわれていなかった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の主要
な目的は、読み出し効率及び書き込み効率がともに高い
薄膜誘導磁気読み出し／書き込みヘッドを提供すること
である。
な目的は、読み出し効率及び書き込み効率がともに高い
薄膜誘導磁気読み出し／書き込みヘッドを提供すること
である。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明によると、薄膜磁
気読み出し／書き込みヘッドは外側脚部が離間状態にあ
るオープン磁気ヨークと、変換ギャップを形成するため
に離間された対向状態で重なり合っている磁極片と、変
換ギャップの反対方向にある後部クロージュアとを含む
。巻線は磁気ヨークの外側脚部のそれぞれに形成され、
巻線は励磁される場合、変換ギャップに付加されるフラ
ックスが生成されるような方向に巻かれている。ヨーク
脚部が変換ギャップから磁気ヨークの外側脚部へ分岐さ
れるので、変換ギャップよりも大きい垂直方向分離を発
生させるために、非磁気スペーサ部材は対向する磁極片
の上側の磁気ヨークの脚部間に位置決めされる。
気読み出し／書き込みヘッドは外側脚部が離間状態にあ
るオープン磁気ヨークと、変換ギャップを形成するため
に離間された対向状態で重なり合っている磁極片と、変
換ギャップの反対方向にある後部クロージュアとを含む
。巻線は磁気ヨークの外側脚部のそれぞれに形成され、
巻線は励磁される場合、変換ギャップに付加されるフラ
ックスが生成されるような方向に巻かれている。ヨーク
脚部が変換ギャップから磁気ヨークの外側脚部へ分岐さ
れるので、変換ギャップよりも大きい垂直方向分離を発
生させるために、非磁気スペーサ部材は対向する磁極片
の上側の磁気ヨークの脚部間に位置決めされる。
【０００８】本発明の上記とその他の目的、特徴ならび
に利点は、添付図面に示されたように後述する本発明の
好ましい実施例のより詳細な説明から明らかになるだろ
う。
に利点は、添付図面に示されたように後述する本発明の
好ましい実施例のより詳細な説明から明らかになるだろ
う。
【０００９】
【実施例】本発明は図１に示されたような磁気ディスク
ファイルで具体化されるものとして述べられているが、
本発明は例えば、磁気テープ記録システム等の他の磁気
記録システムにも適用できることは明白である。少なく
とも一個の回転可能な磁気ディスク１２はスピンドル上
で支持され、ディスクドライブモータ（図示せず）によ
って回転させられる。各ディスク上の磁気記録媒体は、
ディスク１２に示されたような同心円上のデータトラッ
ク１４の環状パターンの形態をしている。
ファイルで具体化されるものとして述べられているが、
本発明は例えば、磁気テープ記録システム等の他の磁気
記録システムにも適用できることは明白である。少なく
とも一個の回転可能な磁気ディスク１２はスピンドル上
で支持され、ディスクドライブモータ（図示せず）によ
って回転させられる。各ディスク上の磁気記録媒体は、
ディスク１２に示されたような同心円上のデータトラッ
ク１４の環状パターンの形態をしている。
【００１０】ディスクが回転すると、ヘッドがデータを
含むディスク表面の異なる部分とアクセスできるように
、スライダ１６は半径方向内側及び外側に移動される。 各スライダ１６は一個又は複数の読み出し／書き込みヘ
ッド１０（図２及び図３参照）を支持し、サスペンショ
ン２０を用いてアクチュエータアーム１８に取り付けら
れる。サスペンション２０は、スライダ１６をディスク
表面に対してバイアスするわずかなスプリング力を供給
する。各アクチュエータアームはアクチュエータ手段２
２に取り付けられる。図１に概略図示されたアクチュエ
ータ手段は音声コイルモータ（ＶＣＭ）である。このＶ
ＣＭは設定された磁界内で可動するコイルであり、コイ
ル運動の方向及び速度は供給電流によって制御される。
含むディスク表面の異なる部分とアクセスできるように
、スライダ１６は半径方向内側及び外側に移動される。 各スライダ１６は一個又は複数の読み出し／書き込みヘ
ッド１０（図２及び図３参照）を支持し、サスペンショ
ン２０を用いてアクチュエータアーム１８に取り付けら
れる。サスペンション２０は、スライダ１６をディスク
表面に対してバイアスするわずかなスプリング力を供給
する。各アクチュエータアームはアクチュエータ手段２
２に取り付けられる。図１に概略図示されたアクチュエ
ータ手段は音声コイルモータ（ＶＣＭ）である。このＶ
ＣＭは設定された磁界内で可動するコイルであり、コイ
ル運動の方向及び速度は供給電流によって制御される。
【００１１】ディスクファイルの作動中に、ディスク１
