JPH04370751A - 光電子分光装置 - Google Patents
光電子分光装置Info
- Publication number
- JPH04370751A JPH04370751A JP3146359A JP14635991A JPH04370751A JP H04370751 A JPH04370751 A JP H04370751A JP 3146359 A JP3146359 A JP 3146359A JP 14635991 A JP14635991 A JP 14635991A JP H04370751 A JPH04370751 A JP H04370751A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron
- electrons
- sample
- spectrometer
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- Prior art date
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- Pending
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は光電子分光装置に係り
、特に光電子像に加えて二次電子像や反射電子像を得る
ことが可能な光電子分光装置に関する。
、特に光電子像に加えて二次電子像や反射電子像を得る
ことが可能な光電子分光装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】光電子分光法は試料にＸ線を照射しそこ
から放出される光電子をエネルギー分光して検出しその
運動エネルギーから元素およぴその化学結合状態につい
ての情報を得る手法である。さらに試料から放出される
電子をレンズ系を組み合わせた検出器の位置に試料上の
位置と対応させて結像させ光電子像も得る事が出来る。 光電子像は特定元素の情報であるためはじめに試料の立
体的な形状や組成像を見て目的の領域を選択する必要が
ある。また光像を解釈するには立体像や組成像と光電子
像との関係をみることが必要である。
から放出される光電子をエネルギー分光して検出しその
運動エネルギーから元素およぴその化学結合状態につい
ての情報を得る手法である。さらに試料から放出される
電子をレンズ系を組み合わせた検出器の位置に試料上の
位置と対応させて結像させ光電子像も得る事が出来る。 光電子像は特定元素の情報であるためはじめに試料の立
体的な形状や組成像を見て目的の領域を選択する必要が
ある。また光像を解釈するには立体像や組成像と光電子
像との関係をみることが必要である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】立体像を把握するため
一般的には光学顕微鏡が用いられる。しかし光学顕微鏡
で視野を選択する場合光学顕微鏡による視野と光電子像
との視野が必ずしも一致しないという問題がある。また
両者の視野を一致させるには面倒な走査が必要とされる
。
一般的には光学顕微鏡が用いられる。しかし光学顕微鏡
で視野を選択する場合光学顕微鏡による視野と光電子像
との視野が必ずしも一致しないという問題がある。また
両者の視野を一致させるには面倒な走査が必要とされる
。
【０００４】立体像を把握する他の方法として広い領域
に電子を照射し発生する二次電子または反射電子を光電
子を検出するのと同じレンズ系を介して同一の検出器で
検知し二次電子または反射電子像を得る方法もある。こ
の場合レンズ系、分光器、検出器が光電子像と共通であ
るため両者の視野は完全に一致する。しかしこの方法で
は像の分解能が低いという問題がある。
に電子を照射し発生する二次電子または反射電子を光電
子を検出するのと同じレンズ系を介して同一の検出器で
検知し二次電子または反射電子像を得る方法もある。こ
の場合レンズ系、分光器、検出器が光電子像と共通であ
るため両者の視野は完全に一致する。しかしこの方法で
は像の分解能が低いという問題がある。
【０００５】この発明は上述の点に鑑みてなされその目
的は立体像と光電子像の光軸が一致するようにして分解
能に優れる上、立体像と光電子像の視野が完全に一致す
る光電子分光装置を提供することにある。
的は立体像と光電子像の光軸が一致するようにして分解
能に優れる上、立体像と光電子像の視野が完全に一致す
る光電子分光装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上述の目的はこの発明に
よれば、Ｘ線銃と静電レンズ系と分光器と電子検出器と
表示装置と電子銃とを有し、Ｘ線銃は試料にＸ線を照射
して試料から光電子を放出させるものであり、電子銃は
細く絞った電子ビームで走査して試料から二次電子と反
射電子を発生させ、静電レンズ系は試料から放出される
光電子または二次電子もしくは反射電子を結像して分光
器に送り込み、分光器は電子の運動エネルギーに応じて
電子を分光して電子検出器に到達させ電子検出器は分光
器より到達した光電子または二次電子もしくは反射電子
を検出し、表示装置は検出した光電子または二次電子も
しくは反射電子の像を二次元的に表示するものであると
する事により達成される。
よれば、Ｘ線銃と静電レンズ系と分光器と電子検出器と
表示装置と電子銃とを有し、Ｘ線銃は試料にＸ線を照射
して試料から光電子を放出させるものであり、電子銃は
細く絞った電子ビームで走査して試料から二次電子と反
射電子を発生させ、静電レンズ系は試料から放出される
光電子または二次電子もしくは反射電子を結像して分光
器に送り込み、分光器は電子の運動エネルギーに応じて
電子を分光して電子検出器に到達させ電子検出器は分光
器より到達した光電子または二次電子もしくは反射電子
を検出し、表示装置は検出した光電子または二次電子も
しくは反射電子の像を二次元的に表示するものであると
する事により達成される。
【０００７】
【作用】電子銃より微小に絞った電子線を走査しながら
試料に照射し、放出される二次電子や反射電子を同じレ
ンズ系を通し同じ検出器で検出するため分解能がよく本
質的に光電子像と二次電子像または反射電子像の光軸の
一致した光電子分光装置が得られる。
試料に照射し、放出される二次電子や反射電子を同じレ
ンズ系を通し同じ検出器で検出するため分解能がよく本
