JPH04372831A - 隔膜ユニット付き差圧検出装置 - Google Patents
隔膜ユニット付き差圧検出装置Info
- Publication number
- JPH04372831A JPH04372831A JP3149037A JP14903791A JPH04372831A JP H04372831 A JPH04372831 A JP H04372831A JP 3149037 A JP3149037 A JP 3149037A JP 14903791 A JP14903791 A JP 14903791A JP H04372831 A JPH04372831 A JP H04372831A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- differential pressure
- diaphragm unit
- diaphragm
- pipe
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、差圧検出部の各側に
外設されるカバーと、各圧力を受けて差圧検出部に伝達
する隔膜ユニットとを備え、各隔膜ユニットおよび対応
するカバーの内部空間に圧力伝達媒体としての液体が封
入される装置であって、とくに液封入後の封止を確実に
して、温度，圧力の変動に対し安定した測定を可能にす
る隔膜ユニット付き差圧検出装置に関する。
外設されるカバーと、各圧力を受けて差圧検出部に伝達
する隔膜ユニットとを備え、各隔膜ユニットおよび対応
するカバーの内部空間に圧力伝達媒体としての液体が封
入される装置であって、とくに液封入後の封止を確実に
して、温度，圧力の変動に対し安定した測定を可能にす
る隔膜ユニット付き差圧検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来例について、その断面図である図４
を参照しながら説明する。なお、図４は発明に係る実施
例と共通である。同図において、差圧検出部１は、たと
えば静電容量方式によるもので、その各圧力の受圧部側
がカバー２によって覆われる。フランジ８は、測定圧力
を受けるシールダイヤフラム５を有するとともに、パイ
プ３によってカバー２と連結される。このシールダイヤ
フラム５を具備するフランジ８と、パイプ３とで隔膜ユ
ニットを構成する。この隔膜ユニットの内部空間および
カバー２の内部空間には、圧力伝達流体としてのシリコ
ーンオイルが封入される。このシリコーンオイルの封入
は、カバー２の孔２ａと、フランジ８の孔８ａとを介し
ておこなわれる。なお、フランジ８の孔８ａは、図に示
すように、フランジ８の中心孔と大気とを連通するよう
にあけられる。各孔２ａ，８ａは、封入後に密閉される
。
を参照しながら説明する。なお、図４は発明に係る実施
例と共通である。同図において、差圧検出部１は、たと
えば静電容量方式によるもので、その各圧力の受圧部側
がカバー２によって覆われる。フランジ８は、測定圧力
を受けるシールダイヤフラム５を有するとともに、パイ
プ３によってカバー２と連結される。このシールダイヤ
フラム５を具備するフランジ８と、パイプ３とで隔膜ユ
ニットを構成する。この隔膜ユニットの内部空間および
カバー２の内部空間には、圧力伝達流体としてのシリコ
ーンオイルが封入される。このシリコーンオイルの封入
は、カバー２の孔２ａと、フランジ８の孔８ａとを介し
ておこなわれる。なお、フランジ８の孔８ａは、図に示
すように、フランジ８の中心孔と大気とを連通するよう
にあけられる。各孔２ａ，８ａは、封入後に密閉される
。
【０００３】さて、差圧検出部１の構造は、実施例とも
共通であり、図３の断面図に示される。図３において、
差圧検出部は大別すると、検出部２０と保護部３０とか
らなり、これらは導圧管１６， １７を介して連結され
る。検出部２０は測定すべき差圧を電気信号に変換して
出力し、保護部３０は、詳しくは後述するが、導入圧力
に対して検出部２０を保護する。この検出部２０の構成
は周知のとおりであるから、その説明は省略する。なお
、検出部２０を保護部３０に内設させる構成にした別の
従来装置もあるが、検出部２０を保護部３０に外設させ
る構成にした目的は、測定流体が高温度の場合にその温
度の影響が検出部２０に及ばないようにするためである
。
共通であり、図３の断面図に示される。図３において、
差圧検出部は大別すると、検出部２０と保護部３０とか
らなり、これらは導圧管１６， １７を介して連結され
る。検出部２０は測定すべき差圧を電気信号に変換して
出力し、保護部３０は、詳しくは後述するが、導入圧力
に対して検出部２０を保護する。この検出部２０の構成
は周知のとおりであるから、その説明は省略する。なお
、検出部２０を保護部３０に内設させる構成にした別の
従来装置もあるが、検出部２０を保護部３０に外設させ
る構成にした目的は、測定流体が高温度の場合にその温