２の回転によって、スライダ１６とディスク表面との間
にエア・ベアリングが生成される。エアベアリングは、
このようにサスペンション２０のわずかなスプリング力
を平衡にし、作動時にスライダ１６をディスク表面から
小間隔ｈ（図２参照）だけ離した状態で支持する。
２の回転によって、スライダ１６とディスク表面との間
にエア・ベアリングが生成される。エアベアリングは、
このようにサスペンション２０のわずかなスプリング力
を平衡にし、作動時にスライダ１６をディスク表面から
小間隔ｈ（図２参照）だけ離した状態で支持する。
【００１２】一般的なディスクファイルについての上記
説明及び図１での付随した実例は、単に表示するための
ものである。ディスクファイルが多数のディスクとアク
チュエータを含み、さらに各アクチュエータが多数のシ
リンダを支持することは明白である。
説明及び図１での付随した実例は、単に表示するための
ものである。ディスクファイルが多数のディスクとアク
チュエータを含み、さらに各アクチュエータが多数のシ
リンダを支持することは明白である。
【００１３】図２に示された本発明の実施例において、
スライダ１６は、その後端部で２個の薄膜磁気ヘッド１
０を支持し、ヘッド１０は各々、一対のコイル導体リー
ド２４、２６を有している。
スライダ１６は、その後端部で２個の薄膜磁気ヘッド１
０を支持し、ヘッド１０は各々、一対のコイル導体リー
ド２４、２６を有している。
【００１４】本発明による薄膜磁気ヘッド１０の基本構
成が図３に示される。薄膜磁気ヘッド１０は各々、離間
状態にある外側ヨーク部分３２を有するプレーナ磁気ヨ
ーク構造３０及び外側ヨーク部分３２Ｌ及び３２Ｒから
磁極片３６及び３８に伸長するヨーク転移部分３１、３
３を含む。コイル２８は、分離された外側ヨーク部分３
２Ｒ及び３２Ｌの各々の周囲に螺旋状に巻き付けられた
コイル巻線３４を含み且つクロスオーバ・コンダクタ３
５によって接続されたコイルセクション２８Ｌ及び２８
Ｒを有して形成される。重なり合っている磁極片３６、
３８は、磁気ディスク１２に面する磁気ヨーク３０の端
部で変換ギャップ４０を形成し、外側ヨーク部分３２に
続く後部ギャップ構造４２は磁気ヨーク構造３０を完成
させる。
成が図３に示される。薄膜磁気ヘッド１０は各々、離間
状態にある外側ヨーク部分３２を有するプレーナ磁気ヨ
ーク構造３０及び外側ヨーク部分３２Ｌ及び３２Ｒから
磁極片３６及び３８に伸長するヨーク転移部分３１、３
３を含む。コイル２８は、分離された外側ヨーク部分３
２Ｒ及び３２Ｌの各々の周囲に螺旋状に巻き付けられた
コイル巻線３４を含み且つクロスオーバ・コンダクタ３
５によって接続されたコイルセクション２８Ｌ及び２８
Ｒを有して形成される。重なり合っている磁極片３６、
３８は、磁気ディスク１２に面する磁気ヨーク３０の端
部で変換ギャップ４０を形成し、外側ヨーク部分３２に
続く後部ギャップ構造４２は磁気ヨーク構造３０を完成
させる。
【００１５】かかる磁気ヘッド設計によって、磁気ヘッ
ド効率を高く維持できるようにコイル中のインダクタン
スとインピーダンスが減少された巻線をより多く含むこ
とが可能である。
ド効率を高く維持できるようにコイル中のインダクタン
スとインピーダンスが減少された巻線をより多く含むこ
とが可能である。
【００１６】本発明にとって特に重要なことは、磁気ヨ
ークの脚部が変換ギャップ４０から外側ヨーク部分３２
の方へ分岐される際に変換ギャップ４０の長さよりも大
きな垂直方向分離を得るために、磁極片３６、３８を越
えたばかりの磁気ヨーク転移部分３１、３３の間に位置
決めされる非磁気スペーサ部材４４を含むことである。
ークの脚部が変換ギャップ４０から外側ヨーク部分３２
の方へ分岐される際に変換ギャップ４０の長さよりも大
きな垂直方向分離を得るために、磁極片３６、３８を越
えたばかりの磁気ヨーク転移部分３１、３３の間に位置
決めされる非磁気スペーサ部材４４を含むことである。
【００１７】非磁気スペーサ部材４４の形態は図４、５
及び６に示される。磁極片３６及び３８は、非磁気絶縁
ギャップ形成層４６によって変換ギャップ４０で分離さ
れる。非磁気スペーサ部材４４はギャップ形成層４６上
に蒸着され、スペーサ層４４は中心部の厚さが最も大き
く、端部に近づくほど段々小さくなるように形成されて
、図４に示されるようにほぼドーム形状の断面を有して
いる。変換ギャップ４０（図４に図示された左側端部）
に最も近接するスペーサ層４４の端は、ゼロスロート位
置、即ち、図４に示されるように磁極片が垂直方向に分
岐し始める位置、を画定する。さらに磁極片はこの領域
において、側面方向にも分岐し始めると共に、スペーサ
