JPH0438032U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0438032U JPH0438032U JP7932090U JP7932090U JPH0438032U JP H0438032 U JPH0438032 U JP H0438032U JP 7932090 U JP7932090 U JP 7932090U JP 7932090 U JP7932090 U JP 7932090U JP H0438032 U JPH0438032 U JP H0438032U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reticle
- conveyance device
- support member
- linear motion
- automatic conveyance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
第１図は本考案の一実施例のレテイクル保持前
状態の平面図、第２図はレテイクル保持後状態の
平面図、第３図はレテイクル支持機構の送り部の
正面図である。 １……アーム、２……支持モータ、３……偏心
カム、４……リンク、５……連結板、６……直線
案内ガイド、７……引バネ、８……連結リンク、
９……支持板、１０……位置決めモータ、１１…
…案内ガイド、１２……連結棒、１３……位置決
めバー、１４……レテイクル。
状態の平面図、第２図はレテイクル保持後状態の
平面図、第３図はレテイクル支持機構の送り部の
正面図である。 １……アーム、２……支持モータ、３……偏心
カム、４……リンク、５……連結板、６……直線
案内ガイド、７……引バネ、８……連結リンク、
９……支持板、１０……位置決めモータ、１１…
…案内ガイド、１２……連結棒、１３……位置決
めバー、１４……レテイクル。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ レテイクル着脱可能となるように、レテイク
ル四隅部の下面を支持する支持部材と、レテイク
ルの対角線上の二隅の端面を四本の位置決めピン
で挾み込む位置決め部材で位置決めし、搬送する
装置において、前記支持部材と位置決め部材を駆
動する送り機構に、回転、直線運動を利用した有
限ストロークを動作する機構で構成することを特
徴とするレテイクル自動搬送装置。 ２ 請求項１記載の回転、直線運動を利用した機
構が、偏心カムとリンクと直線案内ガイドで構成
することを特徴とするレテイクル自動搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7932090U JPH0438032U (ja) | 1990-07-27 | 1990-07-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7932090U JPH0438032U (ja) | 1990-07-27 | 1990-07-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0438032U true JPH0438032U (ja) | 1992-03-31 |
Family
ID=31623372
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7932090U Pending JPH0438032U (ja) | 1990-07-27 | 1990-07-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0438032U (ja) |
-
1990
- 1990-07-27 JP JP7932090U patent/JPH0438032U/ja active Pending
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