度の影響が検出部２０に及ばないようにするためである
。
【０００４】さて、保護部３０は主として、本体３１，
３２ 、保護ダイヤフラム１３、およびシールダイヤフ
ラム３４，３５ からなる。ここで、本体３１，３２
、およびシールダイヤフラム３４，３５ の各同一名称
の部材同士は同じである。保護ダイヤフラム１３を挟ん
で、左右にそれぞれ本体３１，３２ が配設され、それ
ぞれの外周ないし周縁部で互いに接合される。
３２ 、保護ダイヤフラム１３、およびシールダイヤフ
ラム３４，３５ からなる。ここで、本体３１，３２
、およびシールダイヤフラム３４，３５ の各同一名称
の部材同士は同じである。保護ダイヤフラム１３を挟ん
で、左右にそれぞれ本体３１，３２ が配設され、それ
ぞれの外周ないし周縁部で互いに接合される。
【０００５】また、本体３１，３２ には、それぞれ同
じ凹部１５， ２５、孔１４，２４ および孔４５，５
５ が形成される。さらに詳しくは、右側の本体３１で
代表して述べると、次のとおりである。凹部１５は本体
３１の左側面にこれと同軸の擂鉢状に形成され、孔１４
は本体３１をその軸線に沿って貫通し、孔４５は一方で
は孔１４の凹部１５中心近傍に開口し、他方では導圧管
１６を貫通して検出部２０の図示してない導圧空間に連
通する。本体３１の右側面は断面が波形に形成され、こ
の波形とほぼ同じ形状のシールダイヤフラム３４が、本
体３１の右側面との間に空間をもってその周縁で固着さ
れる。本体３１の右側の、シールダイヤフラム３４のさ
らに外方の周縁部に、図示してない、Ｏリングを介して
カバーが取り付けられる。
じ凹部１５， ２５、孔１４，２４ および孔４５，５
５ が形成される。さらに詳しくは、右側の本体３１で
代表して述べると、次のとおりである。凹部１５は本体
３１の左側面にこれと同軸の擂鉢状に形成され、孔１４
は本体３１をその軸線に沿って貫通し、孔４５は一方で
は孔１４の凹部１５中心近傍に開口し、他方では導圧管
１６を貫通して検出部２０の図示してない導圧空間に連
通する。本体３１の右側面は断面が波形に形成され、こ
の波形とほぼ同じ形状のシールダイヤフラム３４が、本
体３１の右側面との間に空間をもってその周縁で固着さ
れる。本体３１の右側の、シールダイヤフラム３４のさ
らに外方の周縁部に、図示してない、Ｏリングを介して
カバーが取り付けられる。
【０００６】以上のことは、左側の本体３２についても
実質的に同様である。そして、シールダイヤフラム３４
，３５と接する空間、孔１４，２４ 、凹部１５，２５
および孔４５，５５ からなる空間には、それぞれ圧
力伝達用流体としてのシリコーンオイル（封入液）が充
填される。差圧検出部１に、各測定圧力に係る隔膜ユニ
ットを付設することによって、圧力を測定すべき流体が
高温，高真空度であっても、その影響が差圧検出部１に
及ばないようにして、正確な差圧の測定を可能にする。
実質的に同様である。そして、シールダイヤフラム３４
，３５と接する空間、孔１４，２４ 、凹部１５，２５
および孔４５，５５ からなる空間には、それぞれ圧
力伝達用流体としてのシリコーンオイル（封入液）が充
填される。差圧検出部１に、各測定圧力に係る隔膜ユニ
ットを付設することによって、圧力を測定すべき流体が
高温，高真空度であっても、その影響が差圧検出部１に
及ばないようにして、正確な差圧の測定を可能にする。
【０００７】ところで、当然ながら隔膜ユニットの内部
空間、およびカバー２の内部空間に封入されるシリコー
ンオイルは十分、脱気される必要がある。そうしないと
、圧力を測定すべき流体が高温，高真空度の場合、その
影響を受けて、シリコーンオイル内の気体が、初期に元
来わずかであっても、この気体が膨脹して圧力が差圧検
出部１まで伝達できなくなるからである。封入シリコー
ンオイルの脱気は、カバー２の孔２ａと、フランジ８の
孔８ａとを介しておこなわれる。すなわち、各孔２ａ，
８ａはシリコーンオイルの封入と、脱気とに共用される
。また、液の封入終了後に、フランジ８の孔８ａの開口
部が、図２の断面図に示すように、止めネジ２２で押圧
されるボール２１によって封止される。
空間、およびカバー２の内部空間に封入されるシリコー
ンオイルは十分、脱気される必要がある。そうしないと
、圧力を測定すべき流体が高温，高真空度の場合、その
影響を受けて、シリコーンオイル内の気体が、初期に元
来わずかであっても、この気体が膨脹して圧力が差圧検
出部１まで伝達できなくなるからである。封入シリコー
ンオイルの脱気は、カバー２の孔２ａと、フランジ８の
孔８ａとを介しておこなわれる。すなわち、各孔２ａ，
８ａはシリコーンオイルの封入と、脱気とに共用される
。また、液の封入終了後に、フランジ８の孔８ａの開口
部が、図２の断面図に示すように、止めネジ２２で押圧
されるボール２１によって封止される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】従来の孔８ａの開口部