層は、この領域のフラックス漏出量がごく少ないゼロス
ロート位置から離れる方向にかなり遠くまで伸長する。 図５に示された実施例では、スペーサ層４４’は台形状
の断面を有する。
及び６に示される。磁極片３６及び３８は、非磁気絶縁
ギャップ形成層４６によって変換ギャップ４０で分離さ
れる。非磁気スペーサ部材４４はギャップ形成層４６上
に蒸着され、スペーサ層４４は中心部の厚さが最も大き
く、端部に近づくほど段々小さくなるように形成されて
、図４に示されるようにほぼドーム形状の断面を有して
いる。変換ギャップ４０（図４に図示された左側端部）
に最も近接するスペーサ層４４の端は、ゼロスロート位
置、即ち、図４に示されるように磁極片が垂直方向に分
岐し始める位置、を画定する。さらに磁極片はこの領域
において、側面方向にも分岐し始めると共に、スペーサ
層は、この領域のフラックス漏出量がごく少ないゼロス
ロート位置から離れる方向にかなり遠くまで伸長する。 図５に示された実施例では、スペーサ層４４’は台形状
の断面を有する。
【００１８】磁気ヘッド１０が製造される適切な基板１
１上には、例えば、アルミナ等の適切な絶縁材料のベー
ス層５０が蒸着される。ベース層５０の目的は、抵抗性
が高い材料のプレーナ面を提供することである。基板１
１が十分高い抵抗性と、十分なプレーナ面を有するので
あれば、ベース層５０を除去することができる。コイル
２８の巻線３４は、はじめに製造される複数の下側コイ
ルコンダクタ５２を備えた二つの部分に分かれて製造さ
れる。次に、上側コイルコンダクタ５８は、隣接する下
側コイルコンダクタ５２の対向端部と電気接触をするよ
うに製造され、従って、外側ヨーク部分３２の周囲に螺
旋状に巻き付けられたコイル２８が形成される。
１上には、例えば、アルミナ等の適切な絶縁材料のベー
ス層５０が蒸着される。ベース層５０の目的は、抵抗性
が高い材料のプレーナ面を提供することである。基板１
１が十分高い抵抗性と、十分なプレーナ面を有するので
あれば、ベース層５０を除去することができる。コイル
２８の巻線３４は、はじめに製造される複数の下側コイ
ルコンダクタ５２を備えた二つの部分に分かれて製造さ
れる。次に、上側コイルコンダクタ５８は、隣接する下
側コイルコンダクタ５２の対向端部と電気接触をするよ
うに製造され、従って、外側ヨーク部分３２の周囲に螺
旋状に巻き付けられたコイル２８が形成される。
【００１９】図面で示された実施例において、磁気ヨー
ク３０は、磁極端領域に延出する第１のシンナー（薄）
層４７Ｒ、４７Ｌ及び磁極端領域の前で終わる第２のシ
ッカー（厚）形層４８Ｒ、４８Ｌを含む。磁気ヨーク３
０は、絶縁材料の層５４、５６を用いてコイル２８から
電気的に絶縁される。
ク３０は、磁極端領域に延出する第１のシンナー（薄）
層４７Ｒ、４７Ｌ及び磁極端領域の前で終わる第２のシ
ッカー（厚）形層４８Ｒ、４８Ｌを含む。磁気ヨーク３
０は、絶縁材料の層５４、５６を用いてコイル２８から
電気的に絶縁される。
【００２０】薄膜磁気ヘッドの別の実施例は図９に示さ
れる。この実施例では、基本的ヘッド構造は同一のまま
である。但し、磁気ヨーク３０’の後部ギャップクロー
ジュア（閉止部）６２は逆Ｙ字形状である。
れる。この実施例では、基本的ヘッド構造は同一のまま
である。但し、磁気ヨーク３０’の後部ギャップクロー
ジュア（閉止部）６２は逆Ｙ字形状である。
【００２１】図１０に示された本発明の実施例において
、コイル２８’にはセンタータップが設けられている。 コイルセクション２８Ｌ’及び２８Ｒ’との間のクロス
オーバーコンダクタ３５が伸長されて、センタータップ
・ターミナル６４を形成し、コイルリード２５はこのタ
ーミナルに接続される。かかる実施例において、コイル
セクション２８Ｒ’はコイルリード２５及び２６への回
路接続によって選択でき、コイルセクション２８Ｌ’は
コイルリード２４及び２５への回路接続によって選択で
きる。上記の実施例に示されたように、コイル２８’全
体はコイルリード２４及び２６への回路接続によって選
択することができる。
、コイル２８’にはセンタータップが設けられている。 コイルセクション２８Ｌ’及び２８Ｒ’との間のクロス
オーバーコンダクタ３５が伸長されて、センタータップ
・ターミナル６４を形成し、コイルリード２５はこのタ
ーミナルに接続される。かかる実施例において、コイル
セクション２８Ｒ’はコイルリード２５及び２６への回
路接続によって選択でき、コイルセクション２８Ｌ’は
コイルリード２４及び２５への回路接続によって選択で
きる。上記の実施例に示されたように、コイル２８’全
体はコイルリード２４及び２６への回路接続によって選