質的に光電子像と二次電子像または反射電子像の光軸の
一致した光電子分光装置が得られる。
【０００８】
【実施例】図１はこの発明の実施例に係る光電子分光装
置を示す配置図である。真空チャンバ内に微小プローブ
走査型の電子銃２、Ｘ線銃１１、レンズ系４、二次元検
出器６が配置されている。電子銃から微小に絞った電子
線３を偏向コイル９で走査しながら試料１上に照射し照
射部分から放出される二次電子または反射電子はレンズ
系を通り分光器５に入る。分光器を通った電子はエネル
ギーに応じて分光され二次元検出器６に到達し結像する
。その信号は信号処理回路７処理され表示装置１０であ
るＣＲＴ画面上に光電子像または二次電子像もしくは反
射電子像が表示される。全体の動作は制御回路８で制御
される。
置を示す配置図である。真空チャンバ内に微小プローブ
走査型の電子銃２、Ｘ線銃１１、レンズ系４、二次元検
出器６が配置されている。電子銃から微小に絞った電子
線３を偏向コイル９で走査しながら試料１上に照射し照
射部分から放出される二次電子または反射電子はレンズ
系を通り分光器５に入る。分光器を通った電子はエネル
ギーに応じて分光され二次元検出器６に到達し結像する
。その信号は信号処理回路７処理され表示装置１０であ
るＣＲＴ画面上に光電子像または二次電子像もしくは反
射電子像が表示される。全体の動作は制御回路８で制御
される。
【０００９】加速電圧１ＫＶ、電子線電流１×１０−８
Ａ、プローブ径約０．５μｍの電子ビームを照射し１Ｋ
ｅＶの反射電子を検出した。
Ａ、プローブ径約０．５μｍの電子ビームを照射し１Ｋ
ｅＶの反射電子を検出した。
【００１０】
【発明の効果】この発明によれば、Ｘ線銃と静電レンズ
系と分光器と電子検出器と表示装置と電子銃とを有し、
Ｘ線銃は試料にＸ線を照射して試料から光電子を放出さ
せるものであり、電子銃は細く絞った電子ビームで走査
して試料から二次電子と反射電子を発生させ、静電レン
ズ系は試料から放出される光電子または二次電子もしく
は反射電子を結像して分光器に送り込み、分光器は電子
の運動エネルギーに応じて電子を分光して電子検出器に
到達させ電子検出器は分光器より到達した光電子または
二次電子もしくは反射電子を検出し、表示装置は検出し
た光電子または二次電子もしくは反射電子の像を二次元
的に表示するものであるので、電子銃より微小に絞った
電子線を走査しながら試料に照射し、放出される二次電
子や反射電子を同じレンズ系を通し同じ検出器で検出し
て分解能がよく本質的に光電子像と立体像の一致した光
電子分光装置が得られる。
系と分光器と電子検出器と表示装置と電子銃とを有し、
Ｘ線銃は試料にＸ線を照射して試料から光電子を放出さ
せるものであり、電子銃は細く絞った電子ビームで走査
して試料から二次電子と反射電子を発生させ、静電レン
ズ系は試料から放出される光電子または二次電子もしく
は反射電子を結像して分光器に送り込み、分光器は電子
の運動エネルギーに応じて電子を分光して電子検出器に
到達させ電子検出器は分光器より到達した光電子または
二次電子もしくは反射電子を検出し、表示装置は検出し
た光電子または二次電子もしくは反射電子の像を二次元
的に表示するものであるので、電子銃より微小に絞った
電子線を走査しながら試料に照射し、放出される二次電
子や反射電子を同じレンズ系を通し同じ検出器で検出し
て分解能がよく本質的に光電子像と立体像の一致した光
電子分光装置が得られる。
【図１】この発明の実施例に係る光電子分光装置を示す
配置図
配置図
１ 試料
２ 電子銃
３ 電子線
４ 静電レンズ系
５ 分光器
６ 二次元検出器
７ 信号処理回路
８ 制御回路
９ 電子偏向コイル
１０ 表示装置
Claims (1)
- 【請求項１】Ｘ線銃と静電レンズ系と分光器と電子検出
器と表示装置と電子銃とを有し、Ｘ線銃は試料にＸ線を
照射して試料から光電子を放出させるものであり、電子
銃は細く絞った電子ビームで走査して試料から二次電子
と反射電子を発生させ、静電レンズ系は試料から放出さ
れる光電子または二次電子もしくは反射電子を結像して
分光器に送り込み、分光器は電子の運動エネルギーに応
じて電子を分光して電子検出器に到達させ電子検出器は
分光器より到達した光電子または二次電子もしくは反射
電子を検出し、表示装置は検出した光電子または二次電
子もしくは反射電子の像を二次元的に表示するものであ
ることを特徴とする光電子分光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3146359A JPH04370751A (ja) | 1991-06-19 | 1991-06-19 | 光電子分光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3146359A JPH04370751A (ja) | 1991-06-19 | 1991-06-19 | 光電子分光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04370751A true JPH04370751A (ja) | 1992-12-24 |
Family
ID=15405938
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3146359A Pending JPH04370751A (ja) | 1991-06-19 | 1991-06-19 | 光電子分光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04370751A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009002968A (ja) * | 2002-04-17 | 2009-01-08 | Ebara Corp | 試料表面の検査装置及び方法 |
-
1991
- 1991-06-19 JP JP3146359A patent/JPH04370751A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009002968A (ja) * | 2002-04-17 | 2009-01-08 | Ebara Corp | 試料表面の検査装置及び方法 |
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