の封止方式では、封止のとき空気を誤って巻き込むおそ
がある。また、温度，圧力が変動するとき、とくに室温
，大気圧状態と高温，高真空状態とが周期的に変動する
ようなとき、フランジ８の材質と止めネジ２２の材質と
の熱膨張係数が異なると、封止部分が緩んで検出部側に
空気が侵入するおそれがある。
の封止方式では、封止のとき空気を誤って巻き込むおそ
がある。また、温度，圧力が変動するとき、とくに室温
，大気圧状態と高温，高真空状態とが周期的に変動する
ようなとき、フランジ８の材質と止めネジ２２の材質と
の熱膨張係数が異なると、封止部分が緩んで検出部側に
空気が侵入するおそれがある。
【０００９】この発明の課題は、従来の技術がもつ以上
の問題点を解消し、液封入時に空気を巻き込むおそれを
なくし、かつ液封入後の封止を確実にして、温度，圧力
の変動に対し安定した測定を可能にする隔膜ユニット付
き差圧検出装置を提供することにある。
の問題点を解消し、液封入時に空気を巻き込むおそれを
なくし、かつ液封入後の封止を確実にして、温度，圧力
の変動に対し安定した測定を可能にする隔膜ユニット付
き差圧検出装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】請求項１に係る隔膜ユニ
ット付き差圧検出装置は、差圧検出部の各側に外設され
るカバーと、差圧に係る各圧力を受けて前記差圧検出部
の対応する側に伝達する隔膜ユニットとを備え、この各
隔膜ユニットおよび対応する前記カバーの内部空間に圧
力伝達媒体としての液体が封入される装置において、前
記各隔膜ユニットに溶接されて前記液体封入に用いられ
、封入終了後に封止切りされるパイプを有する。
ット付き差圧検出装置は、差圧検出部の各側に外設され
るカバーと、差圧に係る各圧力を受けて前記差圧検出部
の対応する側に伝達する隔膜ユニットとを備え、この各
隔膜ユニットおよび対応する前記カバーの内部空間に圧
力伝達媒体としての液体が封入される装置において、前
記各隔膜ユニットに溶接されて前記液体封入に用いられ
、封入終了後に封止切りされるパイプを有する。
【００１１】請求項２に係る隔膜ユニット付き差圧検出
装置は、請求項１に記載の装置において、パイプの封止
切りが、圧接切りによる。
装置は、請求項１に記載の装置において、パイプの封止
切りが、圧接切りによる。
【００１２】請求項３に係る隔膜ユニット付き差圧検出
装置は、請求項１に記載の装置において、パイプの封止
切りが、圧接切りと、この圧接切りの部分の密封溶接と
の併用による。
装置は、請求項１に記載の装置において、パイプの封止
切りが、圧接切りと、この圧接切りの部分の密封溶接と
の併用による。
【００１３】
【作用】請求項１ないし３のいずれかに係る隔膜ユニッ
ト付き差圧検出装置では、隔膜ユニットに溶接されたパ
イプを介して液封入がおこなわれた後、このパイプが、
たとえば請求項２のように圧接切りの方式で、または請
求項３のように圧接切りと、この圧接切りの部分の密封
溶接との併用による方式で、封止切りされる。
ト付き差圧検出装置では、隔膜ユニットに溶接されたパ
イプを介して液封入がおこなわれた後、このパイプが、
たとえば請求項２のように圧接切りの方式で、または請
求項３のように圧接切りと、この圧接切りの部分の密封
溶接との併用による方式で、封止切りされる。
【００１４】
【実施例】本発明に係る隔膜ユニット付き差圧検出装置
の実施例について、以下に図を参照しながら説明する。 図１は実施例の要部、つまりフランジ８の孔８ａ近くの
側面図である。図１において、孔８ａと連通するように
、■の箇所でフランジ８にパイプ１０を溶接し、その端
部に取り付けた二点鎖線表示の接続金具１１を介して図
示してない液封入装置と接続する。液封入が終了したら
、■の箇所でパイプ１０を封止切りする。この封止切り
は、圧接切り方式、つまり圧接と同時に切断する方式を
とるか、または圧接切りと、この圧接切りの部分の密封
溶接とを併用する方式をとる。もちろん、後者の方が封
止がより確実になる。
の実施例について、以下に図を参照しながら説明する。 図１は実施例の要部、つまりフランジ８の孔８ａ近くの
側面図である。図１において、孔８ａと連通するように
、■の箇所でフランジ８にパイプ１０を溶接し、その端
部に取り付けた二点鎖線表示の接続金具１１を介して図
示してない液封入装置と接続する。液封入が終了したら
、■の箇所でパイプ１０を封止切りする。この封止切り
は、圧接切り方式、つまり圧接と同時に切断する方式を
とるか、または圧接切りと、この圧接切りの部分の密封
溶接とを併用する方式をとる。もちろん、後者の方が封
止がより確実になる。
【００１５】
【発明の効果】請求項１ないし３のいずれかに係る隔膜
ユニット付き差圧検出装置では、隔膜ユニットに溶接さ
れたパイプを介して液封入がおこなわれた後、このパイ
プが、たとえば請求項２のように圧接切りの方式で、ま
たは請求項３のように圧接切りと、この圧接切りの部分
の密封溶接との併用による方式で、封止切りされる。し