択することができる。
【００２２】磁気ヨーク３０は、少なくとも外側ヨーク
部分３２に沿ってプレーナ形状であることが望ましいの
で、ヨーク転移部分３１、３３はスペーサ部材４４によ
って垂直方向に分離され、磁気ヨーク３０は、形成され
たヨーク部分の間で密接な接触を有する少なくとも２つ
の個別の工程で形成されるのが好ましい。図３と図４に
示された本発明の実施例では、磁気ヨークの分離された
極片は後部ギャップ領域４２で重なり合う。
部分３２に沿ってプレーナ形状であることが望ましいの
で、ヨーク転移部分３１、３３はスペーサ部材４４によ
って垂直方向に分離され、磁気ヨーク３０は、形成され
たヨーク部分の間で密接な接触を有する少なくとも２つ
の個別の工程で形成されるのが好ましい。図３と図４に
示された本発明の実施例では、磁気ヨークの分離された
極片は後部ギャップ領域４２で重なり合う。
【００２３】図１１に示された本発明の実施例において
、磁気ヨーク３０”はヨーク転移部分３１”で重なりを
有する二つの工程で作られる。第１の工程は、ヨークの
部分は磁極片３６、ヨーク転移部分３３、外側ヨーク部
分３２Ｒ、後部ギャップクロージュア４２、外側ヨーク
部分３２Ｌ及びヨーク転移部分３１’の重なり部分を含
んで形成される。第２の工程で、ヨーク転移部分３１’
と磁極片３８の重なり部分が磁気ヨークを完成させるよ
うに形成される。
、磁気ヨーク３０”はヨーク転移部分３１”で重なりを
有する二つの工程で作られる。第１の工程は、ヨークの
部分は磁極片３６、ヨーク転移部分３３、外側ヨーク部
分３２Ｒ、後部ギャップクロージュア４２、外側ヨーク
部分３２Ｌ及びヨーク転移部分３１’の重なり部分を含
んで形成される。第２の工程で、ヨーク転移部分３１’
と磁極片３８の重なり部分が磁気ヨークを完成させるよ
うに形成される。
【００２４】図１２に示された本発明の実施例において
、磁気ヨーク３０’’’ はヨーク転移部分３１’及び
３３’の重なりを有する３つの工程で作られる。
、磁気ヨーク３０’’’ はヨーク転移部分３１’及び
３３’の重なりを有する３つの工程で作られる。
【００２５】図３及び図９乃至１２に示された磁気ヨー
ク形状のほかに、例えば、図１３及び１４に示されたよ
うに使用することのできる別のヨーク形状が多数ある。 これらの及び他のヨーク形状に関して、ヨークの高さｈ
と２個の脚部の離隔距離ｄとの間に重要な関係がある。 離隔距離ｄが広くなるほど、ヨークの高さｈも高くなり
、磁気ヨーク７０”の外側脚部７２Ｌ及び７２Ｒ間に生
じるフラックス漏出量はほぼ同一である。実際の実施例
では、高さｈが大きくなるほど、ヨーク７０”の各外側
脚部７２Ｌ、７２Ｒの周囲により多くの巻線を配置する
ことができる。しかしながら、高さｈを増大させる場合
、同一ヘッド効率を維持するために離隔距離ｄとヨーク
７０”の幅もまた増大させる必要がある。後部ギャップ
７４（図１３）は逆Ｖ字形状である。フラックス漏出量
は、さらに角度θ（図１４）を減少させて、角度αを増
大させることによって最小限に抑えることができる。 角度θの下限はサイド・リーディング（側方読み取り）
を考慮して決定される。
ク形状のほかに、例えば、図１３及び１４に示されたよ
うに使用することのできる別のヨーク形状が多数ある。 これらの及び他のヨーク形状に関して、ヨークの高さｈ
と２個の脚部の離隔距離ｄとの間に重要な関係がある。 離隔距離ｄが広くなるほど、ヨークの高さｈも高くなり
、磁気ヨーク７０”の外側脚部７２Ｌ及び７２Ｒ間に生
じるフラックス漏出量はほぼ同一である。実際の実施例
では、高さｈが大きくなるほど、ヨーク７０”の各外側
脚部７２Ｌ、７２Ｒの周囲により多くの巻線を配置する
ことができる。しかしながら、高さｈを増大させる場合
、同一ヘッド効率を維持するために離隔距離ｄとヨーク
７０”の幅もまた増大させる必要がある。後部ギャップ
７４（図１３）は逆Ｖ字形状である。フラックス漏出量
は、さらに角度θ（図１４）を減少させて、角度αを増
大させることによって最小限に抑えることができる。 角度θの下限はサイド・リーディング（側方読み取り）
を考慮して決定される。
【００２６】磁気ヨーク構造は、図１５に示されるよう
な薄層からなる構造を含むものでもよい。磁気構造７６
は強磁性材料７８の薄層と非磁気材料８０の薄層とが交
互にくる構造を含む。さらに磁気ヨーク構造は、図１６
に示されるような閉鎖フラックス構造を含むものであっ
てもよい。かかる磁気構造８２において、強磁性材料８
４は非磁気材料８６の周囲にエッジクロージュア（エッ
ジ閉鎖）を有する。この構造はエッジ領域に制限がない
ので、非常に高い記録密度を達成することのできる非常
