JPH04366773A - 微小電流測定方法 - Google Patents

微小電流測定方法

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JPH04366773A
JPH04366773A JP14324891A JP14324891A JPH04366773A JP H04366773 A JPH04366773 A JP H04366773A JP 14324891 A JP14324891 A JP 14324891A JP 14324891 A JP14324891 A JP 14324891A JP H04366773 A JPH04366773 A JP H04366773A
Authority
JP
Japan
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potential
measured
microcurrent
circuit
measurement
Prior art date
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Pending
Application number
JP14324891A
Other languages
English (en)
Inventor
Michito Himeno
姫野 道人
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は被測定物の微小電流を測
定する測定方法の関する。
【0002】
【従来の技術】図2および図3は従来の微小電流測定回
路図である。図2において、1は被測定物、2は測定装
置、3は陰極回路、4は電流測定用の陽極回路、8は測
定装置2の内部電源、9は陽極回路4に流れる微小電流
を測定する測定器である。図3において、5は陽極回路
4をシールドするガード回路、6はガード回路5を付加
できる測定装置である。
【0003】次に動作について説明する。図2において
、被測定物1の電流を測定する場合には、測定装置2の
内部電源8により定格電圧を印加し、陽極回路4に流れ
る微小電流を測定器9で測定する。このとき、測定装置
2の内部電源8は陰極回路3側を接地電位に固定してい
る。また、図3において、ガード回路5は陽極回路4と
同電位に固定され、陽極回路4に蓄積される電荷を少な
くしている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来の測定回路は、被
測定物1の微小電流測定に際し、測定装置2の陰極回路
部分および測定装置2と被測定物1とを結ぶ陽極回路4
の部分とに接地間との静電容量があり、また微小電流測
定で被測定物が高インピーダンスとなっているため、時
定数が大きく、被測定物1が定格電圧に達するまで相当
の時間を要するという問題があった。さらに、これを少
しでも解消するために図3に示すようにガード回路5を
設けているが、測定装置6の内部回路が複雑になり、ま
た高価なシールド線を必要とした。本発明は上記のよう
な問題を解決するためになされたもので、シールド線を
用いることなく安価にかつ短時間で微小電流の測定が可
能な微小電流測定方法を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明は、測定装置の内
部電源電圧を被測定物との閉ループに印加して被測定物
に流れる微小電流を測定する微小電流測定方法において
、前記内部電源の陽極部分の電位を接地電圧としかつ陰
極部分の電位を負の定格電圧として測定するようにした
ものである。また、前記内部電源の陽極部分の電位を接
地電圧に近づけるように陰極部分の電位を負の電圧にし
て定格電圧を印加して測定するようにしたものである。
【0006】
【作用】本発明によれば、陽極電位が接地電位と同じか
あるいは可能な限り近づくため、測定装置内の陽極回路
および被測定物までの陽極回路での充電電流が少なく、
被測定物に短時間で定格電圧を印加できる。
【0007】
【実施例】以下、本発明の実施例を図について説明する
。図1は本発明に係る測定方法を説明する測定回路図で
あり、1は被測定物、3は陰極回路、4は電流測定用の
陽極回路、7は陽極回路4側を接地した測定装置、8は
測定装置7の内部電源、9は陽極回路4に流れる微小電
流を測定する測定器である。
【0008】次に動作を説明する。測定時において、陽
極回路4および測定装置7の陽極回路4が接地電位とな
り、接地との間で電荷の蓄積がなくなる。これにより、
充電電流が流れなくなるため、被測定物1へ迅速に定格
電圧を印加でき、短時間で微小電流測定が可能となる。
【0009】なお、上記実施例では陽極回路4を接地電
位と等しくするようにしたが、陽極回路4を接地電位に
できない場合には、陽極回路4の電位を可能な限り接地
電位に近づけるように陰極回路3の電位を負の電位にし
、被測定物1に定格電圧を印加することにより同様の効
果を達成できる。
【0010】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、陽極回路
を接地電位かまたは接地電位に近い電位にして測定する
ようにしたので、測定装置を安価にでき、また精度の高
い測定を短時間に行なうことができるという効果がある
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る微小電流測定方法の一実施例を示
す測定回路図である。
【図2】従来の測定回路の一例を示す図である。
【図3】従来の測定回路の他の例を示す図である。
【符号の説明】
1  被測定物 3  陰極回路 4  陽極回路 7  測定装置 8  内部電源 9  測定器

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  測定装置の内部電源電圧を被測定物と
    の閉ループに印加して被測定物に流れる微小電流を測定
    する微小電流測定方法において、前記内部電源の陽極部
    分の電位を接地電圧とし、かつ陰極部分の電位を負の定
    格電圧として測定する微小電流測定方法。
  2. 【請求項2】  測定装置の内部電源電圧を被測定物と
    の閉ループに印加して被測定物に流れる微小電流を測定
    する微小電流測定方法において、前記内部電源の陽極部
    分の電位を接地電圧に近づけるように陰極部分の電位を
    負の電圧にして定格電圧を印加して測定する微小電流測
    定方法。
JP14324891A 1991-06-14 1991-06-14 微小電流測定方法 Pending JPH04366773A (ja)

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