JPH04372181A - 金属蒸気レーザ - Google Patents

金属蒸気レーザ

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Publication number
JPH04372181A
JPH04372181A JP14908591A JP14908591A JPH04372181A JP H04372181 A JPH04372181 A JP H04372181A JP 14908591 A JP14908591 A JP 14908591A JP 14908591 A JP14908591 A JP 14908591A JP H04372181 A JPH04372181 A JP H04372181A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
glass tube
insulating material
tube
vapor laser
heat
Prior art date
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Pending
Application number
JP14908591A
Other languages
English (en)
Inventor
Sadamasa Haniwara
埴原 定政
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は金属蒸気レーザに関し、
特に断熱材の支持構造の改良に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の金属蒸気レーザは、図3に示すよ
うに、セラミック管2の外側をたとえばアルミナファイ
バーを真空整形した円筒状の断熱材3で保持し、その外
側をガラス管4で保持し、セラミック管2の両端に配置
した電極1とガラス管4とを0リング5にて気密シール
して真空容器(レーザ管)とし、光共振器を構成する反
射鏡(図示省略)をレーザ管の両端に配置した構成にな
っている。
【0003】ガス供給口6からネオンガスなどの気体を
導入し、且つガス排出口7側に排出しながらレーザ管内
の内圧が所定の圧力になるように設定した後、電極1の
間にパルスの高電圧を印加して気体の放電を起こさせる
。この放電のエネルギーにより、セラミック管2の温度
が徐々に上昇し、規定時間経過するとあらかじめ設置し
ておいた金属9が溶融,蒸発して光共振器によりレーザ
出力が得られる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】この従来の金属蒸気レ
ーザでは、断熱材の外径寸法およびガラス管の内径寸法
を精度良く製作して、嵌合させることが困難であること
から、部品製作状のバラツキ等を考慮して断熱材外径と
ガラス管内径との間に2〜3mmのすき間10が生じた
。このため、不要な放電がこのすき間部で発生し、放電
エネルギーのもれが生じて効率が低下し、且つ、レーザ
出力の低下をも招いていた。さらに、場合によってはこ
の不要な放電の回り込みにより、0リングおよびガラス
管の損傷を招く事故が発生していた。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明の金属蒸気レーザ
は、断熱材を保持するガラス管の外周部を軟化させて、
断熱材外径に密着するようにガラス管を整形している。
【0006】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明する
。図1は本発明の一実施例の断面図である。従来の金属
蒸気レーザとの相違点は、レーザ管の組立前に、ガラス
管4を整形して断熱材3と密着させたことである。この
他は従来と同じである。具体的には、ガラス管4の内部
に断熱材3を設置した後、ガラス旋盤にて回転させなが
ら、ガラス管4を軟化させてガラス管4をへこませれば
良い。さらに密着性を良くするためには、ガラス管4の
両端部で気密シールして、内部を真空にして整形するこ
とにより、より高い密着性が得られる。
【0007】このように、断熱材3の外径とガラス管4
の内径を密着することにより、電極1の間に高電圧を印
加して放電させても、断熱材3とガラス管4との間にす
き間がないので、不要な放電の回り込みは起らない。
【0008】図2は本考案の第2の実施例のガラス管部
分の断面図である。第1の実施例では、ガラス管4全体
を整形したが、図2の如く複数箇所へこませて、へこみ
部分のみを断熱材に密着させても同じ効果が得られ、不
要な放電を除去できる。
【0009】このような構造を採用することにより、本
来の放電路以外で消費されていた電力がセラミック管内
で消費されるために、効率良くセラミック管の温度を上
げることができ、従来より数%効率が良くなる。
【0010】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、断熱材と
ガラス管を密着させて不要な放電の回り込みを除去した
ので、高効率で且つ高出力の金属蒸気レーザが得られる
。また、この不要な放電によるガラス管,0リングなど
の損傷を防止でき、信頼性が著しく向上する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の断面図。
【図2】本発明の第2の実施例の断面図。
【図3】従来の金属蒸気レーザの断面図。
【符号の説明】
1    電極 2    セラミック管 3    断熱材 4    ガラス管 5    0リング 6    ガス供給口 7    ガス排出口 9    金属 10    すき間 11    へこみ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  セラミック管の外側を断熱材で保持し
    、その外側をガラス管で保持し、セラミック管の両端の
    配置した電極間に高電圧を印加して気体の放電を形成し
    、放電のエネルギーにより蒸気化した金属を励起して発
    振させる金属蒸気レーザに於いて、ガラス管を軟化して
    断熱材外径にガラス管を密着させたことを特徴とする金
    属蒸気レーザ。
JP14908591A 1991-06-21 1991-06-21 金属蒸気レーザ Pending JPH04372181A (ja)

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