に狭い磁極端まで伸長可能である。
な薄層からなる構造を含むものでもよい。磁気構造７６
は強磁性材料７８の薄層と非磁気材料８０の薄層とが交
互にくる構造を含む。さらに磁気ヨーク構造は、図１６
に示されるような閉鎖フラックス構造を含むものであっ
てもよい。かかる磁気構造８２において、強磁性材料８
４は非磁気材料８６の周囲にエッジクロージュア（エッ
ジ閉鎖）を有する。この構造はエッジ領域に制限がない
ので、非常に高い記録密度を達成することのできる非常
に狭い磁極端まで伸長可能である。
【００２７】薄膜磁気ヘッド１０は、当該技術で周知の
適切な蒸着技法及びパターン化技法を使用することによ
って製造される。コイル５２の底面層が最初に蒸着され
る。望ましい場合、接触抵抗を減少させるために無電解
メッキゴールドの薄層をコイル５２の上層に付加するこ
とができる。つぎに、例えば、アルミナ等の絶縁層５４
が蒸着される。かかる層５４は、磁気ヨーク構造３０か
らのコイル２８Ｌ及び２８Ｒを電気的に絶縁する。次に
、第１の磁極片３６、ヨーク転移部分３３及び外側ヨー
ク部分３２Ｒを含む磁気ヨーク３０Ｒの一部が蒸着され
て、続く非磁気絶縁体層４６の蒸着によって変換ギャッ
プ４０を画定する。次に、垂直方向分離層４４が蒸着さ
れ、層４４は、例えば、アルミナ、ＳｉＯ２ 、又は硬
焼成フォトレジスト等の適切な絶縁層を含む。次に、絶
縁層内の通路が開放されて、バックギャップ４２の領域
内で第１に蒸着されたヨーク構造３０Ｒを被覆する。第
２の磁極片３８、ヨーク転移部分３１及び外側ヨーク部
分３２Ｌを含む磁気ヨーク３０Ｌの一部が次に蒸着され
ると、後部ギャップクロージュア４２を完成させるため
に磁気ヨーク部分３０Ｒを有する開放された通路を介し
ての接触によって、プレーナ磁気ヨーク構造３０を完成
させる。
適切な蒸着技法及びパターン化技法を使用することによ
って製造される。コイル５２の底面層が最初に蒸着され
る。望ましい場合、接触抵抗を減少させるために無電解
メッキゴールドの薄層をコイル５２の上層に付加するこ
とができる。つぎに、例えば、アルミナ等の絶縁層５４
が蒸着される。かかる層５４は、磁気ヨーク構造３０か
らのコイル２８Ｌ及び２８Ｒを電気的に絶縁する。次に
、第１の磁極片３６、ヨーク転移部分３３及び外側ヨー
ク部分３２Ｒを含む磁気ヨーク３０Ｒの一部が蒸着され
て、続く非磁気絶縁体層４６の蒸着によって変換ギャッ
プ４０を画定する。次に、垂直方向分離層４４が蒸着さ
れ、層４４は、例えば、アルミナ、ＳｉＯ２ 、又は硬
焼成フォトレジスト等の適切な絶縁層を含む。次に、絶
縁層内の通路が開放されて、バックギャップ４２の領域
内で第１に蒸着されたヨーク構造３０Ｒを被覆する。第
２の磁極片３８、ヨーク転移部分３１及び外側ヨーク部
分３２Ｌを含む磁気ヨーク３０Ｌの一部が次に蒸着され
ると、後部ギャップクロージュア４２を完成させるため
に磁気ヨーク部分３０Ｒを有する開放された通路を介し
ての接触によって、プレーナ磁気ヨーク構造３０を完成
させる。
【００２８】磁気層を蒸着するには、フレームマスクを
介してシード層にメッキをすることによって実行された
り、又はイオン・ミリング（フライス加工）、反応イオ
ンエッチング、又はその他の適切な減法プロセスによっ
てスパッタリング且つ成形化させたりしてもよい。磁気
ヨーク構造はＮｉＦｅ、ＣｏＦｅＣｕ、ＣｏＮｉＦｅ又
はその他の適切な磁気材料から形成することもできる。
介してシード層にメッキをすることによって実行された
り、又はイオン・ミリング（フライス加工）、反応イオ
ンエッチング、又はその他の適切な減法プロセスによっ
てスパッタリング且つ成形化させたりしてもよい。磁気
ヨーク構造はＮｉＦｅ、ＣｏＦｅＣｕ、ＣｏＮｉＦｅ又
はその他の適切な磁気材料から形成することもできる。
【００２９】次に、絶縁層５６がヨーク構造上で蒸着さ
れて、通路は底面コイル層５２の各端部に対し開放され
る。絶縁層５６が製造の観点から見て、Ａｌ２ Ｏ３
、ＳｉＯ２ 又は他の同様の材料であってもよいとされ
る一方、通路開放後に硬焼成可能なＡＺフォトレジスト
を使用することが好ましい。次に、外側ヨーク部分３２
Ｌ、３２Ｒの各々にコイル構造２８を完成させるために
、上部コイル層５８が、例えば、電気メッキ銅によって
蒸着される。そして、ヘッド１０をヘッド環境による機
械的ダメージ又は浸食作用によるダメージから保護する
ために、例えば、アルミナでできた保護層６０が蒸着さ
れる。
れて、通路は底面コイル層５２の各端部に対し開放され
る。絶縁層５６が製造の観点から見て、Ａｌ２ Ｏ３
、ＳｉＯ２ 又は他の同様の材料であってもよいとされ
る一方、通路開放後に硬焼成可能なＡＺフォトレジスト