たがって、液封入の後の密封状態が確実に保持され、し
かも密封時に空気を巻き込むおそれが全くないから、温
度，圧力の変動に対して、とくに高温，高真空の状態に
おいても安定した差圧測定が可能になる。
ユニット付き差圧検出装置では、隔膜ユニットに溶接さ
れたパイプを介して液封入がおこなわれた後、このパイ
プが、たとえば請求項２のように圧接切りの方式で、ま
たは請求項３のように圧接切りと、この圧接切りの部分
の密封溶接との併用による方式で、封止切りされる。し
たがって、液封入の後の密封状態が確実に保持され、し
かも密封時に空気を巻き込むおそれが全くないから、温
度，圧力の変動に対して、とくに高温，高真空の状態に
おいても安定した差圧測定が可能になる。
【図１】発明に係る実施例の要部の側面図
【図２】従来
例の要部の断面図、
例の要部の断面図、
【図３】実施例と従来例との共通な差圧検出部の断面図
【図４】実施例と従来例との共通な液体封入前の断面図
１ 差圧検出部
２ カバー
２ａ 孔
３ パイプ
５ シールダイヤフラム
８ フランジ
８ａ 孔
１０ パイプ
１１ 接続金具
Claims (3)
- 【請求項１】差圧検出部の各側に外設されるカバーと、
差圧に係る各圧力を受けて前記差圧検出部の対応する側
に伝達する隔膜ユニットとを備え、この各隔膜ユニット
および対応する前記カバーの内部空間に圧力伝達媒体と
しての液体が封入される装置において、前記各隔膜ユニ
ットに溶接されて前記液体封入に用いられ、封入終了後
に封止切りされるパイプを備えることを特徴とする隔膜
ユニット付き差圧検出装置。 - 【請求項２】請求項１に記載の装置において、パイプの
封止切りは、圧接切りによることを特徴とする隔膜ユニ
ット付き差圧検出装置。 - 【請求項３】請求項１に記載の装置において、パイプの
封止切りは、圧接切りと、この圧接切りの部分の密封溶
接との併用によることを特徴とする隔膜ユニット付き差
圧検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3149037A JPH04372831A (ja) | 1991-06-21 | 1991-06-21 | 隔膜ユニット付き差圧検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3149037A JPH04372831A (ja) | 1991-06-21 | 1991-06-21 | 隔膜ユニット付き差圧検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04372831A true JPH04372831A (ja) | 1992-12-25 |
Family
ID=15466280
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3149037A Pending JPH04372831A (ja) | 1991-06-21 | 1991-06-21 | 隔膜ユニット付き差圧検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04372831A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2631052B2 (ja) * | 1992-01-17 | 1997-07-16 | 山武ハネウエル株式会社 | リモートシール型差圧・圧力発信器および封入液封入方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS582717A (ja) * | 1981-06-30 | 1983-01-08 | Toshiba Corp | 圧力計用置換器 |
| JPS5875040A (ja) * | 1981-10-30 | 1983-05-06 | Toshiba Corp | 圧力置換器 |
-
1991
- 1991-06-21 JP JP3149037A patent/JPH04372831A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS582717A (ja) * | 1981-06-30 | 1983-01-08 | Toshiba Corp | 圧力計用置換器 |
| JPS5875040A (ja) * | 1981-10-30 | 1983-05-06 | Toshiba Corp | 圧力置換器 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2631052B2 (ja) * | 1992-01-17 | 1997-07-16 | 山武ハネウエル株式会社 | リモートシール型差圧・圧力発信器および封入液封入方法 |
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