を使用することが好ましい。次に、外側ヨーク部分３２
Ｌ、３２Ｒの各々にコイル構造２８を完成させるために
、上部コイル層５８が、例えば、電気メッキ銅によって
蒸着される。そして、ヘッド１０をヘッド環境による機
械的ダメージ又は浸食作用によるダメージから保護する
ために、例えば、アルミナでできた保護層６０が蒸着さ
れる。
【００３０】コイルの巻き数を容易に増加させることが
でき、製造時にマスク層が少なくてすみ、さらにトラッ
ク幅のより狭小化を容易に達成することのできる間隔の
ある外側脚部を備えたオープン磁気ヨークを有する新式
の薄膜誘導性磁気ヘッドについて述べてきた。さらに、
形成された非磁気スペーサ部材は、フラックス漏出量が
最小限に抑えられて、ヘッド効率が高く保持されるよう
に二つのヨーク部分が分岐されて垂直方向分離を得るた
めに、変換ギャップを越えたばかりの領域内で製造され
る。
でき、製造時にマスク層が少なくてすみ、さらにトラッ
ク幅のより狭小化を容易に達成することのできる間隔の
ある外側脚部を備えたオープン磁気ヨークを有する新式
の薄膜誘導性磁気ヘッドについて述べてきた。さらに、
形成された非磁気スペーサ部材は、フラックス漏出量が
最小限に抑えられて、ヘッド効率が高く保持されるよう
に二つのヨーク部分が分岐されて垂直方向分離を得るた
めに、変換ギャップを越えたばかりの領域内で製造され
る。
【００３１】本発明はその好ましい実施例について特に
示され且つ述べられているが、材料構成、形態及び詳細
に関するその他の種々の変化は本発明の精神及び範囲か
ら逸脱することなく、ここに実施できることは当業者に
よって理解されるだろう。
示され且つ述べられているが、材料構成、形態及び詳細
に関するその他の種々の変化は本発明の精神及び範囲か
ら逸脱することなく、ここに実施できることは当業者に
よって理解されるだろう。
【００３２】
【発明の効果】本発明のヘッドは上記のように構成され
ているので、読み出し効率及び書き込み効率をともに高
く保持することができる。
ているので、読み出し効率及び書き込み効率をともに高
く保持することができる。
【図１】本発明を具体化する磁気ディスクファイルの概
略図である。
略図である。
【図２】図１の磁気ディスクファイルのスライダの後端
部の平面図である。
部の平面図である。
【図３】本発明を具体化する薄膜磁気ヘッドの平面図で
ある。
ある。
【図４】図３の線４−４についての断面図である。
【図５】スペーサ部材の他の実施例を示す図である。
【図６】図３の線６−６についての断面図である。
【図７】図３の線７−７についての断面図である。
【図８】図３の線８−８についての断面図である。
【図９】薄膜磁気ヘッドの別の実施例を示す平面図であ
る。
る。
【図１０】薄膜磁気ヘッドのさらに別の実施例を示す平
面図である。
面図である。
【図１１】磁気ヨークのもう一つの実施例を示す平面図
である。
である。
【図１２】磁気ヨークの他の実施例を示す平面図である
。
。
【図１３】磁気ヨークのさらに別の実施例を示す平面図
である。
である。
【図１４】磁気ヨークのなおまた別の実施例を示す平面
図である。
図である。
【図１５】磁気ヨークのもう一つの実施例を示す図であ
る。
る。
【図１６】磁気ヨークのさらに他の実施例を示す図であ
る。
る。
１０ 薄膜磁気ヘッド
２８ コイル
３０ 磁気ヨーク
３２Ｌ、３２Ｒ 外側ヨーク部分３６、３８
磁極片 ３１、３３ ヨーク転移部分 ４０ 変換ギャップ
磁極片 ３１、３３ ヨーク転移部分 ４０ 変換ギャップ
Claims (24)
- 【請求項１】 基板と、前記基板上に形成され、さら
に間隔のある外側脚部を有するオープン磁気ヨークであ
って、前記脚部は変換ギャップを間に有する対向する磁
極片を形成するために一端で重ね合わされ、前記変換ギ
ャップと反対の方向に後部クロージュアを有するオープ
ン磁気ヨークと、励磁される場合、前記変換ギャップで
付加的なフラックスが生成される方向に巻かれている前
記外側脚部の各々の巻線と、前記外側脚部を前記変換ギ
ャップよりも大きな距離をおいて分離するために前記対
向する磁極片を越えて前記ヨーク脚部の間に位置決めさ
れた非磁気スペーサ部材と、を含む薄膜磁気読み出し／
書き込みヘッド。 - 【請求項２】 前記後部クロージュアは逆Ｙ字形状で
ある請求項１記載の薄膜磁気読み出し／書き込みヘッド
。 - 【請求項３】 前記後部クロージュアは逆Ｖ字形状で
ある請求項１記載の薄膜磁気読み出し／書き込みヘッド
。 - 【請求項４】 前記磁気ヨークの前記外側脚部は、変
換ギャップ長の少なくとも５０倍の距離をおいて離間さ
れている請求項１記載の薄膜磁気読み出し／書き込みヘ
ッド。 - 【請求項５】 前記非磁気スペーサ部材はドーム形状
の断面を有する請求項１記載の薄膜磁気読み出し／書き
込みヘッド。 - 【請求項６】 前記非磁気スペーサ部材は有機系フォ
トレジスト材料で作られる請求項５記載の薄膜磁気読み
出し／書き込みヘッド。 - 【請求項７】 前記非磁気スペーサ部材は台形状の断
面を有する請求項１記載の薄膜磁気読み出し／書き込み
ヘッド。 - 【請求項８】 前記非磁気スペーサ部材はＡｌ２ Ｏ
３ 又はＳｉＯ２ で作られる請求項７記載の薄膜磁気
読み出し／書き込みヘッド。 - 【請求項９】 前記非磁気スペーサ部材は、前記ヨー
ク脚部が分岐し始めるところでゼロ・スロート位置を確
立する請求項５記載の薄膜磁気読み出し／書き込みヘッ
ド。 - 【請求項１０】 前記磁気ヨークは、非磁気材料の層
によって分離された強磁性材料の交替層を有するラミネ
ート状の構造を含む請求項１記載の薄膜磁気読み出し／
書き込みヘッド。 - 【請求項１１】 前記磁気ヨークは、非磁気材料のす
べての面が閉鎖されている強磁性材料を含む請求項１記
載の薄膜磁気読み出し／書き込みヘッド。 - 【請求項１２】 前記巻線はセンタータップ巻線から
成る請求項１記載の薄膜磁気読み出し／書き込みヘッド
。 - 【請求項１３】 データ記録用の複数のトラックを有
する磁気記録媒体と；前記磁気記録媒体との間での相対
運動の際に前記磁気記録媒体に対して近接離間位置に保
持される薄膜誘導磁気ヘッドであって、間隔のある外側
脚部を有し、前記脚部は変換ギャップを間に有する対向
する磁極片を形成するために一端で重ね合わせられ、前
記変換ギャップと反対の方向に後部クロージュアを有す
るオープン磁気ヨークと、励磁される場合、前記変換ギ
ャップで付加的なフラックスが生成される方向に前記外
側脚部の各々の巻線と、前記ヨークが前記変換ギャップ
から前記外側脚部へと分岐される際に、前記変換ギャッ
プよりも大きな垂直方向分離を得るために、前記対向す
る磁極片を越えて前記ヨーク脚部間に位置決めされる非
磁気スペーサ部材と、を含む磁気ヘッドと；前記磁気ヘ
ッドを前記媒体上の選択されたトラックに移動させるた
めに前記磁気ヘッドに結合されるアクチュエータ手段と
；データを表現する磁気パターンが前記変換ギャップと
隣接する領域の前記磁気記録媒体上で記録されるために
、前記磁気ヨークで結果的に生じるフラックスが前記磁
極片間の前記変換ギャップで付加的になるように、前記
巻線の各々に所定のレベルの電流信号を生成する書き込
みサイクルに応答して作動する手段と；前記変換ギャッ
プで読み出された先に記録された磁界に応答して前記巻
線に電流を生成する読み出しサイクルに応答して作動す
る手段と；を含む磁気記録システム。 - 【請求項１４】 前記薄膜磁気読み出し／書き込みヘ
ッドの前記ヨークは、逆Ｙ字形状の後部クロージュアを
有する請求項１３記載の磁気記録システム。 - 【請求項１５】 前記薄膜磁気ヘッドの前記ヨーク後
部クロージュアは逆Ｖ字形状である請求項１３記載の磁
気記録システム。 - 【請求項１６】 前記磁気ヨークの前記外側脚部は変
換ギャップ長の少なくとも５０倍の長さをおいて離間さ
れている請求項１３記載の磁気記録システム。 - 【請求項１７】 前記薄膜磁気ヘッドの前記非磁気ス
ペーサ部材はドーム形状の断面を有する請求項１３記載
の磁気記録システム。 - 【請求項１８】 前記非磁気スペーサ部材は有機系フ
ォトレジスト材料で作られる請求項１７記載の磁気記録
システム。 - 【請求項１９】 前記薄膜磁気ヘッドの前記非磁気ス
ペーサ部材は台形状の断面を有する請求項１３記載の磁
気記録システム。 - 【請求項２０】 前記非磁気スペーサ部材はＡｌ２
Ｏ３ 又はＳｉＯ２ で作られる請求項１９記載の磁気
記録システム。 - 【請求項２１】 前記薄膜磁気ヘッドの前記非磁気ス
ペーサ部材は、前記磁気ヨーク脚部が分岐し始めるとこ
ろのゼロ・スロート位置を確立する請求項１７記載の磁
気記録システム。 - 【請求項２２】 前記薄膜磁気ヘッドの前記磁気ヨー
クは、非磁気材料層によって分離される強磁性材料の交
替層を有するラミネート状の構造を含む請求項１３記載
の磁気記録システム。 - 【請求項２３】 前記薄膜磁気ヘッドの前記磁気ヨー
クは、非磁気材料のすべての面が閉鎖されている強磁性
材料を含む請求項１３記載の磁気記録システム。 - 【請求項２４】 前記薄膜磁気ヘッドの前記巻線はセ
ンタータップ巻線から成る請求項１３記載の磁気記録シ
ステム。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US66179691A | 1991-02-27 | 1991-02-27 | |
| US661796 | 1991-02-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04362505A true JPH04362505A (ja) | 1992-12-15 |
Family
ID=24655155
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31749291A Pending JPH04362505A (ja) | 1991-02-27 | 1991-11-05 | 薄膜磁気読み出し／書き込みヘッド及び磁気記録システム |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0501617A2 (ja) |
| JP (1) | JPH04362505A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7280298B2 (en) | 2002-08-09 | 2007-10-09 | Fujitsu Limited | Thin film magnetic head fit to recordation of higher frequency |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SG100629A1 (en) * | 2000-03-06 | 2003-12-26 | Ibm | Magnetic head having t-head with improved bilayer p1 design |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60150216A (ja) * | 1984-01-13 | 1985-08-07 | Seikosha Co Ltd | 薄膜磁気ヘツド |
| JPH0664709B2 (ja) * | 1984-01-26 | 1994-08-22 | キヤノン株式会社 | 薄膜磁気ヘツド |
| JPS61120313A (ja) * | 1984-11-14 | 1986-06-07 | Sanyo Electric Co Ltd | 薄膜磁気ヘツド |
| JPH07114007B2 (ja) * | 1987-12-04 | 1995-12-06 | ディジタル イクイプメント コーポレーション | 記録ヘッドの積層構造磁極 |
| JPH01166309A (ja) * | 1987-12-23 | 1989-06-30 | Hitachi Ltd | 薄膜磁気ヘッド |
| US5085935A (en) * | 1988-08-03 | 1992-02-04 | Digital Equipment Corporation | Flux spreading thin film magnetic devices |
| DE3828270A1 (de) * | 1988-08-19 | 1990-02-22 | Siemens Ag | Duennfilm-magnetkopf |
| US5164869A (en) * | 1991-02-27 | 1992-11-17 | International Business Machines Corporation | Magnetic recording head with integrated magnetoresistive element and open yoke |
-
1991
- 1991-11-05 JP JP31749291A patent/JPH04362505A/ja active Pending
-
1992
- 1992-02-04 EP EP92300918A patent/EP0501617A2/en not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7280298B2 (en) | 2002-08-09 | 2007-10-09 | Fujitsu Limited | Thin film magnetic head fit to recordation of higher frequency |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0501617A2 (en) | 1992-09-02 |
| EP0501617A3 (ja) | 1994-04-27 |
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